JP7231015B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
M層の密度:2.7g/cm3、5.4g/cm3、8.1g/cm3、10.8g/cm3、13.5g/cm3、16.2g/cm3、18.9g/cm3または21.6g/cm3
M層の膜厚:2%、4%または6%
Al層の膜厚:7%
圧電体層の材料:42°Yカットのタンタル酸リチウム(42Y-LiTaO3)
圧電体層の膜厚:0.3λ
エネルギー閉じ込め層の層構成:高音速支持基板
高音速支持基板の材料:ZカットX伝搬の水晶
IDT電極の波長λ:2μm
IDT電極の電極指の対数:100対
IDT電極の交叉幅:15λ
反射器の電極指の本数:10本
圧電体層の材料:55°Yカットのタンタル酸リチウム(55Y-LiTaO3)
圧電体層の膜厚:0.15λ以上、0.3λ以下
エネルギー閉じ込め層の層構成:高音速支持基板/低音速膜
低音速膜の材料:酸化ケイ素
IDT電極の波長λ:2μm
IDT電極の電極指の対数:100対
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反射器の電極指の本数:10本
圧電体層の材料:55°Yカットのタンタル酸リチウム(55Y-LiTaO3)
圧電体層の膜厚:0.3λまたは0.4λ
エネルギー閉じ込め層の層構成:高音速支持基板/低音速膜
低音速膜の材料:酸化ケイ素
2…圧電性基板
3…エネルギー閉じ込め層
5…高音速支持基板
6…低音速膜
7…圧電体層
8…IDT電極
9A,9B…反射器
14…高音響インピーダンス金属層
15…Al金属層
16,17…第1,第2のバスバー
18,19…第1,第2の電極指
22A~22C…圧電性基板
23…エネルギー閉じ込め層
24…支持基板
25…高音速膜
26…音響反射膜
27A,27B…低音響インピーダンス層
28A,28B…高音響インピーダンス層
Claims (10)
- エネルギー閉じ込め層と、
前記エネルギー閉じ込め層上に設けられており、カット角が-10°以上、65°以下であるYカットX伝搬のタンタル酸リチウムを用いた圧電体層と、
前記圧電体層上に設けられているIDT電極と、
を備え、
前記IDT電極が複数の電極指を有し、前記複数の電極指が、Al層またはAlを含む合金層であるAl金属層と、ヤング率が200GPa以上であり、かつAlよりも音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス金属層と、を有する積層体からなり、
前記高音響インピーダンス金属層が、前記Al金属層よりも前記圧電体層側に位置しており、
前記IDT電極の電極指ピッチにより規定される波長をλとし、前記圧電体層の波長比膜厚をtLTとしたときに、tLT≦1であり、
前記高音響インピーダンス金属層がMo層であり、
前記電極指の、任意の金属種iにより構成されている各層の前記波長比膜厚をt i 、前記金属種iの密度をρ i 、ヤング率をY i とし、iが0以上の正数であり、前記金属種iが、i=0の場合に前記Al金属層を構成する金属種であり、前記Al金属層の前記波長比膜厚がt 0 、密度がρ 0 、ヤング率がY 0 であり、前記Al金属層の前記密度ρ 0 及び前記ヤング率Y 0 の積により、前記電極指の前記各層の前記密度ρ i 、前記ヤング率Y i 及び前記波長比膜厚t i の積を割ることにより規格化した各規格化膜厚の合計をTとしたときに、下記の式1を満たす、弾性波装置。
T≦0.1125tLT+0.0574…式1 - エネルギー閉じ込め層と、
前記エネルギー閉じ込め層上に設けられており、カット角が-10°以上、65°以下であるYカットX伝搬のタンタル酸リチウムを用いた圧電体層と、
前記圧電体層上に設けられているIDT電極と、
を備え、
前記IDT電極が複数の電極指を有し、前記複数の電極指が、Al層またはAlを含む合金層であるAl金属層と、ヤング率が200GPa以上であり、かつAlよりも音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス金属層と、を有する積層体からなり、
前記高音響インピーダンス金属層が、前記Al金属層よりも前記圧電体層側に位置しており、
前記IDT電極の電極指ピッチにより規定される波長をλとし、前記圧電体層の波長比膜厚をt LT としたときに、t LT ≦1であり、
前記高音響インピーダンス金属層が、Mo層またはW層であり、
前記電極指の、任意の金属種iにより構成されている各層の前記波長比膜厚をt i 、前記金属種iの密度をρ i 、ヤング率をY i とし、iが0以上の正数であり、前記金属種iが、i=0の場合に前記Al金属層を構成する金属種であり、前記Al金属層の前記波長比膜厚がt 0 、密度がρ 0 、ヤング率がY 0 であり、前記Al金属層の前記密度ρ 0 及び前記ヤング率Y 0 の積により、前記電極指の前記各層の前記密度ρ i 、前記ヤング率Y i 及び前記波長比膜厚t i の積を割ることにより規格化した各規格化膜厚の合計をTとしたときに、下記の式2を満たし、
前記式2の各係数及び前記高音響インピーダンス金属層を構成する金属の組み合わせが、前記高音響インピーダンス金属層を構成する金属がMoである場合、a0(2)が12315.2368、a0(1)が2360.5990、c0が0.2250、b0が6287.8999、aLT(2)が-54656.6400、aLT(1)が12799.3184、cLTが0.2250、aM(2)が-256136.5936、aM(1)が-22623.1348、cMが0.0844、dLT-Mが0.0000、bが6481.5295であり、前記高音響インピーダンス金属層を構成する金属がWである場合、a0(2)が12315.2368、a0(1)が2360.5990、c0が0.2250、b0が6287.8999、aLT(2)が-57176.4500、aLT(1)が10774.6530、cLTが0.2250、aM(2)が-252048.6950、aM(1)が-15612.4350、cMが0.0851、dLT-Mが72370.3153、bが6416.9953である、弾性波装置。
- 前記Al金属層がAl層であり、前記Al金属層の膜厚が85nm以上である、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記エネルギー閉じ込め層が高音速材料層を有し、
前記高音速材料層を伝搬するバルク波の音速が、前記圧電体層を伝搬する弾性波の音速よりも高い、請求項1~3のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記エネルギー閉じ込め層が、前記高音速材料層と前記圧電体層との間に設けられている低音速膜を有し、
前記低音速膜を伝搬するバルク波の音速が、前記圧電体層を伝搬するバルク波の音速よりも低い、請求項4に記載の弾性波装置。 - 前記高音速材料層が高音速支持基板である、請求項4または5に記載の弾性波装置。
- 支持基板をさらに備え、
前記高音速材料層が、前記支持基板と前記低音速膜との間に設けられている高音速膜である、請求項5に記載の弾性波装置。 - 支持基板をさらに備え、
前記エネルギー閉じ込め層が、前記支持基板上に設けられている音響反射膜であり、
前記音響反射膜が、相対的に音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス層と、相対的に音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層と、を有し、前記高音響インピーダンス層及び前記低音響インピーダンス層が交互に積層されており、
前記音響反射膜上に前記圧電体層が設けられている、請求項1~3のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記圧電体層の膜厚が0.05λ以上、0.5λ以下である、請求項1~8のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電体層の膜厚が0.05λ以上、0.35λ以下である、請求項9に記載の弾性波装置。
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