JP2005241590A - 薬液濃度測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料薬液導入用配管3及び導出用配管4が接続されているセル1内を、メイン流路9と測定流路10に分割形成し、その測定流路10内に試料薬液に接する電極13A〜13Cを挿入配置してなる流通形の導電率センサ5と、この導電率センサ5により検出された導電率に基づき、予め作成されている導電率−薬液濃度の検量線から試料薬液の濃度を演算する変換器6とを備えた薬液濃度測定装置における電極13A〜13Cとして、接液表面が電気分解により粗面処理されているガラスカーボン電極を使用する。
【選択図】 図2
Description
図1は本発明に係る薬液濃度測定装置Dの全体構成を概略的に示す分解斜視図であり、この薬液濃度測定装置Dは、後述する電極を内蔵保持するセル1とこのセル1の両側に樹脂継手2,2を介して接続されている、例えばPFA樹脂チューブからなる試料薬液導入用配管3及び導出用配管4とを有し、全体として流通形に構成された導電率センサ5と、この導電率センサ5の電極への通電用リード線や検出された導電率を通信する通信用ケーブル等を収容する電線管7と、前記導電率センサ5とは別体に設けられその導電率センサ5により検出され通信されてくる導電率に基づいて、予め求められてメモリ(図示省略する)に記憶されている導電率−薬液濃度の検量線から試料薬液の濃度を演算する変換器6とを備えている。なお、図1中の15はセンサ押え用の樹脂部品であり、これは導電率センサ5のセル1の側面にネジ部材8を介して固定されている。
この薬液濃度測定装置Dは、通常、前記測定流路10がメイン流路9の下部に位置するような水平設置姿勢となるように、試料薬液導入用及び導出用配管3,4を介して半導体製造プロセスのウエハ洗浄やエッチング工程で使用されるフッ酸や塩酸などの薬液の配管系に直結して使用される。
3 試料薬液導入用配管
4 試料薬液導出用配管
5 導電率センサ
6 変換器
9 メイン流路
10 測定流路
13A〜13C ガラスカーボン電極
D 薬液濃度測定装置
Claims (5)
- 試料薬液に接する電極を有し、その試料薬液の導電率を検出する導電率センサと、この導電率センサにより検出された導電率に基づいて、予め求められている導電率−薬液濃度の検量線から試料薬液の濃度を演算する変換器とを備えた薬液濃度測定装置であって、
前記導電率センサの電極として、ガラスカーボン電極を使用し、このガラスカーボン電極の接液表面を電気分解により粗面処理していることを特徴とする薬液濃度測定装置。 - 前記変換器は、複数種の試料薬液のそれぞれに対応して温度補償演算を実行し、かつ、演算された複数種の試料薬液の濃度を同時に出力可能に構成されている請求項1に記載の薬液濃度測定装置。
- 試料薬液に接し、その試料薬液の導電率を検出する導電率センサと、この導電率センサにより検出された導電率に基づいて、予め作成されている導電率−薬液濃度の検量線から試料薬液の濃度を演算する変換器とを備えた薬液濃度測定装置であって、
前記導電率センサは、前記電極を内蔵保持するセルとこのセルに試料薬液を導入し導出させる配管とを有する流通形に構成されているとともに、この流通形導電率センサの前記セル内は、メイン流路と前記電極が配置される測定流路とに分割形成され、かつ、前記電極として、その接液表面が電気分解により粗面処理されているガラスカーボン電極を使用していることを特徴とする薬液濃度測定装置。 - 前記ガラスカーボン電極として、両端コモンの三つの電極を使用する請求項3に記載の薬液濃度測定装置。
- 前記変換器は、複数種の試料薬液のそれぞれに対応して温度補償演算を実行し、かつ、演算された複数種の試料薬液の濃度を同時に出力可能に構成されている請求項3または4に記載の薬液濃度測定装置。
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