KR102400550B1

KR102400550B1 - 합착 기판의 절단 시스템

Info

Publication number: KR102400550B1
Application number: KR1020150036257A
Authority: KR
Inventors: 최한현; 김동명; 이준석; 김범석; 박정민
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2015-03-16
Filing date: 2015-03-16
Publication date: 2022-05-23
Also published as: KR20160111603A; CN105988236A

Abstract

본 발명은 합착 기판의 절단 시스템에 관한 것이며, 특히 실런트를 통해 두 기판이 접착된 영역 내에서 합착 기판을 효과적으로 절단하고, 합착 기판을 절단하는 동안 합착 기판의 상면에 접촉하는 영역을 최소화하도록 구성된 합착 기판의 절단 시스템에 관한 것이다.

Description

합착 기판의 절단 시스템{BREAKING SYSTEM FOR ATTACHED SUBSTRATE}

액정표시장치는 구동회로 유닛(unit)을 포함하는 액정표시패널, 액정표시패널의 하부에 설치되어 액정표시패널에 빛을 방출하는 백라이트(backlight) 유닛, 백라이트 유닛과 액정표시패널을 지지하는 몰드 프레임(mold frame) 및 케이스(case) 등으로 이루어져 있다.

또한 상기 액정표시패널은 수율 향상을 도모하기 위해, 대면적의 제1 기판에 박막 트랜지스터 어레이 기판들을 형성하고, 별도의 제2 기판에는 컬러필터 기판들을 형성한 다음 제1 기판과 제2 기판을 합착한 합착 기판으로부터 각각의 단위 액정표시패널로 절단하는 공정을 통해 제조된다.

일반적으로, 단위 액정표시패널의 절단은 유리에 비해 강도가 높은 다이아몬드 재질의 스크라이빙 휠로 기판의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하고, 상기 스크라이빙 라인을 따라 크랙이 전파되도록 기계적 힘을 가하는 브레이킹 공정을 통해 이루어진다.

최근들어 단위 액정표시패널의 소형화 추세로 인해 합착 기판으로부터 절단되어 제거되는 더미 영역이 최소화됨에 따라 스크라이빙 공정과 브레이킹 공정의 높은 정밀도가 요구되고 있다.

한편, 단위 액정표시패널이 더미 영역 없이 서로 인접해있는 경우, 스크라이빙 공정과 브레이킹 공정이 실런트를 통해 제1 기판과 제2 기판이 접착된 영역 내에서 수행되는데 이 때 실런트의 접착력 때문에 브레이킹 공정이 원활히 이루어지지 않아 절단 불량률이 급격히 상승하는 문제가 있었다.

또한, 최근에는 기판 상에 터치 기능의 구현을 위해 다양한 회로가 형성되고 있는 추세로서, 이러한 회소의 손상을 방지하기 위해 합착 기판 상에서 수행되는 스크라이빙 공정과 브레이킹 공정은 합착 기판과의 접촉 영역을 최소화하는 것이 요구되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 실런트를 통해 두 기판이 접착된 영역 내에서 합착 기판을 효과적으로 절단하고, 합착 기판과의 접촉 영역을 최소화하기 위한 합착 기판의 절단 시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 측면에 따르면, 제1 기판과 제2 기판을 포함하며, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재된 실런트를 통해 접착된 합착 기판의 절단 시스템에 있어서, 상기 합착 기판의 일 단부를 지지하기 위한 스테이지, 상기 합착 기판의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅하여 상기 합착 기판을 절단하기 위한 틸팅 유닛 및 상기 스테이지와 상기 틸팅 유닛 사이에서 상기 합착 기판을 지지하기 위해 승하강 이동 가능하도록 구비된 지지 유닛을 포함하는 합착 기판의 절단 시스템이 제공될 수 있다.

상기 지지 유닛은 상기 합착 기판의 상면 또는 하면을 지지하기 위해 상기 합착 기판의 상부 또는 하부에 구비될 수 있다.

상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 타 단부를 상향 틸팅할 때, 상기 합착 기판의 상부에 구비된 상기 지지 유닛은 상기 합착 기판의 상면을 지지하도록 하강 이동할 수 있다.

상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 타 단부를 하향 틸팅할 때, 상기 합착 기판의 하부에 구비된 상기 지지 유닛은 상기 합착 기판의 하면을 지지하도록 승강 이동할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 제1 기판과 제2 기판을 포함하며, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재된 실런트를 통해 접착된 합착 기판의 절단 시스템에 있어서, 상기 합착 기판의 일 단부를 지지하기 위한 스테이지, 상기 합착 기판의 표면에 접촉하여 가압하는 브레이킹 바를 구비하는 브레이킹 유닛, 상기 합착 기판의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅하여 상기 합착 기판을 절단하기 위한 틸팅 유닛 및 상기 스테이지와 상기 틸팅 유닛 사이에서 상기 합착 기판을 지지하기 위해 승하강 이동 가능하도록 구비된 지지 유닛을 포함하며, 상기 브레이킹 유닛과 상기 지지 유닛은 상기 합착 기판을 사이에 두고 서로 수직 방향으로 대향하도록 구비되는 합착 기판의 절단 시스템이 제공될 수 있다.

상기 브레이킹 유닛은 상기 합착 기판의 상부에 구비되어 상기 합착 기판을 하향 가압하며, 상기 브레이킹 바가 상기 합착 기판의 상면에 접촉할 때, 상기 지지 유닛은 상기 합착 기판의 하면을 지지하도록 승강 이동할 수 있다.

상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 타 단부를 상향 틸팅할 때, 상기 브레이킹 바는 상기 합착 기판을 지지하도록 상기 합착 기판의 상면에 접촉한 상태로 존재할 수 있다.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 제1 기판과 제2 기판을 포함하며, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재된 실런트를 통해 접착된 합착 기판의 절단 시스템에 있어서, 상기 합착 기판의 일 단부를 지지하기 위한 스테이지, 상기 합착 기판의 상면에 접촉하여 가압하는 제1 브레이킹 바 및 상기 제1 브레이킹 바의 일측에 구비된 제1 지지 유닛을 구비하는 제1 브레이킹 유닛 및 상기 합착 기판의 하면에 접촉하여 가압하는 제2 브레이킹 바 및 상기 제2 브레이킹 바의 타측에 구비된 제2 지지 유닛을 구비하는 제2 브레이킹 유닛을 포함하며, 상기 제1 브레이킹 바와 상기 제2 지지 유닛은 상기 합착 기판을 사이에 두고 서로 수직 방향으로 대향하도록 구비되며, 상기 제2 브레이킹 바와 상기 제1 지지 유닛은 합착 기판을 사이에 두고 서로 수직 방향으로 대향하도록 구비되는 합착 기판의 절단 시스템이 제공될 수 있다.

상기 제1 브레이킹 바가 상기 합착 기판의 상면에 접촉할 때, 상기 제2 지지 유닛은 상기 합착 기판의 하면을 지지하도록 승강 이동하며, 상기 제2 브레이킹 바가 상기 합착 기판의 하면에 접촉할 때, 상기 제1 지지 유닛은 상기 합착 기판의 상면을 지지하도록 하강 이동할 수 있다.

상기 제1 브레이킹 유닛은 상기 제1 지지 유닛을 승하강 이동시키는 구동 유닛 및 상기 제1 지지 유닛에 대하여 상기 제1 브레이킹 바를 상대적으로 승하강 이동시키는 보조 구동 유닛을 포함하며, 상기 제2 브레이킹 유닛은 상기 제2 지지 유닛을 승하강 이동시키는 구동 유닛 및 상기 제2 지지 유닛에 대하여 상기 제2 브레이킹 바를 상대적으로 승하강 이동시키는 보조 구동 유닛을 포함할 수 있다.

상기 합착 기판의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅하여 상기 합착 기판을 절단하기 위한 틸팅 유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 일 단부를 상향 틸팅할 때, 상기 제1 지지 유닛은 상기 합착 기판의 상면을 지지하도록 하강 이동하며, 상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 일 단부를 하향 틸팅할 때, 상기 제2 지지 유닛은 상기 합착 기판의 하면을 지지하도록 승강 이동할 수 있다.

본 발명에 따르면, 실런트를 통해 두 기판이 접착된 영역 내에서 합착 기판을 효과적으로 절단하기 위해 제1 기판과 제2 기판에 힘을 순차적으로 가함으로써 높은 정밀도로 합착 기판에 대한 손상없이 브레이킹 공정을 수행할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 합착 기판과의 접촉 영역을 최소화한 상태로 브레이킹 공정을 수행하는 것이 가능함으로써 기판 상에 형성된 회로의 손상을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 전체적인 공정 단위를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 브레이킹 공정 단위의 사시도를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템에 의해 절단되는 합착 기판을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 지지 유닛을 개략적으로 나타낸 것이며, 도 4c 내지 도 4e는 상기 실시예에 따라 합착 기판이 절단되는 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 지지 유닛과 브레이킹 수단을 개략적으로 나타낸 것이며, 도 5c 내지 도 5e는 상기 실시예에 따라 합착 기판이 절단되는 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 브레이킹 수단을 개략적으로 나타낸 것이며, 도 6c 내지 도 6f는 상기 실시예에 따라 합착 기판이 절단되는 과정을 개략적으로 나타낸 것이다.

본 발명을 더 쉽게 이해하기 위해 편의상 특정 용어를 본원에 정의한다. 본원에서 달리 정의하지 않는 한, 본 발명에 사용된 과학 용어 및 기술 용어들은 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미를 가질 것이다. 또한, 문맥상 특별히 지정하지 않는 한, 단수 형태의 용어는 그것의 복수 형태도 포함하는 것이며, 복수 형태의 용어는 그것의 단수 형태도 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 구성과 이를 이용해 합착 기판을 절단하는 방법의 원리를 보다 상세히 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 전체적인 공정 단위를 개략적으로 나타낸 것으로서, 도 1을 참조하면, 합착 기판의 절단 시스템은 스크라이빙 공정 단위(100)와 이의 후속 공정으로서 브레이킹 공정 단위(200)를 구비하며, 스크라이빙 공정 단위(100)와 브레이킹 공정 단위(200)는 하나의 세트로서 복수의 세트로 구비될 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 브레이킹 공정 단위(200)의 사시도를 개략적으로 나타낸 것이다.

도 2를 참조하면, 브레이킹 공정 단위(200)는 합착 기판(P)을 이송 방향의 후단에서 파지하기 위한 기판 척 유닛(201), 합착 기판(P)이 안착되는 스테이지(202) 및 합착 기판(P)이 절단되는 영역에 합착 기판(P)의 상부 및 하부에 각각 배치된 지지 유닛(203a, 203b)를 구비한다.

본 발명은 합착 기판(P)에 배치된 다수의 단위 액정표시패널을 하나의 단위 액정표시패널로 절단하는 시스템에 관한 것으로, 특히 실런트를 통해 두 기판이 접착된 영역 내에서 합착 기판(P)을 효과적으로 절단하기 위해 상부 기판과 하부 기판에 힘을 순차적으로 가함으로써 높은 정밀도로 합착 기판 또는 절단면에 대한 손상없이 브레이킹 공정을 수행하기 위한 브레이킹 공정 단위(200)를 포함하는 합착 기판의 절단 시스템에 관한 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템에 의해 절단되는 합착 기판(P)의 단면도는 도 3에 개략적으로 도시되어 있다.

도 3을 참조하면, 제1 기판(1)과 제2 기판(2) 사이에 실런트(c)가 개재되어 있으며, 실런트(c)가 경화됨에 따라 제1 기판(1)과 제2 기판(2)은 완전히 접착된다.

또한, 제1 기판(1)과 제2 기판(2)에는 각각 절단 예정선(S1', S2')이 스크라이빙 공정 단위(100)에 의한 스크라이빙 공정에 의해 형성되어 있다. 이 때, 두 절단 예정선(S1', S2')은 동일선 상에 형성되거나 다른 선 상에 형성될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템은 실런트(c)를 통해 두 기판(1, 2)이 접착된 영역 내에서 합착 기판(P)을 효과적으로 절단하기 위해 제1 기판(1)과 제2 기판(2)에 순차적으로 힘을 가하고, 이 때, 합착 기판(P)에 힘을 가하는 수단이 합착 기판(P)과의 접촉 영역을 최소화할 수 있도록 함으로써 높은 정밀도로 합착 기판에 대한 손상없이 브레이킹 공정을 수행하도록 한다.

이를 구현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 합착 기판의 일 단부를 지지하기 위한 스테이지, 합착 기판의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅하여 상기 합착 기판을 절단하기 위한 틸팅 유닛 및 스테이지와 틸팅 유닛 사이에서 합착 기판을 지지하기 위해 승하강 이동 가능하도록 구비된 지지 유닛을 포함하는 합착 기판의 절단 시스템이 제공될 수 있다.

상술한 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템은 도 4a 내지 도 4e에 개략적으로 도시되어 있다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 지지 유닛을 개략적으로 나타낸 것으로서, 도 4a는 합착 기판(P)의 상면을 지지하기 위해 합착 기판(P)의 상부에 구비되는 제1 지지 유닛(203a)을 나타낸 것이며, 도 4b는 합착 기판(P)의 하면을 지지하기 위해 합착 기판(P)의 하부에 구비되는 제2 지지 유닛(203b)을 나타낸 것이다.

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 구동 유닛(205a, 205b)은 각각의 지지 유닛(203a, 203b)에 설치되어, 지지 유닛(203a, 203b)을 합착 기판(P)의 이송 방향(Y축 방향)을 따라 전후로 이동시킬 수 있으며, 합착 기판(P)의 상면 또는 하면을 지지하기 위해 Z축 방향을 따라 승하강 이동시킬 수 있다.

지지 유닛(203a, 203b)은 합착 기판(P)의 제1 기판 또는 제2 기판을 절단하기 위해 힘이 가해질 때, 합착 기판(P)이 들뜨거나 뒤틀리는 것을 방지하기 위해 합착 기판(P)에 접촉하여 지지하기 위해 구비된다.

또한, 합착 기판(P)의 상면(제1 기판의 노출된 표면)과 접촉하는 제1 지지 유닛(203a)의 하면 및 합착 기판(P)의 하면(제2 기판의 노출된 표면)과 접촉하는 제2 지지 유닛(203b)의 상면에는 별도로 탄성 부재가 더 구비거나 탄성을 나타낼 수 있는 필름이 부착될 수 있으며, 이는 지지 유닛이 합착 기판(P)을 지지할 때 크랙 또는 스크래치가 발생하는 것을 방지한다.

이어서, 도 4c 내지 도 4e를 참조하면, 상기 실시예에 따라 합착 기판(P)이 절단되는 과정을 확인할 수 있다.

우선, 기판 이송 유닛 등에 의해 합착 기판(P)이 브레이킹 공정 단위로 공급되면, 합착 기판(P)의 일 단부는 스테이지(202) 상에 안착되며, 합착 기판(P)의 타 단부는 틸팅 유닛(204) 상에 안착된다.

도 4c를 참조하면, 틸팅 유닛(204)은 스테이지 형태로 마련되어 있으나, 클램프 형태로 합착 기판(P)의 타 단부를 파지하도록 마련될 수 있다. 스테이지 형태로 마련된 틸팅 유닛(204)은 예를 들어, 스테이지에 형성된 복수의 진공 흡착 유닛 등으로 합착 기판(P)의 타 단부를 안착시킬 수 있다.

제1 지지 유닛(203a)은 합착 기판(P)의 상부에 구비되며, 제2 지지 유닛(203b)은 합착 기판(P)의 하부에 구비되되, 제1 지지 유닛(203a)과 제2 지지 유닛(203b)은 합착 기판(P)을 사이에 두고 서로 다른 영역을 지지하도록 엇갈려 배치된다. 다만, 필요에 따라, 제1 지지 유닛(203a)과 제2 지지 유닛(203b)은 합착 기판(P)을 사이에 두고 서로 마주보도록 배치될 수도 있다.

도 4d는 합착 기판(P)의 상부 기판(도 3의 제1 기판(1))을 절단하기 위해 틸팅 유닛(204)이 합착 기판(P)의 타 단부를 하향 틸팅하는 모습을 나타낸 것이다.

이 때, 제1 기판(1)에 형성된 절단 예정선(S1')에 정확히 힘이 가해져서 원하는 방향으로 수직 크랙을 확장시키기 위해 제2 지지 유닛(203b)은 구동 유닛에 의해 승강 이동하여 합착 기판(P)의 하면을 지지한다.

이와 반대로, 합착 기판(P)의 하부 기판(도 3의 제2 기판(2))을 절단하기 위해 틸팅 유닛(204)이 합착 기판(P)의 타 단부를 상향 틸팅하는 모습을 나타낸 도 4e를 참조하면, 제2 기판(2)에 형성된 절단 예정선(S2')에 정확히 힘이 가해져서 원하는 방향으로 수직 크랙을 확장시키기 위해 제1 지지 유닛(203a)은 구동 유닛에 의해 하강 이동하여 합착 기판(P)의 상면을 지지한다.

합착 기판(P)을 이루는 제1 기판(1)과 제2 기판(2)의 절단 순서는 필요에 따라 적절히 선택될 수 있다.

일반적으로, 합착 기판(P)의 상부 기판에 해당하는 제1 기판(1) 먼저 절단하는 것이 바람직하며, 이는 합착 기판(P)을 절단하기 위해 힘을 가할 경우, 절단 예정선을 따라 수직 크랙이 확장됨과 동시에 기판을 이루는 물질(예를 들어, 유리)의 파편이 발생할 수 있기 때문이다.

이 때, 합착 기판(P)의 하부 기판에 해당하는 제2 기판(2) 먼저 절단할 경우, 합착 기판(P)의 상부 기판에 해당하는 제1 기판(1) 상에도 유리 파편이 발생할 수 있으며, 이는 후속 절단 공정시 원하지 않는 크랙 또는 스크래치의 발생 원인이 되기도 한다.

다만, 상기 실시예에 따르면 합착 기판(P)을 이루는 제1 기판(1)과 제2 기판(2)을 절단하기 위한 힘은 틸팅 유닛(204)에 의해 공급되며, 제1 기판(1)과 제2 기판(2)을 절단하기 위해 합착 기판(P)의 표면으로 힘을 가하는 수단은 존재하지 않기 때문에 원하지 않는 크랙 또는 스크래치가 발생할 가능성 역지 희박하다.

또한, 합착 기판(P)을 이루는 제1 기판(1)과 제2 기판(2)을 절단함에 있어 합착 기판(P)의 상부 기판에 해당하는 제1 기판(1)을 절단한 후 제2 기판(2)을 절단하기 위해 합착 기판(P)을 뒤집을 필요가 없기 때문에 공정 시간 역시 획기적으로 단추갛는 것이 가능하다.

도 4d 및 도 4e를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템은 합착 기판(P)을 이루는 제1 기판(1)과 제2 기판(2)를 각각 절단하기 위해 합착 기판(P)에 형성된 절단 예정선으로 직접 가압하지 않으며, 합착 기판(P)의 타 단부만을 상향 또는 하향 틸팅하도록 작동한다.

또한, 틸팅시 합착 기판(P)이 들뜨거나 뒤?z리는 것을 방지하기 위해 최소한의 영역 내에서 지지 유닛이 합착 기판(P)과 접촉하도록 구비된다.

즉, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 합착 기판(P)과의 접촉 영역을 최소화한 상태로 브레이킹 공정을 수행하는 것이 가능함으로써 합착 기판(P)의 손상을 방지하는 것이 가능하다.

본 발명의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 합착 기판의 일 단부를 지지하기 위한 스테이지, 합착 기판의 표면에 접촉하여 가압하는 브레이킹 바를 구비하는 브레이킹 유닛, 합착 기판의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅하여 상기 합착 기판을 절단하기 위한 틸팅 유닛 및 스테이지와 틸팅 유닛 사이에서 합착 기판을 지지하기 위해 승하강 이동 가능하도록 구비된 지지 유닛을 포함하는 합착 기판의 절단 시스템이 제공될 수 있다.

상술한 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템은 도 5a 내지 도 5e에 개략적으로 도시되어 있다.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 지지 유닛과 브레이킹 수단을 개략적으로 나타낸 것이다.

여기서, 도 5a는 합착 기판(P)의 상면을 지지하기 위해 합착 기판(P)의 상부에 구비되는 제1 지지 유닛(203a)과 합착 기판(P)의 상면에 접촉하여 하향 가압하기 위한 제1 브레이킹 바(206a)를 포함하는 제1 브레이킹 유닛을 나타낸 것이며, 도 5b는 합착 기판(P)의 하면을 지지하기 위해 합착 기판(P)의 하부에 구비되는 제2 지지 유닛(203b)을 나타낸 것이다.

또한, 별도로 도시하지는 않았으나, 브레이킹 바는 제1 지지 유닛 대신 제2 지지 유닛과 같이 구비될 수도 있다.

도 5a를 참조하면, 구동 유닛(205a)은 제1 지지 유닛(203a)에 설치되어, 지지 유닛(203a)을 합착 기판(P)의 이송 방향(Y축 방향)을 따라 전후로 이동시킬 수 있으며, 합착 기판(P)의 상면 또는 하면을 지지하기 위해 Z축 방향을 따라 승하강 이동시킬 수 있다.

또한, 제1 브레이킹 유닛은 제1 지지 유닛(203a)에 설치되되, 제1 지지 유닛(203a)에 대하여 상대 이동이 가능하도록 마련된다.

이 때, 제1 브레이킹 유닛은 보조 구동 유닛(207a)를 통해 제1 지지 유닛(203a)에 설치될 수 있으며, 보조 구동 유닛(207a)은 제1 브레이킹 바(206a)가 제1 지지 유닛(203a)에 대하여 상대적으로 승하강 이동될 수 있도록 한다.

즉, 구동 유닛(205a)에 의해 제1 브레이킹 바(206a)와 제1 지지 유닛(203a)은 동시에 승하강 이동될 수 있으며, 구동 유닛(205a)에 의해 제1 지지 유닛(203a)과 함께 고정된 위치에서 제1 브레이킹 바(206a)는 보조 구동 유닛(207a)에 의해 더 이동될 수 있다.

도 5b에 도시된 제2 지지 유닛(203b)과 이를 구동하기 위한 구성 요소는 도 3b에 도시된 것과 같으므로 자세한 설명은 생략하도록 한다.

이어서, 도 5c 내지 도 5e를 참조하면, 상기 실시예에 따라 합착 기판(P)이 절단되는 과정을 확인할 수 있다.

도 5c를 참조하면, 틸팅 유닛(204)은 스테이지 형태로 마련되어 있으나, 클램프 형태로 합착 기판(P)의 타 단부를 파지하도록 마련될 수 있다. 스테이지 형태로 마련된 틸팅 유닛(204)은 예를 들어, 스테이지에 형성된 복수의 진공 흡착 유닛 등으로 합착 기판(P)의 타 단부를 안착시킬 수 있다.

제1 지지 유닛(203a)은 합착 기판(P)의 상부에 구비되며, 제2 지지 유닛(203b)은 합착 기판(P)의 하부에 구비되되, 제1 지지 유닛(203a)과 제2 지지 유닛(203b)은 합착 기판(P)을 사이에 두고 서로 다른 영역을 지지하도록 엇갈려 배치된다.

또한, 합착 기판(P)의 상부에는 합착 기판(P)의 상부 기판(도 3의 제1 기판(1))의 표면에 접촉하여 가압하도록 제1 브레이킹 바(206a)가 배치된다. 여기서, 제1 브레이킹 바(206a)와 제2 지지 유닛(203b)은 합착 기판(P)을 사이에 두고 서로 수직 방향으로 대향하도록 배치된다.

도 5d는 합착 기판(P)의 하부 기판(도 3의 제2 기판(2))을 절단하기 위해 제1 브레이킹 바(206a)가 절단 예정선이 형성된 합착 기판(P)의 상부를 하향 가압하는 모습을 나타낸 것이다.

이 때, 제1 브레이킹 바(206a)가 합착 기판(P)의 상면에 접촉할 때, 제2 지지 유닛(203b)은 합착 기판(P)의 하면을 지지하도록 승강 이동한다.

제2 지지 유닛(203b)에 의해 합착 기판(P)의 하면이 지지된 상태에서 제1 브레이킹 바(206a)가 합착 기판(P)을 하향 가압함으로써 힘이 가해지는 순간 합착 기판(P)이 뒤틀리거나 어긋나는 것을 방지하며, 이에 따라 합착 기판(P)을 정확히 절단하는 것이 가능하도록 한다.

이어서, 틸팅 유닛(204)이 합착 기판(P)의 타 단부를 하향 틸팅하는 모습을 나타낸 도 5e를 참조하면, 제1 기판(2)에 형성된 절단 예정선(S1')에 정확히 힘이 가해져서 원하는 방향으로 수직 크랙을 확장시키기 위해 제2 지지 유닛(203b)은 합착 기판(P)의 하면을 지지하는 상태로 유지된다.

본 발명의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 합착 기판의 일 단부를 지지하기 위한 스테이지, 합착 기판의 상면에 접촉하여 가압하는 제1 브레이킹 바 및 상기 제1 브레이킹 바의 일측에 구비된 제1 지지 유닛을 구비하는 제1 브레이킹 유닛과 합착 기판의 하면에 접촉하여 가압하는 제2 브레이킹 바 및 상기 제2 브레이킹 바의 타측에 구비된 제2 지지 유닛을 구비하는 제2 브레이킹 유닛을 포함하는 합착 기판의 절단 시스템이 제공될 수 있다.

상술한 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템은 도 6a 내지 도 6f에 개략적으로 도시되어 있다.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 합착 기판의 절단 시스템의 지지 유닛과 브레이킹 수단을 개략적으로 나타낸 것이다.

여기서, 도 6a는 합착 기판(P)의 상면에 접촉하여 가압하는 제1 브레이킹 바(206a)와 이의 일측에 구비된 제1 지지 유닛(203a)을 구비하는 제1 브레이킹 유닛을 나타낸 것이며, 도 6b는 합착 기판(P)의 하면에 접촉하여 가압하는 제2 브레이킹 바(206b)와 이의 일측에 구비된 제2 지지 유닛(203b)을 구비하는 제2 브레이킹 유닛을 나타낸 것이다.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 구동 유닛(205a, 205b)은 지지 유닛(203a, 203b)에 설치되어, 지지 유닛(203a, 203b)을 합착 기판(P)의 이송 방향(Y축 방향)을 따라 전후로 이동시킬 수 있으며, 합착 기판(P)의 상면 또는 하면을 지지하기 위해 Z축 방향을 따라 승하강 이동시킬 수 있다.

또한, 브레이킹 바(206a, 206b)는 지지 유닛(203a, 203b)에 설치되되, 지지 유닛(203a, 203b)에 대하여 상대 이동이 가능하도록 마련된다.

이 때, 브레이킹 유닛(206a, 206b)은 보조 구동 유닛(207a, 207b)를 통해 지지 유닛(203a, 203b)에 설치될 수 있으며, 보조 구동 유닛(207a, 207b)은 브레이킹 바(206a, 206b)가 지지 유닛(203a, 203b)에 대하여 상대적으로 승하강 이동될 수 있도록 한다.

즉, 구동 유닛(205a, 205b)에 의해 브레이킹 바(206a, 206b)와 지지 유닛(203a, 203b)은 동시에 승하강 이동될 수 있으며, 구동 유닛(205a, 205b)에 의해 제1 지지 유닛(203a, 203b)과 함께 고정된 위치에서 브레이킹 바(206a, 206b)는 보조 구동 유닛(207a, 207b)에 의해 더 이동될 수 있다.

이어서, 도 6c 내지 도 6f를 참조하면, 상기 실시예에 따라 합착 기판(P)이 절단되는 과정을 확인할 수 있다.

도 6c를 참조하면, 틸팅 유닛(204)은 스테이지 형태로 마련되어 있으나, 클램프 형태로 합착 기판(P)의 타 단부를 파지하도록 마련될 수 있다. 스테이지 형태로 마련된 틸팅 유닛(204)은 예를 들어, 스테이지에 형성된 복수의 진공 흡착 유닛 등으로 합착 기판(P)의 타 단부를 안착시킬 수 있다.

합착 기판(P)의 하부에는 합착 기판(P)의 하부 기판(도 3의 제1 기판(2))의 표면에 접촉하여 가압하도록 제2 브레이킹 바(206b)가 배치되며, 제2 브레이킹 바(206b)와 제1 지지 유닛(203a)은 합착 기판(P)을 사이에 두고 서로 수직 방향으로 대향하도록 배치된다.

도 6d는 합착 기판(P)의 상부 기판을 절단하기 위해 제2 브레이킹 바(206b)가 절단 예정선이 형성된 합착 기판(P)의 하부를 상향 가압하는 모습을 나타낸 것이다.

이 때, 제2 브레이킹 바(206b)가 합착 기판(P)의 하면에 접촉할 때, 제1 지지 유닛(203a)은 합착 기판(P)의 상면을 지지하도록 승강 이동한다.

제1 지지 유닛(203a)에 의해 합착 기판(P)의 상면이 지지된 상태에서 제2 브레이킹 바(206b)가 합착 기판(P)을 상향 가압함으로써 힘이 가해지는 순간 합착 기판(P)이 뒤틀리거나 어긋나는 것을 방지하며, 이에 따라 합착 기판(P)을 정확히 절단하는 것이 가능하도록 한다.

이어서, 도 6e는 합착 기판(P)의 하부 기판을 절단하기 위해 제1 브레이킹 바(206a)가 절단 예정선이 형성된 합착 기판(P)의 상부를 하향 가압하는 모습을 나타낸 것이다.

추가적으로, 합착 기판(P)의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅하여 합착 기판(P)의 절단을 보조하도록 틸팅 유닛(204)이 더 마련될 수 있다.

틸팅 유닛(204)이 합착 기판(P)의 타 단부를 하향 틸팅하는 모습을 나타낸 도 6f를 참조하면, 제2 지지 유닛(203b)은 합착 기판(P)의 하면을 지지하는 상태로 유지된다. 또한, 도시하지는 않았으나, 틸팅 유닛(204)이 합착 기판(P)의 타 단부를 상향 틸팅할 경우, 제1 지지 유닛(203a)은 합착 기판(P)의 상면을 지지하는 상태로 유지된다.

실런트를 통해 두 기판이 접착된 영역 내에서 합착 기판(P)을 절단할 때, 상술한 브레이킹 바에 의한 가압만으로는 합착 기판(P)이 완전히 절단되지 않는 경우가 발생할 수 있으며, 추가적으로 마련되는 틸팅 유닛(204)은 합착 기판(P)의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅함으로써 합착 기판(P)의 표면에 대한 손상없이 절단을 효과적으로 보조할 수 있다.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.

Claims

제1 기판과 제2 기판을 포함하며, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재된 실런트를 통해 접착된 합착 기판의 절단 시스템에 있어서,
상기 합착 기판의 일 단부를 지지하기 위한 스테이지;
상기 합착 기판의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅하여 상기 합착 기판을 절단하기 위한 틸팅 유닛; 및
상기 스테이지와 상기 틸팅 유닛 사이에서 상기 합착 기판을 지지하기 위해 승하강 이동 가능하도록 구비된 지지 유닛을 포함하며,
상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 타 단부를 하향 틸팅할 때, 상기 합착 기판의 하부에 구비된 상기 지지 유닛은 상기 합착 기판의 하면을 지지하도록 승강 이동하는,
합착 기판의 절단 시스템.
제1항에 있어서,
상기 지지 유닛은 상기 합착 기판의 상면 또는 하면을 지지하기 위해 상기 합착 기판의 상부 또는 하부에 구비되는,
합착 기판의 절단 시스템.
제1항에 있어서,
상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 타 단부를 상향 틸팅할 때, 상기 합착 기판의 상부에 구비된 상기 지지 유닛은 상기 합착 기판의 상면을 지지하도록 하강 이동하는,
합착 기판의 절단 시스템.
삭제
제1 기판과 제2 기판을 포함하며, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재된 실런트를 통해 접착된 합착 기판의 절단 시스템에 있어서,
상기 합착 기판의 일 단부를 지지하기 위한 스테이지;
상기 합착 기판의 표면에 접촉하여 가압하는 브레이킹 바를 구비하는 브레이킹 유닛;
상기 합착 기판의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅하여 상기 합착 기판을 절단하기 위한 틸팅 유닛; 및
상기 스테이지와 상기 틸팅 유닛 사이에서 상기 합착 기판을 지지하기 위해 승하강 이동 가능하도록 구비된 지지 유닛;
을 포함하며,
상기 브레이킹 유닛과 상기 지지 유닛은 상기 합착 기판을 사이에 두고 서로 수직 방향으로 대향하도록 구비되며,
상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 타 단부를 하향 틸팅할 때, 상기 합착 기판의 하부에 구비된 상기 지지 유닛은 상기 합착 기판의 하면을 지지하도록 승강 이동하는,
합착 기판의 절단 시스템.
제5항에 있어서,
상기 브레이킹 유닛은 상기 합착 기판의 상부에 구비되어 상기 합착 기판을 하향 가압하며,
상기 브레이킹 바가 상기 합착 기판의 상면에 접촉할 때, 상기 지지 유닛은 상기 합착 기판의 하면을 지지하도록 승강 이동하는,
합착 기판의 절단 시스템.
제5항에 있어서,
상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 타 단부를 상향 틸팅할 때, 상기 브레이킹 바는 상기 합착 기판을 지지하도록 상기 합착 기판의 상면에 접촉한 상태로 존재하는,
합착 기판의 절단 시스템.
삭제
제1 기판과 제2 기판을 포함하며, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재된 실런트를 통해 접착된 합착 기판의 절단 시스템에 있어서,
상기 합착 기판의 일 단부를 지지하기 위한 스테이지;
상기 합착 기판의 타 단부를 상향 또는 하향 틸팅하여 상기 합착 기판을 절단하기 위한 틸팅 유닛;
상기 합착 기판의 상면에 접촉하여 가압하는 제1 브레이킹 바 및 상기 제1 브레이킹 바의 일측에 구비된 제1 지지 유닛을 구비하는 제1 브레이킹 유닛; 및
상기 합착 기판의 하면에 접촉하여 가압하는 제2 브레이킹 바 및 상기 제2 브레이킹 바의 타측에 구비된 제2 지지 유닛을 구비하는 제2 브레이킹 유닛;
을 포함하며,
상기 제1 브레이킹 바와 상기 제2 지지 유닛은 상기 합착 기판을 사이에 두고 서로 수직 방향으로 대향하도록 구비되며,
상기 제2 브레이킹 바와 상기 제1 지지 유닛은 합착 기판을 사이에 두고 서로 수직 방향으로 대향하도록 구비되며,
상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 일 단부를 하향 틸팅할 때, 상기 제2 지지 유닛은 상기 합착 기판의 하면을 지지하도록 승강 이동하는,
합착 기판의 절단 시스템.
제9항에 있어서,
상기 제1 브레이킹 바가 상기 합착 기판의 상면에 접촉할 때, 상기 제2 지지 유닛은 상기 합착 기판의 하면을 지지하도록 승강 이동하며,
상기 제2 브레이킹 바가 상기 합착 기판의 하면에 접촉할 때, 상기 제1 지지 유닛은 상기 합착 기판의 상면을 지지하도록 하강 이동하는,
합착 기판의 절단 시스템.
제9항에 있어서,
상기 제1 브레이킹 유닛은 상기 제1 지지 유닛을 승하강 이동시키는 구동 유닛; 및 상기 제1 지지 유닛에 대하여 상기 제1 브레이킹 바를 상대적으로 승하강 이동시키는 보조 구동 유닛;을 포함하며,
상기 제2 브레이킹 유닛은 상기 제2 지지 유닛을 승하강 이동시키는 구동 유닛; 및 상기 제2 지지 유닛에 대하여 상기 제2 브레이킹 바를 상대적으로 승하강 이동시키는 보조 구동 유닛;을 포함하는,
합착 기판의 절단 시스템.
삭제
제9항에 있어서,
상기 틸팅 유닛이 상기 합착 기판의 일 단부를 상향 틸팅할 때, 상기 제1 지지 유닛은 상기 합착 기판의 상면을 지지하도록 하강 이동하는,
합착 기판의 절단 시스템.