KR20080057912A

KR20080057912A - 스크라이빙 장치

Info

Publication number: KR20080057912A
Application number: KR1020060131814A
Authority: KR
Inventors: 황영민
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-12-21
Filing date: 2006-12-21
Publication date: 2008-06-25

Abstract

본 발명은 액정표시장치의 상하부 기판이 합착된 모 기판을 절단하는 스크라이빙 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 두 개의 지지부를 이용하여 모 기판을 지지하는 한편, 상기 모 기판에 대한 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직되는 제2 방향에 대한 절단을 두 개의 커터를 이용하여 개별적으로 수행할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다. 이를 위해 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는, 모 기판이 이송되는 컨베이어; 상기 컨베이어에 의해 이송되는 모 기판의 이동방향의 뒷쪽에서 상기 모 기판을 고정하는 제1 지지부; 상기 이동방향의 앞쪽에서 상기 모 기판을 고정하는 제2 지지부; 상기 제1 지지부와 제2 지지부의 이동을 가이드하기 위한 레일; 상기 모 기판을 제1 방향으로 절단시키는 제1 커터; 상기 모 기판을 상기 제1 방향과 수직되는 제2 방향으로 절단시키는 제2 커터를 포함한다.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}

도 1은 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 예시도.

도 2는 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 사시도.

도 3은 일반적인 모 기판의 액정패널 배치도.

도 4는 일반적인 액정패널 절단 방향을 나타낸 예시도.

도 5는 종래의 스크라이빙 장치의 일실시예 구성도.

도 6은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 일실시예 구성도.

도 7 은 도 6에 도시된 스크라이빙 장치의 제1 지지부와 제2 지지부가 모 기판을 지지하는 상태를 나타낸 예시도.

도 8은 도 6에 도시된 스크라이빙 장치의 제2 지지부가 모 기판을 지지하는 상태에서 제1 커터가 놓여진 방향으로 이동하는 상태를 나타낸 예시도.

도 9는 도 6에 도시된 스크라이빙 장치의 제2 지지부가 모 기판을 지지하는 상태에서 제1 커터가 모 기판을 제2 방향으로 절단하는 상태를 나타낸 예시도.

도 10은 도 6에 도시된 스크라이빙 장치의 제2 지지부가 모 기판을 지지하는 상태에서 제3 컨베이어로 모 기판을 이송하는 상태를 나타낸 예시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 액정패널 11 : 하부기판

11-1 : 패드부 12 : 상부기판

13 : 액정층 20 : 모 기판

71, 72, 73 : 컨베이어 74, 75 : 커터

76, 77 : 지지부

본 발명은 기판을 절단하기 위한 장치에 관한 것으로서, 특히, 액정표시장치의 상하부 기판이 합착된 모 기판을 절단하는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display ; 이하 "LCD"라 함)는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절함에 의해 화상을 표시하는 대표적인 평판 표시장치이다. 특히, LCD는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있으며, 이러한 추세에 따라 LCD는 사무자동화(Office Automation) 장치 및 노트북 컴퓨터의 표시장치로 이용되고 있다.

도 1은 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 예시도이다.

액정표시장치는 액정패널 및 백라이트 유닛을 포함하여 구성되어 있으며, 상 기 액정패널은 도 1에 도시된 바와 같이, 구동신호를 입력받는 박막트랜지스터 기판(TFT 기판)(이하, 간단히 '하부기판'이라 함)(11), 칼라필터층을 포함한 칼라필터기판(C/F 기판)(이하, 간단히 '상부기판'이라 함)(12) 및 상부기판과 하부기판 사이에 개재된 액정층(13)으로 구성된다.

도 2는 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 사시도로서, 도 1에 도시된 상부기판 및 하부기판이 합착된 액정패널(10)을 사시도로 나타낸 것이다.

하부기판(11) 중 상부기판(12)에 의해 노출되어 있는 패드부(11-1)에는 게이트 패드 및 데이터 패드가 형성되어 있으며, 상기 게이트 패드 및 데이터 패드는 게이트 드라이버 및 데이터 드라이버가 연결되는 부분이다.

도 3은 일반적인 모 기판의 액정패널 배치도로서, 6개의 액정패널이 배치되어 있는 모 기판을 나타낸 것이다.

일반적으로 하나의 유리 기판에 하나의 단위 액정패널이 형성되는 것이 아니라, 도 3에 도시한 바와 같이, 단위 액정패널의 사이즈보다 더 큰 모 기판에 복수개의 액정패널이 형성된다. 따라서, 제1 모 기판(20a)의 각 액정패널 영역에 하부기판(11)이 형성되고, 제2 모 기판(20b)의 각 액정패널 영역에 상부기판(12)이 형성된다.

이때, 도 2에 도시된 액정패널의 사시도는 도 3에 도시된 모 기판(20)에서 절단되어진 하나의 액정패널(10)을 나타낸 것으로서, 도 2에 도시된 상기 패드부(11-1)가 도 3에도 도시되어 있다. 즉, 도 3은 제1 모 기판(20a)과 제2 모 기판이 합착되어 있는 상태이므로, 제1 모 기판(20a)에 형성되어진 패드부(11-1)가 아 직 노출되지 않은 상태를 나타낸 것이며 이하에서 설명될 액정패널 절단 공정을 통해 패드부(11-1)가 도 2에 도시된 바와 같이 노출된다.

한편, 상기와 같은 액정패널을 포함하는 액정표시장치의 제조공정은 크게 기판 제조공정, 액정패널 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나뉘어진다.

먼저, 기판 제조공정은 세정된 유리기판을 사용하여 하부기판(11)을 제조하는 공정 및 상부기판(12)을 제조하는 공정으로 각각 나뉘어지는데, 하부기판 제조공정은 하부 유리기판(제1 모 기판)(20a) 상에 신호라인과, 복수의 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성하는 공정을 말하며, 상부기판 제조공정은 상부 유리기판(제2 모 기판)(20b) 상에 블랙매트릭스(Black matrix)와, 칼라필터층과, 공통전극(ITO)을 순차적으로 형성하는 공정을 말한다.

다음으로, 액정패널 공정은 하부기판(11)과 상부기판(12)을 합착하고 그 사이에 액정을 주입하여 액정패널을 제조하는 공정으로서, 상기 액정패널 공정은 다시 배향막 형성 공정, 러빙(Rubbing)공정, 셀 갭(Cell Gap)형성 공정, 어셈블리(Assembly) 공정, 액정패널 절단(Cell Cutting) 공정, 액정주입 공정, 편광 필름(Film) 부착 공정 등의 많은 단위공정으로 이루어진다.

마지막으로, 모듈공정은 액정패널과 신호처리 회로부를 연결시키는 공정으로서, 상기 모듈공정 역시 수많은 단위공정으로 이루어진다.

상기 액정패널 절단 공정은 상기한 바와 같이 도 3에 도시된 모 기판(20)에서 각각의 액정패널(10)을 절단하는 공정으로서, 도 4에 도시된 바와 같은 방향으로 도 5에 도시된 바와 같은 스크라이브 장치를 이용하여 이루어진다.

도 4는 일반적인 액정패널 절단 방향을 나타낸 예시도이고, 도 5는 종래의 스크라이빙 장치의 일실시예 구성도이다.

일반적인 액정패널의 절단 방향은 도 4에 도시된 바와 같이 A', B', C', D' 방향(X축 방향)으로 진행되며, X축 방향으로 절단된 액정패널(10)에 대하여 A, B, C, D 방향(Y축 방향)으로 진행됨으로써, 모 기판(20)으로부터 각각의 액정패널(10)이 분리될 수 있다. 그러나, 상기 절단은 먼저 Y축으로 진행된 후 X축으로 진행될 수도 있다.

한편, 도 5는 종래의 스크라이빙 장치(50)를 나타낸 것으로서, 상기한 바와 같이 모 기판(20)으로부터 각각의 액정패널(10)을 절단하기 위한 장치이다. 그러나, 모 기판(20)은 도 5에 도시된 스크라이빙 장치(50)에서 바로 절단되는 것은 아니다. 즉, 도 5에 도시된 스크라이빙 장치(50)의 커터(53)는 모 기판(20)을 완전히 절단시키는 것은 아니라, 소정의 깊이만큼만 절단을 시키게 되며, 이후의 공정을 통해 완전히 절단된다. 따라서, 도 5에 도시된 스크라이빙 장치(50)의 컨베이어(54)에 놓여진 모 기판(20)은 척(Chuck)(56)에 의해 고정된 상태로 커터(53)에 의해 소정 깊이만큼만 절단된 후, 또 다른 컨베이어(55)를 통해 이후의 공정으로 전송되어 완전히 절단된다.

상기한 바와 같은 종래의 스크라이빙 장치는, 상기 커터(53)가 X축 및 Y축에 대한 절단을 모두 수행하고 있다. 즉, 상기 척(56)이 모 기판(20)을 잡고 있는 상태에서 상기 척(56)을 지지하는 이송부(57)가 레일(58)을 따라 왕복 운동을 하게 되면, 상기 커터(53)가 상기 모 기판(20)을 X축 방향으로 절단하게 된다. X축 방향 의 절단이 종료되면, 상기 커터(53)는 Y축 방향으로 상기 모 기판(20)을 절단하게 된다.

그러나, 종래의 스크라이빙 장치는 하나의 커터(53)로 X축 방향 및 Y축 방향에 대한 절단을 수행하므로써, 공정시간이 지연된다는 문제점이 있다. 더욱이, 모 기판(20)의 크기가 점점 대형화되고 다양화됨에 따라, 각 모 기판(20)에 대한 절단 위치를 커터(53)로 정렬시키는 공정에 더 많은 택 타임(Tact Time)이 소비되고 있다.

또한, 종래의 스크라이빙 장치는 하나의 척(56)이 모 기판을 지지하고 있기 때문에, 상기 커터(53)에 의한 절단 공정 중에 모 기판(20)이 완전히 고정되지 못하며, 이로 인해, 절단 방향의 오류가 발생된다는 문제점이 있다.

따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 두 개의 지지부를 이용하여 모 기판을 지지하는 한편, 상기 모 기판에 대한 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직되는 제2 방향에 대한 절단을 두 개의 커터를 이용하여 개별적으로 수행할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는, 모 기판이 이송되는 컨베이어; 상기 컨베이어에 의해 이송되는 모 기판의 이동방향의 뒷쪽 에서 상기 모 기판을 고정하는 제1 지지부; 상기 이동방향의 앞쪽에서 상기 모 기판을 고정하는 제2 지지부; 상기 제1 지지부와 제2 지지부의 이동을 가이드하기 위한 레일; 상기 모 기판을 제1 방향으로 절단시키는 제1 커터; 상기 모 기판을 상기 제1 방향과 수직되는 제2 방향으로 절단시키는 제2 커터를 포함한다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명된다.

도 6은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 일실시예 구성도이다.

본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 도 6에 도시된 바와 같이, 모 기판이 이송되는 컨베이어(71, 72, 73), 상기 컨베이어에 의해 이송되는 모 기판(20)의 이동방향 양쪽에서 상기 모 기판(20)을 고정하는 제1 지지부(76)와 제2 지지부(77), 상기 제1 지지부와 제2 지지부의 이동을 가이드하기 위한 레일(78), 상기 모 기판을 제1 방향으로 절단시키는 제1 커터(74), 상기 모 기판을 상기 제1 방향과 수직되는 제2 방향으로 절단시키는 제2 커터(75)를 포함하여 구성된다.

상기 컨베이어(71, 72, 73)는 하나의 연속된 컨베이어로 구성될 수 있으나, 세 개의 컨베이어(71, 72, 73)로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 컨베이어들 중 모 기판(20)이 로딩되는 제1 컨베이어(71)와 제1 방향으로 절단된 모 기판이 이송되는 제2 컨베이어(72) 사이에는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1 방향으로 모 기판을 절단하기 위한 제1 커터(74)가 배치되어 있다. 상기 제1 방향이란 상기 모 기판의 절단 방향으로서, X축 방향 또는 Y축 방향이 될 수 있다.

상기 제2 컨베이어(72)와 제2 방향으로 절단된 모 기판이 이송되는 제3 컨베이어(73) 사이에는 상기 제2 방향으로 모 기판을 절단하기 위한 제2 커터(75)가 배치되어 있다. 상기 제2 방향은 상기 제1 방향과 수직을 이루는 방향으로서, Y축 방향 또는 X축 방향이 될 수 있다.

상기 제1 커터(74) 및 제2 커터(75)는 모 기판(20)의 상단면 또는 하단면에 배치될 수도 있으나, 도 6에 도시된 바와 같이, 모 기판(20)의 상단면 및 하단면에 각각 배치될 수 있다.

상기 제1 지지부(76)는 상기 제1 컨베이어(71)를 통해 로딩된 모 기판(20)의 진행방향의 뒷쪽 부분을 잡아 상기 모 기판(20)을 지지하기 위한 것이며, 상기 제2 지지부(77)는 상기 모 기판의 진행방향의 앞쪽 부분을 잡아 상기 모 기판(20)을 지지하기 위한 것이다.

상기 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77) 각각은 상기 모 기판(20)을 잡기 위한 척(Chuck)(76b, 77b), 상기 척이 고정되는 고정바(76a, 77a) 및 상기 고정바를 지지하는 한편 상기 레일을 따라 이동되는 이송기(76c, 77c)를 포함하여 구성되어 있다. 상기 척(76b, 77b)은 상기 컨베이어(71, 72, 73)의 상단면 쪽에 배치될 수 있으며, 이 경우 상기 척(76b, 77b)은 상기 컨베이어의 롤러와 겹치지 않도록 배치된다.

도 7 은 도 6에 도시된 스크라이빙 장치의 제1 지지부와 제2 지지부가 모 기판을 지지하는 상태를 나타낸 예시도이다.

먼저, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77)는 제1 컨베이어(71)로 로딩된 모 기판(20)을 그 진행 방향의 뒷쪽과 앞쪽에서 각각 고정하게 된다. 제1 컨베이어(71)는 절단공정의 전공정을 거친 기판이 최초로 로딩되는 컨베이어이다.

상기 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77) 각각에는 적어도 하나 이상의 척(76a, 77b)이 배치되어 있으며, 상기 척은 모 기판(20)을 잡을 수 있도록 집게 형태로 구성되어 있다. 따라서, 상기 모 기판(20)이 제1 컨베이어(71)로 로딩되어 일정한 위치에 배치되면, 상기 척은 상기 집게를 이용하여 모 기판(20)을 잡게 된다.

상기와 같은 과정을 통해 모 기판(20)의 양쪽이 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77)에 의해 고정되면, 상기 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77)는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 레일(78)을 따라 왕복운동을 하게 된다. 상기 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77)의 이동 경로 상에는 상기 모 기판(20)을 제1 방향으로 절단시키기 위한 제1 커터(74)가 배치되어 있다. 따라서, 상기 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77)에 의해 지지된 상태에서 이동되는 모 기판(20)은 상기 제1 방향으로 절단된다.

상기 모 기판(20)에 대한 제1 방향으로의 절단공정은 도 4에서 설명된 바와 같이 수차례에 걸쳐 실시된다. 이를 위해, 상기 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77)는 상기 레일(78) 위를 수차례에 걸쳐 왕복하게 된다. 상기 제1 방향은 상기 모 기판(20)의 X축 방향의 절단면 또는 Y축 방향의 절단 중 어느 하나이다.

상기 절단 공정에서는 절단면이 완전히 분리되는 것이 아니라, 소정의 깊이를 갖는 절단선이 상기 모 기판(20)에 형성되는 것이므로, 상기 모 기판(20)은 지속적으로 상기 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77)에 의해 지지된다. 한편, 도 8에서는 상기 제1 방향이 모 기판(20)의 X축 방향인 경우로 하여 스크라이빙 장치가 도시되어 있으며, 상기 제1 방향으로 모 기판(20)을 절단하는 경우에는, 상기 제1 커터(74)는 고정되어 있는 상태에서, 상기 제1 지지부(76) 및 제2 지지부(77)가 왕복운동을 하므로써, 모 기판(20)이 절단될 수 있다.

도 8은 도 6에 도시된 스크라이빙 장치의 제2 지지부가 모 기판을 지지하는 상태에서 제1 커터가 놓여진 방향으로 이동하는 상태를 나타낸 예시도이다.

상기와 같은 공정에 의해 제1 방향에 대한 절단공정이 종료되면, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 모 기판(20)은 제2 지지부에 의해서만 지지된다. 즉, 제1 방향에 대한 절단공정이 종료되면, 상기 모 기판(20)의 진행방향의 뒷쪽에서 상기 모 기판을 지지하던 제1 지지부(76)는 상기 모 기판(20)을 지지하지 않게 되며, 또 다른 모 기판을 지지하기 위해 상기 제1 컨베이어의 앞단으로 이동하게 된다.

제1 방향에 대한 절단공정 후에도 모 기판(20)을 지지하고 있는 제2 지지부(77)는 상기 레일(78)을 따라 이동하여 상기 모 기판(20)이 상기 제2 커터(75)의 위치에 놓여지도록 한다.

한편, 도 8에서는 상기 제1 방향이 모 기판(20)의 X축 방향인 경우를 예로 한 것으로서, 상기 모 기판(20)의 표면에는 상기 제1 커터(74)에 의해 제1 방향으로 절단선이 그어져 있다.

도 9는 도 6에 도시된 스크라이빙 장치의 제2 지지부가 모 기판을 지지하는 상태에서 제1 커터가 모 기판을 제2 방향으로 절단하는 상태를 나타낸 예시도이다.

상기 제2 커터(75)가 놓여져 있는 위치로 모 기판(20)이 이송되어오면, 상기 제2 커터(75)는 도 9에 도시된 바와 같이 상기 모 기판(20)을 제2 방향으로 절단하게 된다. 상기 제2 방향에 대한 절단 공정에서는 제1 방향에 대한 절단 공정에서와 마찬가지로 절단면이 완전히 분리되는 것이 아니라, 소정의 깊이를 갖는 절단선이 상기 모 기판(20)에 형성되는 것이므로, 상기 모 기판(20)은 지속적으로 상기 제2 지지부(77)에 의해 지지된다.

상기 제2 방향은 상기 제1 방향과 수직을 이루는 방향으로서, 도 9에서는 상기 제2 방향이 모 기판(20)의 Y축 방향인 경우를 예로 하고 있다. 즉, 모 기판(20)을 Y축 방향으로 절단하기 위해 상기 제2 커터(75)는 상기 모 기판(20) 위를 Y축 방향으로 이동하게 되며, 상기 제2 지지부(77)는 Y축 방향에 대한 한 번의 절단 공정이 진행될 때마다 상기 모 기판(20)을 또 다른 절단 위치로 이동시키게 된다.

도 10은 도 6에 도시된 스크라이빙 장치의 제2 지지부가 모 기판을 지지하는 상태에서 제3 컨베이어로 모 기판을 이송하는 상태를 나타낸 예시도이다.

상기와 같은 공정에 의해 제2 방향에 대한 절단공정이 종료되면, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 모 기판(20)은 제2 지지부에 의해 제3 컨베이어(73)로 이송된다. 즉, 제2 방향에 대한 절단공정이 종료되면, 상기 모 기판(20)의 진행방향의 앞쪽에서 상기 모 기판을 지지하던 제2 지지부(77)는 상기 모 기판(20)을 제3 컨베이어(73)로 이송시키게 된다. 제3 컨베이어(73)로 모 기판(20)이 이송되면, 상기 모 기판(20)을 지지하고 있던 상기 제2 지지부(77)는 상기 모 기판(20)을 상기 제3 컨베이어(73)에 안착시킨 후에 상기 도 7에서의 공정을 수행하기 위해 상기 제1 컨베이어(71) 방향으로 이동하게 된다.

한편, 도 10에서는 상기 제2 방향이 모 기판(20)의 Y축 방향인 경우를 예로 한 것으로서, 상기 모 기판(20)의 표면에는 상기 제2 커터(75)에 의해 제2 방향으로 절단선이 그어져 있다.

상기 설명 중, 상기 제1 지지부(76), 제2 지지부(77), 제1 커터(74), 제2 커터(75) 및 컨베이어들(71, 72, 73)의 동작은 미도시되어 있는 제어부에 의해 제어된다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 따라서 상기 구성요소들을 개별적으로 제어하기 위한 다수의 제어부가 구비될 수도 있다.

상술된 바와 같은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 X축 방향과 Y축 방향에 대한 절단을 두 개의 커터를 이용하여 개별적으로 수행하므로서, 택 타임(Tact Time)을 저감시킬 수 있다는 우수한 효과가 있다.

또한, 본 발명은 제1 방향에 대한 절단공정 시 모 기판의 양쪽에서 모 기판을 지지하고 있으므로, 모 기판의 반송 안정성을 향상시킬 수 있으며, 절단공정에서의 오류를 방지할 수 있다는 우수한 효과가 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발 명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims

모 기판이 이송되는 컨베이어;

상기 컨베이어에 의해 이송되는 모 기판의 이동방향의 뒷쪽에서 상기 모 기판을 고정하는 제1 지지부;

상기 이동방향의 앞쪽에서 상기 모 기판을 고정하는 제2 지지부;

상기 제1 지지부와 제2 지지부의 이동을 가이드하기 위한 레일;

상기 모 기판을 제1 방향으로 절단시키는 제1 커터;

상기 모 기판을 상기 제1 방향과 수직되는 제2 방향으로 절단시키는 제2 커터를 포함하는 스크라이빙 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 컨베이어는,

상기 제1 커터의 전단에 배치되는 제1 컨베이어;

상기 제1 커터와 제2 커터의 사이에 배치되는 제2 컨베이어; 및

상기 제2 커터의 후단에 배치되는 제3 컨베이어를 포함하는 스크라이빙 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제1 커터는 상기 모 기판을 제1 방향으로 절단하며,

상기 제2 커터는 상기 제1 방향에 수직되는 제2 방향으로 상기 모 기판을 절단하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제1 지지부와 제2 지지부 각각은,

상기 모 기판을 잡기 위한 척;

상기 척이 고정되는 고정바; 및

상기 고정바를 지지하는 한편 상기 레일을 따라 이동되는 이송기를 포함하는 스크라이빙 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제1 지지부와 제2 지지부는,

상기 제1 커터에 의해 상기 모 기판이 제1 방향으로 절단되는 동안 상기 모 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치
제 1 항에 있어서,

상기 제2 지지부는,

상기 제2 커터에 의해 상기 모 기판이 제2 방향으로 절단되는 동안 상기 모 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제1 지지부, 제2 지지부, 제1 커터, 제2 커터, 컨베이어는 적어도 하나 이상의 제어부에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.