KR101631138B1 - 액체 누출 검출 장치 - Google Patents

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히로아키 후루카와
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파나소닉 디바이스 썬크스 주식회사
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Abstract

적절한 타이밍으로 검출 신호를 출력하는 것이 가능한 액체 누출 검출 장치를 제공하는 것이다. 액체 누출 검출 장치(10)는, 제1 도입부(25) 내로 도입된 누출된 액체를 검출하여 제1 검출 신호를 생성하는 제1 액체 누출 검지부와, 제1 도입부(25)와는 다른 위치에 설치된 제2 도입부(26) 내로 도입된 누출된 액체를 검출하여 제2 검출 신호를 생성하는 제2 액체 누출 검지부와, 제1 및 제2 검출 신호들 중 적어도 제1 검출 신호에 기초하여, 액체 누출 생산량에 따라 액체 누출 검출 신호를 출력하는 출력 제어부를 포함한다.

Description

액체 누출 검출 장치{LIQUID LEAKAGE DETECTION DEVICE}
본 발명은, 액체 누출 검출 장치에 관한 것이다.
종래에 공장에서는 생산 라인의 제조 장치나, 그 제조 장치에 액체를 공급하는 배관으로부터 액체가 누출되는 경우가 있다. 상기 제조 장치나 배관으로부터의 액체 누출은, 공장 시설의 파손이나 제조 불량으로 이어질 우려가 있다. 특히, 반도체 제조 라인이나 식품의 가공 라인에서는, 제조 장치나 배관으로부터의 액체 누출은 공장 시설의 파손이나 제조 불량으로 이어질 가능성이 높다. 그래서, 종래에, 공장의 제조 장치나 배관에는, 제조 장치나 배관으로부터의 액체 누출을 검출하는 액체 누출 검출 장치가 구비되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
이런 종류의 액체 누출 검출 장치는, 공장 시설의 파손이나 제품 불량을 방지하기 위해, 제조 장치로부터 소량의 액체 누출을 검출하면, 바로 제조 장치를 정지시켰었다.
[특허문헌1] 특개2004-53560호 공보
상기와 같은 액체 누출 검출 장치에서는, 제조 장치로부터의 소량의 액체 누출을 검출하는 것만으로, 바로 제조 장치를 정지시켜 버린다. 그러나 제조 장치로부터의 액체 누출이 소량일 경우, 제조 장치를 바로 정지시키지 않아도 공장 시설의 파손이나 제품 불량으로 이어지지 않는 경우가 있다. 이 경우 본래 제조 장치를 정지시킬 필요가 없음에도 불구하고, 제조 장치를 정지시키기 때문에, 제품의 제조 시간이 짧아져서 제조 장치의 생산성을 저하시켜 버린다. 또한 액체 누출 검출 장치에 의해 감시되는 제조 장치는, 각 제조 공정 도중에 정지되는 경우, 그 각 제조 공정의 도중이었던 제품을 다시 제조 또는 폐기해야할 필요가 있기 때문에, 제조 장치의 생산성을 저하시켜 버린다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해 실시되는 것으로, 그 목적은 적절한 타이밍으로 액체 누출 검출 신호를 출력하는 것이 가능한 액체 누출 검출 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시형태의 액체 누출 검출 장치는, 액체 누출을 도입하는 제1 도입부와, 상기 제1 도입부 내로 도입된 액체 누출을 검출하여 제1 검출 신호를 생성하는 제1 액체 누출 검지부와, 상기 제1 도입부와는 다른 위치에서 누출 액체를 도입하는 제2 도입부와, 상기 제2 도입부 내로 도입된 누출 액체를 검출하여 제2 검출 신호를 생성하는 제2 액체 누출 검지부와, 상기 제1 및 제2 검출 신호들의 적어도 한 쪽에 기초하여, 상기 액체 누출의 발생량에 따라 액체 누출 검출 신호를 출력하는 출력 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 기재의 발명에 따르면, 적절한 타이밍으로 액체 누출 검출 신호를 출력하여, 제조 장치의 생산성 저하를 저감시킬 수 있는 액체 누출 검출 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 액체 누출 검출 장치의 설치예를 나타내는 개략 구성도이다.
도 2는 제1 실시형태의 액체 누출 검출 장치의 측면도이다.
도 3은 도 2의 액체 누출 검출 장치의 저면도이다.
도 4는 도 2의 액체 누출 검출 장치의 정면도이다.
도 5는 제1 실시형태의 센서 본체의 개략 구성도이다.
도 6 및 도 7은 제1 도입부에 있어서의 액체 누출 검출의 원리도이다.
도 8 및 도 9는 제2 도입부에 있어서의 액체 누출 검출의 원리도이다.
도 10은 제2 실시형태의 액체 누출 검출 장치의 저면도이다.
도 11은 제2 실시형태의 센서 본체의 개략 구성도이다.
<제1 실시형태>
이하, 제1 실시형태를 도 1 내지 도 9를 따라 설명하고자 한다.
도 1에서 나타내듯이, 액체 누출 검출 장치(10)는, 공장 내의 제조 장치(11)를 설치한 바닥면(12)에 볼트(B)로 설치되며, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)(도 7 등 참조)를 검출하고 있다. 그리고 액체 누출 검출 장치(10)는, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)를 검출하면, 케이블(13)을 통하여 정지신호(St)를 제조 장치(11)로 송신하여 제조 장치(11)를 정지시키도록 되어 있다.
도 2는 액체 누출 검출 장치(10)의 측면도, 도 3은 액체 누출 검출 장치(10)의 저면도, 도 4는 액체 누출 검출 장치(10)의 정면도이다. 도 2에서 나타내듯이, 액체 누출 검출 장치(10)는, 누출된 액체(W)를 검출하는 센서 본체(15)와, 센서 본체(15)를 바닥면(12)에 고정하는 기대부(基臺部, 16)를 가지고 있다.
기대부(16)는, 바닥면(12)에 고정 설치되는 고정대(21)와, 고정대(21)의 측면으로부터 연장되어 형성되며, 센서 본체(15)를 지지하는 기대(基臺, 20)를 갖는다.
도 3과 같이, 고정대(21)는, 평면 형상이 거의 테이퍼 형상이며, 그 앞폭이 좁은 기단부(基端部, 도 3에 있어서 우측) 중앙 위치에 수직 방향(도 2에 있어서 상하 방향)으로 볼트 삽입구(21a)가 관통하여 형성되어 있다. 고정대(21)는, 볼트 관통구(21a)에 볼트(B)가 삽입 관통되며, 그 하면(21b)이 바닥면(12)과 접하는 상태로 볼트(B)로 바닥면(12)과 연결 고정되어 있다.
도 2에서 나타내듯이, 고정대(21)는, 기대(20)의 하면(20a)과 바닥면(12)과의 사이에 틈(D1)이 생기도록, 그 앞폭이 좁은 선단부(도 2에 있어서의 좌측)의 측면에서 기대(20)를 연장하여 형성하고 있다. 기대(20)의 하면(20a)과 바닥면(12)과의 틈(D1)은, 제조 장치(11)가 액체를 누출한 경우, 누출된 액체(W)가 틈(D1)에 유입되면 모세관 현상이 발생하는 간격으로 설정되어 있다.
도 3에서 나타내듯이, 기대(基臺, 20)는 원기둥 형성이며, 그 하면(20a)이 투광성 수지에 의해 형성되어 있다. 기대(20)는, 그 하면(20a)의 중앙 위치에, 원 형상의 오목부(20b, 이하, '원형 오목부'라고 한다)가 오목하게 설치되어 있다.
제조 장치(11)로부터 액체 누출된 경우, 기대(20)의 하면(20a)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 유입되면, 처음에, 원형 오목부(20b) 이외의 환상(環狀)으로 되어 있는 기대(20)의 하면(이하, '환상 하면'이라고 한다)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 유입되며, 이어서, 원형 오목부(20b)와 바닥면(12)과의 틈으로 누출된 액체(W)가 유입된다.
상세하게는, 기대(20)의 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 유입된 누출된 액체(W)는, 우선, 모세관 현상의 추진력 및 새로이 발생한 누출된 액체(W)에 의해 환상 하면(20c) 아래를 흐르는 압력이 발생하고, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 퍼져간다. 이때, 누출된 액체(W)와 환상 하면(20c)과의 사이에는 표면 장력이 작용한다. 그 때문에, 환상 하면(20a)과 떨어져서 원형 오목부(20b) 내로 누출된 액체(W)가 유입되기 위해 필요한 압력이, 환상 하면(20c) 아래의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 퍼지도록 하기 위해 필요한 압력보다 크게 되어 있다.
따라서 처음에, 기대(20)의 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 유입된 누출된 액체(W)는, 원형 오목부(20b)로는 바로 유입되지 않고, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 퍼지도록 되어 있다.
이어서, 누출된 액체(W)가 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1) 모두로 퍼지며, 누출된 액체(W)가 더 발생하면, 누출된 액체(W)를 원형 오목부(20b) 내로 흐르는 유입 방향의 압력이, 누출된 액체(W)와 환상 하면(20c)과의 표면 장력보다 커진다. 그 결과, 원형 오목부(20b) 내로 누출된 액체(W)가 유입되게 된다.
즉, 제조 장치(11)로부터 소량의 누출된 액체(W)가 있는 경우, 액체 누출 검출 장치(10)로부터의 누출된 액체(W)는 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)까지 유입된다. 한편, 제조 장치(11)로부터 대량의 누출된 액체(W)가 있는 경우, 액체 누출 검출 장치(10)로부터의 누출된 액체(W)는 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 유입되며, 나아가, 원형 오목부(20B) 내까지 유입된다.
그리고 이 기대(20)에 있어서, 환상 하면(20c)으로 유입되는 누출된 액체(W)를 검출하는 부위에 제1 도입부(25)를 설치함과 함께, 원형 오목부(20b)에 유입되는 누출된 액체(W)를 검출하는 부위에 제2 도입부(26)가 설치되어 있다. 즉, 제2 도입부(26)는, 누출된 액체(W)의 발생원인 제조 장치(11)에 대하여 제1 도입부(25)보다도 멀리 떨어진 위치에 설치되어 있다. 따라서 제2 도입부(26)는, 제1 도입부(25)보다도, 누출된 액체(W)의 발생양이 많아지는 위치에 설치되어 있다.
제1 도입부(25)는, 환상 하면(20c)에 있어서, 고정대(21)와는 반대측(도 3에 있어서 좌측)에 설치되어 있다. 제1 도입부(25)는, 환상 하면(20c)에 직경 방향을 따라 오목하게 설치된 오목부(28)를 가지고 있다. 오목부(28)는, 그 내측 저면을 천정면(28a)으로 가지면서 동시에, 천정면(28a)으로부터 환상 하면(20c)의 둘레 방향에 있어서 서로 이격되는 방향을 향하여 형성된 2개의 경사면을 각각 제1 출사면(28b), 제2 출사면(28c)으로 갖는다(도 4 참조). 제1 출사면(28b) 및 제1 입사면(28c)은, 누출된 액체(W)를 도입하는 도입부로 설치되어 있다.
제1 도입부(25)는, 오목부(28)의 양측에 환상 하면(20c)으로부터 하방으로 돌출되어 형성되는 한 쌍의 제1 지지대(29)를 가지고 있다(도 4 참조). 도 2에 나타내듯이, 제1 지지대(29)는, 바닥면(12)과 맞닿는 접합면(29a)을 갖는다. 즉, 환상 하면(20c)은, 제1 지지대(29)의 접합면(29a)에 의해 바닥면(12) 상에 지지되어 있다. 또한, 제1 지지대(29)는, 그 접합면(29a)으로부터 원형 오목부(20b)(도 2에 있어서 우측)를 향하여 환상 하면(20c)까지 형성되는 경사면(29b)을 갖는다.
제2 도입부(26)는, 원형 오목부(20b)에 설치되어 있다. 제2 도입부(26)는, 도 3에서 나타내듯이, 원형 오목부(20b)의 중앙 위치를 통과하도록 형성된 공기구멍(26a), 그 공기구멍(26a)을 사이에 두고 대향하도록 설치된 한 쌍의 제2 지지대(30)를 갖는다. 한 쌍의 제2 지지대(30)는, 원형 오목부(20b)의 내측 바닥면에서 더 하방으로 돌출하여 형성되어 있다. 한 쌍의 제2 지지대(30)의 서로 대향하는 측면, 즉, 공기구멍(26a)과 면하는 측면은 내부 방향으로 경사되어 제2 출사면(26b), 제2 입사면(26c)으로서 각각 형성되어 있다. 제2 출사면(26b) 및 제2 입사면(26c)도, 누출된 액체(W)를 도입하는 도입부로서 설치되어 있다.
기대(20)는, 기대부(16)가 바닥면(12)에 설치된 상태에 있어서, 제1 및 제2 지지대(29, 30)가 바닥면(12)에 맞닿음으로써 지지된다. 따라서 기대(20)의 상하 방향(도 2에 있어서 상하방향)의 흔들림이 제1 및 제2 지지대(29, 30)에 의해 방지된다.
도 2에서 나타내듯이, 기대(20)는, 그 외주면을 관통하는 공기구멍(34)을 갖는다. 공기구멍(34)은 예를 들면 사각 형상으로 형성되어있다. 그리고 기대(20)의 내부에는 원형 오목부(20b)의 공기구멍(26a)(도 3 참조)과 공기구멍(34)을 연통하는 공기 통로(35)가 형성되어 있다.
즉, 제조 장치(11)가 액체를 누출한 경우, 환상 하면(20a)과 바닥면(12)과의 틈(D1) 모두로 누출된 액체(W)가 유입되면 원형 오목부(20b)에 공기가 정체해 버린다. 여기서 액체 누출 검출 장치(10)는, 그 공기를 원형 오목부(20b)의 공기구멍(26a)으로부터 공기 통로(35)를 개재하여 외주면의 공기구멍(34)으로부터 외부로 배출한다.
센서 본체(15)는, 예를 들면 원기둥 형상으로, 기대(20)에 연결됨으로써 바닥면(12)에 고정되어 있다. 도 5는 센서 본체(15)의 개략 구성도이다. 도 5에 나타내듯이, 센서 본체(15)는, 제1 투광 수단(40a), 제1 수광 수단(41a), 제1 검출 수단(42a), 제2 투광 수단(40b), 제2 수광 수단(41b), 제2 검출 수단(42b) 및 출력 제어 수단(43)(출력 제어부)을 내장하고 있다. 제1 실시형태에서는 제1 투광 수단(40a), 제1 수광 수단(41a) 및 제1 검출 수단(42a)은, 제1 액체 누출 검지부를 구성한다. 또한, 제2 투광 수단(40b), 제2 수광 수단(41b) 및 제2 검출 수단(42b)은, 제2 액체 누출 검지부를 구성한다.
제1 투광 수단(40a) 및 제1 수광 수단(41a)은, 도 3 및 도 4에서 나타내듯이, 센서 본체(15)의 내부에 있어서 액체 누출 검출 장치(10)의 하면에서 바라봐서 환상 하면(20c)의 제1 도입부(25)의 위치에 설치되어 있다. 그리고 제1 투광 수단(40a) 및 제1 수광 수단(41a)은, 제1 도입부(25)에 있어서, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 유입에 유입되는 누출된 액체(W)를 검출한다.
도 6 및 도 7은, 제1 도입부(25)에 있어서, 액체 누출 검출 장치(10)가 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)를 검출하는 원리도이다.
제1 투광 수단(40a)은, 제1 출사면(28b)을 향하여 출사광을 출사한다. 도 6에서 나타내듯이, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않은 경우, 제1 출사면(28b)을 투과한 출사광 즉 투과광은, 제1 출사면(28b)에 있어서 소정의 굴절각으로 굴절된다.
환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않은 경우, 제1 출사면(28b)에서 굴절된 투과광은 제1 입사면(28c)에 입사광으로서 입사된다. 이 입사광은, 제1 입사면(28c)에 있어서 소정의 굴절각으로 굴절되며, 제1 입사면(28c)을 투과한다. 그리고 제1 입사면(28c)을 투과한 입사광은, 센서 본체(15)의 내부에 구비된 제1 수광 수단(41a)에 입사된다. 이에 의해, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않은 경우, 제1 투광 수단(40a)에서 제1 수광 수단(41a)으로의 광로(L1)가 형성된다.
반대로, 도 7에서 나타내듯이, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 유입되어 있는 경우, 제1 출사면(28b)에 있어서, 출사광 즉 투과광의 굴절각이 커진다. 이 때문에, 투과광은, 광로(L1)로부터 벗어나 제1 입사면(28c)에 도달하지 않는다.
제1 수광 수단(41a)은, 제1 입사면(28c)을 투과한 입사광을 입사하고, 입사광의 수광량에 따라 제1 수광 신호(Sr1)를 생성한다. 구체적으로는, 제1 수광 수단(41a)은, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 유입되는 누출된 액체(W)의 양이 적어지며, 그 결과, 입사광의 수광량이 커질수록 제1 수광 신호(Sr1)의 전압값이 커진다. 반대로, 제1 수광 수단(41a)은, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 유입되는 누출된 액체(W)의 양이 많으며, 그 결과, 입사광의 수광량이 적을수록, 제1 수광 신호(Sr1)의 전압값을 작게 한다.
제1 검출 수단(42a)은, 제1 수광 수단(41a)에서 제1 수광 신호(Sr1)를 받는다. 제1 검출 수단(42a)은, 제1 수광 신호(Sr1)와 미리 설정된 제1 기준 전압(Vk1)을 비교하여, 그 비교 결과에 따라 제1 검출 신호(Sd1)를 출력 제어 수단(43)으로 공급한다.
예를 들면, 제1 검출 수단(42a)은, 제1 기준 전압(Vk1) 이상의 전압값을 갖는 제1 수광 신호(Sr1)를 수신하면, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않다고 간주되어 L레벨(비검출 모드)의 제1 검출 신호(Sd1)를 생성한다. 반대로, 제1 검출 수단(42a)은, 제1 기군 전압(Vk1)보다 작은 전압값을 갖는 제1 수광 신호(Sr1)를 수신하면, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 유입되어 있다고 판정하여 H레벨(검출 모드)의 제1 검출 신호(Sd1)를 생성한다.
제2 투광 수단(40b) 및 제2 수광 수단(41b)은, 도 2 및 도 3에서 나타내듯이, 센서 본체(15)의 내부에 있어서, 액체 유출 검출 장치(10)의 하면에서 바라보아 원형 오목부(20b)의 제2 도입부(26)의 위치에 설치되어 있다. 그리고 제2 투광 수단(40b) 및 제2 수광 수단(41b)은, 제2 도입부(26)에 있어서, 원형 오목부(20b) 내로 유입되는 유출된 액체(W)를 검출한다.
도 8 및 도 9는, 제2 도입부에 있어서, 액체 누출 검출 장치(10)가 누출된 액체(W)를 검출하는 원리도이다.
제2 투광 수단(40b)은, 제2 출사면(26b)을 향해서 출사광을 출사한다. 도 8에서 나타내듯이, 원형 오목부(20b) 내로 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않은 경우, 제2 출사면(26b)을 투과한 출사광 즉 투과광은, 제2 출사면(26b)에 있어서 소정의 굴절각으로 굴절된다.
원형 오목부(20b) 내로 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않은 경우, 제2 출사면(26b)에서 굴절된 투과광은 제2 입사면(26c)에 입사광으로서 입사된다. 이 입사광은, 제2 입사면(26c)에 있어서 소정의 굴절각으로 굴절되며, 제2 입사면(26c)을 투과한다. 그리고 제2 입사면(26c)을 투과한 입사광은, 센서 본체(15)의 내부에 구비된 제2 수광 수단(41b)으로 입사된다. 이에 의해, 도 8에서 나타내듯이, 원형 오목부(20b) 내로 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않은 경우, 제2 투광 수단(40b)에서 제2 수광 수단(41b)으로의 광로(L2)가 형성된다.
반대로, 도 9에서 나타내듯이, 원형 오목부(20b)로 누출된 액체(W)가 유입되어 있는 경우, 제2 출사면(26b)에 있어서, 출사광 즉 투과광의 굴절각이 커진다. 이 때문에, 투과광은, 광로(L2)로부터 벗어나 제2 입사면(26c)에 도달하지 않는다.
제2 수광 수단(41b)은, 제2 입사면(26c)을 투과한 입사광을 입사하고, 입사광의 수광량에 따라 제2 수광 신호(Sr2)를 생성한다. 구체적으로는, 제2 수광 수단(41b)은, 원형 오목부(20b) 내로 유입되는 누출된 액체(W)의 양이 적을수록(즉 수광량이 클수록), 제2 수광 신호(Sr2)의 전압값을 크게 한다. 반대로, 제2 수광 수단(41b)은, 원형 오목부(20b) 내로 유입되는 누출된 액체(W)의 양이 많을수록(즉 수광량이 작을수록), 제2 수광 신호(Sr2)의 전압값을 작게 한다.
제2 검출 수단(42b)은, 제2 수광 수단(41b)으로부터 제2 수광 신호(Sr2)를 받는다. 제2 검출 수단(42b)은, 제2 수광 신호(Sr2)와 미리 설정된 제2 기준 전압(Vk2)을 비교하여, 그 비교 결과에 따라 제2 검출 신호(Sd2)를 출력 제어 수단(43)에 공급한다.
예를 들면, 제2 검출 수단(42b)은, 제2 기준 전압(Vk2) 이상의 전압값을 갖는 제2 수광 신호(Sr2)를 수신하면, 원형 오목부(20b) 내로 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않다고 간주되어, L레벨(비검출 모드)의 제2 검출 신호(Sd2)를 생성한다. 반대로, 제2 검출 수단(42b)은, 제2 기준 전압(Vk2)보다 작은 전압값을 갖는 제2 수광 신호(Sr2)를 수신하면, 원형 오목부(20b) 내로 누출된 액체(W)가 유입되어 있다고 판정하여 H레벨(검출 모드)의 제2 검출 신호(Sd2)를 생성한다.
출력 제어 수단(43)은, 제1 및 제2 검출 수단(42a, 42b)에서 제1 및 제2 검출 수단(Sd1, Sd2) 및 제조 장치(11)로부터 동기 신호(Ss)를 받는다. 여기서, 동기 신호(Ss)는, 제조 장치(11)의 작업 범위를 알리는 신호로, 제조 장치(11)가 작업 중일 때에 L레벨이 되며, 작업 범위마다 소정 시간 H레벨이 된다.
출력 제어 수단(43)은, 제1 및 제2 검출 신호(Sd1, Sd2)에 기초하여, 제조 장치(11)를 정지시키는 정지 신호(St)를 동기 신호(Ss)에 동기하여 제조 장치(11)로 출력한다.
상세하게는, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 없는 경우, 출력 제어 수단(43)은, L레벨(비검출 모드)의 제1 및 제2 검출 신호(Sd1, Sd2)를 받는다. 이 때, 출력 제어 수단(43)은, 제조 장치(11)를 정지시키지 않는 L레벨(동작 모드)의 정지 신호(St)를 제조 장치(11)로 출력한다.
또한, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 소량의 경우, 출력 제어 수단(43)은, H레벨(검출 모드)의 제1 검출 신호(Sd1) 및 L레벨(비검출 모드)의 제2 검출 신호(Sd2)를 받는다. 이때, 출력 제어 수단(43)은, H레벨(소정 시간)의 동기 신호(Ss)에 동기하여 H레벨(정지 모드)의 정지 신호(St)를 제조 장치(11)로 출력한다. 즉, 출력 제어 수단(43)은, H레벨의 제1 검출 신호(Sd1) 및 L레벨의 제2 검출 신호(Sd2)를 수신하고 나서 소정의 시간이 경과한 후(동기 신호(Ss)를 수신한 후)에 H레벨의 정지 신호(St)를 출력한다.
상세하게는, 출력 제어 수단(43)은, H레벨(검출 모드)의 제1 검출 신호(Sd1) 및 L레벨(비검출 모드)의 제2 검출 신호(Sd2)를 받을 경우, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 유입되어 있으나, 원형 오목부(20b) 내에는 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않다고 인식된다.
이 경우, 출력 제어 수단(43)은, 원형 오목부(20b) 내로 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않기 때문에, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 소량이라고 판단한다. 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 소량일 경우, 바로 공장 시설의 파손이나 제품 불량으로 이어지지는 않는다. 이 때문에, 출력 제어 수단(43)은, 진행 중이던 작업이 종료된 후에, 제조 장치(11)를 정지시키도록 되어 있다(제어 정지).
제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 대량인 경우, 출력 제어 수단(43)은, H레벨(검출 모드)의 제1 및 제2 검출 신호(Sd1, Sd2)를 받는다. 이때, 출력 제어 수단(43)은, H레벨(정지 모드)의 정지 신호(St)를 제조 장치(11)로 출력한다. 즉 출력 제어 수단(43)은, H레벨(검출 모드)의 제1 및 제2 검출 신호(Sd1, Sd2)를 받는 경우에는, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 유입되며, 나아가, 원형 오목부(20b) 내로도 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 유입되어 있다고 인식한다.
이 경우, 출력 제어 수단(43)은, 원형 오목부(20b) 내에도, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 유입되어 있기 때문에, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 대량이라고 판단한다. 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 대량인 경우, 바로 공장 시설의 파손이나 제품의 불량으로 이어질 우려가 있다. 이 때문에, 출력 제어 수단(43)은, 작업이 진행 중이라고 하더라고 제조 장치(11)를 즉시 정지시키도록 되어 있다(긴급 정지).
이상 기술한 바와 같이, 본 실시형태에 따르면, 우선 이하의 효과를 낸다.
(1) 액체 누출 장치(10)는, 제조 장치(11)로부터의 소량의 누출된 액체(W)를 검출하는 부위에 설치된 제1 도입부(25)와, 제조 장치(11)로부터의 대량의 누출된 액체(W)를 검출하는 부위에 설치된 제2 도입부(26)를 구비한다. 그리고 액체 누출 검출 장치(10)는, 제1 도입부(25)에서 누출된 액체(W)를 검출하면, 진행 중의 작업을 종료한 후에 제조 장치(11)를 정지시키고, 제2 도입부(26)에서 누출된 액체(W)를 검출하면, 작업이 진행 중임에도 불구하고 즉시 제조 장치(11)를 정지시킨다.
따라서, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 소량일 경우에는, 제품 및 제조 시간을 낭비하지 않고 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)가 대량일 경우에는, 공장 시설의 파손이나 제품 불량을 미연에 방지할 수 있다. 이 결과, 액체 누출 검출 장치(10)는, 이 장치가 구비되는 제조 장치(11)의 생산성의 저하를 저감시킬 수 있다.
(2) 액체 누출 검출 장치(10)는, 제조 장치(11)로부터의 소량의 누출된 액체(W)를 검출하면, 제조 장치(11)로부터 공급되는 H레벨(소정 시간)의 동기 신호(Ss)에 동기하여 제조 장치(11)를 정지시킨다. 따라서 액체 누출 검출 장치(10)는, 제조 장치(11)로부터의 소량의 누출된 액체(W)를 검출하면, 제조 장치(11)가 진행 중이던 작업이 종료되는대로, 제조 장치(11)를 정지할 수 있다. 이 결과, 액체 누출 검출 장치(10)는, 이 장치가 구비되는 제조 장치(11)의 생산성 저하를 더욱 더 저감시킬 수 있다.
(3) 액체 누출 검출 장치(10)는, 그 하면(20a)의 중앙에 오목하게 설치된 원형 오목부(20b)를 가지며, 원형 오목부(20b) 내에 누설된 액체(W)가 유입되어 있는지 여부를 검출함으로써 누출된 액체(W)의 양을 판단한다. 따라서 액체 누출 검출 장치(10)의 하면(20a)을 오목하게 설치한 것만으로, 제조 장치(11)로부터의 소량의 누출된 액체(W)가 있을 때에 유입되는 환상 하면(20c)과, 제조 장치(11)로부터의 대량의 누출된 액체(W)가 있을 때에 유입되는 원형 오목부(20b)를 용이하게 형성할 수 있다.
<제2 실시형태>
제1 실시형태에서는, 액체 누출 검출 장치(10)는, 제조 장치(11)로부터의 소량의 누출된 액체(W)를 제1 도입부(25)의 위치에서 검출하면, 제조 장치(11)를 진행 중인 작업을 종료한 후에 정지시켜서, 제조 장치(11)로부터의 대량의 누출된 액체(W)를 제2 도입부(26)의 위치에서 검출하면, 제조 장치(11)를 즉시 정지시켰다.
제2 실시형태에서는, 액체 누출 검출 장치(50)는, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)를 2개의 도입부 위치에서 검출하는 시간차에 따라, 제조 장치(11)를 정지시키는 타이밍을 변경하도록 되어 있다.
이하, 제2 실시형태의 액체 누출 검출 장치(50)에 대하여, 도 10 및 도 11에 따라, 제1 실시형태와의 상이점을 중심을 하여 설명하고자 한다. 또한, 상술한 도 1 내지 도 9에서 나타낸 부재와 동일한 부재에는 각각 동일한 부호로 나타내고, 이들 각 요소에 대해서는 설명의 편의상 그 설명을 생략한다.
액체 누출 검출 장치(50)의 기대(20)의 하면(20a)은, 제1 실시형태와 달리, 오목하게 설치되어 있지 않다. 즉 액체 누출 검출 장치(50)에는 제1 실시형태의 제2 도입부(26)가 설치되어 있지 않다. 대신, 액체 누출 검출 장치(50)는, 기대(20)의 하면(20a)에 있어서 기대(20)의 중심점을 사이에 두고 제2 도입부(25)와 대칭하는 위치에 설치되는 제3 도입부(51)를 갖는다. 제3 도입부(51)는, 제1 도입부(25)와 같은 구성이기 때문에, 그 상세한 설명은 생략한다. 또한 도 10에서 나타내듯이, 제3 투광 수단(40c) 및 제3 수광 수단(41c)은, 센서 본체(51)의 내부에 있어서, 액체 누출 검출 장치(10)의 하면에서 봐서 제3 도입부(51)의 위치에 설치된다.
도 11에서 나타내듯이, 제3 검출 수단(42c)은, 제1 검출 수단(42a)과 동일하게, 제3 수광 수단(41c)으로부터 제3 수광 신호(Sr3)를 받는다. 제3 검출 수단(42c)은, 그 제3 수광 신호(Sr3)와 미리 설정된 제1 기준 수단(Vk1)을 비교하여, 그 비교 결과에 따라 제3 검출 신호(Sd3)를 생성한다. 또한 제2 실시형태에서는, 제1 투광 수단(40a), 제1 수광 수단(41a) 및 제1 검출 수단(42a)이, 제1 액체 누출 검지부를 구성하고, 제3 투광 수단(40c), 제3 수광 수단(41c) 및 제3 검출 수단(42c)이, 제2 액체 누출 검지부를 구성한다.
예를 들면, 제3 검출 수단(42c)은, 제1 기준 전압(Vk1) 이상의 전압값을 갖는 제3 수광 신호(Sr3)를 수신하면, 제3 도입부(51)와 바닥면(12)과의 틈으로 누출된 액체(W)가 유입되어 있지 않다고 간주하여 L레벨(비검출 모드)의 제3 검출 신호(Sd3)를 생성한다. 반대로 제3 검출 수단(42c)은, 제1 기준 전압(Vk1)보다 작은 전압값을 갖는 제3 수광 신호(Sr3)를 수신하면, 제3 도입부(31)와 바닥부(12)와의 틈으로 누출된 액체(W)가 유입되어 있다고 판정하여 H레벨(검출 모드)의 제3 검출 신호(Sd3)를 생성한다.
즉, 제1 및 제3 검출 신호(42a, 42c)는, 제1 및 제3 도입부(25, 51)와 바닥면(12)의 틈으로 누출된 액체(W)가 유입되어 있는지 여부를 각각 검출하고, 그 검출 결과에 따른 제1 및 제3 검출 신호(Sd1, Sd3)를 각각 생성한다. 도 11에서 나타내듯이, 제1 및 제3 검출 신호(Sd1, Sd3)는, 시간차 측정 수단(52) 및 출력 제어 수단(43)에 공급된다.
시간차 측정 수단(52)은, 제1 및 제3 검출 신호(Sd1, Sd3)를 입력하는 시간차(이하, '검출 시간차(C1)'라고 한다)를 측정하여, 그 검출 시간차(C1)에 따른 지연 제어 신호(Sc)를 출력 제어 수단(43)으로 공급한다.
예를 들면, 시간차 측정 수단(52)은, 검출 시간차(C1)가 짧아서 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)의 유출이 빠를수록, 지연 제어 신호(Sc)의 전압값을 작게 한다. 반대로, 시간차 측정 수단(52)은, 검출 시간차(C1)가 길어서 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)의 유출이 느릴수록, 지연 제어 신호(Sc)의 전압값을 크게 한다.
출력 제어 수단(43)은, 제1 및 제3 검출 수단(42a, 42c)으로부터 제1 및 제3 검출 신호(Sd1, Sd3), 및 시간차 측정 수단(52)으로부터 지연 제어 신호(Sc)를 받는다. 출력 제어 수단(43)은, H레벨(검출 모드)의 제1 및 제3 검출 신호(Sd1, Sd3)를 수신하면, 지연 제어 신호(Sc)에 따라 정지 신호(St)를 지연시켜서 제조 장치(11)로 출력한다.
자세하게는, 출력 제어 수단(43)은, 지연 제어 수단(Sc)의 전압값이 작을수록, H레벨(정지 모드)의 정지 신호(St)를 제조 장치(11)로 출력할 때까지의 지연 시간을 짧게 한다. 반대로, 출력 제어 수단(43)은, 지연 제어 수단(Sc)의 전압값이 클수록, H레벨(정지 모드)의 정지 신호(St)를 제조 장치(11)로 출력할 때까지의 지연 시간을 길게 한다.
즉, 검출 시간차(C1)가 짧아서 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)의 유출이 빠를 경우, 바로 공장 시설의 파손이나 제품의 불량으로 이어질 우려가 있기 때문에, 출력 제어 수단(43)은, 제조 장치(11)를 빨리 정지 시킨다. 반대로, 검출 시간차(C1)가 길어서 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)의 유출이 느릴 경우, 바로 공장 시설의 파손이나 제품의 불량으로 이어지지 않기 때문에, 출력 제어 수단(43)은, 제조 장치(11)를 늦게 정지 시킨다.
이상 기술한 바와 같이, 본 실시형태에 따르면, 이하의 효과를 낸다.
(1) 액체 누출 검출 장치(50)는, 그 하면(20a)에 제1 및 제3 도입부(25, 51)를 구비하였다. 그리고 액체 누출 검출 장치(50)는, 제1 도입부(25)에서 누출된 액체(W)가 검출되는 시간과 제3 도입부(51)에서 누출된 액체(W)가 검출되는 시간과의 시간차(C1)가 길수록, 제조 장치(11)를 정지시키는 타이밍을 늦춘다. 반대로, 시간차(C1)가 짧을수록, 제조 장치(11)를 정지하는 타이밍을 빠르도록 했다.
따라서 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)의 누출된 액체가 느릴수록, 제조 장치(11)의 정지를 늦춰서 제조 시간을 길게 할 수 있다. 그 결과, 제1 실시형태에 비해, 제조 장치(11)로부터의 누출된 액체(W)를 검출했을 때에 제조 장치(11)의 가동 시간을 길게 하여, 제조 시간을 길게 할 수 있다. 이로써, 검출 장치가 구비되는 제조 장치(11)의 생산성의 저하를 더욱 더 저감시킬 수 있다.
또한, 상기 실시형태는, 이하의 형태로 실시할 수도 있다.
· 각 실시형태에서는, 액체 누출 검출 장치(10)는, 원기둥 형상으로 형성되어 있으나, 다각형 형상으로 형성할 수도 있다. 이와 같이 하여도, 상기 실시형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.
· 제1 실시형태에서는, 출력 제어 수단(43)은, 제1 검출 신호(Sd1)를 수신하고 있지 않은 경우라 하더라도, 제2 검출 신호(Sd2)를 수신한 경우에 바로 정지 신호(St)를 출력하도록 할 수도 있다. 예를 들면, 대량의 누출된 액체(W)가 발생한 경우, 누출된 액체(W)가 흐르는 방향에 의존하여, 제2 검출 수단(42b)만으로 누출된 액체(W)가 검출된다고 하는 것도 생각할 수 있다. 따라서 안전을 기하기 위해, 출력 제어 수단(43)은, 제1 및 제2 검출 신호(Sd1, Sd2)를 수신할 때뿐만 아니라, 제2 검출 신호(Sd2)만을 수신할 때에도, 정지 신호(St)를 바로 제조 장치(11)로 출력하는 것이 바람직하다.
· 제1 실시형태에서는, 액체 누출 검출 장치(10)는, 제1 도입부(25)에서 누출된 액체(W)를 검출하면, 진행 중이던 작업의 종료 후에 제조 장치(11)를 정지시켰었다. 이에 한정되지 않고, 제1 도입부(25)에서 누출된 액체(W)를 검출하여 제조 장치(11)를 정지시키는 타이밍은 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 액체 누출 검출 장치(10)는, H레벨의 제1 검출 신호(Sd1)를 제1 검출 수단(42a)으로부터 수신한 후, H레벨의 동기 신호(Ss)를 수신하는 임의의 타이밍(즉, 임의의 작업 종료 타이밍)으로 제조 장치(11)를 정지시킬 수도 있다.
· 제1 실시형태에서는, 환상 하면(20c)에 제1 도입부(25)가 설치되어 있으나, 누출된 액체(W)를 검출하는 복수의 도입부를 환상 하면(20c)에 둘레 방향을 따라 등간격으로 설치될 수도 있다. 이에 따라, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 누출된 액체(W)가 유입되는 곳과 도입부와의 거리가 가까워진다. 따라서 액체 누출 검출 장치(10)는, 누출된 액채(W)를 도입부에서 빨리 검출할 수 있다.
· 제1 실시형태에서는, 액체 누출 검출 장치(10)의 기대(20)의 하면(20a)의 중앙부에 원형 오목부(20b)를 형성하고, 그 원형 오목부(20b)에 제2 도입부(26)를 설치했었다. 그러나 오목부(20b)의 형상은 원 형상으로 한정되지 않는다. 즉, 오목부는, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)보다도 큰 틈을 갖는 임의의 형상(예를 들면, 직사각 형상)으로 형성할 수 있다. 또한, 하면(20a)에 설치되는 오목부의 수는 하나로 한정되지 않고, 2개 이상일 수도 있다.
예를 들면, 제1 도입부(25)로부터 제2 도입부(26)까지의 사이에 있어서 환상 하면(20c)에 적어도 하나의 환상의 홈을 형성할 수도 있다. 또한, 예를 들면, 오목부(20b)는, 환상 하면(20c)의 내측 단부에서 기대(20)의 중앙 위치로 향하여 하면(20a)과 바닥면(12)과의 틈이 서서히 커지도록 경사지게 형성되는 원추 형상의 오목부일 수도 있다.
· 제1 실시형태에서는, 액체 누출 검출 장치(10)는, 제1 도입부(25)에서 누출된 액체(W)를 검출하면, 제조 장치(11)로부터 소량의 누출된 액체(W)가 누출된 것을 검출하고, 동기 신호(Ss)에 동기하여 제조 장치(11)를 정지시켰었다. 이에 한정되지 않고, 액체 누출 검출 장치(10)는, 제1 도입부(25)에서 누출된 액체(W)를 검출하면, 제조 장치(11)에서 소량의 누출된 액체(W)가 누출된 것을 알리는 경보 신호를 제조 장치(11)로 출력할 수도 있다. 이 경우, 누출된 액체 누출 검출 장치(10)는, 제조 장치(11)로부터 누출된 액체(W)가 누출된 것을 제조 장치(11)로 알린다. 그 후, 액체 누출 검출 장치(10)는, 제2 도입부(26)에서 누출된 액체(W)를 검출하면, 제조 장치(11)로부터 대량의 누출된 액체(W)가 유출되었다고 판단하여 제조 장치(11)를 정지시킨다.
· 제1 실시형태에서는, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 유입된 누출된 액체(W)를 모세관 현상에 의해 제1 도입부(25)까지 유입시켰었다. 이에 한정되지 않고, 환상 하면(20c)에 제1 도입부(25)에서 둘레 방향을 따라 환상(또는 반 환상)의 돌출부(25)를 설치하여, 환상 하면(20c)과 바닥면(12)과의 틈(D1)으로 유입된 누출된 액체(W)를 환상의 돌출부로 안내시켜서 제1 도입부(25)로 유입시킬 수도 있다. 이 돌출부는, 환상 하면(20c)으로 유입되는 유출된 액체(W)를 제1 도입부(25)의 오목부(28)까지 가이드하여, 제1 도입부(25)의 위치에서 누출된 액체(W)의 검출을 신속히 수행하도록 돕는다. 그 결과, 제1 도입부(25)의 위치에서 처음으로 누출된 액체(W)를 검출하고 난 다음에 제2 도입부(26)의 위치에서 누출된 액체(W)를 검출하기까지의 시간을 길게 할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면 제조 장치(11)의 정지 타이밍을 유난하게 설정할 수 있는 등, 누출된 액체(W)의 발생에 대한 제어성을 높일 수 있다.
· 제2 실시형태에서는, 액체 누출 검출 장치(50)는, 제1 도입부(25)에서 누출된 액체(W)가 검출되는 시간과 제3 도입부(51)에서 누출된 액체(W)가 검출되는 시간과의 시간차(C1)에 기초하여, 제조 장치(11)를 정지시키는 타이밍을 변경했었다. 이에 한정되지 않고, 액체 누출 검출 장치(50)는, 검출 시간차(C1)에 근거하여, 제조 장치(11)의 일련의 동작에 있어서의 각 소요 시간의 단위로 제조 장치(11)를 정지시킬 수도 있다.
이 제조 방법에 있어서는, 액체 누출 검출 장치(50)는, 제조 장치(11)의 진행 중의 작업이 종료되자마자 제조 장치(11)를 정지한다. 그 결과, 액체 누출 검출 장치(10)는, 검출 장치가 구비되는 제조 장치(11)의 생산성 저하를 더욱 저감시킬 수 있다.
· 나아가, 검출 시간차(C1)가 기준 시간보다 길 때, 액체 누출 검출 장치(50)가 제조 장치(11)의 정지 제어를 개시하고, 반대로, 검출 시간차(C1)가 기준 시간보다 짧으면, 액체 누출 검출 장치(50)가 제조 장치(11)를 긴급 정지시키도록 할 수도 있다.
· 더 나아가, 액체 누출 검출 장치(50)는, 검출 시간차(C1)에 기초하여, 제조 장치(11)로부터의 동기 신호(Ss)에 동기하여 정지 신호(St)를 출력하여 제조 장치(11)를 정지시킬 수도 있다.
이 제어 방법에서는, 액체 누출 검출 장치(50)는, 제조 장치(11)의 진행 중의 작업이 종료될 때마다, 제조 장치(11)를 정지할 수 있다. 이 결과, 액체 누출 검출 장치(50)는, 검출 장치가 구비되는 제조 장치(11)의 생산성의 저하를 더욱 더 저감시킬 수 있다.
· 제2 실시형태에서는, 액체 누출 검출 장치(50)의 기대(20)에는, 제1 실시형태와 달리, 제2 도입부(26)가 설치되어 있지 않았다. 이에 한정되지 않고, 액체 누출 검출 장치(50)의 기대(20)에, 제1 실시형태와 같이, 제2 도입부(26)가 설치될 수도 있다. 이 경우, 제2 실시형태의 제1 액체 누출 검지부(40a, 41a, 42a) 및 제2 액체 누출 검지부(40c, 41c, 42c)에 더해, 제1 실시형태의 제2 투광 수단(40b), 제1 수광 수단(41b) 및 제1 검출 수단(42a)이, 제3 액체 누출 검지부로서 액체 누출 검출 장치(50)에 설치되게 된다. 이 구성에서는, 액체 누출 검출 장치(50)는, 제1 실시형태와 동일하게, 제2 도입부(26)에서 누출된 액체(W)를 검출하면, 즉시 제조 장치(11)를 정지시킬 수 있다.
· 제2 실시형태에서, 제3 도입부(51)를 설치하는 위치는, 도 10에서 나타내는 위치에 한정되지 않는다. 즉, 제3 도입부(51)의 위치는, 기대(20)의 중심을 사이에 두고 제1 도입부(25)와 대칭하는 위치에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제3 도입부(51)는, 기대(20)의 하면(20a)의 중앙 부근에 설치될 수도 있다.

Claims (10)

  1. 액체 누출의 발생을 검지하는 액체 누출 검출 장치로,
    액체 누출을 도입하는 제1 도입부;
    상기 제1 도입부 내로 도입된 누출된 액체를 검출하여 제1 검출 신호를 생성하는 제1 액체 누출 검지부;
    상기 제1 도입부와는 다른 위치에서 누출된 액체를 도입하는 제2 도입부;
    상기 제2 도입부 내로 도입된 누출 액체를 검출하여 제2 검출 신호를 생성하는 제2 액체 누출 검지부; 및
    상기 제1 및 제2 검출 신호들에 기초하여, 상기 누출된 액체의 발생량에 따라 액체 누출 검출 신호를 출력하는 출력 제어부를 구비하고,
    상기 출력 제어부는,
    상기 제1 검출 신호를 수신하고 나서 소정의 시간이 경과한 후에 상기 액체 누출 검출 신호를 출력하고,
    상기 제2 검출 신호를 수신하면 상기 액체 누출 검출 신호를 곧바로 출력하는 것을 특징으로 하는 액체 누출 검출 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력 제어부는, 상기 제1 검출 신호의 수신 후에 상기 제2 검출 신호를 수신하면, 상기 액체 누출 검출 신호를 곧바로 출력하는 것을 특징으로 하는 액체 누출 검출 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 도입부는, 상기 액체 누출의 발생원에 대하여 상기 제1 도입부보다도 떨어진 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 누출 검출 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력 제어부는, 외부로부터 동기 신호를 수신하고, 해당 동기 신호에 동기하여 상기 액체 누출 검출 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 액체 누출 검출 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 액체 누출 검출 장치와 바닥면과의 사이에는 틈이 설치되어 있으며,
    상기 제1 도입부는, 상기 액체 누출 검출 장치의 하면의 가장자리부에 설치되며,
    상기 제2 도입부는, 상기 액체 누출 검출 장치의 상기 하면의 중앙에 오목하게 설치된 오목부 내에 설치되어 있는 것을 특징을 하는 액체 누출 검출 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 오목부에는, 상기 오목부의 내면으로부터 상기 액체 누출 검출 장치 내를 관통하여 외부와 연통되는 공기구멍이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 누출 검출 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 액체 누출 검지부가 상기 누출된 액체를 검출한 시간과, 상기 제2 액체 누출 검지부가 상기 누출된 액체를 검출한 시간과의 시간차를 측정하는 시간 간격 측정부를 더 포함하며,
    상기 출력 제어부는, 상기 제1 및 제2 검출 신호와, 상기 시간 간격 측정부에 의해 측정된 상기 시간차에 기초하여, 상기 액체 누출 검출 신호를 출력하는 타이밍을 변경하는 것을 특징으로 하는 액체 누출 검출 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 도입부와는 다른 위치에서 누출된 액체를 도입하는 제3 도입부; 및
    상기 제3 도입부 내로 도입된 누출된 액체를 검출하여 제3 검출 신호를 생성하는 제3 액체 누출 검지부를 더 포함하며,
    상기 출력 제어부는,
    상기 제3 액체 누출 검지부가 누출된 액체를 검출하면 즉시 상기 액체 누출 검출 신호를 출력하는 것을 특징을 하는 액체 누출 검출 장치.
  10. 제 1 항 및 제 3 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 액체 누출 검지부는,
    상기 제1 도입부로 광을 조사하는 제1 투광 수단;
    상기 제1 투광 수단으로부터의 광을 상기 제1 도입부를 통하여 수광하는 제1 수광 수단; 및
    상기 제1 수광 수단에서의 수광량에 기초하여 상기 누출된 액체를 검출하여 상기 제1 검출 신호를 생성하는 제1 검출 수단을 포함하며,
    상기 제2 액체 누출 검지부는,
    상기 제2 도입부로 광을 조사하는 제2 투광 수단;
    상기 제2 투광 수단으로부터의 광을 상기 제2 도입부를 통하여 수광하는 제2 수광 수단; 및
    상기 제2 수광 수단에서의 수광량에 기초하여 상기 누출된 액체를 검출하여 상기 제2 검출 신호를 생성하는 제2 검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 누출 검출 장치.
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