JP7068835B2 - 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Description
の関係を有するグレーティング電極と、を備える弾性波デバイスである。
そこで、SH波の音速がレイリー波の音速より遅くなり、かつレイリー波の不要応答の強度が小さくなる範囲を得るため、有限要素法を用いシミュレーションした。シミュレーション条件は以下である。
圧電基板10:回転YカットX伝播タンタル酸リチウム基板
ピッチλ:4μm
電極指デュティ比:50%
IDT電極指対数:55.5対
反射器電極数:20本
開口長:35λ
金属膜12:膜厚がhのMo(モリブデン)
Moの物性値としては、密度、ヤング率およびポアソン比をそれぞれ1.028×104kg/m3、329GPaおよび0.31とした。
シミュレーション1でシミュレーションした弾性波共振器を図2のラダー型フィルタの直列共振器S1からS4および並列共振器P1からP3として用いたとき、図3(c)のようにラダー型フィルタの通過帯域Pass内に生じるレイリー波不要応答の強度をシミュレーションした。
金属膜12としてRu(ルテニウム)とRh(ロジウム)を用いた場合についてシミュレーション1および2と同様のシミュレーションを行った。Mo、RuおよびRhの密度、ヤング率およびポアソン比を表1に示す。
図16(a)から図16(c)は、それぞれ実施例1の変形例1から3に係る弾性波共振器の断面図である。図16(a)に示すように、圧電基板10上に金属膜12を覆うように誘電体膜13が形成されている。誘電体膜13は、周波数調整および/または保護のための膜である。誘電体膜13としては、例えば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化アルミニウム膜を用いることができる。誘電体膜13は、金属膜12に比べ軽い膜である。このため、誘電体膜13の有無は、上記シミュレーションの結果にほとんど影響しない。
図17は、実施例2の変形例1に係るデュプレクサのブロック図である。図17に示すように、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信フィルタ40が接続されている。送信フィルタ40は、送信端子Txに入力した高周波信号のうち送信帯域の信号を送信信号として共通端子Antに出力し、他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ42は、共通端子Antに入力した高周波信号のうち受信帯域の信号を受信信号として受信端子Rxに出力し、他の周波数の信号を抑圧する。送信フィルタ40および受信フィルタ42の少なくとも一方に実施例2に係るフィルタを用いることができる。マルチプレクサの例としてデュプレクサを説明したがトリプレクサまたはクワッドプレクサでもよい。
12、12a、12b 金属膜
14 電極指
16 グレーティング電極
20 櫛型電極
21 IDT
22 反射器
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
Claims (11)
- 前記弾性波はSH型の振動モードを主モードとし、前記弾性波の音速はレイリーモードスプリアスの音速より小さい請求項1から7のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記1または複数の金属膜は、Cu、W、Ru、Mo、Ta、Pt、Pd、Ir、Rh、ReおよびTeの少なくとも1つを主成分とする金属膜を含む請求項2から8のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
- 請求項10に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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