KR20060012395A - 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 레이저를 이용하여 대상물을 가공하기 위한 장치로서,레이저를 생성하여 출력하는 복수 개의 레이저발생수단;상기 복수개의 레이저발생수단에서 생성되어 출력되는 각각의 레이저빔을 동일한 위치로 반사시키는 복수개의 미러;상기 복수개의 레이저발생수단에서 출력되는 레이저빔을 원하는 각도로 반사시키기 위해 상기 복수개의 미러 각각에 설치되어 상기 복수개 미러의 각도 및 위치를 조절하는 복수개의 엑츄에이터;복수의 반사면을 가지고 회전축을 중심으로 회전하며, 상기 복수개의 미러에서 반사되어 각각 다른 방향에서 동일한 위치의 반사면으로 입사되는 레이저빔을 반사시키는 폴리곤 미러;상기 폴리곤 미러에서 반사되는 레이저빔을 집광하여 스테이지에 안착된 가공 대상물에 조사하는 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 1항에 있어서,상기 가공장치는,상기 폴리곤 미러의 반사면이 소정의 각속도를 가지도록 상기 폴리곤 미러를 정속 회전시키는 폴리곤 미러 구동수단과,상기 대상물이 안착되는 스테이지와,상기 스테이지를 소정 방향으로 이송시키는 스테이지 이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 2항에 있어서,상기 스테이지 이송수단은 상기 폴리곤 미러의 회전방향에 대하여 역방향이 되도록 상기 스테이지를 이송시키는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 1항에 있어서,상기 가공장치는,상기 렌즈에서 집광된 레이저빔의 단면 형상을 타원형으로 변환하는 빔 변환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 4항에 있어서,상기 빔 변환부는 변환되는 레이저빔의 단면형상에서 타원의 장축이 웨이퍼의 가공방향이 되도록 상기 레이저빔의 형상을 변환하여 웨이퍼로 조사하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 5항에 있어서,상기 레이저빔의 단면형상에서 타원의 단축의 길이는 레이저빔에 의해 가공되는 너비가 되며,상기 레이저빔의 상기 단축의 너비를 제어함으로써 가공되는 너비를 제어하는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 4항에 있어서,상기 가공장치는 상기 레이저발생수단에서 출력되는 레이저빔의 구경을 각각 확장하는 복수개의 빔 확장부를 더 포함하고,상기 빔 확장부에서 확장된 레이저빔은 복수개의 미러와 폴리곤 미러에서 반사되고 렌즈에서 집광되어 상기 빔 변환부로 입사되는 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
- 제 1항에 있어서,상기 렌즈는 상기 레이저빔을 집광하여 상기 웨이퍼에 수직으로 조사하는 렌즈인 것을 특징으로 하는 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치.
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