KR101498106B1 - 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치, 및 세정 품질 관리 방법 - Google Patents

전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치, 및 세정 품질 관리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치, 및 세정 품질 관리 방법을 제공한다.
본 발명의 실시형태는, 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치, 및 세정 품질 관리 방법에 관한 것이다.
세정 배수의 전기 전도율을 연속적으로 측정해서, 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질의 양부를 자동적으로 판정하는 것이 가능한, 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 유량 측정이 가능한 일정량 이상의 세정 배수를 흘려서 세정 배수의 유량을 측정하는 전자 유량계(2a)와, 전자 유량계의 검출 신호로부터 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질을 자동적으로 판정하는 세정 품질 관리 장치(2b)를 구비하고,
세정 품질 관리 장치(2b)는, 전자 유량계(2a)의 검출 신호의 S/N비를 측정하는 S/N비 측정부(2b1)와, 미리 설정된 전기 전도율의 세정 배수를 사용해서 S/N비 측정부의 출력과 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시킨 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 구비하고, 미리 정한 전기 전도율 이하로 되었을 경우에 세정 완료를 출력하는 세정 완료 판정부(2b2)를 구비하고, 검출 신호의 S/N비의 값으로부터, 세정 배수의 세정 품질의 양부로부터 세정이 완료되었는지의 여부를 자동적으로 판정한다.

Description

전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치, 및 세정 품질 관리 방법{CLEANING QUALITY MANAGEMENT DEVICE AND CLEANING QUALITY MANAGEMENT METHOD USING ELECTROMAGNETIC FLOWMETER}
본 발명의 실시형태는 전자(電磁) 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치, 및 세정 품질 관리 방법에 관한 것이다.
전자 유량계는 도전성을 갖는 유체의 유량을 계측하는 장치이다. 전자 유량계는, 유속을 검출하는 전극이 유체를 흘리는 측정관의 내벽부에 설치되며, 유체에 접액(接液)한 상태로, 전기 전도율이 3㎲/㎝ 이상인 유체의 측정에 사용되는 일반적인 타입과, 전극이 측정관 간벽(間壁) 외부에 설치되며, 유체에 비(非)접액 상태로, 전기 전도율이 0.01㎲/㎝ 이상인 순수(純水)의 전기 전도율이더라도 측정이 가능한 높은 입력 임피던스를 구비하는 용량식이라 불리는 타입이 있다.
이러한 전자 유량계는, 유체를 흘리는 측정관의 내벽에 가동부가 없기 때문에, 전기 전도율을 상승시키는(불순물 함유량이 증가하는) 요인이 적고, 또한 가동 부품이 없기 때문에, 반도체 제조 공정의 각 처리 공정에 있어서의 세정 장치, 약품 농도 조정 장치 등, 각종 세정 시의 유량 측정에 사용되고 있다.
예를 들면, 반도체 웨이퍼의 제조 공정에서는, 오버플로우 방식의 순수 공급 장치가 사용되어, 복수의 세정조(洗淨槽)를 사용해서 웨이퍼가 순수로 세정되고 있다. 이 세정조에의 순수 공급량을 제어하기 위해서 유량계가 사용되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
또한, 잔류 염소나 그 외 약품의 잔류 농도를 측정하는 잔류 염소 측정 장치에 있어서는, 순수에 의한 농도 조합이 행해지고, 그 순수의 유량 제어에 유량계가 사용되고 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).
또한, 반도체 웨이퍼 표면의 폴리싱(polishing) 장치에 있어서도, 연마제의 공급이나 세정에 공급하는 순수의 제어에 유량계가 사용되고 있다(예를 들면, 특허문헌 3 참조).
일본국 특개평5-144787호 공보 일본국 특개평6-194337호 공보 일본국 특개2000-202765호 공보
반도체 웨이퍼 제조 공정의 세정에 있어서, 반도체의 세정 품질을 관리하고, 또한 세정에 사용하는 순수의 양을 최소가 되도록 삭감하는 것은 순수 제조 비용 및 반도체 제조의 시간을 단축하는데 중요하다.
그러나, 특허문헌 1에 나타내는 바와 같은 오버플로우 방식의 복수의 세정조를 사용해서 웨이퍼를 순수로 세정하는 방법에 있어서는, 웨이퍼 처리 매수, 및 처리하는 세정 품질의 정도가, 처리 공정마다 조건이 상이하므로 세정 품질의 양부(良否)를 자동적으로 판단하는 것이 곤란했다.
그 때문에, 세정 공정에서의 품질은, 일정량 이상의 대량의 순수를 사용하는 방법이나, 또는 세정 후의 배수의 전기 전도율을 매번 측정해서 배수가 순수가 될 때까지 세정을 계속하는 관리 방법이 채용되어 왔지만, 대량의 순수를 소비하는 문제나, 세정 품질의 양부 판정에 시간이 걸리는 문제가 있었다.
또한, 특허문헌 2에 나타내는 바와 같은 잔류 농도 제어의 경우에는, 혼합품이나 세정 후의 배수의 약품 농도가 일정 이하가 될 때까지 순수를 공급해서 희석 처리를 계속하므로, 역시 혼합액이나 세정 배수의 품질을 정밀하게 자동적으로 판정하고자 하는 과제가 있었다.
또한, 특허문헌 3에 개시된 웨이퍼의 폴리싱 공정의 세정에서는, 세정 후의 배수의 전기 전도도를 매번 측정해서 관리 기준 이하의 값의 전기 전도율이 될 때까지 세정을 계속하므로, 시간이 걸리는 문제가 있었다.
본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 저(低)전기 전도율인 유체이더라도 측정이 가능한 전자 유량계의 특성을 이용해서, 각종 세정 공정에서의 세정 배수의 전기 전도율을 매번 측정하지 않고, 전자 유량계의 검출 신호와 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시켜 두고, 세정 배수의 전기 전도율을 연속적으로 측정해서, 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질의 양부를 자동적으로 판정하는 것이 가능한, 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치, 및 세정 품질의 관리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 실시형태의 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치는, 유량 측정이 가능한 일정량 이상의 세정 배수를 흘려서 세정 배수의 유량을 측정하는 전자 유량계와, 상기 전자 유량계의 검출 신호로부터 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질을 자동적으로 판정하는 세정 품질 관리 장치를 구비하고, 상기 세정 품질 관리 장치는, 상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비(比)를 측정하는 S/N비 측정부와, 미리 설정된 전기 전도율의 세정 배수를 사용해서 상기 S/N비 측정부의 출력과 상기 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시킨 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 구비하며, 미리 정한 전기 전도율 이하로 되었을 경우에 세정 완료를 출력하는 세정 완료 판정부를 구비하고, 상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비의 값으로부터, 상기 세정 배수의 세정 품질의 양부로부터 세정이 완료되었는지의 여부를 자동적으로 판정하도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 실시형태의 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치는, 유량 측정이 가능한 일정량 이상의 세정 배수를 흘려서 세정 배수의 유량을 측정하는 제1 및 제2 전자 유량계와, 상기 제1 및 제2 전자 유량계의 검출 신호로부터 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질을 자동적으로 판정하는 세정 품질 관리 장치와, 상기 세정 품질 관리 장치의 외부에 구비하는 세정 장치로부터 공급되는 배수 계통 전환 신호에 의해, 상기 세정 배수를 상기 제1 전자 유량계, 또는 상기 제2 전자 유량계에 흘리도록 전환하는 세정 배수 전환부를 구비하고, 상기 전자 유량계는, 상기 세정 배수에 접액하는 전극을 구비하는 접액형 제1 전자 유량계와, 비접액형 전극을 구비하는 용량식의 제2 전자 유량계로 하고, 상기 세정 품질 관리 장치는, 상기 제1 및 제2 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비를 측정하는 S/N비 측정부와, 미리 설정된 전기 전도율의 세정 배수를 사용해서 상기 S/N비 측정부의 출력과 상기 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시킨, 상기 제1 및 제2 전자 유량계에 대응하는 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 구비하며, 미리 정한 전기 전도율 이하로 되었을 경우에 세정 완료를 출력하는 세정 완료 판정부를 구비하고, 상기 배수 계통의 전환 신호가 있었을 경우, 상기 세정 배수 전환부는 상기 세정 배수의 공급 계통을 상기 제1 전자 유량계, 또는 상기 제2 전자 유량계로 전환하고, 상기 세정 품질 판정부는, 상기 배수 계통의 전환 신호에 대응하는 계통의 상기 세정 배수의 세정 품질을, 자동적으로 판정하도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 실시형태의 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 방법은, 유량 측정이 가능한 일정량의 세정 배수를 흘려서 세정 배수의 유량을 측정하는 전자 유량계와, 상기 전자 유량계의 검출 신호로부터 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질을 자동적으로 판정하는 세정 품질 관리 장치를 구비하는 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 방법으로서, 미리 정한 세정 품질의 세정 배수를 사용해서, 상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비와, 상기 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시킨 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 작성하는 스텝과, 상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비를 측정하는 스텝과, 당해 측정한 상기 S/N비와, 미리 대응시킨 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 참조해서, 미리 정한 전기 전도율 이하가 되었을 경우에 세정 완료를 출력하는 스텝을 포함하고, 상기 전자 유량계의 S/N비의 값으로부터 상기 세정 배수의 전기 전도율을 구하여, 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질을 자동적으로 판정하도록 한 것을 특징으로 한다.
도 1은 제1 실시형태의 세정 품질 관리 장치의 구성도.
도 2는 전기 전도율과 S/N의 대응을 나타내는 특성도.
도 3은 제2 실시형태의 세정 품질 관리 장치의 구성도.
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조해서 설명한다.
(제1 실시형태)
도 1 및 도 2를 참조해서 제1 실시형태의 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치에 대하여 설명한다.
우선, 본원의 측정 원리에 대하여 설명한다. 일반적으로, 세정 품질은, 세정 배수에 함유되는 불순물의 양에 의해, 전기 전도율이 바뀐다. 즉, 불순물이 적을수록 전기 전도율은 낮아지고, 이상적인 순수에 가까워지면 그 전기 전도율도 0.05㎲/㎝에 가까워진다.
따라서, 고(高)입력 임피던스의 전자 유량계여도, 순수에 가까운 영역에서의 유량 측정은, 검출 신호가 저하해서 측정에 필요한 S/N비가 얻어지지 않게 된다.
따라서, 본 실시형태의 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치의 측정 원리는, 미리 설정된 전기 전도율의 세정 배수를 사용해서 S/N비와 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시킨 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 작성해 두고, 유량 측정이 가능한 일정량 이상의 세정 배수가 흐르고 있는 상태에 있어서, 세정 배수의 유량을 측정하는 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비를 측정한다.
그리고, 순수에 가까운 영역에 있어서, S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 참조하여, 이 측정된 S/N비가 미리 정한 세정이 완료된 것으로 간주되는 전기 전도율 이하로 된 것을 판정해서, 세정 완료를 출력하도록 한 것이다.
다음으로, 제1 실시형태의 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치의 구성에 대하여 도 1을 참조해서 설명한다.
제1 실시형태의 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치는, 유량 측정이 가능한 일정량 이상의 세정 배수를 흘리는 세정 장치(1)로부터의 세정 배수의 유량을 측정하는 전자 유량계(2a)와, 전자 유량계(2a)의 검출 신호로부터 세정 품질의 양부를 판정하는 세정 품질 관리 장치(2b)를 구비한다.
세정 품질 관리 장치(2b)는, 전자 유량계(2a)의 검출 신호의 S/N비를 측정하는 S/N비 측정부(2b1)와, 미리 설정된 전기 전도율의 세정 배수를 사용해서 S/N비 측정부(2b1)의 출력값과 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시킨 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 구비하며, 미리 정한 전기 전도율 이하로 되었을 경우에 세정 완료를 출력하는 세정 완료 판정부(2b2)를 구비한다.
측정되는 세정 배수를 배출하는 세정 장치(1)는, 일반적으로 특허문헌 1∼3에 개시된 바와 같은 피세정물의 세정제를 공급하는 세정 탱크 등을 구비하는 세정제 공급부(1a)와, 세정 중에 사용하는 순수 탱크 등을 구비하는 순수 공급부(1b)와, 순수 공급부(1b)로부터 공급된 순수를 사용해서, 피세정물을 세정하는 세정부(1c)를 구비하며, 세정 배수를 장치 밖으로 배출한다.
세정 장치(1)에 의한 세정은, 피측정물의 세정 공정마다, 미리 사용할 세정제 및 순수의 공급량이 정해져 있으며, 세정 배수의 유량은, 세정 품질 판정 시에는 미리 정한 일정량 이상의 유량이 흐르고 있는 것으로 한다. 또한, 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 배수의 기준 품질은, 미리 정해져 있는 것으로 한다.
다음으로, 이러한 측정 원리에 의거한 세정 품질 관리 장치(2)의 동작에 대하여 설명한다. 우선, S/N비·전기 전도율 판정 테이블의 작성 방법에 대하여 도 2를 참조해서 설명한다.
도 2는, S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 작성하기 위한, 전기 전도율과 전자 유량계의 검출 신호의 특성을 모의적으로 나타낸 것이다. 도 2에 있어서, 가로축은 세정 배수의 전기 전도율(㎲/㎝)을, 세로축은 전자 유량계의 검출 신호로부터 구한 S/N을 나타낸다.
제1 전자 유량계는, 예를 들면 세정 배수에 접액하는 전극을 구비하는 접액형 타입의 특성을, 또한 제2 전자 유량계는, 비접액형 전극을 구비하는 용량식이라 불리는 고입력 임피던스 타입의 특성을 나타낸다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 전자 유량계에서의 검출 신호와 전기 전도율의 대응이 가능한 S/N비의 범위는 화살표(A1)이며, 이때의 대응하는 전기 전도율의 범위는 ρ1이다. 또한, 제2 전자 유량계에서의 검출 신호와 전기 전도율의 대응이 가능한 S/N비의 범위는 화살표(A2)이며, 이때의 대응하는 전기 전도율의 범위는 ρ2이다.
세정 배수의 품질 판정은, 이 ρ1, 및 ρ2의 각각의 범위에 있어서, 예를 들면 ρ1 내의 P1, ρ2 내의 P2의 각 한 점, 또는 도시하지 않은 복수 점이 설정된다.
이 품질 판정의 전기 전도율의 범위는, 전자 유량계의 특성에 따라 상이하므로, 세정 품질을 관리하기 위한 미리 설정된 전기 전도율의 세정 배수를 사용해서, S/N비 측정부(2b1)의 출력값과 세정 배수의 전기 전도율을 대응시켜, S/N비·전기 전도율 판정 테이블로서 구해 둔다.
또한, S/N비와 전기 전도율의 대응 관계는 선형이 아니어도 되며, 세정 완료 판정 포인트에 대하여, 요구되는 세정 관리 품질(정밀도)의 재현성이 있으면 된다.
또한, S/N비의 측정은, S/N비의 저하 원인이, 세정 배수가 유량이 저하했을 경우나 흐르고 있지 않을 경우와, 전기 전도율이 저하했을 경우를 식별 가능하게 하기 위해서, 미리 세정 장치(1)측에서 안정된 유량 측정이 가능한 유량을 보증해 두는 것이 필요하다.
예를 들면, 도 2에 있어서는, 전기 전도율과의 대응이 가능한 S/N비의 범위(A1, A2)는, 1<대응 가능한 S/N비<3이므로, 전기 전도율이 저하되어 있지 않은 세정 배수에 있어서, S/N비 3 이상의 유량을 구해 두고, 전기 전도율 측정 시에는, 이 유량 이상의 세정 배수를 흘려서 측정한다.
다음으로, 세정 품질 관리 장치(2)의 동작에 대하여 설명한다. 세정 장치(1)로부터의 세정 배수는, 배관을 통해서 전자 유량계(2a)에 공급되어 배출된다.
그리고, 세정이 개시되면 전자 유량계(2a)에서는, 유량의 측정을 행함과 함께, 그 검출 신호를 S/N비 측정부(2b1)에 보낸다.
S/N비 측정부(2b1)의 측정 방식은, 예를 들면 검출 신호를 파고(波高) 분석하고, 미리 정한 일정한 측정 시간 내의 미리 설정되는 파고값에서의 펄스 수를 카운트하는 파고 분석 펄스 카운트 방식이어도 된다. 여기에서는, 이 S/N비를 구하는 방법은, 개개의 전자 유량계의 측정 신호의 처리 방식에 따라 정의하면 되므로, 이 측정 방식은 한정되지 않는다.
그리고, S/N비 측정부(2b1)의 S/N비의 출력은, 세정 완료 판정부(2b2)에 보내지고, S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 참조하여, 미리 설정되는 세정 완료의 판정 기준이 되는 전기 전도율과 비교해서 세정이 완료되었는지의 여부를 판정한다.
또한, 세정 품질이 이상적인 순수에 가까운 저전기 전도율로 세정 완료 기준이 설정될 경우에는, 용량식의 전자 유량계를 사용함으로써, 측정 가능한 범위를 선택할 수 있다.
(제2 실시형태)
다음으로, 도 3을 참조해서, 제2 실시형태의 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치에 대하여 설명한다.
제2 실시형태의 제1 실시형태와 동일 부분에는, 동일한 부호를 부여하고 그 설명을 생략한다. 제2 실시형태가, 제1 실시형태와 상이한 점은, 제1 실시형태는, 세정 배수의 세정 완료를 1대의 전자 유량계에 의해 판정했지만, 제2 실시형태의 세정 품질 관리 장치는, 배수 계통 전환부(3)를 구비하고, 세정 장치(1)로부터의 세정 배수 계통의 전환 신호에 의거해서, 제1 및 제2 전자 유량계 중 어느 한쪽에 세정 배수를 공급하여, 세정 배수의 세정 품질을 광범위하게 자동적으로 판정하도록 한 것에 있다.
제2 실시형태의 전자 유량계에 의하면, 세정 배수의 계통을 자동적으로 전환함으로써, 단시간으로 세정 배수의 품질을 판정할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 따르면, 저전기 전도율의 유체이더라도 측정이 가능한 전자 유량계의 특성을 이용해서, 각종 세정 공정에서의 세정 배수의 전기 전도율을 매번 측정하지 않고, 전자 유량계의 검출 신호와 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시켜 두고, 세정 배수의 전기 전도율을 연속적으로 측정해서, 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질의 양부를 자동적으로 판정하는 것이 가능한, 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치, 및 세정 품질의 관리 방법을 제공할 수 있다.
본 발명의 몇 가지 실시형태를 설명했지만, 이들 실시형태는, 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 이들 신규인 실시형태는, 그 외의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함됨과 함께, 특허청구범위에 기재된 발명과 그 균등한 범위에 포함된다.

Claims (3)

  1. 유량 측정이 가능한 일정량 이상의 세정 배수(排水)를 흘려서 세정 배수의 유량을 측정하는 전자(電磁) 유량계와, 상기 전자 유량계의 검출 신호로부터 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질을 자동적으로 판정하는 세정 품질 관리 장치를 구비하고,
    상기 세정 품질 관리 장치는, 상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비를 측정하는 S/N비 측정부와, 미리 설정된 전기 전도율의 세정 배수를 사용해서 상기 S/N비 측정부의 출력과 상기 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시킨 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 구비하며, 측정된 상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비에 대응하는 전기 전도율이 미리 정한 전기 전도율 이하로 되었을 경우에 세정 완료를 출력하는 세정 완료 판정부를 구비하고,
    상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비의 값으로부터, 상기 세정 배수의 세정 품질의 양부(良否)로부터 세정이 완료되었는지의 여부를 자동적으로 판정하도록 한 것을 특징으로 하는 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치.
  2. 유량 측정이 가능한 일정량 이상의 세정 배수를 흘려서 세정 배수의 유량을 측정하는 제1 및 제2 전자 유량계와, 상기 제1 및 제2 전자 유량계의 검출 신호로부터 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질을 자동적으로 판정하는 세정 품질 관리 장치와,
    상기 세정 품질 관리 장치의 외부에 구비되는 세정 장치로부터 공급되는 배수 계통 전환 신호에 의해, 상기 세정 배수를 상기 제1 전자 유량계, 또는 상기 제2 전자 유량계에 흘리도록 전환하는 세정 배수 전환부를 구비하고,
    상기 전자 유량계는, 상기 세정 배수에 접액(接液)하는 전극을 구비하는 접액형 제1 전자 유량계와, 비접액형 전극을 구비하는 용량식의 제2 전자 유량계로 하고,
    상기 세정 품질 관리 장치는, 상기 제1 및 제2 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비를 측정하는 S/N비 측정부와, 미리 설정된 전기 전도율의 세정 배수를 사용해서 상기 S/N비 측정부의 출력과 상기 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시킨, 상기 제1 및 제2 전자 유량계에 대응하는 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 구비하며, 측정된 상기 제1 전자 유량계 또는 상기 제2 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비에 대응하는 전기 전도율이 미리 정한 전기 전도율 이하로 되었을 경우에 세정 완료를 출력하는 세정 완료 판정부를 구비하고,
    상기 배수 계통의 전환 신호가 있었을 경우, 상기 세정 배수 전환부는 상기 세정 배수의 공급 계통을 상기 제1 전자 유량계, 또는 상기 제2 전자 유량계로 전환하고,
    상기 세정 품질 판정부는, 상기 배수 계통의 전환 신호에 대응하는 계통의 상기 세정 배수의 세정 품질을, 자동적으로 판정하도록 한 것을 특징으로 하는 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 장치.
  3. 유량 측정이 가능한 일정량의 세정 배수를 흘려서 세정 배수의 유량을 측정하는 전자 유량계와, 상기 전자 유량계의 검출 신호로부터 세정이 완료되었는지의 여부인 세정 품질을 자동적으로 판정하는 세정 품질 관리 장치를 구비하는 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 방법으로서,
    미리 정한 세정 품질의 세정 배수를 사용해서, 상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비와, 상기 세정 배수의 전기 전도율을 미리 대응시킨 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 작성하는 스텝과,
    상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비를 측정하는 스텝과,
    당해 측정한 상기 S/N비와, 미리 대응시킨 S/N비·전기 전도율 판정 테이블을 참조해서, 측정된 상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비에 대응하는 전기 전도율이 미리 정한 전기 전도율 이하로 되었을 경우에 세정 완료를 출력하는 스텝을 포함하고,
    상기 전자 유량계의 검출 신호의 S/N비의 값으로부터, 상기 세정 배수의 세정 품질의 양부로부터 세정이 완료되었는지의 여부를 자동적으로 판정하도록 한 것을 특징으로 하는 전자 유량계를 사용한 세정 품질 관리 방법.
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