KR100978858B1 - 스크라이빙 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면, 모 기판을 지지하는 지지부재; 상기 지지부재의 상측에 배치되어, 모 기판의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하는 제1스크라이버; 및 상기 지지부재의 하측에 배치되어, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이버를 구비하되, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치된 스크라이빙 장치 및 방법이 제공된다.
이와 같은 본 발명에 따르면, 모 기판을 면접촉으로 고정하는 고정부재를 이용한 스크라이빙 방식이므로 스크라이빙 라인 주위에 고른 응력이 분포된다.
Figure R1020080085710
스크라이버, 모 기판, 면접촉

Description

스크라이빙 장치 및 방법 {Apparatus for and method of scribing panel}
본 발명은 기판 제조에 사용되는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수의 단위 기판들이 형성된 기판을 스크라이빙 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 등에 사용되는 기판은 보통 취성 기판을 이용하여 제작되며, 기판은 한 장으로 구성된 단판 기판이나 2장의 기판이 접합된 접합 기판으로 대별된다.
접합 기판은 휴대 전화의 액정 표시기용의 패널과 같이 소형인 것부터 TV나 디스플레이 등의 패널과 같은 대형의 다양한 크기로 가공되어 사용되기 때문에, 대형의 모 기판으로부터 소정 크기의 단위 기판으로 절단되어 각각의 패널로 이용된다.
모 기판을 절단하는 방법으로는, 레이저빔을 이용하여 절단하는 방법 또는 미세한 다이아몬드가 박혀있는 스크라이빙 휠(Scribing Wheel)을 이용하여 절단하는 방법 등이 있다. 스크라이빙 휠을 이용하여 모 기판을 절단하는 방법은 스크라이빙 휠을 모 기판의 절단 예정선에 접촉한 후 절단 예정선을 따라 소정 깊이의 스 크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하는 스크라이빙 공정과, 모 기판에 물리적인 충격을 가하여 스크라이브 라인을 따라 크랙(Crack)이 전파되도록 함으로써 모 기판을 단위 기판으로 절단하는 브레이킹 공정으로 이루어진다.
도 1은 종래의 양면 스크라이빙 장치의 단면도이다. 그 중에서 스크라이빙 공정에 사용되는 스크라이빙 장치는, 도 1에 도시된 것처럼, 단위 기판들이 형성된 모 기판상에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하기 위한 것으로, 이송 부재들(10)과 스크라이버들(20)을 포함한다.
이송 부재들(10)은 모 기판을 일 방향을 따라 이동시키고, 스크라이버들(20)은 모 기판의 상면과 하면에 동시에 스크라이브 라인을 형성하게 된다. 이송 부재들(10)은 모 기판(S)의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치된 제1 이송부재(10a)와 제2이송부재(10b)를 포함한다. 제1 및 제2 이송부재(10a,10b)는 모 기판(S)을 지지하고, 모 기판을 일 방향으로 이송시킨다.
일반적으로, 제1 및 제2 이송부재(10a,10b)는 복수의 샤프트들로 구성되어 있다. 복수의 샤프트는 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행을 이루도록 복수 개가 나란하게 배치된다.
스크라이버들(20)은 모 기판의 상면에 스크라이브 라인을 형성하는 상부 스크라이버(20a)와, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 하부 스크라이버(20b)를 포함한다. 상부 스크라이버(20a)와 하부 스크라이버(20b)는 제1이송부재(10a)와 제2이송부재(10b)의 사이에 위치하며, 상부 스크라이버(20a)의 스크라이빙 휠(21a) 원주 면과 하부 스크라이버(20b)의 스크라이빙 휠(21b) 원주 면이 서로 마주보도록 연직선 상에 일렬로 정렬된다. 그리고, 상부 및 하부 스크라이버(20a, 20b)는 모 기판의 평면상에서 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 직선 이동하면서, 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성한다.
이러한 모 기판의 양면에 스크라이브 라인을 형성하는 장치는 각 스크라이빙 휠(21a, 21b) 사이에 모 기판이 위치하고, 모 기판은 각각의 스크라이빙 휠(21a, 21b)이 지지하거나 롤러인 이송부재(10a, 10b)가 지지하는 방식이다.
이렇게, 모 기판의 상/하면을 스크라이빙 휠(21a, 21b)에 의한 점접촉 지지 방식으로 스크라이빙 하게 되면, 지지점 주위에 상하 유동이 발생할 우려가 있다.
또한, 상하 스크라이빙 휠(21a, 21b)이 점접촉 커팅 방식이므로, 응력 집중에 의해 커팅 품질이 저하될 수 있다.
또한, 스크라이빙 면의 압력 조절이 곤란하여, 점접촉으로 인한 뒤틀림이 발생할 우려가 있고, 지지 면적이 적어서 스크라이빙 시 휨이 발생할 수도 있다.
본 발명은 효율적으로 스크라이빙 공정을 수행할 수 있는 스크라이빙 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 양면 스크라이빙을 할 때, 스크라이빙 라인 주위에 고른 응력이 분포될 수 있는 스크라이빙 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 양면 스크라이빙을 할 때, 모 기판의 휨을 방지하여 안정된 스크라이빙이 가능한 스크라이빙 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 모 기판을 지지하는 지지부재; 상기 지지부재의 상측에 배치되어, 모 기판의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하는 제1스크라이버; 및 상기 지지부재의 하측에 배치되어, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이버를 구비하되, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치된다.
여기서, 상기 제1스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제1스크라이버와 마주보도록 위치하여 모 기판을 고정하는 제1고정부재; 및 상기 제2스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제2스크라이버와 마주보도록 위치하여 모 기판을 고정하는 제2고정부재를 포함할 수 있다.
아울러, 상기 고정부재들은 모 기판과 면접촉하도록 제공될 수 있다.
게다가, 상기 고정부재는 벨트-컨베이어 타입일 수 있다.
더욱이, 상기 고정부재는 한 쌍의 롤러와, 상기 한 쌍의 롤러의 외주면을 감싸는 벨트를 구비할 수 있다.
또한, 모 기판의 이동방향을 기준으로 상기 고정부재들의 전방에는 모 기판의 휨을 방지하도록 제1휨방지부재가 더 구비되고, 상기 고정부재들의 후방에는 제2휨방지부재가 더 구비될 수 있다.
나아가, 상기 휨방지부재들은 모 기판과 면접촉하도록 제공될 수 있다.
아울러, 상기 지지부재는 복수의 샤프트를 구비하고, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 샤프트들의 사이에 제공될 수 있다.
더욱이, 상기 제1 및 제2스크라이버는, 각각을 모 기판의 면과 수직한 방향으로 이동시키는 수직 구동부재와, 모 기판의 면에 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부재를 더 포함하고, 상기 제1고정부재는 상기 제2스크라이버에 고정되고, 상기 제2고정부재는 상기 제1스크라이버에 고정될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 스크라이빙 방법은 모 기판의 상부에서 상기 모 기판의 상면에 제1스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 모 기판의 하부에서 상기 모 기판의 하면에 제2스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성한다.
여기서, 상기 모 기판을 중심으로 상기 제1스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제1스크라이버를 마주보는 제1고정부재; 및 상기 제2스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제2스크라이버를 마주보는 제2고정부재의 면접촉에 의해 상기 모 기판을 고정할 수 있다.
아울러, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 모 기판에 표시된 단위 기판의 외곽 라인에 맞춰 이격될 수 있다.
나아가, 상기 모 기판의 이동방향을 기준으로 상기 고정부재들의 전방에 제공된 제1휨방지부재와, 상기 고정부재들의 후방에 제공된 제2휨방지부재에 의해 상기 모 기판의 휨을 방지할 수 있다.
게다가, 상기 휨방지부재는 상기 모 기판과 면접촉할 수 있다.
더욱이, 상기 휨방지부재는 상기 모 기판에 표시된 단위 기판의 중앙에 접촉 할 수 있다.
또한, 상기 모기판은 복수의 샤프트에 의해 지지되고, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 샤프트들의 사이에 위치할 수 있다.
아울러, 상기 제1고정부재는 상기 제2스크라이버와 고정되고, 상기 제2고정부재는 상기 제1스크라이버와 고정되어, 각각은 상기 모 기판의 면에 대해 수직방향 및 수평방향으로 동시에 이동가능할 수 있다.
상술한 본 발명에 따르면, 모 기판을 면접촉으로 고정하는 고정부재를 이용한 스크라이빙 방식이므로 스크라이빙 라인 주위에 고른 응력이 분포된다.
또한, 본 발명에 따르면 스크라이버 전후의 휨방지부재로 기판의 휨을 방지하여 안정된 스크라이빙이 가능한 효과가 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
이하, 도면을 참고하여 본 발명에 따른 스크라이빙 장치에 대해 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 단면도, 도 3은 본 발명에 따른 고정부재의 사시도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 스크라이빙 장치(10)는 단위 기판들이 형성된 모 기판상에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하기 위한 것으로, 지지부재, 스크라이버, 고정부재, 휨방지부재 등을 포함한다.
본 실시예에서는 지지부재는 복수의 샤프트(111)를 구비한다. 스크라이버는 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)를 구비한다. 또한, 고정부재는 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)를, 휨방지부재는 제1휨방지부재(141)와 제2휨방지부재(142)를 포함한다.
지지부재는 모 기판(S)을 지지한다. 도 2를 참조한 실시예에 의하면, 지지부재는 복수의 샤프트(111)를 구비한다. 복수의 샤프트(111)는 모 기판(S)의 이송방향을 따라 나란히 복수가 배치된다. 또한, 샤프트(111)는 모 기판(S)을 중심으로 아래쪽에만 배치될 수도 있고, 도시된 것처럼 모 기판(S)의 상하에 동시에 제공될 수도 있다. 이렇게, 지지부재(110)가 샤프트(111)인 경우에는 모 기판(S)을 지지함과 동시에, 모 기판을 일 방향으로 이송시킨다.
또한, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 샤프트(111)들의 사이에 제공된다. 제1스크라이버(121)는 샤프트(111)의 상측에 배치되어, 모 기판(S)의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하고, 제2스크라이버(122)는 샤프트(111)의 하측에 배치되어, 모 기판(S)의 하면에 스크라이브 라인을 형성한다. 이때, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치된다.
이렇게 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치되고, 그 반대쪽에는 고정부재가 구비된다. 즉, 제1고정부재(131) 가 제1스크라이버(121)와 대응되는 반대쪽에서 제1스크라이버(121)와 마주보도록 위치한다. 공정 진행시 제1고정부재(131)는 모 기판(S)과 접촉하여 모 기판(S)을 고정할 수 있도록 제공된다. 마찬가지로, 제2고정부재(132)는 제2스크라이버(132)와 대응되는 반대쪽에서 제2스크라이버(122)와 마주보도록 위치하며, 공정 진행시 모 기판(S)을 고정한다.
즉, 이렇게 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)가 어긋나게 배치되고, 그 반대쪽에 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)가 위치하면, 스크라이빙 휠만의 점접촉 지지방식에서 벗어나, 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)의 선접촉 내지 면접촉 지지가 가능하게 된다.
만약, 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)가 샤프트 타입인 경우는 모 기판(S)과 선접촉 지지가 가능하고, 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)가 벨트-컨베이어 타입인 경우는 모 기판(S)과 면접촉 지지가 가능해진다. 아울러, 모 기판(S)을 고정할 뿐만 아니라, 회전에 의해 모 기판(S)의 이송도 보조할 수 있다.
도 2에는 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)가 벨트-컨베이어 타입인 경우를 예로 들었고, 그 예시적인 도면인 도 3에는 제1고정부재(131)가 한 쌍의 롤러(131a)와, 그 한 쌍의 롤러(131a)의 외주면을 감싸는 벨트(131b)를 구비한 것이 도시되어 있다. 벨트(131b)는 길이 방향이 모 기판(S)의 이송 방향을 향하도록 배치되고, 벨트(131b)는 모 기판의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치된 롤러들(131a)에 감긴다. 경우에 따라 이러한 롤러들(131a)은 별도의 구동부를 구비하여 모 기판(S)의 이동을 보조할 수도 있다. 또한, 벨트-컨베이어 타입이 아닌 캐터필 러(caterpillar) 타입의 고정부재가 사용될 수도 있다.
또한, 제1휨방지부재(141)는 모 기판(S)의 이동방향을 기준으로 고정부재들(131, 132)의 전방에 구비된다. 또한, 모 기판(S)의 휨을 방지하도록 고정부재들(131, 132)의 후방에는 제2휨방지부재(142)가 구비된다.
이러한 휨방지부재들(141, 142)의 역할은 고정부재들(131, 132)과 달리 모 기판(S)의 휨을 방지는 것이지만, 그 형태가 고정부재들(131, 132)처럼 샤프트 타입인 경우는 모 기판(S)과 선접촉 지지가 가능하고, 벨트-컨베이어 타입인 경우는 모 기판(S)과 면접촉 지지가 가능해진다. 물론, 벨트-컨베이어 타입이 아닌 캐터필러(caterpillar) 타입의 휨방지부재가 사용될 수도 있다.
나아가, 도 2에 도시된 것처럼 스크라이빙 장치(100)에는 X축방향 구동부(180)와 Y축방향 구동부(190)가 구비된다. X축방향 구동부(180)는 도 2에서 스크라이버들(121, 122)의 수평방향 이동을 가능하게 하며, Y축방향 구동부(190)은 스크라이버들(121, 122)의 수직방향 이동을 가능하게 한다.
이때, 제1스크라이버(121)와 제2고정부재(132)는 모 기판(S)을 중심으로 동일한 방향에 설치되므로, 제2고정부재(132)는 제1스크라이버(121)에 고정되면, 이러한 하나의 X축방향 구동부(121)와 Y축방향 구동부(132)가 제1스크라이버(121)와 제2고정부재(132)를 동시에 구동할 수 있다. 더불어, 제1스크라이버(121)와 제2고정부재(132)의 옆에는 제2휨방지부재(142)가 함께 구비되므로, 제1스크라이버(121)에 제2고정부재(132) 및 제2휨방지부재(142)가 함께 고정된 경우에는 하나의 X축방향 구동부(121)와 Y축방향 구동부(132)에 의해 제1스크라이버(121)에 제2고정부 재(132) 및 제2휨방지부재(142)가 동시에 구동될 수도 있다. 제1스크라이버(121), 제2고정부재(132) 및 제2휨방지부재(142)가 개별적으로 구동될 수 있음은 물론이다.
위의 설명은 제1스크라이버(121), 제2고정부재(132) 및 제2휨방지부재(142)의 반대편에 있는 제2스크라이버(122), 제1고정부재(131) 및 제1휨방지부재(141)에도 동일하게 적용되므로 반복적인 설명은 생략한다.
이하, 도면을 참고하여 본 발명에 따른 스크라이빙 방법에 대해 설명한다.
앞서 설명한 것처럼, 본 발명의 스크라이빙 방법은 모 기판(S)의 상부에서 모 기판(S)의 상면에 제1스크라이버(121)에 의해 스크라이브 라인을 형성하고, 모 기판(S)의 하부에서 모 기판(S)의 하면에 제2스크라이버(122)에 의해 스크라이브 라인을 형성한다. 이때, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성한다.
모 기판(S)은 복수의 샤프트(111)에 의해 지지되고, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 샤프트들(111)의 사이에 위치한다.
또한, 제1고정부재(131)는 모 기판(S)을 중심으로 제1스크라이버(121)와 대응되는 반대쪽에서 제1스크라이버(121)를 마주보고, 제2고정부재(132)는 제2스크라이버(122)와 대응되는 반대쪽에서 제2스크라이버(122)를 마주본다. 이러한 제1 및 제2고정부재(131, 132)의 면접촉에 의해 모 기판(S)을 고정한다.
아울러, 제1휨방지부재(141)는 모 기판(S)의 이동방향을 기준으로 고정부재 들(131, 132)의 전방에 제공되고, 제2휨방지부재(142)는 고정부재들(131, 132)의 후방에 제공된다. 제1 및 제2 휨방지부재(141, 142)에 의해 모 기판(S)의 휨을 방지한다. 휨방지부재들(141, 142)은 모 기판(S)과 면접촉하게 된다.
또한, 제1고정부재(131)는 제2스크라이버(122)에 고정되고, 제2고정부재(132)는 제1스크라이버(121)와 고정되어, 각각이 상기 모 기판의 면에 대해 수직방향 및 수평방향으로 동시에 이동가능할 수도 있다.
도 4는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 유닛 위치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다. 도 4를 참조하여 앞선 스크라이버들(121, 122), 고정부재들(131, 132) 및 휨방지부재들(141, 142)의 위치에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 4에는 기판의 진행방향이라는 화살표가 표시되어 있지만, 모 기판(S)과 스크라이빙 장치(100)의 상대적인 이동을 의미하므로, 모 기판(S)이 이동할 수도 있고, 스크라이버들(121, 122)이 이동할 수도 있다. 화살표 SD의 방향은 스크라이버들(121, 122)이 스크라이빙할 때, 이동하는 방향을 표시한다.
도 4의 화살표 D1은 제1스크라이버(121)의 위치를 나타내고, 화살표 D2, D2'는 제2스크라이버의 위치를 나타낸다. 또한, 화살표 B1은 제1휨방지부재(141)의 위치를 나타내고, 화살표 B2, B2'는 제2휨방지부재(142)의 위치를 나타낸다.
제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)는 모 기판(S)을 중심으로 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)의 반대편에 위치하므로 별도의 화살표로 표시하지는 않았다.
먼저, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 모 기판(S)에 표시된 단 위 기판(S1)의 외곽 라인(L)에 맞춰 이격된다. 즉, 제1스크라이버(121)가 단위 기판(S1) 외곽 라인(L) 상의 D1의 위치에 있으면, 제2스크라이버(122)는 단위 기판(S1) 외곽 라인(L) 상의 D2에 위치할 수도 있고, D2'에 위치할 수도 있다.
만일, 제2스크라이버(122)가 D2의 위치에 있는 경우는 모 기판(S)의 상하에 평면상 동일한 스크라이브 라인을 형성하게 되고, 제2스크라이버(122)가 D2'의 위치에 있는 경우는 모 기판(S)의 상하에는 평면상 어긋난 스크라이브 라인이 형성된다.
이때, 휨방지부재(141, 142)는 모 기판(S)에 표시된 단위 기판(S1)의 중앙에 접촉한다. 제1휨방지부재(141)는 제1스크라이버(121)의 바깥쪽 단위 기판(S1)의 중앙인 B1에 위치하게 된다. 또한, 제2스크라이버(122)가 D2의 위치에 있는 경우는 제2휨방지부재(142)는 제1휨방지부재(141)의 반대쪽 단위 기판(S1)의 중앙인 B2에 위치한다. 제2스크라이버(122)가 D2'의 위치에 있는 경우는 제2휨방지부재(142)는 제1휨방지부재(141)의 반대쪽 단위 기판(S1)의 중앙인 B2'에 위치한다.
물론, 휨방지부재들(141, 142)이 반드시 인접한 단위 기판(S1)의 중앙에 위치해야 하는 것은 아니며, 필요에 따라 더 먼 쪽의 단위 기판(S1)의 중앙에 위치할 수도 있다. 또한, 예시된 기판의 스크라이브 라인과 다른 형태의 라인에도 동일한 원리가 적용될 수 있다.
이렇게 본 발명에 따르면, 면접촉으로 모 기판을 고정하는 고정부재들(131, 132)을 이용한 스크라이빙 방식이므로 스크라이빙 라인 주위에 고른 응력이 분포된다. 스크라이버(121, 122) 전후의 휨방지부재들(141, 142)로 기판의 휨을 방지하여 안정된 스크라이빙이 가능한 효과가 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 양면 스크라이빙 장치의 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 고정부재의 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 유닛 위치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
<도면의 간단한 설명>
100...스크라이빙 장치 111, 112...지지부재
121, 122...스크라이버 131, 132...고정부재
141, 142...휨방지부재

Claims (17)

  1. 삭제
  2. 모 기판을 지지하는 지지부재;
    상기 지지부재의 상측에 배치되어, 모 기판의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하는 제1스크라이버;
    상기 지지부재의 하측에 배치되고, 상기 제1스크라이버와 상하로 대향되는 위치에서 상기 제1스크라이버와 어긋나게 배치되며, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이버;
    상기 제1스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제1스크라이버와 마주보도록 위치하여 모 기판을 고정하는 제1고정부재; 및
    상기 제2스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제2스크라이버와 마주보도록 위치하여 모 기판을 고정하는 제2고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 고정부재들은 모 기판과 면접촉하도록 제공된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 고정부재는 벨트-컨베이어 타입인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 고정부재는 한 쌍의 롤러와, 상기 한 쌍의 롤러의 외주면을 감싸는 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    모 기판의 이동방향을 기준으로 상기 고정부재들의 전방에는 모 기판의 휨을 방지하도록 제1휨방지부재가 더 구비되고, 상기 고정부재들의 후방에는 제2휨방지부재가 더 구비된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 휨방지부재들은 모 기판과 면접촉하도록 제공된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  8. 모 기판을 지지하는 지지부재;
    상기 지지부재의 상측에 배치되어, 모 기판의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하는 제1스크라이버; 및
    상기 지지부재의 하측에 배치되어, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이버를 구비하되,
    상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치되고,
    상기 지지부재는 복수의 샤프트를 구비하고, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 샤프트들의 사이에 제공된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  9. 제 2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2스크라이버는, 각각을 모 기판의 면과 수직한 방향으로 이동시키는 수직 구동부재와, 모 기판의 면에 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부재를 더 포함하고,
    상기 제1고정부재는 상기 제2스크라이버에 고정되고, 상기 제2고정부재는 상기 제1스크라이버에 고정된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  10. 삭제
  11. 모 기판의 상부에서 상기 모 기판의 상면에 제1스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하고,
    상기 모 기판의 하부에서 상기 모 기판의 하면에 제2스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하되,
    상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성하고,
    상기 모 기판은 상기 모 기판을 중심으로 상기 제1스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제1스크라이버에 마주보는 제1고정부재와의 면접촉 및 상기 제2스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제2스크라이버에 마주보는 제2고정부재와의 면접촉에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  12. 모 기판의 상부에서 상기 모 기판의 상면에 제1스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하고,
    상기 모 기판의 하부에서 상기 모 기판의 하면에 제2스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하되,
    상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성하고,
    상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 모 기판에 표시된 단위 기판의 외곽 라인에 맞춰 이격된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 모 기판의 이동방향을 기준으로 상기 고정부재들의 전방에 제공된 제1휨방지부재와, 상기 고정부재들의 후방에 제공된 제2휨방지부재에 의해 상기 모 기판의 휨을 방지하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 휨방지부재는 상기 모 기판과 면접촉하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  15. 제 13항에 있어서,
    상기 휨방지부재는 상기 모 기판에 표시된 단위 기판의 중앙에 접촉하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  16. 모 기판의 상부에서 상기 모 기판의 상면에 제1스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하고,
    상기 모 기판의 하부에서 상기 모 기판의 하면에 제2스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하되,
    상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성하고,
    상기 모 기판은 복수의 샤프트에 의해 지지되고, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 샤프트들의 사이에 위치한 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  17. 제 11항에 있어서,
    상기 제1고정부재는 상기 제2스크라이버와 고정되고, 상기 제2고정부재는 상기 제1스크라이버와 고정되어,
    각각은 상기 모 기판의 면에 대해 수직방향 및 수평방향으로 동시에 이동가능한 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
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