JP5978123B2 - 電磁流量計を使用した洗浄品質管理システム、及び洗浄品質管理方法 - Google Patents
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Description
方法に関する。
を検出する電極が流体を流す測定管の内壁部に設けられ、流体に接液した状態で、電気伝
導率が3μS/cm以上の流体の測定に用いられる一般的なタイプと、電極が測定管間壁
外部に設けられ、流体に非接液の状態で、電気伝導率が0.01μS/cm以上の純水の
電気伝導率でも測定が可能な高い入力インピーダンスを備える容量式と呼ばれるタイプと
、が有る。
上昇させる(不純物含有量増加する)要因が少なく、また、稼働部品が無いことから、半
導体製造工程の各処理工程における洗浄装置、薬品濃度調整装置など、各種の洗浄時の流
量測定に使用されている。
れ、複数の洗浄槽を用いてウェーハが純水で洗浄されている。この洗浄槽への純水供給量
を制御するために流量計が使用されている(例えば、特許文献1参照。)。
よる濃度調合が行われ、その純水の流量制御に流量計が使用されている。(例えば、特許
文献2参照)。
する純水の制御に流量計が使用されている(例えば、特許文献3参照。)。
用する純水の量を最小になるように削減することは純水製造コスト及び半導体製造の時間
を短縮する上で重要である。
ェーハを純水で洗浄する方法においては、ウェーハ処理枚数、及び処理する洗浄品質の程
度が、処理工程毎に条件が異なるので洗浄品質の良否を自動的に判断することが困難であ
った。
後の排水の電気伝導率を都度測定して排水が純水になるまで洗浄を継続する管理方法が採
用されてきたが、大量の純水を消費する問題や、洗浄品質の良否判定に手間がかかる問題
があった。
濃度が一定以下になるまで純水を供給して希釈処理を続けるので、やはり、混合液や洗浄
排水の品質を精度よく自動的に判定したいという課題があった。
の電気伝導度を都度測定して管理基準以下の値の電気伝導率となるまで洗浄を続けるので
、手間がかかる問題があった。
が可能な電磁流量計の特性を利用して、各種の洗浄工程での洗浄排水の電気伝導率を都度
測定することなく、電磁流量計の検出信号と洗浄排水の電気伝導率を予め対応付けしてお
き、洗浄排水の電気伝導率を連続的に測定して、洗浄が完了したか否かの洗浄品質の良否
を自動的に判定することが可能な、電磁流量計を使用した洗浄品質管理システム、及び洗
浄品質の管理方法を提供することを目的とする。
前記排水系統の切替え信号があった場合、前記排水系統の切替え部は前記洗浄排水の供給系統を対応する前記第1の電磁流量計、又は、前記第2の電磁流量計に切り替えるとともに、前記洗浄完了判定部は、対応する前記S/N比・電気伝導率判定テーブルに切り替え、前記洗浄完了判定部は、前記排水系統の切替え信号に対応する系統の前記洗浄排水の洗浄品質を、自動的に判定するようにしたことを特徴とする。
図1及び図2を参照して第1の実施形態の電磁流量計を使用した洗浄品質管理装置につ
いて説明する。
純物の量により、電気伝導率が変わる。即ち、不純物が少ないほど電気伝導率は低くなり
、理想的な純水に近くなるとその電気伝導率も0.05μS/cmに近くなる。
は、検出信号が低下して測定に必要なS/N比が得られなくなる。
された電気伝導率の洗浄排水を用いてS/N比と洗浄排水の電気伝導率と、を予め対応付
けしたS/N比・電気伝導率判定テーブルを作成しておき、流量測定が可能な一定量以上
の洗浄排水が流されている状態において、洗浄排水の流量を測定する電磁流量計の検出信
号のS/N比を測定する。
の測定されたS/N比が予め定める洗浄が完了したとみなされる電気伝導率以下となった
ことを判定して、洗浄完了を出力するようにしたものである。
参照して説明する。
定量以上の洗浄排水を流す洗浄装置1からの洗浄排水の流量を測定する電磁流量計2aと
、電磁流量計2aの検出信号から洗浄品質の良否を判定する洗浄品質管理装置2bと、を
備える。
部2b1と、予め設定された電気伝導率の洗浄排水を用いてS/N比測定部2b1の出力
値と洗浄排水の電気伝導率と、を予め対応付けしたS/N比・電気伝導率判定テーブルを
備え、予め定める電気伝導率以下となった場合に洗浄完了を出力する洗浄完了判定部2b
2と、を備える。
うな被洗浄物の洗浄剤を供給する洗浄タンク等を備える洗浄剤供給部1aと、洗浄中に使
用する純水タンク等を備える純水供給部1bと、純水供給部1bから供給された純水とを
用いて、被洗浄物を洗浄する洗浄部1cとを備え、洗浄排水を装置外に排出する。
給量が定められており、洗浄排水の流量は、洗浄品質判定時には予め定める一定量以上の
流量が流されているものとする。また、洗浄が完了したか否かの洗浄排水の基準品質は、
予め定められているものとする。
ず、S/N比・電気伝導率判定テーブル2b2の作成方法について図2を参照して説明す
る。
計の検出信号の特性を模擬的に示したものである。図2において、横軸は洗浄排水の電気
伝導率(μS/cm)を、縦軸は,電磁流量計の検出信号から求めたS/Nを示す。
を、また、第2の電磁流量計は、非接液型の電極を備える容量式と呼ばれる高入力インピ
ーダンスタイプの特性を示す。
S/N比の範囲は矢印A1で、この時の対応する電気伝導率の範囲はρ1である。また、
第2の電磁流量計での検出信号と電気伝導率との対応付けが可能なS/N比の範囲を矢印
A2で、この時の対応する電気伝導率の範囲はρ2である。
P1、ρ2内のP2の各1点、又は図示しない複数点が設定される。
管理するための予め設定された電気伝導率の洗浄排水を用いて、S/N比測定部2b1の
出力値と洗浄排水の電気伝導率と、を対応付けし、S/N比・電気伝導率判定テーブルと
して求めておく。
トについて、要求される洗浄管理品質(精度)の再現性があれば良い。
流れていない場合と、電気伝導率が低下した場合と、を識別可能とするために、予め洗浄
装置1側で安定した流量測定が可能な流量を保証しておくことが必要である。
は、1<対応可能なS/N比<3、であるので、電気伝導率が低下していない洗浄排水に
おいて、S/N比3以上の流量を求めておき、電気伝導率測定時には、この流量以上の洗
浄排水を流して測定する。
管を介して電磁流量計2aに供給され、排出される。
信号をS/N比測定部2b1に送る。
の測定時間内の予め設定される波高値でのパルス数をカウントする波高分析パルスカウン
ト方式でも良い。ここでは、このS/N比の求め方は、個々の電磁流量計の測定信号の処
理方式に応じて定義すれば良いので、この測定方式は限定されない。
S/N比・電気伝導率判定テーブルを参照し、予め設定される洗浄完了の判定基準となる
電気伝導率と比較して洗浄が完了したか否かを判定する。
は、容量式の電磁流量計を使用することで、測定可能な範囲を選択することが出来る。
次に、図3を参照して、第2の実施形態の電磁流量計を使用した洗浄品質管理装置につ
いて説明する。
。第2の実施形態が、第1の実施形態と異なる点は、第1の実施形態は、洗浄排水の洗浄
完了を1台の電磁流量計で判定したが、第2の実施形態の洗浄品質管理装置は、排水系統
の切替え部3を備え、洗浄措置1からの洗浄排水系統の切替え信号に基づいて、第1及び
第2の電磁流量計のいずれかに洗浄排水を供給し、洗浄排水の洗浄品質を広範囲に自動的
に判定するようにしたことにある。
短時間で洗浄排水の品質を判定することが出来る。
磁流量計の特性を利用して、各種の洗浄工程での洗浄排水の電気伝導率を都度測定するこ
となく、電磁流量計の検出信号と洗浄排水の電気伝導率を予め対応付けしておき、洗浄排
水の電気伝導率を連続的に測定して、洗浄が完了したか否かの洗浄品質の良否を自動的に
判定することが可能な、電磁流量計を使用した洗浄品質管理装置、及び洗浄品質の管理方
法を提供することができる。
のであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その
他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の
省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や
要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる
。
1a 洗浄剤供給部
1b 純水供給部
1c 洗浄部
2 洗浄品質管理システム
2a、2a1、2a2 電磁流量計
2b 洗浄品質管理装置
2b1 S/N比測定部
2b2 洗浄品質判定部
3 排水系統切替え部
Claims (1)
- 流量測定が可能な一定量以上の洗浄排水を流して洗浄排水の流量を測定する第1及び第2の電磁流量計と、前記第1及び第2の電磁流量計の検出信号から洗浄が完了したか否かの洗浄品質を自動的に判定する洗浄品質管理装置と、
前記洗浄品質管理装置の外部に供える洗浄装置から供給される、予め設定された洗浄品質に基づいた排水系統の切替え信号により、前記洗浄排水を前記第1の電磁流量計、または、前記第2の電磁流量計へ流すように切り替える排水系統の切替え部と、
を備え、
前記電磁流量計は、前記洗浄排水に接液する電極を備える接液形の第1の電磁流量計と、非接液型の電極を備える容量式の第2の電磁流量計とし、
前記洗浄品質管理装置は、前記第1及び第2の電磁流量計の検出信号のS/N比を測定するS/N比測定部と、
予め設定された電気伝導率の洗浄排水を用いて前記S/N比測定部の出力と前記洗浄排水の電気伝導率と、を予め対応付けした、前記第1及び第2の電磁流量計に対応するS/N比・電気伝導率判定テーブルを備え、予め定める電気伝導率以下となった場合に洗浄完了を出力する洗浄完了判定部と、
を備え、
前記排水系統の切替え信号があった場合、前記排水系統の切替え部は前記洗浄排水の供給系統を対応する前記第1の電磁流量計、又は、前記第2の電磁流量計に切り替えるとともに、前記洗浄完了判定部は、対応する前記S/N比・電気伝導率判定テーブルに切り替え、
前記洗浄完了判定部は、前記排水系統の切替え信号に対応する系統の前記洗浄排水の洗浄品質を、自動的に判定するようにしたことを特徴とする電磁流量計を使用した洗浄品質管理システム。
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