JPH0982776A - ワーク搬送装置 - Google Patents
ワーク搬送装置Info
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- JPH0982776A JPH0982776A JP23661795A JP23661795A JPH0982776A JP H0982776 A JPH0982776 A JP H0982776A JP 23661795 A JP23661795 A JP 23661795A JP 23661795 A JP23661795 A JP 23661795A JP H0982776 A JPH0982776 A JP H0982776A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ワークをフィンガの載置面に安定した状態に載
置して搬送できるワーク搬送装置を提供することにあ
る。 【解決手段】カセット1に収納されているウエハ5をフ
ィンガ12によってカセット1から取り出して搬送する
ワーク搬送装置であって、ウエハ5を載置するフィンガ
12と、このフィンガ12に設けられカセット1内のウ
エハ5の水平方向の位置を検出する光反射式センサ15
と、前記フィンガ12を水平方向に移動するとともに前
記光反射式センサ15からの検出信号によって制御され
る搬送ロボット6とから構成したことにある。
置して搬送できるワーク搬送装置を提供することにあ
る。 【解決手段】カセット1に収納されているウエハ5をフ
ィンガ12によってカセット1から取り出して搬送する
ワーク搬送装置であって、ウエハ5を載置するフィンガ
12と、このフィンガ12に設けられカセット1内のウ
エハ5の水平方向の位置を検出する光反射式センサ15
と、前記フィンガ12を水平方向に移動するとともに前
記光反射式センサ15からの検出信号によって制御され
る搬送ロボット6とから構成したことにある。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、カセットに収納
されているシリコンウエハ、液晶ガラス板等のワークを
搬送するワーク搬送装置に関する。
されているシリコンウエハ、液晶ガラス板等のワークを
搬送するワーク搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、半導体製造ラインにおいて、シ
リコンウエハ(以下、ウエハという)を処理装置あるい
は検査装置に搬入したり、処理や検査が終了したウエハ
を搬出する作業はクリーンルーム内において搬送ロボッ
トによって行われている。
リコンウエハ(以下、ウエハという)を処理装置あるい
は検査装置に搬入したり、処理や検査が終了したウエハ
を搬出する作業はクリーンルーム内において搬送ロボッ
トによって行われている。
【0003】ウエハは、カセット内に水平状態に、しか
も上下方向に所定間隔を存して複数枚収納されており、
ウエハをカセットから取り出し、処理装置や検査装置に
搬送するには、まず搬送ロボットのアームに設けられた
ハンドをカセット内に挿入し、ハンドによってウエハを
把持する。次に、アームを後退させてハンドによって把
持したウエハをカセットから取り出し、そのアームの回
動によってウエハを処理装置や検査装置に搬送してい
る。
も上下方向に所定間隔を存して複数枚収納されており、
ウエハをカセットから取り出し、処理装置や検査装置に
搬送するには、まず搬送ロボットのアームに設けられた
ハンドをカセット内に挿入し、ハンドによってウエハを
把持する。次に、アームを後退させてハンドによって把
持したウエハをカセットから取り出し、そのアームの回
動によってウエハを処理装置や検査装置に搬送してい
る。
【0004】前記ハンドは、静電チャック、バキューム
チャックあるいはメカニカルチャック等であり、カセッ
ト内のウエハを把持して取り出しているが、カセット内
のウエハが水平方向に位置ずれしていると、ウエハの把
持ミスが発生するとともに、確実に把持することができ
ない。また、把持力が強すぎると、ウエハに損傷を与え
るという問題がある。
チャックあるいはメカニカルチャック等であり、カセッ
ト内のウエハを把持して取り出しているが、カセット内
のウエハが水平方向に位置ずれしていると、ウエハの把
持ミスが発生するとともに、確実に把持することができ
ない。また、把持力が強すぎると、ウエハに損傷を与え
るという問題がある。
【0005】そこで、前述のような問題を解消するため
に、特開平2−72650号公報に示すように、ウエハ
を水平状態に、しかも上下方向に所定間隔を存して複数
枚収納するキャリアステージにウエハの有無センサと測
距センサを設置する一方、搬送ロボットのアームにフィ
ンガを設ける。
に、特開平2−72650号公報に示すように、ウエハ
を水平状態に、しかも上下方向に所定間隔を存して複数
枚収納するキャリアステージにウエハの有無センサと測
距センサを設置する一方、搬送ロボットのアームにフィ
ンガを設ける。
【0006】そして、アームによってフィンガをキャリ
アステージ内のウエハの下側に挿入した後、キャリアス
テージを僅かに下降させてフィンガの上面にウエハを載
置し、さらに、アームによってフィンガを後退させてキ
ャリアステージからウエハを取り出して搬送している。
アステージ内のウエハの下側に挿入した後、キャリアス
テージを僅かに下降させてフィンガの上面にウエハを載
置し、さらに、アームによってフィンガを後退させてキ
ャリアステージからウエハを取り出して搬送している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
2−72650号公報に示すものは、ウエハの有無セン
サによってウエハの有無を検出し、測距センサによって
ウエハの姿勢を検出するようになっているため、ウエハ
を搬送する際、ウエハ検出が終了するまで搬送動作を行
うことができない。このため、ロスタイムがあり、搬送
時間が長くなるという問題がある。
2−72650号公報に示すものは、ウエハの有無セン
サによってウエハの有無を検出し、測距センサによって
ウエハの姿勢を検出するようになっているため、ウエハ
を搬送する際、ウエハ検出が終了するまで搬送動作を行
うことができない。このため、ロスタイムがあり、搬送
時間が長くなるという問題がある。
【0008】また、ウエハの位置を検出するセンサがキ
ャリアステージに設置されているため、ウエハの取り出
し時にフィンガとセンサとの干渉を避ける工夫が必要で
あり、また、複数個のキャリアステージを並設し、これ
にキャリアステージから順次ウエハを取り出し搬送する
場合、各キャリアステージにセンサを設ける必要があ
り、コストアップの原因となる。
ャリアステージに設置されているため、ウエハの取り出
し時にフィンガとセンサとの干渉を避ける工夫が必要で
あり、また、複数個のキャリアステージを並設し、これ
にキャリアステージから順次ウエハを取り出し搬送する
場合、各キャリアステージにセンサを設ける必要があ
り、コストアップの原因となる。
【0009】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、カセット内のワーク
を取り出して搬送する際に、その搬送時にワークの位置
を検出することができ、ワークの搬送が迅速に、しかも
確実に行うことができるワーク搬送装置を提供すること
にある。
もので、その目的とするところは、カセット内のワーク
を取り出して搬送する際に、その搬送時にワークの位置
を検出することができ、ワークの搬送が迅速に、しかも
確実に行うことができるワーク搬送装置を提供すること
にある。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、ワークを搬送するワーク搬送装置にお
いて、ワークを載置するフィンガと、このフィンガに設
けられカセット内のワークの水平方向の位置を検出する
位置検出センサと、前記フィンガを水平方向に移動する
とともに前記位置検出センサからの検出信号によって制
御される搬送機構とを具備したことを特徴とする。
達成するために、ワークを搬送するワーク搬送装置にお
いて、ワークを載置するフィンガと、このフィンガに設
けられカセット内のワークの水平方向の位置を検出する
位置検出センサと、前記フィンガを水平方向に移動する
とともに前記位置検出センサからの検出信号によって制
御される搬送機構とを具備したことを特徴とする。
【0011】前記ワークは、カセットに収納されている
シリコンウエハまたは液晶ガラス板であり、前記フィン
ガは、ワークを載置する載置面を有しており、その載置
面にテフロンシートが装着されていることを特徴とす
る。
シリコンウエハまたは液晶ガラス板であり、前記フィン
ガは、ワークを載置する載置面を有しており、その載置
面にテフロンシートが装着されていることを特徴とす
る。
【0012】また、前記位置検出センサは、光反射式セ
ンサであり、また前記フィンガの先端部にフィンガの進
行方向に対して垂直にかつ水平方向に複数個設けられて
いる。前記搬送機構は、少なくとも水平方向に可動する
アームを有した搬送ロボットであり、位置検出センサか
らの検出信号によって制御される。
ンサであり、また前記フィンガの先端部にフィンガの進
行方向に対して垂直にかつ水平方向に複数個設けられて
いる。前記搬送機構は、少なくとも水平方向に可動する
アームを有した搬送ロボットであり、位置検出センサか
らの検出信号によって制御される。
【0013】搬送機構に設けられたフィンガを水平方向
に移動してフィンガをカセット内のウエハの下側に挿入
する時、フィンガに設けられた位置検出センサによって
ウエハの水平方向の位置を検出することができ、この検
出信号によって搬送機構が制御され、フィンガの挿入量
および挿入方向が調整される。
に移動してフィンガをカセット内のウエハの下側に挿入
する時、フィンガに設けられた位置検出センサによって
ウエハの水平方向の位置を検出することができ、この検
出信号によって搬送機構が制御され、フィンガの挿入量
および挿入方向が調整される。
【0014】次に、例えばフィンガを上昇させると、ウ
エハはフィンガに載置され、搬送機構によってフィンガ
を後退すると、フィンガに載置されたウエハがカセット
から取り出され、所定の位置に搬送される。
エハはフィンガに載置され、搬送機構によってフィンガ
を後退すると、フィンガに載置されたウエハがカセット
から取り出され、所定の位置に搬送される。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、この発明の各実施の形態を
図面に基づいて説明する。図1〜図3は第1の実施形態
を示し、図1はワーク搬送装置の全体構成図である。1
はカセットであり、カセット支持台2に載設されてい
る。カセット1は前面に開口部3を有しており、内部の
左右両側壁には上下方向に所定間隔を存して凹溝4が設
けられている。この凹溝4はカセット1の奥行き方向に
延長しており、開口部3からプレート状のワークとして
のウエハ5を水平状態で挿入することにより、ウエハ5
の左右両側縁が凹溝4に挿入支持されるようになってい
る。
図面に基づいて説明する。図1〜図3は第1の実施形態
を示し、図1はワーク搬送装置の全体構成図である。1
はカセットであり、カセット支持台2に載設されてい
る。カセット1は前面に開口部3を有しており、内部の
左右両側壁には上下方向に所定間隔を存して凹溝4が設
けられている。この凹溝4はカセット1の奥行き方向に
延長しており、開口部3からプレート状のワークとして
のウエハ5を水平状態で挿入することにより、ウエハ5
の左右両側縁が凹溝4に挿入支持されるようになってい
る。
【0016】したがって、カセット1の内部には複数枚
のウエハ5が上下方向に所定間隔を存して多段式に収納
されており、各ウエハ5が凹溝4の内部である程度上下
動できるようにウエハ5の肉厚よりも凹溝4の溝幅は大
きく形成されている。
のウエハ5が上下方向に所定間隔を存して多段式に収納
されており、各ウエハ5が凹溝4の内部である程度上下
動できるようにウエハ5の肉厚よりも凹溝4の溝幅は大
きく形成されている。
【0017】カセット1の前方には搬送機構としての搬
送ロボット6が設けられている。この搬送ロボット6の
ロボット本体7には昇降および回動可能な第1のアーム
8が設けられ、この第1のアーム8の自由端部には第1
の関節部9を介して第2のアーム10が設けられてい
る。
送ロボット6が設けられている。この搬送ロボット6の
ロボット本体7には昇降および回動可能な第1のアーム
8が設けられ、この第1のアーム8の自由端部には第1
の関節部9を介して第2のアーム10が設けられてい
る。
【0018】第2のアーム10の自由端部には第2の関
節部11を介してフィンガ12の基端部が設けられてい
る。前記第1および第2の関節部9,11にはモータ
(図示しない)が内蔵されており、第2のアーム10お
よびフィンガ12は水平面内において第1および第2の
関節部9,11を中心に回動自在に構成されている。
節部11を介してフィンガ12の基端部が設けられてい
る。前記第1および第2の関節部9,11にはモータ
(図示しない)が内蔵されており、第2のアーム10お
よびフィンガ12は水平面内において第1および第2の
関節部9,11を中心に回動自在に構成されている。
【0019】前記フィンガ12は長方形状の金属やセラ
ミックなどの板状体で、ウエハ5の直径よりも狭幅であ
るが、ウエハ5を安定した状態で載置するに十分な面積
の載置面13を有しており、この載置面13にはウエハ
5に損傷を与えないように合成樹脂、ゴム等のシート、
例えばチップ状の複数のテフロンシート14が装着され
ている。
ミックなどの板状体で、ウエハ5の直径よりも狭幅であ
るが、ウエハ5を安定した状態で載置するに十分な面積
の載置面13を有しており、この載置面13にはウエハ
5に損傷を与えないように合成樹脂、ゴム等のシート、
例えばチップ状の複数のテフロンシート14が装着され
ている。
【0020】さらに、フィンガ12の先端部の幅方向の
中間部にはセンサとしての光反射式センサ15が先端方
向に突出して設けられている。この光反射式センサ15
は真上に向かってセンサ光を照射する発光素子とその反
射光を受光する受光素子(いずれも図示しない)とから
なり、ウエハ5のエッジによって反射した反射光を受光
素子が受光してウエハ5の位置を検出し、その検出信号
は搬送ロボット6のコントローラに入力されるようにな
っている。
中間部にはセンサとしての光反射式センサ15が先端方
向に突出して設けられている。この光反射式センサ15
は真上に向かってセンサ光を照射する発光素子とその反
射光を受光する受光素子(いずれも図示しない)とから
なり、ウエハ5のエッジによって反射した反射光を受光
素子が受光してウエハ5の位置を検出し、その検出信号
は搬送ロボット6のコントローラに入力されるようにな
っている。
【0021】なお、16はウエハ5の処理装置(または
検査装置)であり、カセット1に収納されたウエハ5は
搬送ロボット6によって1枚ずつ取り出され、この処理
装置16に搬入される。
検査装置)であり、カセット1に収納されたウエハ5は
搬送ロボット6によって1枚ずつ取り出され、この処理
装置16に搬入される。
【0022】次に、前述のように構成されたワーク搬送
装置の作用について説明する。カセット1には複数枚の
ウエハ5が多段式に収納されており、このカセット1か
らウエハ5を1枚ずつ取り出して処理装置16に搬送す
る場合、搬送ロボット6の第1のアーム8が昇降してフ
ィンガ12の高さ方向の位置調整を行う。
装置の作用について説明する。カセット1には複数枚の
ウエハ5が多段式に収納されており、このカセット1か
らウエハ5を1枚ずつ取り出して処理装置16に搬送す
る場合、搬送ロボット6の第1のアーム8が昇降してフ
ィンガ12の高さ方向の位置調整を行う。
【0023】さらに、第1のアーム8、第2のアーム1
0およびフィンガ12が第1および第2の関節部9,1
1を中心に回動し、カセット1に対してフィンガ12の
位置決めを行うとともに、フィンガ12をカセット1に
対して前進する。
0およびフィンガ12が第1および第2の関節部9,1
1を中心に回動し、カセット1に対してフィンガ12の
位置決めを行うとともに、フィンガ12をカセット1に
対して前進する。
【0024】そして、カセット1の内部の取り出そうと
するウエハ5の下側に向かってフィンガ12が前進する
と、フィンガ12の先端方向に突出している光反射式セ
ンサ15は真上に向かってセンサ光を照射しているた
め、センサ光がウエハ5の先端側のエッジによって反射
され、その反射光を受光素子が受光すると、ウエハ5の
位置(カセット1の開口部3から突出している突出量)
を検出し、その検出信号は搬送ロボット6のコントロー
ラに入力される。
するウエハ5の下側に向かってフィンガ12が前進する
と、フィンガ12の先端方向に突出している光反射式セ
ンサ15は真上に向かってセンサ光を照射しているた
め、センサ光がウエハ5の先端側のエッジによって反射
され、その反射光を受光素子が受光すると、ウエハ5の
位置(カセット1の開口部3から突出している突出量)
を検出し、その検出信号は搬送ロボット6のコントロー
ラに入力される。
【0025】搬送ロボット6は光反射式センサ15から
入力された情報に基づいてフィンガ12の前進量を設定
し、フィンガ12が前進してウエハ5の下側にフィンガ
12が挿入される。
入力された情報に基づいてフィンガ12の前進量を設定
し、フィンガ12が前進してウエハ5の下側にフィンガ
12が挿入される。
【0026】フィンガ12が所定の位置まで前進した
後、搬送ロボット6が第1のアーム8を僅かに上昇させ
ると、ウエハ5は凹溝4の内部で持ち上げられ、ウエハ
5はフィンガ12の載置面13に載置される。この場
合、フィンガ12はウエハ5の直径よりも狭幅である
が、ウエハ5を安定した状態で載置するに十分な面積の
載置面13を有しており、この載置面13にはチップ状
の複数のテフロンシート14が装着されているため、ウ
エハ5は複数のテフロンシート14に支持された状態に
載置される。このとき、ウエハ5には把持力が加わらな
いため、ウエハ5に損傷を与える恐れはない。
後、搬送ロボット6が第1のアーム8を僅かに上昇させ
ると、ウエハ5は凹溝4の内部で持ち上げられ、ウエハ
5はフィンガ12の載置面13に載置される。この場
合、フィンガ12はウエハ5の直径よりも狭幅である
が、ウエハ5を安定した状態で載置するに十分な面積の
載置面13を有しており、この載置面13にはチップ状
の複数のテフロンシート14が装着されているため、ウ
エハ5は複数のテフロンシート14に支持された状態に
載置される。このとき、ウエハ5には把持力が加わらな
いため、ウエハ5に損傷を与える恐れはない。
【0027】次に、搬送ロボット6の第1のアーム8、
第2のアーム10およびフィンガ12が第1および第2
の関節部9,11を中心に回動してフィンガ12がカセ
ット1から後退すると、ウエハ5はカセット1の凹溝4
から抜き取られ、カセット1の開口部3から取り出され
る。さらに、搬送ロボット6の第1のアーム8、第2の
アーム10およびフィンガ12が第1および第2の関節
部9,11を中心に回動してフィンガ12に載置したウ
エハ5が処理装置16に搬入される。
第2のアーム10およびフィンガ12が第1および第2
の関節部9,11を中心に回動してフィンガ12がカセ
ット1から後退すると、ウエハ5はカセット1の凹溝4
から抜き取られ、カセット1の開口部3から取り出され
る。さらに、搬送ロボット6の第1のアーム8、第2の
アーム10およびフィンガ12が第1および第2の関節
部9,11を中心に回動してフィンガ12に載置したウ
エハ5が処理装置16に搬入される。
【0028】このような動作を繰り返すことにより、カ
セット1に収納されたウエハ5をフィンガ12によって
載置して取り出し、所定の位置に搬送することができ
る。このとき、カセット1内に収納されたウエハ5のカ
セット1からの突出量にバラツキがあっても、ウエハ5
の搬送動作中にフィンガ12の先端部に設けられた光反
射式センサ15がウエハ5の先端側の位置を検出し、そ
の検出信号を搬送ロボット6のコントローラに入力する
ため、フィンガ12のカセット1に対する前進量をウエ
ハ5毎に設定することができ、ウエハ5をフィンガ12
の載置面13に安定した状態に載置することができる。
セット1に収納されたウエハ5をフィンガ12によって
載置して取り出し、所定の位置に搬送することができ
る。このとき、カセット1内に収納されたウエハ5のカ
セット1からの突出量にバラツキがあっても、ウエハ5
の搬送動作中にフィンガ12の先端部に設けられた光反
射式センサ15がウエハ5の先端側の位置を検出し、そ
の検出信号を搬送ロボット6のコントローラに入力する
ため、フィンガ12のカセット1に対する前進量をウエ
ハ5毎に設定することができ、ウエハ5をフィンガ12
の載置面13に安定した状態に載置することができる。
【0029】図4は第2の実施形態を示すもので、第1
の実施形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を省
略する。フィンガ12の先端部には複数個、例えば中央
光反射式センサ17a、左側光反射式センサ17bおよ
び右側光反射式センサ17cの3個のセンサが平行に、
しかも先端方向に突出して設けられている。
の実施形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を省
略する。フィンガ12の先端部には複数個、例えば中央
光反射式センサ17a、左側光反射式センサ17bおよ
び右側光反射式センサ17cの3個のセンサが平行に、
しかも先端方向に突出して設けられている。
【0030】中央光反射式センサ17a、左側光反射式
センサ17bおよび右側光反射式センサ17cの突出長
は同一であり、カセット1に収納されたウエハ5の左右
方向に位置が正規の位置であれば、フィンガ12がカセ
ット1に対して前進すると、まず最初に中央光反射式セ
ンサ17aがウエハ5のエッジを検出し、次に左側光反
射式センサ17bと右側光反射式センサ17cが同時に
ウエハ5のエッジを検出する。
センサ17bおよび右側光反射式センサ17cの突出長
は同一であり、カセット1に収納されたウエハ5の左右
方向に位置が正規の位置であれば、フィンガ12がカセ
ット1に対して前進すると、まず最初に中央光反射式セ
ンサ17aがウエハ5のエッジを検出し、次に左側光反
射式センサ17bと右側光反射式センサ17cが同時に
ウエハ5のエッジを検出する。
【0031】しかし、カセット1のウエハ5が矢印で示
すように左右方向に位置ずれしていた場合、中央光反射
式センサ17aまたは左側光反射式センサ17bまたは
右側光反射式センサ17cのいずれかがまず最初にウエ
ハ5のエッジを検出し、次に残りの2つが順次にエッジ
を検出するすることになり、3個のセンサの検出順序に
よってカセット1に収納されたウエハ5の左右方向の位
置を検出することができ、この検出信号を搬送ロボット
6のコントローラに入力することにより、フィンガ12
の前進時にフィンガ12を左側または右側に位置修正す
ることができる。したがって、第1の実施形態における
効果に加え、ウエハ5が左右方向に位置ずれしていて
も、ウエハ5をフィンガ12の載置面13に安定した状
態に載置することができるという効果がある。
すように左右方向に位置ずれしていた場合、中央光反射
式センサ17aまたは左側光反射式センサ17bまたは
右側光反射式センサ17cのいずれかがまず最初にウエ
ハ5のエッジを検出し、次に残りの2つが順次にエッジ
を検出するすることになり、3個のセンサの検出順序に
よってカセット1に収納されたウエハ5の左右方向の位
置を検出することができ、この検出信号を搬送ロボット
6のコントローラに入力することにより、フィンガ12
の前進時にフィンガ12を左側または右側に位置修正す
ることができる。したがって、第1の実施形態における
効果に加え、ウエハ5が左右方向に位置ずれしていて
も、ウエハ5をフィンガ12の載置面13に安定した状
態に載置することができるという効果がある。
【0032】なお、前記実施形態においては、ウエハの
搬送について説明したが、液晶ガラス板であっても同様
の効果が得られるとともに、またプレート状のワークを
搬送する搬送装置に適用できる。
搬送について説明したが、液晶ガラス板であっても同様
の効果が得られるとともに、またプレート状のワークを
搬送する搬送装置に適用できる。
【0033】また、センサとして光反射式センサを用い
たが、非接触式センサであれば、他のセンサを用いても
よい。また、搬送ロボットによってフィンガを上昇さ
せ、ウエハをフィンガの載置面に載置するようにした
が、フィンガをウエハの下側に挿入した後、カセットが
下降してもウエハをフィンガの載置面に載置することが
できる。
たが、非接触式センサであれば、他のセンサを用いても
よい。また、搬送ロボットによってフィンガを上昇さ
せ、ウエハをフィンガの載置面に載置するようにした
が、フィンガをウエハの下側に挿入した後、カセットが
下降してもウエハをフィンガの載置面に載置することが
できる。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、カセット内に収納されたワークのカセットからの突
出量にバラツキがあっても、ワークの搬送動作中にフィ
ンガの先端部に設けられた位置検出センサがワークの位
置を検出し、その検出信号を搬送機構に入力するため、
フィンガのカセットに対する前進量をワーク毎に設定す
ることができ、ワークをフィンガの載置面に安定した状
態に載置して迅速かつ確実に搬送することができる。
ば、カセット内に収納されたワークのカセットからの突
出量にバラツキがあっても、ワークの搬送動作中にフィ
ンガの先端部に設けられた位置検出センサがワークの位
置を検出し、その検出信号を搬送機構に入力するため、
フィンガのカセットに対する前進量をワーク毎に設定す
ることができ、ワークをフィンガの載置面に安定した状
態に載置して迅速かつ確実に搬送することができる。
【0035】また、フィンガに位置検出センサを設ける
ことにより、カセットの構成が簡素化し、フィンガと位
置検出センサとの干渉を避ける工夫が不要となり、搬送
機構の制御も容易となるという効果を奏する。
ことにより、カセットの構成が簡素化し、フィンガと位
置検出センサとの干渉を避ける工夫が不要となり、搬送
機構の制御も容易となるという効果を奏する。
【図1】この発明の第1の実施形態を示すワーク搬送装
置の斜視図。
置の斜視図。
【図2】同実施形態のフィンガの平面図。
【図3】同実施形態の作用説明図。
【図4】この発明の第2の実施形態を示すフィンガの平
面図。
面図。
1…カセット 3…開口部 5…ウエハ(ワーク) 6…搬送ロボット(搬送機構) 12…フィンガ 15…光反射式センサ(位置検出センサ)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G01B 11/00 G01B 11/00 B
Claims (7)
- 【請求項1】 ワークを搬送するワーク搬送装置におい
て、 前記ワークを載置するフィンガと、このフィンガに設け
られカセット内のワークの水平方向の位置を検出する位
置検出センサと、前記フィンガを水平方向に移動すると
ともに前記位置検出センサからの検出信号によって制御
する搬送機構とを具備したことを特徴とするワーク搬送
装置。 - 【請求項2】 前記ワークは、カセットに収納されてい
るシリコンウエハであることを特徴とする請求項1記載
のワーク搬送装置。 - 【請求項3】 前記ワークは、カセットに収納されてい
る液晶ガラス板であることを特徴とする請求項1記載の
ワーク搬送装置。 - 【請求項4】前記フィンガは、ワークを載置する載置面
を有しており、その載置面にテフロンシートが装着され
ていることを特徴とする請求項1記載のワーク搬送装
置。 - 【請求項5】 前記位置検出センサは、光反射式センサ
であることを特徴とする請求項1記載のワーク搬送装
置。 - 【請求項6】 前記位置検出センサは、前記フィンガの
先端部にフィンガの進行方向に対して垂直にかつ水平方
向に複数個設けられていることを特徴とする請求項1ま
たは5記載のワーク搬送装置。 - 【請求項7】 前記搬送機構は、少なくとも水平方向に
可動するアームを有した搬送ロボットであることを特徴
とする請求項1記載のワーク搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23661795A JPH0982776A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | ワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23661795A JPH0982776A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | ワーク搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0982776A true JPH0982776A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=17003300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23661795A Pending JPH0982776A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | ワーク搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0982776A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0996963A1 (en) * | 1997-07-11 | 2000-05-03 | Genmark Automation, Inc. | Multiple point position scanning system |
KR100486706B1 (ko) * | 1998-02-04 | 2005-09-07 | 삼성전자주식회사 | 반도체설비의자동조절식블레이드이동장치 |
CN113503860A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种水平度检测治具及检测方法 |
-
1995
- 1995-09-14 JP JP23661795A patent/JPH0982776A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP0996963A4 (en) * | 1997-07-11 | 2006-01-18 | Genmark Automation Inc | MULTI-POSITION SCANNER |
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CN113503860A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种水平度检测治具及检测方法 |
CN113503860B (zh) * | 2021-08-30 | 2023-08-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种水平度检测治具及检测方法 |
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