KR101145511B1 - 기판 운송 시스템에 대한 고속 로더의 캘리브레이션 - Google Patents

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로버트비. 로렌스
마르틴알. 엘리오트
제프리씨. 허드젠스
키르크 반캐트위크
아미트 푸리
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Abstract

본 발명은 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 캘리브레이팅시키는 방법에 관한 것이다. 이러한 방법은 (1) 기판 캐리어를 이동 컨베이어상으로 로딩하도록 적용된 기판 캐리어 로더를 제공하는 단계; (2) 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 정렬시키는 단계; 및 (3) 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 캘리브레이팅하는 단계를 포함한다. 다양한 그 밖의 특징이 본원에서 제공되고 있다.

Description

기판 운송 시스템에 대한 고속 로더의 캘리브레이션 {CALIBRATION OF HIGH SPEED LOADER TO SUBSTRATE TRANSPORT SYSTEM}
도 1a는 본 발명에 따라 제공된 웨이퍼 운송 처리 시스템의 측면 개략도이다.
도 1b는 도 1a의 시스템의 정면 개략도이다.
도 1c는 도 1b에 도시된 시스템의 평면 개략도이다.
도 2는 탐지가능한 특징부의 구체예를 도시하는 도 1a 내지 1c의 웨이퍼 캐리어 운송 시스템의 측면 개략도이다.
도 3은 론치(launch) 센서 어셈블리를 포함하는 고속 로더의 구체예를 도시하는 도 1a 내지 1c의 웨이퍼 캐리어 처리 시스템의 상부의 측면 개략도이다.
도 4는 도 1a 내지 1c의 장착 위치의 예시적 구체예를 도시하는 고속 로더의 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러의 측면 개략도이다.
도 5는 웨이퍼 캐리어가 도 1a 내지 1c의 웨이퍼 캐리어 운송 시스템에 의해 지지되는 경우에 웨이퍼 캐리어와 결합하도록 상승하는 말단 이펙터를 도시하는 측면 개략도이다.
도 6은 본 발명의 구체예에 따라 전체 웨이퍼 캐리어 처리 시스템의 일부로서 고속 로더를 설치하기 위한 예시적인 처리 플로우 챠트를 도시한다.
도 7a 내지 7b는 본 발명의 구체예에 따라 고속 로더(도 1a)를 웨이퍼 처리 툴의 팩토리 인터페이스(도 1c) 및 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(도 1b)에 정렬시키기 위한 예시적 공정의 플로우 챠트를 도시한다.
도 8은 본 발명의 구체예에 따라 수평 가이드의 피치가 웨이퍼 캐리어 운송 시스템의 피치와 일치하도록 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러의 수평 가이드(도 1a)의 배향을 조절하기 위한 예시적 공정의 플로우 챠트를 도시한다.
도 9는 본 발명의 구체예에 따라 고속 로더의 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러의 수평 가이드(도 1c)의 y축 위치 및 요 배향을 조정하기 위한 예시적 공정의 플로우 챠트를 도시한다.
도 10a는 도 1a 내지 1c의 말단 이펙터 및 수평 가이드의 정면 개략도이다.
도 10b는 도 10b에서 볼 때 웨이퍼 캐리어 운송 시스템의 제 1 경로부의 피치와 수평 가이드의 피치가 일치하는 것을 제외하고, 도 10a와 유사한 정면 개략도이다.
도 11은 도 1a 내지 도 1c의 고속 로더의 측면 개략도이고, 여기에서 측방 센서는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템의 탐지가능한 특징부 및/또는 이러한 시스템과 관련된 탐지가능한 특징부를 탐지하도록 되어 있다.
도 12a 내지 도 12b는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템에 대한 수평 가이드의 y-축 위치 및/또는 요의 조정 이전과 이후 각각에서 고속 로더의 수평 가이드를 도시한다.
도 13은 도 1a 내지 도 1c의 고속 로더의 측면 개략도이고, 여기에서 상방 센서는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템의 탐지가능한 특징부 또는 이러한 시스템과 관련된 탐지가능한 특징부를 탐지하도록 되어 있다.
도 14는 본 발명의 구체예에 따라 말단 이펙터에 대한 "수직 제로"로서 웨이퍼 캐리어 운송 시스템에 대한 고속 로더의 말단 이펙터의 고도를 설정하기 위한 예시적 공정의 플로우 챠트를 도시한다.
도 15는 본 발명의 구체예에 따라 론치 센서(도 3)에 대한 고속 로더의 말단 이펙터의 "수평 론치 오프셋"을 설정하기 위한 예시적 공정의 플로우 챠트를 도시한다.
도 16 및 도 17은 도 1a 내지 도 1c의 고속 로더의 측면 개략도이고, 여기에서 측방 센서는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템의 탐지가능한 특징부 및/또는 이러한 시스템과 관련된 탐지가능한 특징부를 탐지하도록 되어 있다.
도 18은 셀프(shelf) 또는 다른 저장 장소의 탐지가능한 특징부를 탐지하고 x-z 면에서 셀프 및/또는 도킹 스테이션의 위치를 결정하는 시그날을 생성시키는 센서 어셈블리의 투시도이다.
도 19는 두 개의 저장 장소를 지니는 셀프 지지 패널, 말단 이펙터, 수평 가이드, 및 말단 이펙터를 유도하기에 적합한 수평 가이드를 통과하는 경로의 평면도이다.
본 출원은 "기판 운송 시스템으로의 고속 로더의 캘리브레이션"이라는 발명의 명칭을 가진 2003년 11월 13일에 출원된 미국 가출원 번호 제 60/520,180호에 대해 우선권을 주장하며, 이의 내용은 모든 목적을 위하여 그 전체가 참조로 본원에 통합된다.
관련 출원의 상호 참조
본 출원은 하기 공동으로 양도된 공동-계류중인 미국 특허 출원과 관련된 것으로, 이들 각각은 모든 목적을 위하여 그 전체가 참조로 본원에 통합된다.
"기판 캐리어를 이동시키기 위한 시스템"이라는 발명의 명칭을 가지는 2003년 8월 28일에 출원된 미국 특허 출원 제 10/650,310호 (변리사 도켓 번호 6900);
"이동 컨베이어로부터 직접 기판 캐리어를 언로딩하는 기판 캐리어 핸들러"라는 발명의 명칭을 가지는 2003년 8월 28일에 출원된 미국 특허 출원 제 10/650,480호 (변리사 도켓 번호 7676);
"기판 캐리어를 수송하기 위한 방법 및 장치"라는 발명의 명칭을 가지는 2004년 1월 26일에 출원된 미국 특허 출원 제 10/764,982호 (변리사 도켓 번호 7163); 및
"오버헤드 이송 플랜지 및 정지된 기판 캐리어를 위한 지지체"라는 발명의 명칭을 가지는 2004년 1월 26일에 출원된 미국 특허 출원 제 10/764,820호 (변리사 도켓 번호 8092);
기술분야
본 발명은 반도체 장치 제조, 보다 구체적으로 기판 운송 시스템에 대한 고속 로더의 캘리브레이션에 관한 것이다.
배경기술
반도체 장치의 제조는 통상적으로 실리콘 웨이퍼, 유리 플레이트, 마스크, 레티큘(reticule) 등과 같은 기판에 관한 일련의 공정을 수행하는 것을 포함한다. 이러한 단계는 연마, 증착, 에칭, 포토리토그래피, 열처리 등을 포함할 수 있다. 통상적으로 많은 상이한 처리 단계가 하나의 처리 시스템 "툴(tool)"로 수행될 수 있고, 이러한 툴은 다수의 처리 챔버를 포함한다. 그러나, 이는 일반적으로 제작 설비 내의 다른 처리 장소에서 수행되기 위하여 다른 처리 공정이 필요한 경우이고, 따라서, 기판이 제작 설비 내에서 하나의 처리 장소로부터 다른 장소로 운송되는 것이 필요하다. 제조될 반도체 장치의 유형에 따라, 제작 설비 내의 많은 다양한 처리 장소에서 수행되는 비교적 많은 처리 단계가 필요할 수 있다.
밀봉 포드, 카세트, 컨테이너 등과 같은 기판 캐리어 내에서 하나의 처리 위치로부터 다른 처리 위치로 기판을 운송하는 것이 통상적이다. 또한, 제작 설비 내에서 한 위치로부터 다른 위치로 기판 캐리어를 이동시키거나 기판 캐리어 운송 장치로부터 또는 기판 캐리어 운송 장치로 기판 캐리어를 운송하기 위하여 자동 유도 비히클, 오버헤드 운송 시스템, 기판 캐리어 조작 로봇 등과 같은 자동 기판 캐리어 운송 장치를 사용하는 것이 통상적이다.
앞서 통합된, "반도체 기판 캐리어 운송 시스템"이라는 발명의 명칭을 가진 2003년 8월 28일에 출원된 미국 특허 출원 번호 10/650,310호(변리사 도켓 번호 제 6900호)는 제작 설비의 작동시에 움직임을 일정하게 하도록 목적된 기판 캐리어를 위한 컨베이어를 포함하는 기판 캐리어 운송 시스템을 개시하고 있다. 일정하게 이동하는 컨베이어는 제작 설비 내에서 기판의 운송을 용이하게 하도록 의도된다.
앞서 통합된, "이동 컨베이어로부터 직접 기판 캐리어를 언로딩하는 기판 캐리어 핸들러"라는 발명의 명칭을 가진 2003년 8월 28일에 출원된 미국 특허 출원 번호 10/650,480호는 기판 캐리어 운송 시스템으로부터 기판 캐리어를 언로딩하거나 이러한 기판 캐리어 운송 시스템 상으로 기판 캐리어를 로딩하기 위한 고속 기판 캐리어 이송 스테이션을 개시하고 있다. 하나의 구체예에서, 기판 캐리어 이송 스테이션은 평행한 수직 가이드를 따라 이동가능한 수평 가이드를 포함하는 기판 캐리어 핸들러와 수평 가이드를 따라 수평하게 이동가능한 말단 이펙터를 포함한다. 기판 캐리어를 운송하고 고속 기판 캐리어 이송 스테이션에 근접하여 통과하는 이동 컨베이어로부터 고속 기판 캐리어 이송 스테이션으로 기판 캐리어를 언로딩하기 위하여, 말단 이펙터는 기판 캐리어의 속도와 실질적으로 일치하는 속도로(즉, 수평 방향으로 기판 캐리어 속도와 실질적으로 일치시킴에 의함) 수평 가이드를 따라 이동된다. 말단 이펙터는 기판 캐리어의 속도에 실질적으로 일치하고, 또한 기판 캐리어의 위치와 실질적으로 일치할 수 있다. 이렇게 일치하는 경우에, 말단 이펙터는 수직 가이드를 따라 위쪽으로 수평 가이드를 이동시킴에 의해 상승될 수 있어서, 말단 이펙터는 기판 캐리어 운송 수단으로부터 기판 캐리어를 접촉하여 들어올린다. 유사하게, 기판 캐리어는 로딩시에 실질적으로 일치되는 말단 이펙터 속도(및/또는 위치)와 컨베이어 속도(및/또는 위치)에 의해 이동 기판 캐리어 컨베이어상으로 로딩될 수 있다.
효율 증가는 이러한 이송 시에 말단 이펙터 및 기판 캐리어의 일치된 속도를 증가시킴에 의해 달성될 수 있으며, 이로부터 별개로 지지되고 별개로 구동되는 시스템의 부분간에 정확하고 효율적인 상호작용에 대한 필요성이 강조된다.
발명의 요약
제 1 측면에서, 이동 컨베이어에 대해 기판 캐리어 로더를 캘리브레이팅하는 제 1 방법이 제공된다. 제 1 방법은 (1) 이동 컨베이어상으로 기판 캐리어를 로딩(loading)시키는 기판 캐리어 로더를 제공하는 단계; (2) 이동 컨베이어에 대하여 기판 캐리어 로더(substrate carrier loader)를 정렬시키는 단계; 및 (3) 이동 컨베이어에 대해 기판 캐리어 로더를 캘리브레이팅하는 단계를 포함한다.
제 2 측면에서, 이동 컨베이어에 대해 기판 캐리어 로더를 캘리브레이팅하는 제 2 방법이 제공된다. 제 2 방법은 (1) 이동 컨베이어상으로 기판 캐리어를 로딩시키는 기판 캐리어 로더를 제공하는 단계; (2) 이동 컨베이어에 대한 기판 캐리어 로더의 풋프린트(footprint) 위치를 설정하는 단계; (3) 풋프린트 위치에서 기판 캐리어 로더의 수준을 설정하는 단계; 및 (4) 풋프린트 위치에서 기판 캐리어 로더의 프레임 높이를 설정하는 단계를 포함한다. 필요한 경우, 제 2 방법은 (a) 이동 컨베이어의 피치(pitch)에 기초하여 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 피치를 조정하는 단계; (b) 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 로울(roll)을 조정하는 단계; (c) 이동 컨베이어의 측면 위치에 기초하여 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 측면 위치를 조정하는 단계; 또는 (d) 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 요(yaw)를 조정하는 단계를 추가로 포함한다. 많은 다른 측면은 본 발명의 이들 측면 및 다른 측면에 따라 제공된다.
본 발명의 다른 특징 및 측면은 하기 상세한 설명, 첨부된 청구범위, 및 도면으로부터 보다 완전하게 명료해질 것이다.
상세한 설명
본 발명의 하나 이상의 양태에 따라, 고속 기판 캐리어 이송 스테이션 (기판 캐리어 저장소를 지니거나 지니지 않음)이 기판 캐리어 운송 시스템에 대해 정렬되고 캘리브레이팅된다. 이송 스테이션의 기판 캐리어 인계(hand-off) 기능은 이후 시험될 수 있고, 고속 이송 스테이션이 적어도 그 기능에 대해 서비스되도록 배치된다.
본 발명의 또 다른 양태에 따라, 기판 캐리어 운송 시스템에 대해 정렬되는 것에 추가하여, 고속 이송 스테이션이 또한 이송 스테이션과 기판의 처리를 위한 기판 처리 툴의 하나 이상의 로드락(loadlock) 사이에서 후방 및 전방으로 기판을 이송시키는 기판 로딩 스테이션의 팩토리 인터페이스에 대해 정렬되고 캘리브레이팅될 수 있다. 본 발명의 추가의 양태에 따라, 상기 정렬, 캘리브레이션 및 시험은 기판 캐리어 운송 시스템이 동작하여 기판 캐리어를 운송하는 동안 수행될 수 있다. 또한 본 발명의 추가의 양태에 따라, 상기 정렬, 캘리브레이션 및 시험은 고속 기판 캐리어 운송 스테이션을 서비스되도록 배치하기에 앞서(기판 캐리어 운송 시스템의 동작 여부와 무관하게) 기판 캐리어 운송 시스템에 대한 어떠한 접촉도 요구하지 않으면서 수행될 수 있다.
시스템 장치의 개요
도 1a는 웨이퍼 운송 처리 시스템(101)의 측면도이다. 도 1b는 도 1a의 시스템(101)의 정면도이다. 시스템(101)의 로딩 스테이션이 도킹 스테이션 및 저장 장소 둘 모두를 지녀서, 로딩 스테이션이 웨이퍼 로딩 및 웨이퍼 캐리어 저장 스테이션 둘 모두가 됨에 주목해야 한다. 도 1c는 도 1b에 도시된 시스템(101)의 평면도이다. 하기 설명은 도 1a 내지 도 1c를 참조로 하여 가장 잘 이해되는 시스템(101)의 기본적인 설명이다.
시스템(101)은 웨이퍼 처리 툴(103), 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)(또는 WCTS), 및 고속 로더(107)(또는 HSL)을 포함한다. 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)은 제조 설비(113)(도 1a)의 적어도 일부내에서 제 1 경로(111)를 통해 +x 방향으로 다수의 웨이퍼 캐리어(109)를 운송시키도록 되어 있다. 필수적인 것은 아니지만, 바람직하게는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)이 웨이퍼 캐리어(109)를 운송하기에 적합한 제 1 경로부(111)가 제조 설비(113)의 바닥(115) 위로 상승되어 있으며, 일직선으로 수평에 대해 평행하다. 또한, 바람직하게는 고속 로더(107)가 제조 설비(113)의 바닥(115) 상에 위치하고 (예컨대, 존재하고), 이는, 바람직하게는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)이 동작하는 동안, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)으로부터 웨이퍼 캐리어(109)를 분리하고 그 위에 웨이퍼 캐리어(109)를 로딩시키기에 적합하다.
도 1c에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 처리 툴(103)은 다수의 방사상으로 배열된 웨이퍼 처리 챔버(117), 웨이퍼를 각 웨이퍼 처리 툴(117)에 삽입하고 웨이퍼를 각 웨이퍼 처리 툴(117)로부터 분리하는 로봇(119), 하나 이상의 로드락(121) 및 팩토리 인터페이스(123)(또는 FI)를 포함할 수 있다. 팩토리 인터페이스(123)는 팩토리 인터페이스(123)의 다수의 도킹 스테이션(127)에 의해 고속 로더(107) 및 웨이퍼 처리 툴(103)의 로드락(121) 사이로 웨이퍼를 이송시키는 로봇(125)을 포함한다.
팩토리 인터페이스(123)는 또한 실질적으로 평평하고, 수평에 대해 수직이며, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)이 웨이퍼 캐리어(109)를 이송시키게 하는 제 1 경로부(111)과 평행일 수 있는 기준 표면(131)을 제공하기에 적합한 하나 이상의 기준 플레이트(129)를 포함할 수 있다. 팩토리 인터페이스(123)는 기준 플레이트(129)의 기준 표면(131)에 고정된 하나 이상의 저장 장소 지지 패널(133) 및 다수의 고정된 웨이퍼 캐리어 저장 장소(135)를 포함할 수 있고, 각 웨이퍼 캐리어 저장 장소(135)는 셀프 지지 패널(133)에 장착되어 각 웨이퍼 캐리어 저장 장소(135)가 바람직하게는 중심에 위치한 도킹 스테이션(127)의 상위, 측면 또는 하위의 위치를 점유하게 한다. 갭(137)은 지지 패널(133)에 존재하여 각 도킹 스테이션(127)이 기준 플레이트(129)로부터 고속 로더(107)를 향해, 바람직하게는 기준 표면(131)에 대해 실질적으로 수직인 방향으로 연장되게 할 수 있다. 각 웨이퍼 캐리어 저장 장소(135)는 지지 패널(133)로부터 고속 로더(107)를 향해, 또한 바람직하게는 기준 표면(131)에 실질적으로 수직인 방향으로 바깥쪽으로 연장될 것이다.
웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)이 웨이퍼 캐리어(109)를 이송시키는 제 1 경로부(111)은 실질적으로 수평으로 배향된 루프(도시되지 않음)를 포함할 수 있는 제조 설비(113)를 통해 보다 긴 연속 경로(도시되지 않음)의 일부를 형성할 수 있다. 하나 이상의 구체예에서, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)은 비교적 얇은 수직으로 배향된 밴드(139)를 포함한다. 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 밴드(139)는 밴드(139)의 상부(141)에서 또는 이와 근접하게 지지된다 (예컨대, 밴드(139)의 접힌 부분, 밴드(139)에 고정된 개별 부분 또는 유사한 구성을 포함할 수 있는 수평으로 배향된 플랜지(도시되지 않음)에 의하여). 수평으로 배향된 연속 루프(도시되지 않음)를 포함하는 것이 바람직한 밴드(139)의 일부분만이 도 1a 내지 도 1c에 도시된다. 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)은 밴드(139)를 이동시키고 유도하도록 되어 있어서, 밴드(139)가 제조 설비(113)의 바닥(115)에 대해 고정되어 유지되는 수평으로 배향된 루프(도시되지 않음)를 통해 회전할 수 있다.
각 웨이퍼 캐리어(109)는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 밴드(139)에 의해 지지되고 이에 의존하도록 되어 있을 수 있다. 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)은, 바람직하게는 밴드(139)의 길이에 따른 연속 배열로서, 밴드(139)에 커플링되는 다수의 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)를 포함할 수 있다. 각 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)는, 밴드(139)가 움직이든 움직이지 않든 간에 밴드(139)의 길이에 따라 분리된 위치에서 웨이퍼 캐리어(109)를 고정하기에 적합하다. 각 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)는 밴드 인터페이스 부분(145)을 포함할 수 있는데, 이에 의해 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)가, 바람직하게는 밴드(139)의 기부(147)에서 또는 이에 근접하게 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 밴드(139)에 커플링되기에 적합하다. 각 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)는 또한 웨이퍼 캐리어(109)의 플랜지 (151)를 수용하고 유지하기에 적합한 플랜지 지지 요소(149)를 포함할 수 있다.
웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)의 플랜지 지지 요소(149)는 밴드(139)의 기부(147) 아래에 중심이 있는 것이 바람직하다.
웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)은 추가로 밴드(139)의 길이에 따라 이산된 고정 위치에 존재하는 다수의 탐지가능한 특징부(153)(도 1b)를 포함한다. 바람직하게는 탐지가능한 특징부(153)가 밴드(139)를 따라 연속으로 정렬된다. 각각의 탐지가능한 특징부(153)는 하기 기술되는 하나 이상의 센서에 의해 탐지될 수 있다 (예컨대, 비접촉 또는 원격 센서). 각각의 탐지가능한 특징부(153)는 추가로 밴드(139)의 길이에 따라 위치하여 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 (특정 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)의) 특정 밴드 인터페이스 부분(145)의 위치에 대응되는 것이 바람직하다. 특정 탐지가능한 특징부(153)에 대응되는 밴드 인터페이스 부분(145)이 또한 웨이퍼 캐리어(109)를 지지하면, 그 특정 탐지가능한 특징부(153)의 위치가 이후 밴드(139)에 의해 지지되는 웨이퍼 캐리어(109)의 위치에 또한 대응될 것이다.
상기 언급된 고속 로더(107)는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)로부터 웨이퍼 캐리어(109)를 분리하고 그 위에 웨이퍼 캐리어(109)를 로딩시키는 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)를 포함한다 (예컨대, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)이 적어도 제 1 경로부(111)을 통해 +x 방향으로 다른 웨이퍼 캐리어(109)를 이송시키는 동안과 같이, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 밴드(139)가 동작하고 있는 동안). 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)는 또한 (1) 웨이퍼 캐리어 저장 장소(135); 및/또는 (2) HSL(107)의 도킹 스테이션(127)상에 웨이퍼 캐리어(109)를 배치하고, 이로부터 웨이퍼 캐리어(109)를 분리할 수 있다.
고속 로더(107)는 또한 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)를 지지하고 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 적합한 배향을 설정 및 유지하는 프레임(157)을 포함하여, 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)가 상기 언급한 웨이퍼 캐리어의 배치 및 제거 기능을 부드럽고 반복적으로 수행할 수 있도록 한다. 이를 위하여, 프레임(157)은 비교적 강성이고 경질인 상호연결된 빔(159)을 포함하여, 프레임(157)에서 로딩 유도된 휨에 대한 가능성을 감소시킬 수 있다.
프레임(157)은 고속 로더(107) 상에 현수된 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대한 전반적 y축 고도에 대해 조정되도록 되어 있을 수 있다. 이러한 목적으로, 상기 프레임(157)은 도 1a 및 도 1b에 도시된 다수의 고도 조정 레그(161)와 같은 고도 조정 장치를 포함할 수 있다. 각각의 레그(161)는 바람직하게는 림(limb)(163) 및 풋(foot)(165)을 포함하며, 림(163)는 프레임(157)의 빔(159)내로부터 선택가능하고 조절가능하게 연장되도록 되어 있으며, 풋165)은 제조 설비(113)의 바닥(115) 상에 수용되고, 빔(159)로부터 연장되는 림의 단부를 붙잡도록(예를 들어, 피봇식으로) 되어 있다. 바람직하게는, 프레임(157)은 4개 이상의 레그(161)를 포함하며, 각각의 레그(161)는 프레임(157)의 4개의 코너중 하나에 위치한다. 당업자들은 4개의 코너 배치에서 각각의 레그(161)를 사용하므로써 프레임(157)의 고도, 피치(y축 회전) 및 롤(x 축 회전)의 고도의 조절성이 용이하게 달성할 수 있음을 인지할 것이다. 하기 추가로 기술되는 바와 같이, 프레임(157)의 상태 자체가 수평 수준으로 또는 수직 배치로 조절될 수 있음은 물론이다. 또한, 고속 로더(107)의 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 배향은 상기와 같은 방식으로 조정될 수 있다.
프레임(157)은 또한 다수의 플레이트(167)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 빔(159)이 만나게 되는 플레이트(167)은 두개 이상의 빔(159)에 직접 고정되고, 프레임(157)의 전반적인 강성을 증진시키도록 되어 있다.
고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)는 두개의 수직 가이드(271)를 따라 수직으로 이동할 수 있는 수평 가이드(169)를 포함할 수 있다. 수평 가이드(169)는 설치용 브라켓(173)을 통해 각각의 수직 가이드(171)에 설치될 수 있다. 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)는 추가로 수평 가이드(169)를 따라 수평으로 이동할 수 있는 말단 이펙터(175)를 포함한다. 말단 이펙터(175)는 설치용 플레이트(177)를 통해 수평 가이드(169)에 설치된다. 말단 이펙터(175)는 웨이퍼 캐리어(109)를 수용하여, 말단 이펙터(175)가 정지 상태에 있거나, 도 1a의 x-z 면으로 이동(수직으로, 또는 수평으로, 또는 수직과 수평 모두로)하거나 간에 상기 웨이퍼 캐리어(109)(예를 들어 그 아래로부터)를 단단히 지지하도록 되어 있다.
컨트롤러(178)(도 1b에 가상으로 도시됨)는, 하기 추가로 기술되는 바와 같이 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대한 고속 로더(107)의 캘리브레이션을 전부 또는 일부를 자동화하는 것을 포함하여, 웨이퍼 운송 처리 시스템(101)의 작동을 일부 또는 전부 제어하기 위해 제공될 수 있다. 상기 컨트롤러(178)는 하나 이상의 적절하게 프로그래밍된 컴퓨터, 마이크로컨트롤러 등, 로직 하드웨어, 또는 이 들의 조합을 포함할 수 있다.
도 2는 탐지가능한 특징부(153)의 구체예를 도시하고 있는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 측면 개략도이다. 각각의 탐지가능한 특징부(153)는 바람직하게는 다수의 슬롯(179)을 포함한다. 도 2에 도시된 두개의 슬롯(179)은 밴드(139)를 천공하고 있는 홀을 포함하며 서로 실질적으로 평행하고, 밴드(139)의 +x 회전 방향에 실질적으로 수직인 리딩(leading) 엣지(180)을 갖는다. 간격(181)은 슬롯(179)의 리딩 엣지(180)를 분리시키고, 밴드(139)의 +x 회전 방향을 따라 측정된다. 간격(181)은 바람직하게는 하기 추가로 설명되는 바와 같이 +x 방향으로 밴드(139)의 정확한 회전 속도 측정을 용이하게 하도록 신중히 제어된다.
도 3은 론치 센서(launch sensor)(184)를 포함하는 론치 센서 어셈블리(183)를 포함하는 고속 로더(107)의 구체예를 도시하고 있는 웨이퍼 캐리어 처리 시스템(101)의 상부의 측면 개략도이다. 론치 센서(184)는 바람직하게는 각각의 탐지가능한 특징부(153)의 각각의 슬롯(179)을 탐지하여 슬롯(179)의 각 탐지에 상응하는 신호를 발생하고 전달하도록 적용된다. 따라서, 론치 센서(184)는 두 개의 슬롯(179)에 상응하는 두개의 탐지 신호를 포함하는 탐지가능한 특징부(153)에 대한 탐지 신호를 제공할 수 있다. 당업자들은 슬롯들(179) 사이의 간격(181)(도 2)이 알려져 있고, 엄격한 공차(tight tolerance)로 처리되는 경우라면, 고속 로더(107) 상의 +x 방향으로의 밴드(139)의 순간 회전 속도가 론치 센서 어셈블리(183)를 지나친 탐지가능한 특징부(153)의 이동에 반응하여 생성된 2-파트 신호에 근거하여 용이하게 측정될 수 있음을 인지할 것이다.
도 3의 론치 센서 어셈블리(183)는 추가로, 제 1 광원(187) 및 제 1 탐지기(189)를 포함하는 론치 센서(184)가 고정되는 프레임(185)을 포함한다. 광원(187)은 제 1 광빔(191)을 투사하도록 적용되어 있으며, 탐지기(189)는 광원(187)과 함께 정렬되어 밴드(139)가 광빔(191)을 차단하지 않는 경우에 광빔(191)을 탐지하도록 한다. 론치 센서(184)의 광원(187) 및 탐지기(189)가, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대해 다수의 탐지가능한 특징부(153)의 고도를 점유하기 때문에, 각각의 탐지가능한 특징부(153)는 밴드(139)에 의한 차단 제거를 나타낸다. 이와 같이, 각각의 탐지가능한 특징부(153)가 광빔(191)에 도달함에 따라, 광빔(191)이 탐지기(189)에 도달하도록 하고, 이에 따라 탐지가능한 특징부(153)의 탐지가 달성된다.
상기 기술된 바와 같이, 각각의 탐지가능한 특징부(153)는 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)에 대응하며, 이에 따라 탐지가능한 특징부(153)의 탐지은 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)의 탐지에 이르게 된다. 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)는 밴드(139)의 길이를 따라 고정된 위치로 웨이퍼 캐리어(109)를 지지하고 고정하도록 적용되며, 따라서 웨어퍼 캐리어 지지 부재(143)에 의해 지지되는 웨이퍼 캐리어(109)의 순간 길이방향 위치 또한 확인될 것임은 명백하다.
또한, 론치 센서 어셈블리(183)는 바람직하게는 프레임(185)에 고정되어 있으며, 제 2 광빔(195)을 투사하도록 적용된 제 2 광원(193) 및 프레임(185)에 고정되며 광원(193)과 함께 정렬되어 광빔(195)을 탐지하는 제 2 탐지기(197)을 포함한다. 웨이퍼 캐리어 센서(192)는 광원(193)과 탐지기(197) 사이의 광빔(195)의 차 단에 근거하여 (웨이퍼 캐리어(109)가 웨어퍼 캐리어 센서(192)를 통과하는 경우에) 웨이퍼 캐리어(109)를 탐지하도록 적용되어 있다.
프레임(185)은 플레이트(167)를 통해 프레임(157)과 커플링될 수 있으며, 플레이트는 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105) 아래를 지나며, 고속 로더(107)의 측면에 위치하고, 고속 로더는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 의해 고속 로더(107) 위로 운송되는 웨이퍼 캐리어(109)의 흐름에 대해 상류에 위치한다(도 1a의 상부 우측 플레이트(167) 참조). 프레임(185)와 플레이트(167) 간의 연결은 바람직하게는 론치 센서 어셈블리(183)가 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105) 아래에서 프레임(157)의 총 이동 동안(예를 들어, 고속 로더(107)의 설치 동안)에 프레임(157)내에서 폴딩될 수 있도록 힌지 연결된다. 레그(161)가 적절하게 위치되고, 프레임(157)이 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)의 아래에 대략적으로 배열되면, 론치 센서 어셈블리(183)의 프레임(185)은 상향으로 흔들거려 론치 센서(184)가 도 3에 도시된 배향을 취하도록 할 수 있다.
웨이퍼 캐리어 처리 시스템(101)의 일 구체예에서, 컨트롤러(178)(도 1b)는 론치 센서(184)로부터 신호를 수신하도록 적용되고, 론치 센서(184)로부터 수신된 신호로부터 +x 방향으로 밴드(139)의 실질적인 순간 회전 속도를 측정할 수 있다. 이러한 구체예에 따르면, 론치 센서(184)는 탐지가능한 특징부(153)가 론치 센서(184)를 지남에 따라 2-펄스 신호를 발생하며, 2-펄스 신호의 각각의 펄스는, 슬롯(179)의 리딩 엣지(180)가 광빔(191)을 막 지나쳤음을 표시하고, 슬롯(179)에 의해 형성된 천공이 광빔(191)을 탐지기(189)에 도달하도록 함을 표시하는 것을 포함한다. 광빔(191)의 탐지시, 탐지기(189)는 바람직하게는 표시 펄스를 발생시키고 실시간(예를 들어, 광빔(191)에 이르게 되는 엣지(180)와 표시 펄스를 수용하는 컨트롤러(178) 간의 시간 차)으로 컨트롤러(178)에 전송하며, 컨트롤러(178)는 표시 펄스를 수신하는 정확한 시간을 알아차린다. 탐지가능한 특징부(153)의 통로는 컨트롤러(178)가 별도 시간으로, 그러나 가깝게 연속해서 두개의 이러한 펄스를 수신하게 할 것이다.
컨트롤러(178)는 제 2 펄스의 시간으로부터 제 1 펄스의 시간을 공제하여 펄스간 시간 간격을 측정하고 이에 따라 간격(181) 및 펄스간 간격에 근거하여 밴드(139)의 회전 속도를 측정할 수 있다. 당업자들은, 컨트롤러가 다수의 여러 방식으로 밴드(139)의 회전 속도를 측정할 수 있게 할 것임을 인지할 것이다. 예를 들어, 컨트롤러(178)는 펄스간 시간 간격으로 간격(181)을 나눔으로써 속도를 계산할 수 있다. 다르게는, 컨트롤러(178)는 조사표(look-up table)를 참조하여 전환을 수행할 수 있으며, 조사표는 일정 간격(181)에 근거한 사전 계산된 속도 표시를 제공하도록 되어 있다. 추가로, 밴드 속도의 직접적 측정치가 이용될 수 있다(예를 들어, 엔코더 등을 통해).
각 쌍의 탐지가능한 특징부(153)와 결부된 간격(181)이 공지된 공칭 간격 값의 충분히 엄격한 공차내에 유지되는 경우 및 이러한 공칭 간격 값이 비교적 짧은 경우(예를 들어, 웨이퍼 캐리어(109)의 길이와 비교하거나, 연속되는 웨이퍼 캐리어 지지 부재(143)의 설치 위치들 간의 간격과 비교하여), 이와 같이 측정된 속도 값은 밴드(139)의 실제 순간 회전 속도에 매우 근접할 것임은 명백하다. 이는 특히, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)이 장기간에 걸쳐 밴드(139)에 대해 비교적 일정한 회전 속도를 제공하도록 작동되는 경우에 그러하다.
도 4는 도 1a 내지 도 1c의 장착 장소(135)의 예시적 구체예(135a)를 도시하고 있는 고속 로더(107)의 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 측면 개략도이다. 전술된 바와 같이, 수평 가이드(169)가 수직 가이드(171)를 따라 수직 운동하는 장착 장소(135a)를 거쳐 수직 가이드(171)에 설치된다. 그러나, 장착 장소(135a)는 또한 필요에 따라, 예를 들어, 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)(도 1b)이 웨이퍼 캐리어(109)(도 1b)를 이동시키게 하는 제 1 경로부(111)(도 1b)와 함께 수평 가이드(169)를 미소 규모로 정렬시킬 목적으로, 수직 가이드(171)에 대해 수평 가이드(169)의 y축 위치가 점진적으로 증가되거나 감소되도록 되어 있을 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 장착 장소(135a)는 수직 가이드(171)와 이동가능하게 커플링되는 제 1 셀프 부분(199) 및 수평 가이드(169)에 고정 커플링되는 제 2 셀프 부분(201), 및 나비나사(thumbscrew) (203) 또는 다른 적합한 메카니즘을 포함할 수 있다. 나비나사(203)는 제 2 셀프 부분(201)에 매설되며, 제 2 셀프 부분(201)이 2방향 화살표(219)에 의해 표시된 바와 같이 y축을 따라 제 1 셀프 부분(199)에 대해 앞뒤로 움직이도록 적용된다. 나비나사(203)가 회전됨에 따라, 제 2 셀프 부분(201)는 y축을 따라 움직인다. 바람직하게는, 수평 가이드(169)는 장착 브라켓(173a)을 통해 각각의 수직 가이드에 장착될 것이다. 당업자들은 도 4의 장착 장소(135a) 이외에 수직 가이드(171)에 대해 수평 가이드(169)의 y축 조절을 제공하는 다수의 유효한 장착 장소(135)의 구조가 존재할 것임을 인지할 것이다.
도 5는 웨이퍼 캐리어(109)가 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 의해 지지됨에 따라(예를 들어, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)으로부터 웨이퍼 캐리어(109)의 언로딩 동안에) 웨이퍼 캐리어(109)와 결합하도록 상승하는 말단 이펙터(175)를 도시한 측면 개략도이다.
말단 이펙터 (175)는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (가상으로 나타나 있음)에 대한 제 1 고도 (221)에서 시작하여, z축 방향으로 웨이퍼 캐리어 (109)에 의해 공유되는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105)에 대한 제 2 고도 (223)로 상승하며, 여기서 말단 이펙터 (175)의 상단에 있는 운동학적 인터페이스 (도시되지 않음)는 웨이퍼 캐리어 (109)의 하단에 있는 운동학적 인터페이스(도시되지 않음)와 결합할 수 있다. 유사한 작업이 웨이퍼 캐리어 (109)를 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105)상으로 로딩시키기 위해 수행될 수 있다.
기본 공정
도 6은 웨이퍼 처리 툴 (103) 및 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105)을 또한 포함하는 전체 웨이퍼 캐리어 처리 시스템 (101)의 일부로서 고속 로더 (107)를 설치하기 위한 예시적 공정 (600)의 플로우 챠트를 도시한다. 도 6을 참조하면, 공정 (600)은 단계 (601)로 시작한다. 단계 (602)에서, 고속 로더 (107) (도 1a)는, 고속 로더 (107)의 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154) (도 1b)가 고속 로더 (107)의 캘리브레이션 전에 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) 및 웨이퍼 처리 툴 (103)의 팩토리 인터페이스에 대해 적절하게 정위되고 배향되도록 웨이퍼 처리 툴 (103) (도 1c) 및 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1a)에 대해 정렬된다. 공정 (600)의 단계 (602)는 그 자체로 별도의 독특한 공정을 구성할 수 있다. 단계 (602)를 수행하기 위한 공정의 예시적 구체예는 도 7a 내지 9의 플로우 챠트 및 도 10a 내지 13의 장치를 참조로 하여 하기 기술된다.
단계 (603)에서, 고속 로더 (107) (도 1a)는, 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154) (도 1b)가 전체 웨이퍼 캐리어 처리 시스템 (101) (도 1a) 내에서 적어도 명목적으로 작동가능하여 웨이퍼 캐리어 (109) (도 1a)를 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1a), 도킹 스테이션 (127) (도 1b) 및/또는 저장 장소 (135) (도 1b)와 교환시키도록, 웨이퍼 처리 툴 (103) (도 1c) 및 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1a)에 대해 캘리브레이팅된다. 공정 (600)의 단계 (603)는 그 자체로 별도의 독특한 공정을 구성할 수 있다. 단계 (603)을 수행하기 위한 공정의 예시적 구체예는 도 14 내지 15의 플로우 챠트 및 도 16 내지 18의 장치를 참조로 하여 하기 기술된다.
단계 (604)에서, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1a), 도킹 스테이션 (127) (도 1a) 및 저장 장소 (135) (도 1a)에 관한 고속 로더 (107) (도 1a)의 웨이퍼 캐리어 교환 기능이 시험된다. 바람직하게는, 단계 (604)는 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154) (도 1a)를 동작시켜서, 웨이퍼 캐리어 (109)를 분리하고 웨이퍼 캐리어 (109)를 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105)의 하나 이상의 웨이퍼 캐리어 지지 부재 (143), 팩토리 인터페이스 (123)의 하나 이상의 도킹 스테이션 (127), 및 하나 이상의 웨이퍼 캐리어 저장 장소 (135)상에 배치시키는 것을 적어도 포함한다. 더 많은 기능 시험 및/또는 그 밖의 기능 시험이 수행될 수 있다. 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154)가 이러한 기능들을 적절하게 수행하는 경우, 고속 로더 (107)는 웨이퍼 캐리어 처리 시스템 (101)의 부품으로서 정규 서비스되도록 즉시 배치될 수 있다.
단계 (605)에서, 고속 로더 (107) (도 1a)는 웨이퍼 캐리어 처리 시스템 (101) (도 1a)의 부품으로서 서비스되도록 배치된다. 하나 이상의 구체예에 있어서, 단계 (605)는, 총괄 컨트롤러가 고속 로더 (107)의 관련 기능에 대한 직접 제어를 설정하게 하도록 웨이퍼 캐리어 처리 시스템 (101)의 총괄 컨트롤러 (예를 들어, 컨트롤러 (178) 또는 그 밖의 다른 컨트롤러)에 적절한 표시를 제공하는 것을 적어도 포함한다. 또한, 단계 (605)는 예를 들어 고속 로더 (107)에 대한 제어가 총괄 컨트롤러로 전도되는 시점에서 총괄 컨트롤러에 도킹 스테이션 (127) (도 1a) 또는 저장 장소 (135) (도 1a)를 점유하는 임의의 웨이퍼 캐리어 (109) (도 1a)의 존재를 알려주는 것을 포함할 수 있다. 이러한 정보는 각각의 특정 웨이퍼 캐리어 (109)내에 함유된 웨이퍼의 식별정보 (도시되지 않음) 및 이들 웨이퍼 캐리어 (109) 각각의 위치를 포함할 수 있다.
단계 (606)에서, 공정 (600)이 종결된다.
전반적 HSL 정렬 공정
도 7a 내지 7b는 고속 로더 (107) (도 1a)를 웨이퍼 처리 툴 (103) (도 1c)의 팩토리 인터페이스 (123) 및 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1b)에 대해 정렬시키기 위한 예시적 공정 (700)의 플로우 챠트를 도시한다. 도 7을 참조하면, 공정 (700)은 단계 (701)로 시작한다. 단계 (702)에서, 고속 로더 (107) (도 1a)에 대한 근사 풋프린트 위치 (개별적으로 도시되지 않음)가 설정된다.
단계 (702)는 별도의 공정을 포함할 수 있다. 그러나, 예시적 공정이 하기 기술된다. 먼저, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1b)에 의해 다루고자 하는 웨이퍼 처리 툴 (103) (도 1c)이 확인된다. 바람직하게는, 웨이퍼 처리 툴 (103)은, 웨이퍼 처리 툴 (103)의 팩토리 인터페이스 (123) (도 1c)의 기준 플레이트 (129) (도 1c)가 적절하게 미리 정위되도록 필요에 따라 배향되고/되거나 조정된다. 예를 들어, 기준 플레이트 (129)의 셀프 지지 패널 (133) (도 1a)은 수직으로 정렬되고, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105)이 웨이퍼 캐리어 (109)를 운송하여 소정의 수평적 옵셋 (도시되지 않음)이 제 1 경로부 (111)와 셀프 지지 패널 (133)을 분리시키도록 하는 제 1 경로부 (111) (도 1b)에 대해 평행하게 될 수 있다. 후자는 고속 로더 (107) (도 1a)가 웨이퍼 처리 툴 (103)에 인접하게 설치되는 경우, 말단 이펙터 (175) (도 1b), 웨이퍼 캐리어 저장 장소 (135) (도 1b), 및 팩토리 인터페이스 (123)의 도킹 스테이션 (127)이 동일한 x-z 평면내에서 작동가능하거나 이러한 평면내에서 작동가능하도록 미세 조정될 수 있음을 보장하고자 하는 설비다.
다음으로, 단계 (702)는 바람직하게는 고도 조정 레그 (161) (도 1b)의 풋(feet) (165) (도 1b)이 제조 설비의 바닥 (115) (도 1a)상에 견고히 수용되고, 각각의 풋 (165)과 관련된 림 (163)을 투사하는 각각의 빔 (159) 아래에 거의 동일한 거리를 두고 존재하도록 고속 로더 (107) (도 1a)를 설치하는 것을 포함한다. 이러한 설비는 프레임 (157) 내에서 비틀림(twisting) 힘을 적어도 명목적으로 (실제 로는 그렇지 않은 경우) 방지하는 고속 로더 (107)의 프레임 (157) (도 1a)의 위치의 조정을 위한 유용한 출발점을 제공한다.
다음으로, 단계 (702)는 바람직하게는 고속 로더 (107) (도 1b)의 프레임 (157)을, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1b)의 아래의 웨이퍼 처리 툴 (103) (도 1b)의 팩토리 인터페이스 (123)에 인접부에서, 웨이퍼 처리 툴 (103) 및 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105)에 대한 정렬이 완료된 후에 고속 로더 (107)가 하강하는 위치와 대략 동등한 제조 설비 (113)의 바닥 (115) (도 1c)상의 위치로 이동시키는 것을 포함한다. 고속 로더 (107)를 대강 정위시키는 한 가지 방법은, 팩토리 인터페이스 (123)의 도킹 스테이션 (127) (도 1a)이 프레임 (157)의 엔벨로프내로 돌출하여 인접한 프레임 (157)의 수직 빔 (159) 세트 사이에 대략 중심을 두도록, 고속 로더 (107)의 프레임 (157) (도 1a)을 팩토리 인터페이스 (123) (도 1a)에 대해 직접 배치하거나, 팩토리 인터페이스 (123)로부터 가까운 거리에 배치하는 것이다. 도킹 스테이션 (127)은, 이들이 수평면과 동일한 수준이며 기준 플레이트 (129)의 기준 표면 (131)에 대해 실질적으로 수직으로 뻗게 되도록, 기준 플레이트 (129) (도 1a)에 대해 사전 정위되고 사전 배향될 수 있다. 유사하게, 고속 로더 (107)의 프레임 (157)의 엔벨로프내로 또한 돌출해야 하는 저장 장소 (135) (도 1b)는, 이들이 수평면과 동일한 수준이며 기준 플레이트 (129)의 기준 표면 (131)에 대해 실질적으로 수직으로 뻗게 되도록, 셀프 지지 패널 (133) (도 1a)상에 정위될 수 있다. 이는 저장 장소가 기준 플레이트 (129)상에 장착됨을 가정한다. 저장 장소가 고속 로더 (107)의 프레임 (157)상에 대안적으로 장착될 수 있음을 유의해야 하는데, 이러한 경우 이들 저장 장소는 유닛으로서 정위될 수 있다.
하기에 보다 상세히 논의되는 바와 같이, 기준 플레이트 (129) (도 1a) 및/또는 셀프 지지 패널 (133) (도 1a)은, 도킹 스테이션 (127) (도 1b) 및 저장 장소 (135) (도 1a)가 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154) (도 1a)의 말단 이펙터 (175) (도 1a)와 동일한 x-z 평면을 점유함을 보장하도록, 최종 정렬 후에 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1a) 및 고속 로더 (107) (도 1a) 둘 모두에 대한 y축을 따라 수평적으로 조정될 수 있다.
그러나, 이러한 목적을 위해 보다 중요한 것은 팩토리 인터페이스 (123) (도 1b)에 대하여 고속 로더 (107) (도 1b)의 적합한 x축 위치를 선택하는 것이다. 상기 언급된 바와 같이, 도킹 스테이션 (127)을 고속 로더 (107)의 프레임 (157) (도 1b)내의 중심에 있게 하는 x축 위치가 일반적으로 고속 로더 (107)의 최상의 x축 위치일 수 있다. 그럼에도 불구하고, 고속 로더 (107)의 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154) (도 1a)가 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154)의 수평 가이드 (169) (도 1a)를 따라 말단 이펙터 (175) (도 1a)의 이동 범위를 따라 본질적으로 임의의 x축 위치에서 고정밀(high-precision) 인계를 달성하도록 웨이퍼 캐리어 처리 시스템 (101) (도 1b)에 의해 탄력적으로 사용된다는 사실을 고려해 볼 때 허용되는 위치 범위가 존재할 수 있다. 이와 같이, 전술한 도킹 스테이션 중심화 정렬이 속도 및 간단함을 위해 육안에 의해 달성될 수 있다 (그러나, 보다 정밀한 배치 기술이 사용될 수 있음).
단계 (702)는 고속 로더 (107) (도 1c)가 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1c)에 대해 x-y 평면에 합리적으로 정확히 위치함 (예를 들어, 위치 및/또는 회전)을 확인하는 것을 추가로 포함한다. 예를 들어, 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154)의 수평 가이드 (169) (도 1c)를 따른 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154) (도 1c)의 말단 이펙터 (175) (도 1c)의 경로가 웨이퍼 캐리어 운송 시스템 (105) (도 1c)이 웨이퍼 캐리어 (109)를 운송시키게 하는 제 1 경로부 (111) (도 1c) 아래에 정렬됨을 보장하기 위해, 제조 설비 (113) (도 1b)의 바닥 (115) (도 1c)상의 고속 로더 (107)의 프레임 (157) (도 1c)의 위치가 시각적으로 검사될 수 있다. 시각적 검사에 의해 이러한 경로 대 경로 수평적 정렬이 없는 것으로 판명되는 경우, 고속 로더 (107)의 프레임 (157) (도 1a)은 동일한 시각적 검사가 긍정적인 결과를 나타낼 때까지 x-y 평면내에서 이동되고/되거나 회전될 수 있다 (예를 들어, 프레임 (157)의 레그 (161)의 풋 (165)이 수용되는 제조 설비의 바닥 (115)상의 위치가 변경될 수 있음).
제 1 경로부(111)가 고속 로더(107)와 비교하여 상대적으로 긴 것이 바람직하지만, 본 발명의 방법 및 장치는 제 1 경로부(111)가 고속 로더(107)의 x-축 길이(미도시됨) 보다 짧고/거나 말단 이펙터(175)의 수평 가이드(169)에 따른 수평이동 범위의 x-축 길이(미도시됨) 보다 짧은 x-축 길이(미도시됨)를 갖는 경우에도 동일하게 적용가능하다는 것을 주시해야 한다.
단계 (702)의 종료시 고속 로더(107)의 풋프린트(별도로 도시되지 않음)는 제조 설비(113)의 플로어(115)상에 일정한 위치로서, 공정 (700)의 종료시에 고속 로더(107)의 풋프린트가 결국 차지하게 되는 위치와 매우 높은 정도로 정확하게(예를 들어, 육안으로 적당하게 확인될 수 있는 정도) 근접한 위치에 정위되어야 한다. 그러나, 본 공정(700)은 또한 하기 기술된 바와 같이 고속 로더(107)의 위치 및 방향을 미세 조정할 수 있음이 이해될 것이다.
단계(703)에서, 고정밀의 수평 기기 또는 이와 유사한 기기가 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 각각의 수직 가이드(171)에 (직접적으로) 적용될 수 있으며, 고속 로더(107)의 프레임(157) 레그(161)는 양 수직 가이드(171)가 동시에 수직 방향으로 정렬되도록 조절된다. 후에 설명된 바와 같이, 수직 가이드들(171)의 방향이 고속 로더(107)의 미세하게 정렬된 상태에서 수직으로부터 바람직하게는 약각 벗어날 수 있지만, 그럼에도 불구하고 공정(700)의 하나 이상의 구체예에서 수직 가이드들(171)은 서로 일직선으로 정렬되는 것으로 관찰되었다. 이러한 설치는, 공정(700)에서 의도되지 않으며, 피할 수 있는 x-축 트위스트가 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 수평 가이드(169)에서 후에 발생할 가능성에 반하여 작용하는 경향이 있다.
수직 가이드(171)가 동시에 수직을 이루도록 하기 위해 프레임(157)의 상태를 상당히 조절해야 하는 경우, 프레임(157)의 말단의 레그(161)가 제조 설비(113)의 플로어(115)상의 x-y 면에서 이동 위치에 오도록 프레임(157)의 말단을 정기적으로 약간 이동시키면, 프레임(157)내의 과도한 압박의 축적을 피할 수 있다.
선택적으로, 단계(703)은, 수직 가이드(171)가 수직으로 정렬된 후에, 말단 이펙터(175)가 수평에 상응하는 정도로 정렬되었다는 것을 입증하기 위해 고정밀의 수평 기기 또는 이와 유사한 기기를 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 말단 이펙터(175)에 적용시키는 것을 추가로 포함할 수 있다.
단계(704)에서, 론치 센서 어셈블리(183)(도 3)의 프레임(185)(도 3)은 도 3에 도시된 바와 같이 직립 위치로 세팅되어 있으며, 프레임(157)(도 1a)은 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대해 허용가능한 높이를 갖도록 조절된다. 밴드(139)(도 3)가 +x 방향(예를 들어, 페이퍼쪽으로)으로 이동함에 따라, 탐지 가능한 특징부(153)는 론치 센서 어셈블리(183)의 론치 센서(184)의 x-축 위치를 통과한다. 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대한 프레임(157)의 전반적인 높이는 바람직하게는 프레임(157)의 모든 레그(161)를 사실상 동일한 높이로 조절하므로써 조절되어, 론치 센서 어셈블리(183)의 라이트 빔(191)이, 론치 센서 어셈블리(183)를 통과할 때 탐지 가능한 특징부(153)의 탐지에 적합한, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대한 높이에 도달하게 된다. 허용가능한 높이의 범위가 존재한다면, 라이트 빔(191)의 높이를 이러한 범위의 중간 지점 또는 이에 근접한 지점으로 세팅하여, 공정 700의 종료시까지, 예를 들어, 프레임(157) 레그(161)의 위치 또는 높이의 추가적인 조절이 요구될 수 있는 중간의 공정 단계들로 인해서 라이트 빔(191)의 높이가 상기 범위로부터 벗어나는 것을 방지하는 것이 바람직할 수 있다.
단계(705)에서, 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)(도 1a)의 수평 가이드(169)(도 1b)의 피치(예를 들어, y-축을 따라 도시된 바와 같이 수평으로 정렬된 부분으로부터 출발)는 웨이퍼 캐리어(109)를 운송하도록 구성된 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)이 통과하는 제 1 경로부(111)(도 1b)의 피치에 사실상 매칭되도록 조절될 수 있다. 단계(705)는 이 단계 자체가 분리된 별개의 공정을 포함할 수 있다. 단계(705)를 수행하기 위한 공정의 예시적인 구체예는 도 8의 플로우 차트 및 도 10a-10b 및 11의 장치를 주요 참조로 하여 하기에 설명되어 있다.
단계 706에서, 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)(도 1b)의 수평 가이드(169)(도 1b)의 롤(예를 들어, x-축을 따라 도시된 바와 같이 수평으로 정렬된 부분으로부터 출발)은 롤이 x-축 주위로 사실상 제거되도록 조절된다. 단계(706)에서는, 말단 이펙터(175)가 수평 가이드(169)에 따라 이동할 경우 항공분야에서 "연속 횡전(barrel roll)"으로서 공지된 상황을 초래할 수 있는 x-축 트위스트 유형이 반드시 고려되어야 하는 것은 아니라는 것을 주지해야 한다. 오히려, 단계 706에서는, 수평 가이드(169)가 y-축을 따라 도시된 바와 같이 무시할 수 없을 정도의 피치를 나타내는 것이 허용되더라도, 수평 가이드(169)가 x-축을 따라 도시된 바와 같이 수평으로 정렬되거나 수평한 상태를 나타내게 하는 것이 고려된다.
고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 수평 가이드(169)가 피치된 경로를 통해 말단 이펙터(175)를 유도하는 범위까지, 수평 가이드(169)에 대해 기울어지지 않은 방향으로 존재하는 것이 바람직하다는 것은 상기로부터 자명하며, 수평 가이드는 말단 이펙터(175)를 상향으로 유도하는 것과 동시에, 상향 유도 전체에 걸쳐 말단 이펙터를 수평 또는 제로-롤 상태로 유지시킬 수 있다. 이것이 공정(700)의 단계(705) 및 단계(706)의 목표이다.
단계(706)의 설명에 있어서, 수평 가이드(169)가 비-제로 롤 상태로 존재하는 경우, 바람직하게는 프레임(157) 상태를 조절하여, 수평 가이드(169)가 비-제로 롤 상태를 취하도록 재배향시킨다. 이러한 목적으로, 고정밀 수평 기기 또는 이와 유사한 기기가 말단 이펙터(175)상에 위치하여, 말단 이펙터(175)가 +x 방향을 따라 적어도 수평으로 배향(예를 들어, 제로 롤)되어 있는 지의 여부를 나타낸다. 바람직하게는, 말단 이펙터(175)는 수평 가이드(169)를 따라 이동하여 비-제로 롤 각이 존재하는 지를 측정한다. 비-제로 롤 각 또는 오프셋이 존재하는 경우, 프레임(157)의 상태는, 예를 들어, 프레임(157)의 고도를 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 밴드(139)의 한 면에 대해 특정 범위까지 하향 조절하고/거나 밴드(139)의 다른 한 면에 대해 동일하거나 유사한 범위까지 상향 조절한 후, 제로 롤을 재탐지하므로써 조절될 수 있다. 다중의 이러한 조절은 필요에 따라 제로 롤이 달성될 때까지 수행되어야 한다.
단계(707)에서는, 단계(706)에서 수행된 롤 조절이 단계(705) 후에 제 1 경로부의 피치와 매칭되었으나, 단계(706)의 롤 조절로 인해 더이상 매칭되지 않은 수평 가이드(169)의 피치를 초래하는 가능성에 대해 고속 웨이퍼 캐리어 핸들(154)의 수평 가이드(169)의 피치가 탐지된다. 실제로 수평 가이드(169)의 피치가 제 1 경로부(111)의 피치와 더 이상 매칭되는 않는 경우, 단계(705)가 반복되며, 단계 706 또한 반복되고, 그 후, 수평 가이드(169)의 피치가 재탐지된다. 이러한 사이클은, 수평 가이드(169)의 피치가 제 1 경로부(111)의 피치와 매칭되는 것과 동시에 수평 가이드(169)의 롤이 사실상 제로가 될 때까지 반복될 수 있으며, 이 후 단계(708)를 위한 고속 로더(107)가 준비될 것이다.
단계(708)에서, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)(도 1c)에 대한 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)(도 1c)의 수평 가이드(169)(도 1c)의 y-축 위치는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105) 아래의 위치로부터 측면 이동을 방지하기 위해 조절되며; 수평 가이드(169)의 방향은 수평 가이드(169)가 통과하여 말단 이펙터(175)를 유도하는 경로에서 비-제로 요를 포함하는 각 오프셋을 제거하도록 조절된다(예를 들어, 제 1 경로부(111)를 갖는 수직으로 배향된 평면과 수직으로 정렬된 부분으로부터 출발). 단계(708)의 목적에 있어서, 단계(708)을 만족시키기 위해 y-축 위치 및 수평 가이드(169)의 방향을 조절하는 방식에 있어서 많은 선택 사항이 존재한다는 것을 주목해야 한다. 예를 들어, 한 선택 사항은 프레임(157)을 제조 설비(113)의 플로어(115)에 대해 이동시키는 것을 포함한다. 또 다른 선택 사항은, 수평 가이드(169)를 수직 가이드(171)에 대해 이동시키고, 따라서 고속 로더(107)의 프레임(157)에 대해 이동시키는 것을 포함한다.
단계(708)은 분리된 별개의 공정을 포함할 수 있다. 단계(708)을 수행하기 위한 공정의 한 구체예는 흐름도를 나타내는 도 9, 및 장치를 나타내는 도 12a-B 및 13을 주요 참조로 하여 하기에 설명되었다. 단계(708)이 완료되면, 고속 로더(107)가 웨이퍼 처리 툴(103) 및 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)과 완전히 일직선으로 정렬되며, 이들에 대해 캘리브레이팅되도록 준비된다.
단계(709)에서, 공정(700)이 완료된다.
HSL 피치 조절
도 8은, 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 수평 가이드(169)(도 1a)의 방향을 조절하여, 수평 가이드(169)가, 웨이퍼 캐리어(109)를 운송하는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)이 통과하는 제 1 경로부(111)의 피치와 매칭되는 피치를 나타내게 하는 예시적인 공정(800)의 흐름도이다. 도 10a-10b 및 도 11은 공정(800)과 관련된 장치이다.
도 10a는 도 1a-1C의 수평 가이드(169) 및 말단 이펙터(175)의 정면도, 및 웨이퍼 캐리어(109)를 운송하는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)(도 1a)이 통과하는 제 1 경로부(111)의 정면도이며, 여기서 제 1 경로부(111)의 피치와 수평 가이드(169)의 피치는 서로 매칭되지 않는다. 도 10b는 도 10a와 유사한 수평 가이드(169), 말단 이펙터(175) 및 제 1 경로부(111)의 정면도이며, 다만 도 10b에서는, 제 1 경로부(111)의 피치와 수평 가이드(169)의 피치는 서로 매칭된다. 도 11은 도 1a-1C의 고속 로더(107)의 개략적인 측면도이며, 여기서 말단 이펙터(175)가 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대해 사전규정가능한 고도에 위치하는 경우, 바람직하게는 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 말단 이펙터(175)상에 탑재된 측방 센서(side-looking sensor)는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 탐지 가능한 특징부 및/또는 이와 관련된 탐지 가능한 특징부를 탐지하기에 적합하다.
도 8, 도 10a 내지 도 10b 및 도 11을 참조하면, 공정 (800)은 단계 (801)에서 시작한다. 단계 (802)에서, 측면 감시 센서 어셈블리 (225)는 도 11에 도시된 바와 같이 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154)의 말단 이펙터 (175)에 설치된다. 센서 어셈블리 (225)는 도 11의 구체예에서 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)의 밴드 (139)의 저부 엣지 (228)를 포함하는 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)의 및/또는 이와 관련된 탐지가능한 특징부 (227)을 탐지하도록 개조된다.
단계 (803)에서, 말단 이펙터 (175)는 수평 가이드 (169)의 길이를 따라 사전정의된 제로 포인트(이후, 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154)의 "수평 제로"로 지칭)에 위치한다. 한 구체예에서, 수평 제로는 수평 가이드 (169)에 따른 말단 이펙터 (175)의 운동 범위에 따른 한 포인트이며, 그러한 수평 가이드는 상기 범위를 따른 최상류 포인트와 상당히 근접해 있다(도 10a에서 참조 부호 233). 이러한 위치는 수평 가이드 (169)의 사용가능한 "주행" 길이를 최대화하여 수평 가이드 (169)가 더욱더 높은 웨이퍼 캐리어 교환 속도를 지지하게 할 수 있다.
단계 (804)에서, 위치 (233) 또는 수평 제로에서 수평 가이드 (169)에 의해 움직이지 않게 고정된 말단 이펙터 (175), 및 수평 가이드 (169)는 함께 각각의 수직 가이드 (171)(도 11)을 따라 등척도로 상하 수직 이동한다.
단계 (805)에서, 탐지가능한 특징부 (227)이 센서 (243)과 정렬되는 경우, 탐지가능한 특징부 (227)을 탐지하도록 개조되는, 센서 어셈블리 (225) (도 11)의 측면 감시 센서 (243) (도 11)은 탐지가능한 특징부(227)를 탐지한다. 예를 들어, 센서 어셈블리 (225)의 센서 (243)은 상기 탐지에 반응하여 시그날을 생성할 수 있다(예를 들어, 그리고 시그날을 컨트롤러 (178)에 제공할 수 있다(도 1b)).
단계 (806)에서, 말단 이펙터 (175)는, 바람직하게는 위치 233 또는 수평 제로를 포함하는, 단계 (804) 및 (805) 동안 수평 가이드 (169)의 길이를 따른 이것이 점유하는 위치로부터 수평 가이드 (169)의 길이를 따른 상이한 위치(예를 들어, 위치(233)의 하류)로 이동한다. 예를 들어, 말단 이펙터 (175)는 위치 (233) 또는 수평 제로와 관련된 말단의 반대편인 말단 이펙터 (175)의 이동 범위의 말단 부근의 포인트 (235)로 이동한다(단계 (806)에서, 수평 가이드 (169)는 바람직하게는 단계 (805) 동안 탐지가능한 특징부 (227)의 탐지 순간에 점유하는 동일한 수직 가이드 위치에 위치한다.).
단계 (807)에서, 말단 이펙터 (175)는, 도 10a 내지 10b에 도시된 바와 같이, 다시 수평 가이드 (169)에 의해 이번에는 하류 위치 (235)에 움직이지 않게 고정된다. 필요한 경우, 고속 로더 (107)의 프레임 (157)의 위치가 충분히 조정되어(예를 들어 레그(161)의 길이를 조정함으로써(도 1b)), 센서 (243)이 이동되도록하고, 다시 탐지가능한 특징부 (227)을 탐지한다.
단계 (808)에서, 센서 (243)은, 단계 (805)에서와 같이, 다시 탐지가능한 특징부 (227)을 탐지하고 상기 탐지를 나타내는 시그날을 생성하며, 프레임 (157)의 위치 조정은 상기 탐지와 일치하게 중지된다. 예를 들어, 센서 (243)은 생성된 시그날을 컨트롤러(178)에 제공할 수 있다(도 1b).
당업자는 하류 탐지가 일어나도록 하여 공정 (800)을 완료하는 다른 방법을 인식할 것이다. 예를 들어, 프레임 (157)의 하류 말단 밑에 심(shim)이 도입될 수 있다. 대안적으로, 수직 가이드 (171)의 배향은 고속 로더 (107)의 프레임 (157)에 대한 유닛으로서 조정될 수 있다.
공정 (800)에서 사용되는 측면 감시 센서는 도 10에 예시된 바와 같은 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)의 밴드 (139)에 의해 또는 이의 일부에 의해 형성되는 탐지가능한 특징부를 관찰하는데 사용될 필요가 없다. 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)의 웨이퍼 캐리어 지지 부재 (143)의 탐지가능한 특징부가 사용될 수 있다. 따라서, 웨이퍼 캐리어 (109)의 탐지가능한 특징부 또는 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)의 탐지가능한 특징부는 밴드 (139), 예를 들어 하방으로 연장되는 지지 프레임(도시되지 않음)의 연장부와 함께 이동하지 않는다. 바람직하게는, 센서 (243)의 축 (245)에서와 같이, 공정 (800)에 사용되는 측면 감시 센서는 수평 가이드 (169)와 정렬되어, 말단 이펙터 (175)가 제로 롤로 설정되는 경우, 측면 감시 센서의 정렬이 수평선과 실질적으로 같은 높이가 된다. 임의의 적당한 센서 타입이 사용될 수 있다(예를 들어, 반사성, 쓰루 빔 등)
HSL 요 및 Y-축 이동 조정
도 9는 수평 가이드 (169)가 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)의 밑에 정렬되고 말단 이펙터 (175)의 경로 (237) (도 12)이 제1 경로 위치 (111)을 함유하는 수직 방향 평면(예를 들어 제로 편주 오프셋)내에서 정렬되도록, 고속 로더 (107)(도 1c)의 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154) (도 1c)의 수평 가이드 (169)의 요 배향 및 y-축 위치를 조정하기 위한 예시적인 공정 (900)의 흐름도를 예시한다. 도 13은 공정 (900)와 관련된 장치를 예시한다.
도 13은 도 1a 내지 1c의 고속 로더 (107)의 개략적인 측면도이며, 여기서 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154)의 말단 이펙터 (175)에 설치되는 것이 바람직한 상방 감시 센서는, 말단 이펙터 (175)가 제1 경로 위치 (111) 밑에 적절하게 정렬되는 경우 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)의 또는 이와 관련된 탐지가능한 특징부를 탐지하도록 개조된다.
도 9 및 13을 참조하면, 공정 (900)이 단계 (901)에서 시작된다. 단계 (902)에서, 상방 감시 센서 어셈블리 (247)은 도 13에 도시된 바와 같이 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러 (154)의 말단 이펙터 (175)에 설치된다. 어셈블리 (247)은, 도 13의 구체예에서, 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)의 밴드 (139)의 하방 표면 (251)을 포함하는 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)의 또는 이와 관련된 탐지가능한 특징부 (249)를 탐지하도록 개조된다.
단계 (903)에서, 말단 이펙터 (175)는 수평 가이드 (169)의 수평 제로 또는 위치 (233)(도 12a)에 위치한다. 단계 (904)에서, 프레임 (157)의 상류 말단의 y-축 위치(예를 들어, 말단 이펙터 (175)가 위치하는 프레임(157)의 말단)가 제조 설비(113)의 플로어(115)에 대해, 그리고 웨이퍼 캐리어 운반 시스템 (105)에 대해 조정된다.
단계 (905)에서, 특징부 (249)가 센서 (253)과 정렬되는 경우 특징부 (249)를 탐지하도록 개조되는 어셈블리 (247) (도 13)의 상방 감시 센서 (253)는 특징부 (249)를 탐지한다. 예를 들어, 센서 (253)은 상기 탐지에 반응하여 시그날을 생성하고, 이에 반응하여, 프레임 (157)의 상류 말단의 y-축 이동이 정지된다(예를 들어 자동적으로 또는 작업자에 의해). 예를 들어, 컨트롤러 (178)(도 1b)는 생성된 시그날을 수신하고 프레임 (157)의 y-축 이동을 정지시킬 수 있다(예를 들어, 작업자에게 경보를 발생하거나, 프레임 (157)을 이동하는 모터(도시하지 않음)를 정지시킴으로써).
단계(906)에서, 말단 이펙터(175)는 위치(233)에서 수평 가이드(169)(도 12a)의 반대쪽 위치(235)로 이동한다.
단계(907)에서, 말단 이펙터(175)는 도 12a-12b에 도시된 바와 같은 하류 위치(235)에서 이번에는 수평 가이드(169)에 의해 다시 부동 고정된다. 프레임(157)의 하류 단부(예를 들어, 말단 이펙터(175)가 이제 위치되는 프레임의 단부)의 y-축 위치는 제조 설비(113)의 바닥(115)에 대하여 조정되고, 웨이퍼 캐리어 시스템(105)에 대하여 충분히 조정되어 센서(253)가 움직여서 다시 특징부(249)를 탐지할 수 있게 한다.
단계(908)에서, 센서(253)는 단계(905)에서 수행한 바와 같이, 다시 특징부(249)을 탐지하고 상기 탐지을 지시하는 신호를 발생시킨다(상기에서 설명된 바와 같이 예를 들어 제어기(178)을 통하여 프레임(157)의 하류 단부의 y-축 움직임을 정지시킨다). 이제 수평 가이드(169)는 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)의 밑에 적절히 정렬되어 경로(237)가 제1 경로부(111)를 포함하는 수직-배향 평면에 정렬되고, 고속 로더(107)는 웨이퍼 프로세싱 기계(103) 및 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)에 대하여 눈금 계측할 준비가 된다.
단계(909)에서 공정(900)이 종결된다.
공정(900)에서 이용된 상방감시용 센서는 도 13에 도시된 바와 같은 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)의 밴드(139)의 일부로 형성된 탐지가능한 특징부를 관찰하는데 이용될 필요가 없다. 예를 들어, 웨이퍼 캐리어(109)의 탐지가능한 특징부는, 하방으로 연장된 지지 프레임(미도시)의 연장부과 같은 밴드(139)와 함께 움직이지 않는 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)의 탐지가능한 특징에서와 같이, 이용될 수 있다. 또한, 상향 및 측방으로 향하는 센서가 공정(900)의 목적상 이용될 수 있다. 임의의 적당한 센서 유형이 이용될 수 있다(예를 들어, 반사형, 관통 빔, 등).
다시 도 4에 있어서, 장착 셀프(173a)은 수직 가이드(171)에 대한 수평 가이드(169)의 y-축 움직임을 허용함으로써, 또한 프레임(157)에 대한 움직임을 가능하게 한다(전술한 바와 같다). 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105) 밑에 수평 가이드(169)의 정렬 및 제1 경로부(111)를 포함하는 수직-배향 평면내의 경로(237)의 정렬을 달성하기 위한 유일한 수단으로서 제조 설비(113)의 바닥(115)에 대하여 프레임(157)의 위치를 조정하기 보다는, 최종 정렬에 충분히 근접한 경우에, 대신에 수직 가이드(171)에 대하여 수평 가이드(169)의 위치를 정밀하게 조정하여 원하는 y-축 및 빗놀이(yaw) 정확도를 달성할 수 있다.
HSL 말단 이펙터 수직 영점 수립
도 14는 예를 들어 웨이퍼 캐리어 교환 개시 직전의 시간 동안에 말단 이펙터(175)가 정체하는 말단 이펙터(175)를 위한 "수직 영점"으로서 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)에 대하여 고속 로더(107)의 말단 이펙터(175)의 높이를 수립하기 위한 예시적 공정(1400)의 흐름도를 나타낸다. 적어도 2개의 분명한 높이가 수립되며, 하나는 웨이퍼 캐리어(109)를 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)상에 위치시키기 위해 대기하는 동안 말단 이펙터(175)가 정체하는 적당한 높이에 대응되며, 다른 하나는 웨이퍼 캐리어를 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)으로부터 제거하기 위하여 대기하는 동안 말단 이펙터(175)가 정체하기 위한 적당한 높이에 대응한다. 전자의 높이는 일반적으로 후자 보다 낮을 것인데, 이것은 위치 대기하는 웨이퍼 캐리어(109)가 충분히 낮은 높이로 지지되어 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)상에 적재될 웨이퍼 캐리어와 웨이퍼 캐리어 운반 시스템(105)에 의해 위로 운반되는 다른 웨이퍼 캐리어(109)가 접촉되는 것을 배제할 필요가 있기 때문이다. 대조적으로, 후자의 높이는 보다 높은데, 이는 어떠한 웨이퍼 캐리어(109)도 그러한 간극을 요구하는 말단 이펙터(175)에 의해 지지되지 않기 때문이다. 그럼에 불구하고, 골정(1400)은 하나 또는 양자 기능을 위한 수직 영점을 수립하기 위하여 사용될 수 있으며, 도 16-17은 공정(1400)에 관한 장치를 도시한다.
도 16 및 도 17은 도 1a-1c의 고속 로더(107)의 개략적 측면도이고, 여기에서 바람직하게는 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 말단 이펙터(175)에 장착된 측방 센서가 조정되어 말단 이펙터(175)가 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대하여 미리 정해진 높이에 위치하는 경우에 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 탐지 가능한 특징 및/또는 그에 관련된 탐지 가능한 특징을 탐지하게 된다.
도 14, 도 16 및 도 17에 대하여, 공정(1400)은 단계(1401)로부터 시작된다. 단계(1402)에서, 측방 센서 어셈블리(257)는 도 16에 도시된 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)의 말단 이펙터(175)에 장착된다. 센서 어셈블리(257)이 조정되어 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 탐지 가능한 특징 및/또는 그에 관련된 탐지 가능한 특징을 탐지하게 되고, 도 16의 예시적 구체예에서, 그것은 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 웨이퍼 캐리어 지지부재(143)의 표면(261)을 포함한다.
단계(1403)에서, 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러의 말단 이펙터(175) 및 수평 가이드(169)는 수직 가이드(171) 및 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대하여 수직으로 움직인다.
단계(1404)에서, 센서 어셈블리(257)(도 16)의 측방 센스(263)(도 16)는, 특징부(259)이 센서(263)에 의해 규정된 축(265)에 정렬되는 경우에 특징부(259)을 탐지하도록 조정되어, 특징부(259)을 탐지한다. 바람직하게는 센서(263)는 상기 탐지에 반응하여 신호를 발생시킨다. 제어기(178)(도 1b)는 발생된 신호를 수용한다.
단계(1405)에서, 웨이퍼 캐리어 처리 시스템(101)(도 16)의 제어기(178)는 센서(263)으로부터의 신호에 기초하여, 센서(263)가 특징부(259)을 탐지하는 경우에 수평 가이드(169)에 의해 점유된 위치를 수직 가이드(171)를 따라 결정한다. 센서 어셈블리(257)는, 말단 이펙터(175)가 말단 이펙터(175)의 수직 영점을 수립하기에 적당한 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 대한 위치에 있는 경우에, 센서(263)가 특징부(259)을 탐지할 수 있도록 기하학적으로 구성된다. 제어기(178)는 바람직하게는 탐지이 시행되는 경우에 수직 가이드(171)에 대한 수평 가이드(169)의 위치에 대응하는 값을 저장하여, 말단 이펙터(175)가 그 수직 영점에 위치할 때마다, 제어기(178)가 값을 결정하고 적절하게 수평 가이드(169)를 위치시킨다.
단계(1406)에서, 공정(1400)이 종결된다.
공정(1400)의 목적상 센서 어셈블리(257)가 말단 이펙터(175)에 결합되는 것이 바람직하더라도, 당업계의 그러한 처리 기술에 비추어 다른 결합 위치가 선택될 수 있다는 것이 인식될 것이다. 예를 들어, 센서 어셈블리(257)는 수평 가이드(169)에 또는 장착 플레이트(177)에 직접 결합될 수도 있다. 웨이퍼 캐리어 처리 시스템(101)이 센서(263)로부터의 신호를 통해 수직 영점 위치를 자동으로 스스로 "제시"하도록 맞추어질 수 있다는 것을 주지하라.
도 17에 있어서, 센서 어셈블리(257)의 센서(263)가 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)에 의해 운송된 웨이퍼 캐리어(109)의 부분인 특징부(259)을 탐지하도록 이용될 수도 있다. 도 17의 특징부(259)은 웨이퍼 캐리어(109)의 표면(267)을 포함한다.
웨이퍼 캐리어(109)가 말단 이펙터(175) 상에 존재하지 않는 경우(공정 1400)의 수평 가이드(169)를 위해 결정된 수직 영점에 기초하여, 웨이퍼 캐리어(109)의 두께가 알려져 있다면, 웨이퍼 캐리어가 말단 이펙터(175) 상에 존재하는 경우의 수평 가이드(169)를 위한 수직 영점이 용이하게 결정된다(예를 들어, 수동으로 또는 자동으로).
HSL 말단 이펙터 수평 개시 오프셋의 수립
도 15는 고속 로더(107)의 말단 이펙터(175)의 "수평 개시 오프셋"을 개시 센서(184)(도 3)에 대하여 수립하기 위한 예시적 공정(1500)의 흐름도를 나타낸다. 수평 개시 오프셋을 알면 웨이퍼 캐리어 처리 시스템(101)이 말단 이펙터(175)의 웨이퍼 캐리어 교환 개시를 적절히 시간 측정할 수 있게 한다.
고속 로더(107)의 수평 개시 오프셋은, 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)상의 주어진 점이 개시 센서(184)를 통과하는 시점, 및 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 점이 말단 이펙터(175)의 위치(233) 또는 수평 영점을 통과하는 시기 사이의 시간 주기를 포함하거나 이에 관련될 수 있다(예를 들어 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 주어진 속도에 대하여). 대안적으로, 수평 개시 오프셋은 개시 센서(184)와, 말단 이펙터(175)의 위치(233) 또는 수평 영점 사이의 X축을 따른 실제 거리를 포함하거나 이에 기초할 수 있다.
도 3, 11 및 15에 대하여, 공정(1500)은 단계(1501)로부터 시작한다. 단계(1502)에서, 측방 센서 어셈블리, 예를 들어 도 11의 센서 어셈블리(225)가 말단 이펙터(175)(도 11)에 장착된다. 센서 어셈블리(225)는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 탐지 가능한 특징부(227) 및/또는 그와 관련된 탐지 가능한 특징부(227)을 탐지하도록 조정된다. 바람직하게는, 센서 어셈블리(225)는 밴드(139)내에 형성된 슬롯(179)을 포함하는 탐지 가능한 특징(153)(도 3)을 탐지하도록 조정된다.
단계(1503)에서, 고속 로더(107)의 개시 센서, 예를 들어 도 3의 개시 센서(184)는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 탐지 가능한 특징(153)이 개시 센서(184)를 통과하는 경우에 이를 측정하고, 신호를 발생시킨다. 생성된 신호는 제어기(178)(도 1b)에 제공된다. 단계(1503)는 상기 도 3에 대하여 설명된 방법에 따라 수행될 수 있다.
단계(1504)에서, 센서 어셈블리(225)의 센서(243)(도 11)는 단계(1503) 동안에 개시 센서(184)에 의해서 탐지된 동일한 탐지 가능한 특징(153)을 탐지하여 신호를 발생시킨다. 생성된 신호는 제어기(178)(도 1b)에 제공된다. 단계(1504)는 도 3에 대하여 설명된 방법에 따라 수행될 수 있다.
단계(1505)에서, 고속 로더(107)의 말단 이펙터(175)를 위한 수평 개시 오프셋이 단계(1503) 및 단계(1504)의 신호에 기초하여 결정된다. 예를 들어, 2개 신호 사이의 시간, 센서들(184, 243) 사이의 거리 및/또는 웨이퍼 캐리어 운송 시스템(105)의 속도 지식에 기초하여, 수평 개시 오프셋이 용이하게 결정된다(예를 들어 제어기(178)을 통해 자동으로).
단계(1506)에서, 공정(1500)이 종결된다. 공정(1500)이 동일한 탐지 가능한 특징(153)을 2회 측정하는 것과 관련되더라도, 본 발명에 따라 공정(1500)으로서 동일한 기능을 수행하도록 조정된 공정의 예시적 구체예는 2개의 별개의 탐지 가능한 특징들을 탐지하는 것을 포함하며, 이들 중 하나는 탐지 가능한 특징(153)이거나 아닐 수 있다. 다른 유형의 센서가 웨이퍼 캐리어(109)의 다른 탐지 가능한 특징들, 반사 표면, 등에 따라 이용될 수 있다.
추가 상세
도 6 및 그에 도시된 흐름도의 공정(600)에 있어서, 단계(603)는 바람직하게는 웨이퍼 가공 기계(103)의 장치(factory) 인터페이스(123)의 각각의 웨이퍼 캐리어 저장 장소(135) 및 도킹 스테이션(127)에 대하여 고속 로더(107)의 고속 웨이퍼 캐리어 핸들러(154)를 눈금을 정한다. 도 18은 셀프 또는 다른 저장 장소의 탐지 가능한 특징을 탐지하여 X-Z 평면내에서의 셀프 및/또는 도킹 스테이션의 위치를 결정하기 위한 신호를 생성하도록 조정된 센서 어셈블리의 개략적 사시도이다. 도시된 구체예에서, 센서 어셈블리(269)는 셀프(275)의 탐지 가능한 특징부(273)(예를 들어, 셀프/도킹 스테이션의 평탄 영역과 같은 반사 특징)을 탐지하도록 조정된 말단 이펙터(175)(미도시)에 결합된 측방 센서(271)를 포함한다. 센서(271)는 탐지 가능한 특징부(273)을 탐지하는데 반응하여 신호를 생성시키도록 조정되며, 그러한 신호는 제어기(178)(도 1b)에 제공될 수 있다.
탐지 가능한 특징부(273)이 Z-축 방향으로 통과되도록 하여 센서(271)가 탐지 가능한 특징부(273)에 정렬되는 경우에, 센서(271)가 신호를 생성하도록 조정되어, z-축을 따른 셀프의 위치가 결정될 수 있게 한다. 탐지 가능한 특징부(273)이 x-축 방향으로 통과되도록 하여 센서(271)의 축(277)이 탐지 가능한 특징부(273)과 정렬되는 경우에, 센서(271)가 신호를 발생시키도록 조정되어 x-축을 따른 셀프의 위치가 결정될 수 있게 한다. 대안적으로(또는 부가적으로) 탐지 가능한 특징부(273)은 말단 이펙터(175)에 결합된 센서(271)에 의해 도킹 스테이션의 x-z 위치를 결정하기 위한 도킹 스테이션(127)의 일부를 포함할 수 있다. 이러한 방식으로, 장치 인터페이스(123)의 각 웨이퍼 캐리어 저장 장소(135)(도 1a) 및 도킹 스테이션(127)(도 1a)의 x-z 위치가 웨이퍼 캐리어 처리 시스템(101)에 의해 결정될 수 있고, 웨이퍼 처리 기계(103)에 대하여 고속 로더(107)의 눈금이 결정될 수 있다. 각 셀프 및/또는 도킹 스테이션의 두께 및/또는 폭은, 센서(271)가 탐지 가능한 특징부(273)을 지나쳐서 움직일 때 센서(271)가 탐지 가능한 특징부(273)을 탐지하기 위하여 정지하는 경우 보다는, 센서(271)가 탐지 가능한 특징부(273)을 먼저 측정하는 경우에 기초하여 결정될 수 있다. 임의의 적당한 센서 구성이 이용될 수 있다(예를 들어, 반사 기초, 관통 빔 등).
도 19는 2개의 저장 장소(135)를 가진 셀프 지지 패널(133), 말단 이펙터(175), 수평 가이드(169), 및 수평 가이드(169)가 말단 이펙터(175)를 안내하도록 조정되는 경로(237)의 상부 개략도이다. 원하는 경우, 경로(237)에 대한 셀프 지지 패널(133)의 y-축 위치가 조정될 수 있다(예를 들어, 제1 위치(279) 및 제2 위치(281) 사이에서). 기준면(131)(도 1a)은 도킹 스테이션(127)의 이동성 위치(예를 들어 셀프(155))를 x-z 평면에 보다 근접하게 정렬되게 조정하기 위하여 유사하게 조정될 수 있다. 셀프 지지 패널(133)이 장치 인터페이스(123)의 기준면(131) 보다는 고속 로더(107)의 프레임(157)에 장착되는 경우에, 유사한 조정이 사용될 수 있다는 것을 주지해야 한다.
상기된 설명은 단지 본 발명의 예시적인 양태를 개시하고 있다. 본 발명의 범위내에 있는 상기된 장치 및 방법의 변화된 장치 및 방법이 본 기술 분야의 전문가에게는 자명할 것이다. 예를 들어, 센서(243)(도 11) 및/또는 센서(253)(도 13)은 탐지 가능한 특징부(227)(도 11) 및 탐지 가능한 특징부(249)(도 13)을 탐지하도록 각각 적용된 어떠한 수의 센서중 어느 한 센서일 수 있다. 예를 들어, 축을 따라서 광선을 전달하도록 개작되며 그 광성의 반사(또는 그 광선의 반사의 종결)를 탐지하는 센서가 사용될 수 있다. 대안적으로는, 광안형(optical-eye type) 센서, 또는 투과형(through-beam) 센서가 사용될 수 있다.
본 발명은 주로 웨이퍼를 참조로 설명하고 있지만, 본 발명은 또한 패턴이 있거나 패턴이 없는 다른 기판, 예컨대, 실리콘 기판, 유리판, 마스크, 레티클(reticlule), 등에 이용될 수 있고/거나, 그러한 기판을 운송 및/또는 처리하는 그 그 밖의 장치에 이용될 수 있다.
본원에서 기재된 어떠한 조절은 수작업으로 수행되거나, 컴퓨터 제어(예를 들어, 컨트롤러(178)의 지시)하에 수행되거나, 상기된 방법들의 조합으로 수행될 수 있다. 예를 들어, 하나 이상의 모터 또는 그 밖의 조절 장치가 오퍼레이터 및/ 또는 컨트롤러(178)의 제어하에 고속 로더(107)(상기됨)의 위치를 조정하는데 사용될 수 있다. 유사하게, 컨트롤러(178)는 본원에 기재된 하나 이상의 공정(600, 700, 800, 900, 1400, 1500 등)을 수행하거나, 달리 그러한 공정에 영향을 주는 컴퓨터 프로그램 코드를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 고속 이송 스테이션은 기판 캐리어 운송 시스템으로 정렬되는 것에 추가하여, 또한 이송 스테이션과 기판의 처리를 위한 기판 처리의 하나 이상의 로드락(loadlock) 사이에서 후방 및 전방으로 기판을 이송시키는 기판 로딩 스테이션의 팩토리 인터페이스로 정렬 및 캘리브레이팅될 수 있다. 본 발명의 추가의 양태에 따르며, 상기 정렬, 캘리브레이션 및 시험은 기판 캐리어 운송 시스템을 동작시켜 기판 캐리어를 운송하면서 수행될 수 있다. 또한 본 발명의 추가의 양태에 따르면, 상기 정렬, 캘리브레이션 및 시험은 고속 기판 캐리어 운송 스테이션을 작동하기에 앞서(기판 캐리어 운송 시스템의 동작 여부와 무관하게) 기판 캐리어 운송 시스템에 대한 어떠한 접촉도 요구하지 않으면서 수행될 수 있다.
따라서, 본 발명이 본 발명의 예시적 양태에 관하여 개시되고 있지만, 그 밖의 양태가 청구범위에 의해서 정의된 바와 같은 본 발명의 사상 및 범위내에 있을 수 있다는 것을 이해해야 한다.

Claims (20)

  1. 프레임 높이를 지니며 기판 캐리어를 이동 컨베이어상으로 로딩시키는 기판 캐리어 로더를 제공하는데, 그러한 기판 캐리어 로더가 말단 이펙터를 추가로 포함하도록 하여 기판 캐리어 로더를 제공하는 단계;
    기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 정렬시키는 단계; 및
    기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 캘리브레이팅하는데, 그러한 캘리브레이팅이 이동 컨베이어에 대한 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 수평 론치 오프셋(launch offset)을 측정함을 포함하며, 상기 수평 론치 오프셋은 이동 컨베이어상의 기판 캐리어의 위치가 정해진 후에 기판 캐리어를 이동 컨베이어상으로 로딩하도록 또는 기판 캐리어가 이동 컨베이어상에 위치된 후에 기판 캐리어를 이동 컨베이어로부터 제거하도록 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터가 론치되어야 하는 때를 결정하게 하여, 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 캘리브레이팅하는 단계를 포함하는, 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 캘리브레이팅하는 방법.
  2. 제 1항에 있어서, 기판 캐리어 로더가 이동 켄베이어로부터 기판 캐리어를 추가로 언로드시킴을 특징으로 하는 방법.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서, 기판 캐리어 로더를 작동시켜서 기판 캐리어 로더가 기판 캐리어를 이동 컨베이어상에 로딩하고 이동 컨베이어로부터 제거하는 단계를 추가로 포함함을 특징으로 하는 방법.
  8. 제 1항에 있어서, 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 정렬시키는 단계가 기판 캐리어 로더의 풋프린트 위치를 설정하는 단계; 풋프린트 위치의 기판 캐리어 로더의 레벨을 설정하는 단계; 및 풋프린트 위치의 기판 캐리어 로더의 프레임 높이를 설정하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 방법.
  9. 제 8항에 있어서, 이동 컨베이어의 피치를 기준으로 하여 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 피치를 조정하는 단계를 추가로 포함함을 특징으로 하는 방법.
  10. 제 9항에 있어서, 이동 컨베이어의 피치를 기준으로 하여 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 피치를 조정하는 단계가, 센서를 이용하여 기판 캐 리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 첫 번째 말단에서 이동 컨베이어의 탐지 가능한 특징부를 탐지하는 단계; 말단 이펙터를 말단 이펙터의 이동 경로의 두 번째 말단로 이동시키는 단계; 및 말단 이펙터의 이동 경로의 두 번째 말단에서 기판 캐리어 로더의 고도를 조정하여 센서가 말단 이펙터의 이동 경로의 두 번째 말단에서 이동 컨베이어의 탐지 가능한 특징부를 탐지하게 하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 방법.
  11. 제 9항에 있어서, 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 롤을 조정하는 단계를 추가로 포함함을 특징으로 하는 방법.
  12. 제 11항에 있어서, 이동 컨베이어의 측면위치를 기준으로 하여 기판 캐리어의 말단 이펙터의 이동 경로의 측면 위치를 조정하는 단계를 추가로 포함함을 특징으로 하는 방법.
  13. 제 12항에 있어서, 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 측면 위치를 조정하는 단계가, 말단 이펙터의 이동 경로의 첫 번째 말단에서 기판 캐리어 로더의 측면 위치를 조정하여 센서가 말단 이펙터의 이동 경로의 첫 번째 말단에서 이동 컨베이어의 탐지 가능한 특징부를 탐지하게하는 단계; 말단 이펙터를 말단 이펙터의 이동 경로의 두 번째 말단로 이동시키는 단계; 및 말단 이펙터의 이동 경로의 두 번째 말단에서 기판 캐리어 로더의 측면 위치를 조정하여 센서가 말단 이펙 터의 이동 경로의 두 번째 말단에서 이동 컨베이어의 탐지 가능한 특징부를 탐지하게 하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 방법.
  14. 제 11항에 있어서, 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 요(yaw)를 조정하는 단계를 추가로 포함함을 특징으로 하는 방법.
  15. 제 1항에 있어서, 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 캘리브레이팅시키는 단계가 이동 컨베이어에 대한 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 수직 제로를 측정하는 단계를 포함하며, 상기 수직 제로는 기판 캐리어를 이동 컨베이어상으로 로딩시키기 전에 또는 기판 캐리어를 이동 컨베이어로부터 제거하기 전에 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터가 정위되는 높이를 나타냄을 특징으로 하는 방법.
  16. 삭제
  17. 제 1항에 있어서, 기판 캐리어 로더를 공정 툴의 도킹 스테이션에 대해 캘리브레이팅하는 단계를 추가로 포함함을 특징으로 하는 방법.
  18. 프레임 높이를 지니며 기판 캐리어를 이동 컨베이어상으로 로딩시키는 기판 캐리어 로더를 제공하는데, 그러한 기판 캐리어 로더가 말단 이펙터를 추가로 포함하도록 하여 기판 캐리어 로더를 제공하는 단계;
    이동 컨베이어에 대한 기판 캐리어 로더의 풋프린트 위치를 설정하는 단계;
    풋프린트 위치에서의 기판 캐리어 로더의 레벨을 설정하는 단계;
    풋프린트 위치에서의 기판 캐리어 로더의 프레임 높이를 설정하는 단계; 및
    요구되는 경우,
    이동 컨베이어의 피치를 기준으로 하여 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 피치를 조정하는 단계;
    기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 롤을 조정하는 단계;
    이동 컨베이어의 측면 위치를 기준으로 하여 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 측면 위치를 조정하는 단계; 또는
    기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 요를 조정하는 단계; 및 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 캘리브레이팅하는 단계를 포함하여,
    기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 캘리브레이팅하는 방법.
  19. 복수의 탐지 가능한 특징부, 말단 이펙터를 포함하는 기판 캐리어 로더, 및 기판 캐리어 로더에 결합된 컨트롤러를 포함하는 장치로서,
    기판 캐리어 로더가 기판 캐리어를 이동 컨베이어상으로 로딩시키도록 구성되며, 탐지 가능한 특징부의 탐지를 나타내는 신호를 생성시키도록 구성된 센서를 포함하고,
    컨트롤러가 신호를 수신하고, 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 정렬시키는 것을 보조하며, 기판 캐리어 로더를 이동 컨베이어에 대해 캘리브레이팅(calibrating)하는 것을 보조하고,
    상기 캘리브레이팅이 이동 컨베이어에 대한 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 수평 론치 오프셋(launch offset)을 측정함을 포함하며, 상기 수평 론치 오프셋은 이동 컨베이어상의 기판 캐리어의 위치가 정해진 후에 기판 캐리어를 이동 컨베이어상으로 로딩하도록 또는 기판 캐리어가 이동 컨베이어상에 위치된 후에 기판 캐리어를 이동 컨베이어로부터 제거하도록 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터가 론치되어야 하는 때를 결정하게 하는, 장치.
  20. 제 19항에 있어서, 컨트롤러가 이동 컨베이어의 피치(pitch)를 기준으로 하여 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 피치를 조정하는 것을 보조하거나 이동 컨베이어의 측면 위치를 기준으로 하여 기판 캐리어 로더의 말단 이펙터의 이동 경로의 측면 위치를 조정하는 것을 보조하게 하기 위해서 이동 컨베이어의 탐지 가능한 특징부를 탐지함을 특징으로 하는 장치.
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