JP4760911B2 - 弾性境界波装置 - Google Patents
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Description
(発明の効果)
2…第1の媒質
3…第2の媒質
4…IDT電極
5…金属層
6…金属層
7…第3の媒質
7A…第3の媒質
8,9…反射器
また、第2の媒質3と第1の媒質2の少なくとも一方が積層構造であってもよい。さらに、第2の媒質3は、SiO2の上にSiNが積層された構造であってもよい。
Claims (4)
- 群遅延時間温度係数TCDが正である第1の媒質と、前記第1の媒質上に積層されたIDT電極と、前記IDT電極を覆うように前記第1の媒質上に積層されており、群遅延時間温度係数TCDが負である第2の媒質とを備え、第2の媒質/IDT電極/第1の媒質の積層構造を有する弾性境界波装置において、
前記第2の媒質よりも横波の音速が低い誘電体材料からなり、厚みが前記IDT電極の厚みよりも薄くされている第3の媒質が、前記IDT電極の少なくとも上面に設けられていることを特徴とする、弾性境界波装置。 - 前記第3の媒質が、前記IDT電極の上面だけでなく、前記IDT電極の側面の少なくとも一部をも覆うように設けられている、請求項1に記載の弾性境界波装置。
- 前記第3の媒質が、前記第1の媒質上に形成されたIDT電極及び第1の媒質の上面を覆うように形成されている、請求項2に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDT電極が複数の金属層を積層した構造を有し、複数の金属層のうち第2の媒質側に配置されている金属層が、残りの金属層よりも軽い金属からなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
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