KR100603904B1 - 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치 - Google Patents
폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (8)
- 레이저를 이용하여 대상물을 가공하기 위한 장치로서,레이저를 생성하여 출력하는 복수 개의 레이저발생수단;상기 복수개의 레이저발생수단에서 생성되어 출력되는 각각의 레이저빔을 동일한 위치로 반사시키는 복수개의 미러;상기 복수개의 레이저발생수단에서 출력되는 레이저빔을 원하는 각도로 반사시키기 위해 상기 복수개의 미러 각각에 설치되어 상기 복수개 미러의 각도 및 위치를 조절하는 복수개의 엑츄에이터;복수의 반사면을 가지고 회전축을 중심으로 회전하며, 상기 복수개의 미러에서 반사되어 각각 다른 방향에서 동일한 위치의 반사면으로 입사되는 레이저빔을 각각 반사시키는 폴리곤 미러;상기 폴리곤 미러에서 반사되는 복수의 레이저빔을 각각 집광하여 스테이지에 안착된 가공 대상물에 동시에 조사하는 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 1항에 있어서,상기 가공장치는,상기 폴리곤 미러의 반사면이 소정의 각속도를 가지도록 상기 폴리곤 미러를 정속 회전시키는 폴리곤 미러 구동수단과,상기 대상물이 안착되는 스테이지와,상기 스테이지를 소정 방향으로 이송시키는 스테이지 이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 2항에 있어서,상기 스테이지 이송수단은 상기 폴리곤 미러가 회전함에 따라 상기 레이저 빔이 상기 대상물에 조사되는 방향에 대하여 역방향이 되도록 상기 스테이지를 이송시키는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 1항에 있어서,상기 가공장치는,상기 렌즈에서 집광된 레이저빔의 단면 형상을 타원형으로 변환하는 빔 변환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 4항에 있어서,상기 빔 변환부는 변환되는 레이저빔의 단면형상에서 타원의 장축이 웨이퍼의 가공방향이 되도록 상기 레이저빔의 형상을 변환하여 웨이퍼로 조사하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 5항에 있어서,상기 레이저빔의 단면형상에서 타원의 단축의 길이는 레이저빔에 의해 가공되는 너비가 되며,상기 레이저빔의 상기 단축의 너비를 제어함으로써 가공되는 너비를 제어하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 4항에 있어서,상기 가공장치는 상기 레이저발생수단에서 출력되는 레이저빔의 구경을 각각 확장하는 복수개의 빔 확장부를 더 포함하고,상기 빔 확장부에서 확장된 레이저빔은 복수개의 미러와 폴리곤 미러에서 반사되고 렌즈에서 집광되어 상기 빔 변환부로 입사되는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 1항에 있어서,상기 렌즈는 상기 레이저빔을 집광하여 상기 웨이퍼에 수직으로 조사하는 렌즈인 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
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