JP6706935B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
この発明の一実施形態では、前記搬送路が、前記保持ユニットから前記第2搬送ロボットに向かって直線状に延びている。また、前記受渡領域と前記第2搬送ロボット昇降ユニットとが、前記搬送路が延びる方向に対して交差する方向に並んでいる。
この発明の一実施形態では、基板が前記第1搬送ロボットから前記第2搬送ロボットへと受け渡される際に当該基板が移動する方向が、前記搬送路が延びる方向に対して傾斜している。
この発明の一実施形態では、前記基板処理装置が、前記受渡領域に配置され、前記第1搬送ロボットと前記第2搬送ロボットとの間で基板を受け渡すために基板が載置される載置ユニットをさらに含む。
第1搬送ロボットによる基板の搬送効率は、上下方向における収容器の位置(高さ)と上下方向における載置ユニットの位置(高さ)とが近いほど高くなる。一方、第2搬送ロボットによる基板の搬送効率は、上下方向における処理部の中心(高さ)と上下方向における載置ユニットの位置(高さ)とが近いほど高くなる。載置ユニットが、上下方向において、保持ユニットに保持された収容器と、上下方向における処理部の中心との間に位置している構成とすれば、載置ユニットは、第1搬送ロボットおよび第2搬送ロボットのいずれからも効率的にアクセスされ易い。したがって、基板の搬送効率を向上できる。
この発明の一実施形態では、前記処理部が、前記搬送路を挟んで対向するように一対設けられている。この構成によれば、一対の処理部が搬送路を挟んで対向しているため、搬送路を長くすることなく処理部の数を増やすことができる。
この構成によれば、搬送路が延びる方向における処理部の中央よりも保持ユニット側とは反対側にある出入口に第2搬送ロボットが対向する。そのため、当該処理部に対して保持ユニット側とは反対側に処理部を増設した場合に、当該増設した処理部にも第2搬送ロボットをアクセスさせ易い。したがって、基板を搬送するためのロボットの数を増やすことなく、搬送路が延びる方向に処理部の数を増やすことができる。例えば、搬送路が延びる方向に2つ配置された処理部の全てに対して第2搬送ロボットが基板の搬入および搬出を行う構成をとることができる。したがって、搬送ロボットの数を増やす場合と比較して、基板処理装置の小型化および低コスト化を図ることができる。
この構成によれば、第2搬送ロボット昇降ユニットに取り付けられたカバーによって受渡領域の周囲の雰囲気と処理部の周囲の雰囲気とが遮断される。そのため、例えば、処理部内で基板を処理するために用いられる処理流体の雰囲気が処理部の周囲の雰囲気内に存在している場合であっても、受渡領域にアクセスした第1搬送ロボットがその雰囲気よって汚染されることを抑制または防止できる。
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る基板処理装置1の内部のレイアウトを説明するための図解的な平面図である。また、図2は、図1のII−II線に沿った図解的な縦断面図である。
第1処理ブロック21は、基板Wに洗浄処理やエッチング処理等の各種の処理をそれぞれ施すための一対の第1処理部11を含んでいる。第2処理ブロック22は、基板Wに洗浄処理やエッチング処理等の各種の処理をそれぞれ施すための一対の第2処理部12を含んでいる第3処理ブロック23は、基板Wに洗浄処理やエッチング処理等の各種の処理をそれぞれ施すための一対の第3処理部13を含んでいる。
基板処理装置1は、水平方向に延びる搬送路6をさらに含む。搬送路6は、インデクサセクション2から第1主搬送ロボットCR1に向かって例えば直線状に延びている。以下では、搬送路6が延びる方向を「X方向」という。X方向は複数の保持ユニット5の配列方向と直交する方向でもある。また、X方向に直交する水平方向を「Y方向」といい、X方向およびY方向に直交する上下方向を「Z方向」という。
基板処理装置1は、インデクサロボットIRと第1主搬送ロボットCR1との間で基板Wを受け渡すために当該基板Wが載置される第1載置ユニット31と、第1主搬送ロボットCR1と第2主搬送ロボットCR2との間で基板Wを受け渡すために当該基板Wが載置される第2載置ユニット32とをさらに含む。
第2載置ユニット32は、受渡領域A2に配置されている。受渡領域A2とは、搬送路6内に予め設定された領域であり、第1主搬送ロボットCR1と第2主搬送ロボットCR2との間に位置している。第1主搬送ロボットCR1と第2主搬送ロボットCR2との間での基板Wの受け渡しは、受渡領域A2で行われる。
インデクサロボットIRは、インデクサハンド41を第1載置ユニット31に水平方向から対向させることができる。この状態で、インデクサロボットIRは、受渡領域A1にアクセスして、第1載置ユニット31に基板Wを載置したり、第1載置ユニット31に載置された基板Wを受け取ったりすることができる。
保持部62は、第1主搬送ロボット旋回ユニット72によって、支持部材71上で鉛直軸線C2まわりに回転することが可能である。
また、第1主搬送ロボットCR1は、第1主搬送ハンド61を第1載置ユニット31に水平方向から対向させることができる。この状態で、第1主搬送ロボットCR1は、第1載置ユニット31にアクセスして、第1載置ユニット31に基板Wを載置したり、第1載置ユニット31に載置された基板Wを受け取ったりすることができる。
処理セクション3は、第2主搬送ロボットCR2と、第2主搬送ロボットCR2をZ方向に昇降させる第2主搬送ロボット昇降ユニット93とを有している。第2主搬送ロボット昇降ユニット93は、第3搬送ロボットとしての第2主搬送ロボットCR2を昇降させる第3搬送ロボット昇降ユニットの一例である。
保持部82は、第2主搬送ロボット旋回ユニット92によって、支持部材91上で鉛直軸線C3まわりに回転することが可能である。
また、第2主搬送ロボットCR2は、第2主搬送ハンド81を第3処理ユニット17の第3出入口13Aに水平方向から対向させることができる。この状態で、第2主搬送ロボットCR2は、第3出入口13Aを介して第3処理ユニット17にアクセスして、第3処理ユニット17に対する基板Wの搬入および搬出を行うことができる。
図3A〜図3Fは、インデクサロボットIR、第1主搬送ロボットCR1および第2主搬送ロボットCR2による基板Wの搬送動作を説明するための図解的な平面図である。図3Aに示す状態では、処理ユニット15〜17のうち搬送路6よりも紙面の上側に配置されているものには、基板Wが収容されていない。
処理部11〜13によって処理された基板Wは、第1主搬送ロボットCR1によって第1載置ユニット31に載置される。詳しくは、第1主搬送ロボットCR1は、第1主搬送ロボット旋回ユニット72および第1主搬送ロボット昇降ユニット73によって、第1主搬送ハンド61が第1載置ユニット31と対向する位置に移動される。第1主搬送ハンド61は、第1載置ユニット31に対向した状態で、第1主搬送ハンド進退ユニット74によって、進出位置に位置するようにX方向に対して傾斜した方向Bに直線的に移動される。このとき、第1主搬送ハンド61によって保持された基板Wも方向Bに移動する。退避位置と進出位置との間の位置で、第1主搬送ハンド61は、第1載置ユニット31にアクセスし、処理後の基板Wを第1載置ユニット31に載置する。
また、インデクサロボットIRと第1主搬送ロボットCR1との間で基板Wが受け渡される際に基板Wが移動する方向Bが、平面視でX方向に対して傾斜しているため、受渡領域A1と第1主搬送ロボット昇降ユニット73とをX方向に対して交差する方向に並べ易い。したがって、第1処理部11の第1処理ユニット15に基板Wを搬送するのに必要な搬送路長をより一層短くする設計が容易になる。
また、一対の処理部11〜13が搬送路6を挟んで対向しているため、搬送路6を長くすることなく処理部11〜13の数を増やすことができる。
そのため、第1処理部11と第2処理部12との間に第1主搬送ロボットCR1を配置し、第2処理部12と第3処理部13との間に第2主搬送ロボットCR2を配置すれば、全ての処理部11〜13に対していずれかの搬送ロボットCR1,CR2がアクセスできる。そのため、第3処理部13(遠隔処理部)よりも保持ユニット5から離れた位置に搬送ロボットを設ける必要がない。したがって、処理部11〜13がX方向に並んで3つ配置されている構成において、第3処理部13よりも保持ユニット5から離れた位置に搬送ロボットを設ける必要がないので、基板処理装置1の小型化および低コスト化を図ることができる。
<第2実施形態>
図4は、第2実施形態に係る基板処理装置1Pの内部のレイアウトを説明するための図解的な平面図である。図4および後述する図5では、今まで説明した部材と同じ部材には同じ参照符号を付して、その説明を省略する。
また、基板処理装置1Pの第1処理部11と給電セクション7との間に第2処理部12および第3処理部13を増設し、第2処理部12および第3処理部13に対向する第2主搬送ロボットCR2を増設することによって、第1実施形態に係る基板処理装置1とすることもできる。
この発明は、以上に説明した実施形態に限定されるものではなく、さらに他の形態で実施することができる。
例えば、インデクサロボットIRと第1主搬送ロボットCR1とは、基板Wを直接受け渡すように構成されていてもよい。この場合、基板Wの受け渡しは、受渡領域A1で行われる。また、この場合、基板処理装置1,1Pは、第1載置ユニット31を含んでいなくてもよい。
同様に、第1主搬送ロボットCR1と第2主搬送ロボットCR2との間で基板Wを直接受け渡すように構成されていてもよい。この場合、基板Wの受け渡しは、受渡領域A2で行われる。
また、インデクサロボットIRは、インデクサハンド41を複数含んでいてもよい。また、各インデクサハンド41は、Z方向に間隔を隔てて配置されており、互いに独立して移動できるようにされていてもよい。この場合、インデクサロボットIRは、収容器4から未処理の基板Wを搬出しつつ、別の収容器4に処理後の基板Wの搬入することができるように構成されていてもよい。また、インデクサロボットIRは、第1載置ユニット31から処理後の基板Wを受け取りつつ、第1載置ユニット31に未処理の基板Wを載置することができるように構成されていてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載した範囲で種々の変更を行うことができる。
第1主搬送ロボットCR1が、第1出入口11Aを介して第1処理部11に基板Wの搬入および搬出を行う。また、第2主搬送ロボットCR2が、第2出入口12Aを介して第2処理部12に基板Wの搬入および搬出を行い、かつ第3出入口13Aを介して第3処理部13に基板Wの搬入および搬出を行う。そのため、処理部11〜13のそれぞれに対して基板Wを搬入および搬出する搬送ロボットが1つずつ設けられている構成と比較して、搬送ロボットの数を低減できる。インデクサロボットIR、第1主搬送ロボットCR1および第2主搬送ロボットCR2間での基板Wの受け渡し回数が減るので、搬送効率が上がる。
また、第1主搬送ロボットCR1および第2主搬送ロボットCR2は、第1処理部11と第3処理部13との間に配置されている。したがって、第1主搬送ロボットCR1が第1処理部11にアクセスし易く、第2主搬送ロボットCR2が第2処理部12および第3処理部13にアクセスし易く、かつ第1主搬送ロボットCR1と第2主搬送ロボットCR2とが互いに基板Wの受け渡しを行いやすいレイアウトにすることができる。
また、第1主搬送ロボットCR1は、第1出入口11Aに対向して配置されているため、第1処理部11に対する基板Wの搬入および搬出を行いやすい。そのため、第1主搬送ロボットCR1による第1処理部11への基板Wの搬入および搬出を効率良く行うことができる。また、第2主搬送ロボットCR2は、第2出入口12Aおよび第3出入口13Aに対向して配置されているため、第2処理部12および第3処理部13に対する基板Wの搬入および搬出を行いやすい。そのため、第2主搬送ロボットCR2による第2処理部12および第3処理部13への基板Wの搬入および搬出を効率良く行うことができる。
また、第1主搬送ロボット昇降ユニット73がインデクサロボットIRと第1主搬送ロボットCR1との間に位置している。そのため、第1主搬送ロボット昇降ユニット73が第1主搬送ロボットCR1に対してインデクサロボットIRの反対側に位置する場合と比較して、第2主搬送ロボットCR2の配置に影響を与えることなく、第1主搬送ロボットCR1を昇降させる機能を備えることができる。これにより、第2主搬送ロボットCR2の配置の自由度が増すので、基板処理装置1の小型化を図ったり、基板Wの搬送効率を最大化したりするための設計が容易になる。
各処理ブロック21〜23では、一対の処理部11〜13が搬送路6を挟んで対向しているため、第1主搬送ロボットCR1および第2主搬送ロボットCR2が基板Wの搬入および搬出を行う処理部11〜13の数を増やすことができる。
1P 基板処理装置
4 収容器
5 保持ユニット
6 搬送路
11 第1処理部(処理部、近接処理部)
11A 第1出入口(出入口)
13 第3処理部(処理部、遠隔処理部)
13A 第3出入口(出入口)
31 第1載置ユニット(載置ユニット)
53 インデクサロボット昇降ユニット53(第1搬送ロボット昇降ユニット)
73 第1主搬送ロボット昇降ユニット73(第2搬送ロボット昇降ユニット)
101 ガード
A 受渡領域
B (基板Wが移動する)方向
C (第1処理部の)中心
W 基板
X 第1方向(搬送路が延びる方向)
Z 上下方向
IR インデクサロボット(第1搬送ロボット)
CR1 第1主搬送ロボット(第2搬送ロボット)
Claims (12)
- 基板を収容する収容器を保持する保持ユニットと、
基板を処理する複数の処理部と、
前記処理部の側方を通って延び、前記保持ユニットに保持された収容器と前記処理部との間で搬送される基板が通り、かつ前記複数の処理部に挟まれた搬送路と、
前記保持ユニットに保持された収容器に対して基板の搬入および搬出を行い、かつ前記搬送路内に配置された受渡領域にアクセスする第1搬送ロボットと、
前記受渡領域で前記第1搬送ロボットとの間で基板の受け渡しを行い、かつ前記処理部に対して基板の搬入および搬出を行う第2搬送ロボットと、
前記搬送路内に配置され、前記第2搬送ロボットを昇降させる第2搬送ロボット昇降ユニットとを含み、
前記受渡領域および前記第2搬送ロボット昇降ユニットが、前記第1搬送ロボットと前記第2搬送ロボットとの間に位置し、かつ前記複数の処理部に挟まれた前記搬送路内に配置されている、基板処理装置。 - 前記搬送路が、前記保持ユニットから前記第2搬送ロボットに向かって直線状に延びており、前記受渡領域と前記第2搬送ロボット昇降ユニットとが、前記搬送路が延びる方向に対して交差する方向に並んでいる、請求項1に記載の基板処理装置。
- 基板が前記第1搬送ロボットから前記第2搬送ロボットへと受け渡される際に当該基板が移動する方向が、前記搬送路が延びる方向に対して傾斜している、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記受渡領域に配置され、前記第1搬送ロボットと前記第2搬送ロボットとの間で基板を受け渡すために基板が載置される載置ユニットをさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記載置ユニットが、上下方向において、前記保持ユニットに保持された収容器と、前記上下方向における前記処理部の中心との間に位置している、請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記保持ユニットに対向する下位置と前記載置ユニットに対向する上位置との間で前記第1搬送ロボットを上下方向に昇降させる第1搬送ロボット昇降ユニットをさらに含み、
前記載置ユニットが、前記上下方向において、前記第1搬送ロボットの下位置と、前記上下方向における前記処理部の中心との間の中央位置に位置している、請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記複数の処理部が、前記搬送路を挟んで対向するように設けられた一対の処理部を含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記処理部が、前記処理部内に基板を出し入れするための出入口を、前記搬送路が延びる方向における前記処理部の中央よりも前記保持ユニット側とは反対側に有し、前記第2搬送ロボットが、前記処理部の出入口に対向して配置されている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記複数の処理部が、前記搬送路が延びる方向に配置された少なくとも2つの処理部を含み、
前記第2搬送ロボットが、前記少なくとも2つの処理部に対して基板の搬入および搬出を行う、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記複数の処理部が、前記搬送路が延びる方向に配置された3つ以上の処理部を含み、
前記保持ユニットに最も近い位置に配置された近接処理部が、前記近接処理部内に基板を出し入れするための出入口を、前記搬送路が延びる方向における前記近接処理部の中央よりも前記保持ユニット側とは反対側に有し、
前記保持ユニットから最も遠い位置に配置された遠隔処理部が、前記遠隔処理部内に基板を出し入れするための出入口を、前記搬送路が延びる方向における前記遠隔処理部の中央よりも前記保持ユニット側に有する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記受渡領域の周囲の雰囲気と前記処理部の周囲の雰囲気とを遮断するカバーをさらに含み、
前記カバーは、前記第2搬送ロボット昇降ユニットに取り付けられている、請求項1〜10のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記カバーの一方側面が、前記処理部に取り付けられており、前記カバーの他方側面が、前記第2搬送ロボット昇降ユニットに取り付けられている、請求項11に記載の基板処理装置。
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