JPWO2006114930A1 - 弾性境界波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1986電子情報通信学会資料,S86−39、第47頁〜第4頁
。従って、SiO2を、負のTCVを有する材料と組み合わせることにより、TCVを0または0に近い正の値とすることができる。
により、周波数温度係数TCFが小さい弾性境界波装置を実現することができる。
はSiO2を主成分とする材料を用いて構成されている。
<32°、15°<θ<41°及び−35°<ψ<35°の範囲内されている。
11…第1の媒質
12…第2の媒質
13…第3の媒質
14…IDT
14a,14b…電極指
15,16…反射器
本明細書において、基板の切断面と境界波の伝搬方向を表現するオイラー角(φ,θ,ψ)は、文献「弾性波素子技術ハンドブック」(日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会、第1版第1刷、平成3年1月30日発行、549頁)記載の右手系オイラー角を用いた。すなわち、LNの結晶軸X、Y、Zに対し、Z軸を軸としてX軸を反時計廻りにφ回転しXa軸を得る。次に、Xa軸を軸としてZ軸を反時計廻りにθ回転しZ′軸を得る。Xa軸を含み、Z′軸を法線とする面を基板の切断面とした。そして、Z′軸を軸としてXa軸を反時計廻りにψ回転した軸X′方向を境界波の伝搬方向とした。
また、オイラー角の初期値として与えるLiNbO3の結晶軸X、Y、Z軸をc軸と平行とし、X軸を等価な3方向のa軸のうち任意の1つと平行とし、Y軸はX軸とZ軸を含む面の法線方向とする。
なお、本発明におけるLiNbO3のオイラー角(φ,θ,ψ)は結晶学的に等価であればよい。例えば、文献(日本音響学会誌36巻3号、1980年、140〜145頁)によれば、LiNbO3は三方晶系3m点群に属する結晶であるので、〔4〕式が成り立つ。
=F(60°+φ,−θ,180°−ψ)
=F(φ,180°+θ,180°−ψ)
=F(φ,θ,180°+ψ) 〔4〕
ここで、Fは、電気機械結合係数ks 2、伝搬損失、TCF、PFA、ナチュラル一方向性などの任意の境界波特性である。PFAのナチュラル一方向性は、例えば伝搬方向を正負反転してみた場合、符号は変わるものの絶対量は等しいので実用上等価であると考える。なお、文献7は表面波に関するものであるが、境界波に関しても結晶の対称性は同様に扱える。
excitation and propagation directions for excitation of piezoelectric surface
waves」(J.J.Campbell and W.R.Jones,IEEE Trans.Sonics and
Ultrason.,Vol.SU-15(1968) pp.209-217) に開示されている手法に基づいて計算された値である。
K2=2×|Vf−V|/Vf…式(1)
TCF=(V〔30℃〕−V〔20℃〕)/V〔25℃〕/10℃−αs
…式(2)
PFA=tan-1{V〔ψ〕-1×(V〔ψ+0.5°〕−V〔ψ−0.5°〕)}…式(3)
【発明の効果】
本発明に係る弾性境界波装置では、圧電性を有する第1の媒質と、非導電物質である第2の媒質と、第1,第2の媒質よりも伝搬する遅い横波の音速が低音速である第3の媒質とが第1の媒質、第3の媒質及び第2の媒質の順に積層されている積層体と、第1の媒質と第3の媒質との間に配置されたIDTとを備える。そして、IDTが4507〜21500kg/m3の範囲内の密度ρの金属を用いて構成されているので、弾性境界波の伝搬損失を低減することができ、弾性境界波装置における損失を低減することができる。
Claims (10)
- 圧電性を有する第1の媒質と、
非導電物質である第2の媒質と、
伝搬する遅い横波の音速が、前記第1,第2の媒質を伝搬する遅い横波よりも低音速である第3の媒質とが、第1の媒質、第3の媒質及び第2の媒質の順に積層されている積層体と、
前記第1の媒質と第3の媒質との間に配置されたIDTとを備える弾性境界波装置であって、
前記IDTが、密度ρの金属からなる金属層を用いて構成されており、密度ρが3000〜21500kg/m3の範囲にあり、
前記IDTの厚みH1が、IDTの電極指ピッチをλとしたときに、0.006λ≦H1≦0.2λの範囲にあり、前記第3の媒質の厚みH2がH1<H2≦0.7λの範囲にあることを特徴とする弾性境界波装置。 - 前記第3の媒質の厚みH2が、H1<H2<0.5λの範囲とされている、請求項1に記載の弾性境界波装置。
- 前記第3の媒質が、SiO2またはSiO2を主成分とする材料からなる、請求項1または2に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質がLiNbO3からなり、第1の媒質のオイラー角〔φ,θ,ψ〕のφ、θ及びψが、−25°<φ<25°、92°<θ<114°及び−60°<ψ<60°の範囲にあることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質がLiNbO3からなり、第1の媒質のオイラー角〔φ,θ,ψ〕のφ、θ及びψが、−25°<φ<25°、92°<θ<114°及び60°<ψ<120°の範囲にあることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質がLiNbO3からなり、第1の媒質のオイラー角〔φ,θ,ψ〕のφ、θ及びψが、−32°<φ<32°、15°<θ<41°及び−35°<ψ<35°の範囲にあることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDTを構成している金属が、Pt、Au、Cu、Ag、Ni、Ti、Fe、W及びTaからなる群から選択された金属あるいは該金属を主成分とする合金である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDTが、相対的に密度が高い第1の金属層と、相対的に密度が低い第2の金属層とが交互に積層されている構造を有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の金属層が、前記第1の媒質側に配置されている、請求項8に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質及び/または第2の媒質が、複数の媒質層を積層してなる積層体により構成されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
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