KR100982366B1 - 기판처리장치 - Google Patents
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Abstract
[해결수단] 인덱서로봇(12)은 2개의 반송아암(13a, 13b)을 구비하고 있어서, 각각에 1장의 미처리 기판(W)을 파지하여 2장의 미처리 기판(W)을 캐리어(C)로부터 기판 주고받기부(50)에 동시에 반송한다. 또한, 인덱서로봇(12)은 2개의 반송아암(13a, 13b)의 각각에 1장의 처리완료 기판(W)을 파지해서 2장의 처리완료 기판(W)을 기판 주고받기부(50)로부터 동시에 받아서 캐리어(C)에 동시에 반송한다. 기판 주고받기부(50)에 3군데(箇所)의 이송재치부(SPASS1∼SPASS3) 및 3군데의 복귀재치부(RPASS1∼RPASS3)를 설치함으로써 인덱서로봇(12)에 의한 2장 동시반송을 원활하게 실행할 수가 있어서 기판처리장치(1) 전체로서의 기판반송에 필요한 시간을 짧게 할 수 있다.
Description
도 2는 도 1의 기판처리장치를 A-A선으로부터 본 도면이다.
도 3은 기판 주고받기부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 기판처리장치의 제어기구의 주요부 구성을 나타내는 블록도이다.
도 5는 제1 실시형태의 인덱서셀에서의 기판반송 순서를 나타내는 도면이다.
도 6은 제2 실시형태의 인덱서셀에서의 기판반송 순서를 나타내는 도면이다.
도 7은 제3 실시형태의 인덱서셀에서의 기판반송 순서를 나타내는 도면이다.
도 8은 제4 실시형태의 인덱서셀에서의 기판반송 순서를 나타내는 도면이다.
11 캐리어 스테이지
12 인덱서로봇
13a, 13b 반송(搬送)아암
41, 42 반전(反轉)유닛
50, 60 기판 주고받기부
C 캐리어
ID 인덱서셀
IDC ID셀 컨트롤러
MC 메인 컨트롤러
RPASS1∼RPASS5 복귀재치부
SPASS1∼SPASS5 이송재치부
SP1 제1 세정처리셀
SP2 제2 세정처리셀
SS1, SS2, SS3, SS4 세정처리부(洗淨處理部)
TR1, TR2 반송(搬送)로봇
W 기판(基板)
Claims (10)
- 복수의 기판을 연속하여 처리하는 기판처리장치로서,
미처리기판 및 처리완료기판을 집적하는 기판집적부와,
기판에 대해 처리를 행하는 기판처리부와,
상기 기판집적부와 상기 기판처리부와의 사이의 기판의 주고받기에 사용되는 기판 주고받기부와,
상기 기판집적부와 상기 기판 주고받기부와의 사이에서 N장(N은 2이상의 정수)의 기판을 동시에 반송하는 제1 반송기구와,
상기 기판 주고받기부와 상기 기판처리부와의 사이에서 기판을 반송하는 제2 반송기구를 구비하고,
상기 제1 반송기구는, N장의 미처리기판을 상기 기판집적부로부터 동시에 반송하여 상기 기판 주고받기부로 동시에 반입하고,
상기 기판 주고받기부는, 상기 기판집적부로부터 상기 기판처리부로 향하는 미처리기판을 재치하는(N+1)이상의 이송재치부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 반송기구는, N장의 처리완료기판을 상기 기판 주고받기부로부터 동시에 받아 상기 기판집적부로 동시에 반송하고,
상기 기판 주고받기부는, 상기 기판처리부로부터 상기 기판집적부로 향하는 처리완료기판을 재치하는 (N+1)이상의 복귀재치부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 기판 주고받기부는, 2N단(段)의 이송재치부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치. - 제3항에 있어서,
상기 제1 반송기구는, 2장의 미처리기판을 상기 기판집적부로부터 동시에 반송하여 상기 기판 주고받기부로 동시에 반입하고,
상기 기판 주고받기부는, 4단의 이송재치부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치. - 제2항에 있어서,
상기 제1 반송기구는, N장의 처리완료기판을 상기 기판 주고받기부로부터 동시에 받아 상기 기판집적부로 동시에 반송하고,
상기 기판 주고받기부는, 2N단의 복귀재치부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치. - 제5항에 있어서,
상기 제1 반송기구는, 2장의 처리완료기판을 상기 기판 주고받기부로부터 동시에 받아 상기 기판집적부로 동시에 반송하고,
상기 기판 주고받기부는, 4단의 복귀재치부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치. - 제1항에 있어서,
상기 (N+1)이상의 이송재치부는 일방향을 따라 배열되어 있고,
상기 (N+1)이상의 이송재치부 중에 상기 배열의 일단측으로부터 N개의 재치부와 상기 배열의 타단측으로부터 N개의 재치부에 중복하는 중복재치부가 존재하는 경우는, N장의 미처리기판을 반송하는 상기 제1 반송기구가 상기 N장의 미처리기판 중에 먼저 처리하는 기판을 우선하여 상기 중복재치부로 반입하도록 상기 제1 반송기구를 제어하는 반송제어수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치. - 제7항에 있어서,
상기 중복재치부가 존재하는 경우에, 상기 제1 반송기구가 1장의 미처리 기판을 반송하는 때에는 상기 중복재치부를 피해서 상기 1장의 미처리기판을 상기 기판 주고받기부로 반입하도록 상기 반송제어수단이 제어하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 반송기구는, 상기 이송재치부에 재치된 미처리기판 중에 1장을 상기 기판 주고받기부로부터 상기 기판처리부로 반송하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치. - 제2항에 있어서,
상기 제2 반송기구는, 1장의 처리완료기판을 상기 기판처리부로부터 상기 기판 주고받기부의 상기 복귀재치부로 반송하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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