JP5136689B2 - 弾性境界波装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(a1)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27°
(a2)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30.5°
(a3)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(a4)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
(a5)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
(a6)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(a7)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
(a8)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
(a9)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(a10)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
(a11)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(a12)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(a13)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(a14)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜31°
(a15)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(a16)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(a17)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
(a18)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
(a19)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(a20)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31.5°
(a21)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
(a22)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(a23)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(a24)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(a25)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
(a26)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
(a27)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
(c1)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
(c2)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c3)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
(c4)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
(c5)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c6)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜26.5°
(c7)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(c8)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29°
(c9)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26.5°
(c10)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
(c11)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c12)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
(c13)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(c14)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(c15)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
(c16)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(c17)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
(c18)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26.5°
(c19)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(c20)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c21)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
(c22)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(c23)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
(c24)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26°
(c25)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(c26)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜27°
(c27)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
(c28)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c29)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(c30)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
(c31)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c32)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c33)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
(c34)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c35)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
(c36)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
(c37)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c38)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c39)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
(c40)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c41)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(c42)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜25.5°
(c43)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c44)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27°
(c45)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜26°
(c46)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c47)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c48)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
(c49)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c50)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
(c51)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜25.5°
(c52)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c53)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
(c54)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
(c55)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c56)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c57)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜27.5°
(c58)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜3°
(c59)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(c60)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
(c61)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(c62)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27.5°
(c63)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜25°
(c64)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c65)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c66)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
(c67)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c68)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
(c69)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜25°
(c70)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c71)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
(c72)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
(c73)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c74)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c75)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
(c76)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(c77)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
(c78)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜25°
(c79)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
(c80)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26°
(c81)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、18°〜24.5°
(d1)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25°
(d2)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d3)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28.5°
(d4)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
(d5)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d6)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28°
(d7)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、18.5°〜24°
(d8)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d9)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、27°〜29°
(d10)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
(d11)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d12)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27.5°
(d13)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
(d14)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
(d15)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜29.5°
(d16)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
(d17)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
(d18)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜31°
(d19)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜21.5°
(d20)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
(d21)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
(d22)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
(d23)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
(d24)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30.5°
(d25)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜26.5°
(d26)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26.5°〜30°
(d27)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜32°
(d28)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
(d29)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d30)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜26.5°
(d31)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
(d32)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
(d33)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
(d34)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28°
(d35)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
(d36)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
(d37)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
(d38)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
(d39)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
(d40)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
(d41)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
(d42)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
(d43)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(d44)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d45)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(d46)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
(d47)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
(d48)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
(d49)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(d50)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d51)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
(d52)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d53)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
(d54)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜30°
(d55)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
(d56)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(d57)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
(d58)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(d59)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
(d60)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜27°
(d61)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d62)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d63)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27.5°
(d64)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(d65)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
(d66)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26.5°
(d67)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d68)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
(d69)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
(d70)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(d71)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
(d72)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27.5°
(d73)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d74)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d75)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜26.5°
(d76)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d77)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
(d78)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27°
(d79)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29.5°
(d80)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(d81)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜27.5°
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について、図1に示す弾性境界波装置1を例に挙げて説明する。なお、弾性境界波装置1の種類は特に限定されず、弾性境界波装置1は、例えば、弾性境界波共振子であってもよいし、弾性境界波フィルタ装置であってもよい。
第1の媒質11:20°YカットX伝搬LiNbO3基板
第2の媒質:SiO2膜
第3の媒質:SiN膜
第3の媒質の厚み:1.0λ
IDT電極20の電極指ピッチで定められる波長(λ):1.9μm
第1及び第3の電極層21,23の材料:Pt
第2の電極層22の材料:Al
第1の電極層21の厚みと第3の電極層23の厚みとの合計(h1+h3):0.06λ
第2の電極層22の厚み(h2):0.14λ
図27〜図31:第1の電極層21:W/第2の電極層:Al/第3の電極層:W
図32〜図36:第1の電極層21:Ta/第2の電極層:Al/第3の電極層:Ta
図37〜図41:第1の電極層21:Cu/第2の電極層:Al/第3の電極層:Cu 図42〜図46:第1の電極層21:Pt/第2の電極層:Cu/第3の電極層:Pt
図22,図27,図32,図37及び図42におけるh3/(h1+h3):0.30
図23,図28,図33,図38及び図43におけるh3/(h1+h3):0.55
図24,図29,図34,図39及び図44におけるh3/(h1+h3):0.70
図25,図30,図35,図40及び図45におけるh3/(h1+h3):0.90
図26,図31,図36,図41及び図46におけるh3/(h1+h3):0.95
図51は、第2の実施形態に係る弾性境界波装置の略図的断面図である。図51に示すように、本実施形態では、IDT電極20は、第1〜第3の電極層21〜23の上に形成されている第4の電極層24をさらに備えている。このように、第4の電極層24をさらに設けることにより、IDT電極20の抵抗をより低くすることができる。従って、弾性境界波装置の損失をより小さくすることができる。
図52は、第3の実施形態に係る弾性境界波装置におけるIDT電極の略図的断面図である。図52に示すように、第1の媒質11と、第1の電極層21との間、第1〜第3の電極層21〜23間、及び第3の電極層23と第2の媒質12との間に密着性の向上や拡散の抑制を図るための層25a〜25dをさらに設けてもよい。なお、層25a〜25dのそれぞれは、例えば、Ti,Ni,Crなどの金属またはTi,Ni及びCrからなる群から選ばれた1種以上の金属を主成分とする合金などにより形成することができる。
図53は、第4の実施形態に係る弾性境界波装置におけるIDT電極の略図的断面図である。
図54は、第5の実施形態に係る弾性境界波装置の略図的断面図である。
第6の実施形態は、第1の実施形態において、第1の媒質がLiNbO3基板、第2の媒質がSiO2膜であり、LiNbO3のカット角、IDT電極における各金属膜の厚み、SiO2膜の厚み等が特定の範囲とされている点で第1の実施形態と異なる。本実施形態では、ストンリー波の応答によるスプリアスを効果的に抑圧することができる。これを、具体的な実験例に基づき説明する。
図55〜図81は、LiNbO3のカット角25°、Pt膜厚合計2.42%(対波長比)、上Pt膜厚/Pt膜厚合計0.50、Al膜の膜厚9.2%(対波長比)、及びSiO2膜の膜厚44.5%(対波長比)を中心とする、上記各パラメータとSV波比帯域との関係を示す図である。
(a2)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30.5°
(a3)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(a4)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
(a5)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
(a6)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(a7)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
(a8)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
(a9)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(a10)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
(a11)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(a12)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(a13)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(a14)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜31°
(a15)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(a16)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(a17)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
(a18)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
(a19)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(a20)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31.5°
(a21)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
(a22)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(a23)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(a24)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(a25)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
(a26)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
(a27)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
図82〜図108は、LiNbO3のカット角25°、Pt膜厚合計2.72%(対波長比)、上Pt膜厚/Pt膜厚合計0.78、Al膜の膜厚7.9%(対波長比)、及びSiO2膜の膜厚45.6%(対波長比)を中心とする、上記各パラメータとSV波比帯域との関係を示す図である。
(c2)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c3)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
(c4)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
(c5)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c6)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜26.5°
(c7)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(c8)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29°
(c9)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26.5°
(c10)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
(c11)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c12)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
(c13)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(c14)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(c15)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
(c16)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(c17)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
(c18)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26.5°
(c19)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(c20)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c21)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
(c22)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(c23)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
(c24)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26°
(c25)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(c26)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜27°
(c27)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
(c28)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c29)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(c30)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
(c31)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c32)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c33)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
(c34)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c35)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
(c36)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
(c37)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c38)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c39)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
(c40)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c41)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(c42)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜25.5°
(c43)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c44)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27°
(c45)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜26°
(c46)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c47)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c48)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
(c49)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c50)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
(c51)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜25.5°
(c52)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c53)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
(c54)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
(c55)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c56)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c57)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜27.5°
(c58)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜3°
(c59)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(c60)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
(c61)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(c62)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27.5°
(c63)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜25°
(c64)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c65)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c66)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
(c67)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c68)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
(c69)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜25°
(c70)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c71)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
(c72)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
(c73)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c74)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c75)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
(c76)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(c77)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
(c78)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜25°
(c79)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
(c80)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26°
(c81)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、18°〜24.5°
図109〜図135は、LiNbO3のカット角25°、Pt膜厚合計2.53%(対波長比)、上Pt膜厚/Pt膜厚合計0.86、Al膜の膜厚9.0%(対波長比)、及びSiO2膜の膜厚36.3%(対波長比)を中心とする、上記各パラメータとSV波比帯域との関係を示す図である。
(d2)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d3)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28.5°
(d4)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
(d5)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d6)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28°
(d7)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、18.5°〜24°
(d8)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d9)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、27°〜29°
(d10)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
(d11)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d12)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27.5°
(d13)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
(d14)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
(d15)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜29.5°
(d16)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
(d17)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
(d18)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜31°
(d19)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜21.5°
(d20)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
(d21)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
(d22)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
(d23)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
(d24)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30.5°
(d25)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜26.5°
(d26)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26.5°〜30°
(d27)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜32°
(d28)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
(d29)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d30)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜26.5°
(d31)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
(d32)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
(d33)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
(d34)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28°
(d35)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
(d36)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
(d37)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
(d38)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
(d39)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
(d40)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
(d41)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
(d42)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
(d43)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(d44)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d45)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(d46)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
(d47)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
(d48)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
(d49)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(d50)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d51)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
(d52)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d53)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
(d54)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜30°
(d55)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
(d56)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(d57)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
(d58)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(d59)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
(d60)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜27°
(d61)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d62)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d63)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27.5°
(d64)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(d65)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
(d66)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26.5°
(d67)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d68)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
(d69)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
(d70)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(d71)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
(d72)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27.5°
(d73)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d74)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d75)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜26.5°
(d76)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d77)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
(d78)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27°
(d79)Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29.5°
(d80)Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(d81)Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜27.5°
第7の実施形態は、第2の実施形態と同様に、第1〜第3の電極層21〜23の上に第4の電極層24が形成されている点で、上記第6の実施形態と異なる。
11…第1の媒質
12…第2の媒質
13…第3の媒質
14…誘電体層
20…IDT電極
21…第1の電極層
22…第2の電極層
23…第3の電極層
24…第4の電極層
22a、22b、25a〜25d…層
Claims (15)
- 圧電体からなる第1の媒質と、
前記第1の媒質の上に形成されており、誘電体からなる第2の媒質と、
前記第2の媒質の上に形成されており、誘電体からなる第3の媒質と、
前記第1の媒質と、前記第2の媒質との境界に形成されているIDT電極とを備え、
前記第2の媒質の音速が、前記第1及び第3の媒質の音速よりも遅い弾性境界波装置であって、
前記IDT電極は、前記第1の媒質の上に形成されている第1の電極層と、前記第1の電極層の上に形成されている第2の電極層と、前記第2の電極層の上に形成されている第3の電極層とを有し、
前記第2の電極層の密度は、前記第1及び第3の電極層の密度よりも低く、
前記第1の電極層の厚みをh1、前記第3の電極層の厚みをh3としたときに、0.55<h3/(h1+h3)<0.95を満たす、弾性境界波装置。 - 0.70<h3/(h1+h3)<0.95を満たす、請求項1に記載の弾性境界波装置。
- 前記第2の電極層の厚みをh2、前記IDT電極のピッチで定められる弾性境界波の波長をλとしたときに、0.05<h2/λ<0.25を満たす、請求項1または2に記載の弾性境界波装置。
- 前記第2の媒質の厚みをH、前記IDT電極のピッチで定められる弾性境界波の波長をλとしたときに、0.3<H/λ<0.7を満たす、請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1及び第3の電極層のそれぞれが、Au,Pt,W,Ta,Ag及びCuからなる群から選ばれた金属またはAu,Pt,W,Ta,Ag及びCuからなる群から選ばれた一種以上の金属を主成分とする合金からなる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第2の電極層が、Al,Ti,Mg,Cr,Fe,Ni,Ag及びCuからなる群から選ばれた金属またはAl,Ti,Mg,Cr,Fe,Ni,Ag及びCuからなる群から選ばれた一種以上の金属を主成分とする合金からなる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1及び第3の電極層のそれぞれがPtまたはPtを主成分とする合金からなり、前記第2の電極層がAlまたはAlを主成分とする合金からなる、請求項1〜6のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第2の媒質が酸化ケイ素からなる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質がLiNbO3からなる、請求項1〜8のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質が、0°〜37°回転YカットLiNbO3基板からなり、SH型の弾性境界波を用いる、請求項1〜9のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第3の媒質が、ケイ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化アルミニウムまたは窒化アルミニウムからなる、請求項1〜10のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第3の媒質が窒化ケイ素からなる、請求項1〜11のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質と前記IDT電極との間に形成されている誘電体層をさらに備える、請求項1〜12のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質がLiNbO3基板からなり、
前記第1及び第3の電極層のそれぞれがPtからなり、前記第2の電極層がAlからなり、
前記第2の媒質がSiO2膜からなり、
(h1+h3)、h3/(h1+h3)、h2、H、及び前記LiNbO3基板のカット角が、下記の第1〜第3のグループのいずれかの組み合わせとされている、請求項1に記載の弾性境界波装置。
(第1のグループ)
(a1)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27°
(a2)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30.5°
(a3)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(a4)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
(a5)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
(a6)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(a7)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
(a8)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
(a9)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(a10)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
(a11)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(a12)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(a13)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(a14)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜31°
(a15)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(a16)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(a17)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
(a18)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
(a19)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(a20)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31.5°
(a21)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
(a22)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(a23)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(a24)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(a25)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
(a26)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
(a27)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
(第2のグループ)
(c1)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
(c2)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c3)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
(c4)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
(c5)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c6)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜26.5°
(c7)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(c8)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29°
(c9)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26.5°
(c10)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
(c11)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c12)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
(c13)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(c14)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(c15)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
(c16)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(c17)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
(c18)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26.5°
(c19)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(c20)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c21)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
(c22)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(c23)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
(c24)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26°
(c25)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(c26)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜27°
(c27)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
(c28)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c29)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(c30)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
(c31)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c32)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c33)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
(c34)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c35)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
(c36)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
(c37)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c38)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c39)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
(c40)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c41)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(c42)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜25.5°
(c43)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c44)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27°
(c45)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜26°
(c46)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c47)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c48)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
(c49)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
(c50)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
(c51)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜25.5°
(c52)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c53)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
(c54)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
(c55)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c56)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c57)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜27.5°
(c58)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜3°
(c59)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(c60)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
(c61)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(c62)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27.5°
(c63)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜25°
(c64)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c65)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c66)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
(c67)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c68)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
(c69)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜25°
(c70)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(c71)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
(c72)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
(c73)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
(c74)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(c75)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
(c76)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
(c77)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
(c78)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜25°
(c79)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
(c80)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26°
(c81)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、18°〜24.5°
(第3のグループ)
(d1)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25°
(d2)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d3)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28.5°
(d4)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
(d5)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d6)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28°
(d7)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、18.5°〜24°
(d8)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d9)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、27°〜29°
(d10)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
(d11)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d12)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27.5°
(d13)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
(d14)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
(d15)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜29.5°
(d16)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
(d17)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
(d18)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜31°
(d19)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜21.5°
(d20)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
(d21)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
(d22)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
(d23)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
(d24)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30.5°
(d25)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜26.5°
(d26)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26.5°〜30°
(d27)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜32°
(d28)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
(d29)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d30)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜26.5°
(d31)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
(d32)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
(d33)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
(d34)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28°
(d35)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
(d36)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
(d37)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
(d38)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
(d39)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
(d40)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
(d41)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
(d42)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
(d43)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
(d44)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d45)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(d46)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
(d47)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
(d48)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
(d49)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(d50)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d51)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
(d52)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d53)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
(d54)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜30°
(d55)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
(d56)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
(d57)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
(d58)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(d59)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
(d60)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜27°
(d61)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d62)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d63)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27.5°
(d64)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
(d65)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
(d66)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26.5°
(d67)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d68)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
(d69)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
(d70)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
(d71)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
(d72)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27.5°
(d73)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
(d74)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
(d75)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜26.5°
(d76)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
(d77)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
(d78)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27°
(d79)h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29.5°
(d80)h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
(d81)h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜27.5° - 請求項1〜14のいずれか一項に記載の弾性境界波装置の製造方法であって、
前記第2の媒質の厚みを調整することにより周波数特性を調整した後に前記第3の媒質を形成する、弾性境界波装置の製造方法。
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