JPS6162369A - 圧電素子を用いたアクチユエ−タ - Google Patents
圧電素子を用いたアクチユエ−タInfo
- Publication number
- JPS6162369A JPS6162369A JP59181517A JP18151784A JPS6162369A JP S6162369 A JPS6162369 A JP S6162369A JP 59181517 A JP59181517 A JP 59181517A JP 18151784 A JP18151784 A JP 18151784A JP S6162369 A JPS6162369 A JP S6162369A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- displacement
- fulcrum
- actuator
- mechanical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 35
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 15
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 5
- 229920003319 Araldite® Polymers 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910001234 light alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 2
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 1
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 1
- 241000287530 Psittaciformes Species 0.000 description 1
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
このｊ６１ＪＪは、積に’を型用’１７’Ｎ子の縦効果
を利用して’、ｉＬ気旧エ気層エネルギ的エネルギに置
換する主として電子機器の電気信号によるｆｌｉ’ｌω
Ｕに用いられる在倶動直機変位のアクチュエータに関す
る。
を利用して’、ｉＬ気旧エ気層エネルギ的エネルギに置
換する主として電子機器の電気信号によるｆｌｉ’ｌω
Ｕに用いられる在倶動直機変位のアクチュエータに関す
る。
匠来から、一般的なアクチュエータとしてステッピング
モータや７’ａｆ［石或はソレノイド等１が多（つかわ
れているが、これ等はいづれもインダクタンスに起因す
る応答時間が生ずるのはさけられないし、また前者のス
テッピングモータにおいては、その慣性のため停止精度
が不安定でかつ制御手段も複雑となる。後者のｔｌｉｉ
ｆ石或はソレノイドは、エネルギ変換効率が低く、消費
電力が可成り大きいので、これがため過熱し寿命を長く
するため寸法・ｉ要が増加する欠点がある。
モータや７’ａｆ［石或はソレノイド等１が多（つかわ
れているが、これ等はいづれもインダクタンスに起因す
る応答時間が生ずるのはさけられないし、また前者のス
テッピングモータにおいては、その慣性のため停止精度
が不安定でかつ制御手段も複雑となる。後者のｔｌｉｉ
ｆ石或はソレノイドは、エネルギ変換効率が低く、消費
電力が可成り大きいので、これがため過熱し寿命を長く
するため寸法・ｉ要が増加する欠点がある。
例えば、′ε磁石にａｇすることによって可動子を吸引
し、ワイヤでインクリボン、記録紙ヲプラテンに押付け
て印字を行い、電磁石へのａ電を切ると、可動子がバネ
によって元に復帰するような可成の印字ヘッドは、可成
りσ片：Ｌ ｉｌＬをイノする１り動子を円弧運動させ
るため印字の尚速比に限界を生じていること、可動子が
電磁石に吸引されて術芙するために大きな金属音が発生
しかつ耐ｉ撃性を鳴する構造にする必要や、部品点数が
多い等多くの問題点もある。
し、ワイヤでインクリボン、記録紙ヲプラテンに押付け
て印字を行い、電磁石へのａ電を切ると、可動子がバネ
によって元に復帰するような可成の印字ヘッドは、可成
りσ片：Ｌ ｉｌＬをイノする１り動子を円弧運動させ
るため印字の尚速比に限界を生じていること、可動子が
電磁石に吸引されて術芙するために大きな金属音が発生
しかつ耐ｉ撃性を鳴する構造にする必要や、部品点数が
多い等多くの問題点もある。
この発明は、上記従来の多くの問題点を解消し、積層型
ＩＥ寛素子を用い、該ｌ：Ｅ電素子の発生に位を機械的
に増幅して拡大し、小型軽瓜、騒音が低く、しかも部品
点数が少ない、堅牢な＋＃童のアクチュエータを得るこ
とにある。
ＩＥ寛素子を用い、該ｌ：Ｅ電素子の発生に位を機械的
に増幅して拡大し、小型軽瓜、騒音が低く、しかも部品
点数が少ない、堅牢な＋＃童のアクチュエータを得るこ
とにある。
以下図面によりこの発明の第一の実施例を説明すると、
第１図において、１は内部Ｔ！極、２は外部電極、３は
絶縁体、４は圧電素子で、一つの素子の変侃ユは極めて
小さいので多数爪ね合わせてより太きな変位を得るよ５
に形成され、その外部電極２にｍｌＥを印加すると縦方
向の自由端が変位する積層型圧電素子に関しては、公知
である。
絶縁体、４は圧電素子で、一つの素子の変侃ユは極めて
小さいので多数爪ね合わせてより太きな変位を得るよ５
に形成され、その外部電極２にｍｌＥを印加すると縦方
向の自由端が変位する積層型圧電素子に関しては、公知
である。
第２図（甲）および（乙）は、夫々正面図および側面図
を示し、５は例えば高張力アルミ材のよ５な軽合金から
成る板状の枠体で、開口を設けた略Ｕ字形に形成され、
枠体５の底部空間部に圧′屯素子６を設け、前記圧電素
子６の一端は、枠体５のＵ字形底部壁の内平面に例えば
アラルダイト（商品名）等の接着剤を塗着して固定する
。
を示し、５は例えば高張力アルミ材のよ５な軽合金から
成る板状の枠体で、開口を設けた略Ｕ字形に形成され、
枠体５の底部空間部に圧′屯素子６を設け、前記圧電素
子６の一端は、枠体５のＵ字形底部壁の内平面に例えば
アラルダイト（商品名）等の接着剤を塗着して固定する
。
γは、第３図に示すように略乙字形に形成された薄厚（
例えば０゜８〜１％）のばね鋼等より成る機械的増幅部
であり、第一の挺子部１こと第二の挺子部７ｂの二段４
ｆｉ！構とから成り、その基端１ｃはアラルダイト（商
品名）等の接着剤を塗着し℃前記圧電素子６の他端で固
定する。
例えば０゜８〜１％）のばね鋼等より成る機械的増幅部
であり、第一の挺子部１こと第二の挺子部７ｂの二段４
ｆｉ！構とから成り、その基端１ｃはアラルダイト（商
品名）等の接着剤を塗着し℃前記圧電素子６の他端で固
定する。
８は機械的増幅部７の先端に突設した変位伝達腕で、該
変位伝達ｌＢ１１８は耐摩耗性を有する硬質金属で形成
されている。
変位伝達ｌＢ１１８は耐摩耗性を有する硬質金属で形成
されている。
９は支点−で、２個の支点軸９は前述の機械的増幅部Ｔ
の第一の挺子部７αと第二の挺子部７ｂとの空間部の位
置でアルミ板よりなる一対の支点軸取付板１０によりサ
ンドウィンチ状に挾持され、Ｒ’＋１記一対の支点軸取
角板１０は、前述のＵ字形の枠体５の両端部の上部近傍
で螺子１１により螺着固定する。第４図は、支点軸９の
正面図と側面図で、軸部９ＣＬと支点部９ｂとから成り
、ｖ＠部９αと支点部９ｂの軸心を偏心させ、かつ、−
万の帽部９αにすり割り溝を設け、尚カアルミ材等のよ
うな軽合金でム体に構成される。
の第一の挺子部７αと第二の挺子部７ｂとの空間部の位
置でアルミ板よりなる一対の支点軸取付板１０によりサ
ンドウィンチ状に挾持され、Ｒ’＋１記一対の支点軸取
角板１０は、前述のＵ字形の枠体５の両端部の上部近傍
で螺子１１により螺着固定する。第４図は、支点軸９の
正面図と側面図で、軸部９ＣＬと支点部９ｂとから成り
、ｖ＠部９αと支点部９ｂの軸心を偏心させ、かつ、−
万の帽部９αにすり割り溝を設け、尚カアルミ材等のよ
うな軽合金でム体に構成される。
第５図を工、前記機械的増幅部７の第一の挺子部７、と
第二の挺子部７ｂと支点−９と一対の支点軸取付板１０
との関係を示す＠面図で、前記第一の挺子部７αの上部
の平面部γα′ （第３図参照）に該支点軸９の支点部
９ｈの外周が当接するよ５にドライバーで溝付の軸部９
ＣＬを矢印方向に１？５］励しながら調節し適正な支点
位置にセットした後にアラルダイト（商品名）等の接着
剤を塗着して固定すると第一の挺子部７αの梃子支点が
設定される。尚、第二の梃子支点も同様に設定される。
第二の挺子部７ｂと支点−９と一対の支点軸取付板１０
との関係を示す＠面図で、前記第一の挺子部７αの上部
の平面部γα′ （第３図参照）に該支点軸９の支点部
９ｈの外周が当接するよ５にドライバーで溝付の軸部９
ＣＬを矢印方向に１？５］励しながら調節し適正な支点
位置にセットした後にアラルダイト（商品名）等の接着
剤を塗着して固定すると第一の挺子部７αの梃子支点が
設定される。尚、第二の梃子支点も同様に設定される。
こリークなｈ♂）ｊ戊されたアクチュエータの動作は、
圧電素子６に電圧を印加すると、ＩＬ′１じ素子６の一
端は枠体５のＵ字形底部壁の内平凹に固定されているか
ら、第２図の（甲）に示すように矢印方向に発生力が発
生して機械的増幅部７０基端７Ｃを押圧する。この時、
例えば、圧電素子６に２×１０×２０龍のものを用いる
と表位は１０μｍである。
圧電素子６に電圧を印加すると、ＩＬ′１じ素子６の一
端は枠体５のＵ字形底部壁の内平凹に固定されているか
ら、第２図の（甲）に示すように矢印方向に発生力が発
生して機械的増幅部７０基端７Ｃを押圧する。この時、
例えば、圧電素子６に２×１０×２０龍のものを用いる
と表位は１０μｍである。
この変位は、機械的増幅部７に伝達して変位拡大され変
位伝達腕８を矢印方向に琥位運動させるＯこの時、機械
的増幅部７は、支点軸９を基端とした梃子脚長により次
のように変位拡大される。
位伝達腕８を矢印方向に琥位運動させるＯこの時、機械
的増幅部７は、支点軸９を基端とした梃子脚長により次
のように変位拡大される。
第一の梃子Ｔαによる変位−１０μｓＸ−第二の梃子７
Ａによる変位−（１０μｍｘ；）ｘ丁従って、機械的増
幅部Ｔによる変位−１０μｍＸ ＸＬナリ今”■５ ”
＋ Ａ噂２５１１１＋、 Ｃ−ｍ５ ＩＩ。
Ａによる変位−（１０μｍｘ；）ｘ丁従って、機械的増
幅部Ｔによる変位−１０μｍＸ ＸＬナリ今”■５ ”
＋ Ａ噂２５１１１＋、 Ｃ−ｍ５ ＩＩ。
ｔ−５３＋ｍの実施例によれば、拡大倍率５０倍を得て
変位５００μ風となる。
変位５００μ風となる。
このような支点軸９を基端とした腕長および挺子部の二
段機構により変位を拡大増幅することとなる。
段機構により変位を拡大増幅することとなる。
次に匝１．Ｌ素子６の１ｕ匝印加をすることによって、
機械的増幅部７の変位はすみやかに減衰して元の状悪に
復帰する。
機械的増幅部７の変位はすみやかに減衰して元の状悪に
復帰する。
尚、１２は、アクチュエータ実装時の取付孔である。
第６図は、この発明の第二の実施例で、以下同一（相当
）構成は同一符号で示す。第二の実施例が第一の実施例
と特に相異する点は、枠体と機械的増幅部とを１体に形
成し、前記機械的増幅部には複数個の弾性ヒンジが支点
を形成する点であって、即ち、枠体５と機械的増幅部７
を例えばばね鋼等の材料で一体にプレス成彩され、前記
機械的増幅部７には、第一の挺子部１３と第二の挺子部
１４の二段機構と三個の弾性ヒンジを備えた３個の支点
部１５を有し、前記機械的増幅部Ｔの第一の挺子部１３
０基端１６と枠体５の底部壁の内平面との間にｌ１ｌＥ
電素子６を嵌挿してアラルダイト（商品名）等の接着剤
を塗着して固定する。
）構成は同一符号で示す。第二の実施例が第一の実施例
と特に相異する点は、枠体と機械的増幅部とを１体に形
成し、前記機械的増幅部には複数個の弾性ヒンジが支点
を形成する点であって、即ち、枠体５と機械的増幅部７
を例えばばね鋼等の材料で一体にプレス成彩され、前記
機械的増幅部７には、第一の挺子部１３と第二の挺子部
１４の二段機構と三個の弾性ヒンジを備えた３個の支点
部１５を有し、前記機械的増幅部Ｔの第一の挺子部１３
０基端１６と枠体５の底部壁の内平面との間にｌ１ｌＥ
電素子６を嵌挿してアラルダイト（商品名）等の接着剤
を塗着して固定する。
第二の実施例の作動は、第一の実施例の作動と同様であ
って、尚機械的増幅部７の変位は、本実施例によるとα
−５厘鳳、ｂ−２０腫鳳 ６ ｍ ５ ｇ 。
って、尚機械的増幅部７の変位は、本実施例によるとα
−５厘鳳、ｂ−２０腫鳳 ６ ｍ ５ ｇ 。
−一４０鵡とすると
Ｗ位−１０７１ｍ−Ｘ−Ｘ−−３２ＱＩＩｍとなって拡
大率約３０倍を得て変位伝達腕８の変位は３２０μ風と
なり、第６図（甲）の矢印方向に変位する。
大率約３０倍を得て変位伝達腕８の変位は３２０μ風と
なり、第６図（甲）の矢印方向に変位する。
尚１γは、アクチュエータ実装時の取付孔である。
第７図は、第三の実施例で板状の枠体に圧電素子と機械
的増幅部を載置したアクチュエータの変形であって、（
甲）は上面図（乙）は側面図である。５はＬ型の枠体、
７は機械的増幅部で第一の挺子部１８と第二の挺子部１
９と第三の挺子部２０と第四挺子部２１の四段機構を直
列に配置し、夫々六個の弾性ヒンジを備えた支点部１５
を形成し、前記機械的増幅部γの第−挺子部１８の基端
２２と枠体５の側壁の内平面との間に圧電素子６を嵌挿
して、アラダイト（商品名）等の接着剤を塗着して固定
する。尚、機械的増幅部７は４個の皿螺子１１でスペー
サ２３を介して枠体５の平坦面部に螺着固定する。尚２
４は、アクチュエータ実装時の取付孔である。
的増幅部を載置したアクチュエータの変形であって、（
甲）は上面図（乙）は側面図である。５はＬ型の枠体、
７は機械的増幅部で第一の挺子部１８と第二の挺子部１
９と第三の挺子部２０と第四挺子部２１の四段機構を直
列に配置し、夫々六個の弾性ヒンジを備えた支点部１５
を形成し、前記機械的増幅部γの第−挺子部１８の基端
２２と枠体５の側壁の内平面との間に圧電素子６を嵌挿
して、アラダイト（商品名）等の接着剤を塗着して固定
する。尚、機械的増幅部７は４個の皿螺子１１でスペー
サ２３を介して枠体５の平坦面部に螺着固定する。尚２
４は、アクチュエータ実装時の取付孔である。
第８図は、機械的増幅部７の上面図であって、１１′は
前述の皿螺子１１０皿孔である。
前述の皿螺子１１０皿孔である。
第９図は、前述のスペーサ２３で機械的増幅部７の各挺
子部の作動に影響を与えない範囲の形状をした板状体で
皿螺子１１の下穴１１″ を有して（する。
子部の作動に影響を与えない範囲の形状をした板状体で
皿螺子１１の下穴１１″ を有して（する。
第１０図は、第三の実施例の斜視図を示す。
第三の実施例の作動は、第一の実施例の作動と同様であ
って、尚、機械的増幅部７の変位は、本実施例によると
、ａ”５１＋！、 ｂ−１００，ｃ−４ｍ。
って、尚、機械的増幅部７の変位は、本実施例によると
、ａ”５１＋！、 ｂ−１００，ｃ−４ｍ。
ｃｌ−１５ｍｇ、ｍ＝５ｍ、ｆ−１０ｍ、ｇ−５ｍ。
ｆ−１８關、！−４關、ルー１８ｕ、ｌＥ？Ｉｉ素子に
４Ｘ１６Ｘ２０．０大きさのものを用いると１０１５
硯。」０艶咀−９６０μｍ変位−２０Ｘ−Ｔ Ｘ−Ｔ
ｘ ５５ ４となって、拡大率約５０倍を得て変位
伝達腕８の変位は９６０μｍとなり、第７図（甲）の矢
印方向に変位する。
４Ｘ１６Ｘ２０．０大きさのものを用いると１０１５
硯。」０艶咀−９６０μｍ変位−２０Ｘ−Ｔ Ｘ−Ｔ
ｘ ５５ ４となって、拡大率約５０倍を得て変位
伝達腕８の変位は９６０μｍとなり、第７図（甲）の矢
印方向に変位する。
以上構成および作用を説明したように、ＬＥ電素６と機
械的増幅部７の組合せを種々実施することにより、変位
がｌ＋八へされて変位伝に腕８を叉位述動する電子機器
のアクチュエータとして用途に応じて辿択して使用する
ことが可能であり、夫々は薄型でコンパクトに構成され
ているから、複数個のアクチュエータの層間に変位ｈａ
’ｍ’ｊを妨害しないようにスペーサを介在せしめて
載板の上に載置して、前述の取付孔１２．１７および２
４を利用し、螺子で螺着し１、ユニットとして博既する
と多用途に応じられることが可能で、特に、ドントマト
リクスプリンタ用の印字ヘッドは、一定時間内での印字
動作が多いことから印字の冒進化が可能であることは勿
論のこと、保守時の交換単位としても容易であり経済的
である。
械的増幅部７の組合せを種々実施することにより、変位
がｌ＋八へされて変位伝に腕８を叉位述動する電子機器
のアクチュエータとして用途に応じて辿択して使用する
ことが可能であり、夫々は薄型でコンパクトに構成され
ているから、複数個のアクチュエータの層間に変位ｈａ
’ｍ’ｊを妨害しないようにスペーサを介在せしめて
載板の上に載置して、前述の取付孔１２．１７および２
４を利用し、螺子で螺着し１、ユニットとして博既する
と多用途に応じられることが可能で、特に、ドントマト
リクスプリンタ用の印字ヘッドは、一定時間内での印字
動作が多いことから印字の冒進化が可能であることは勿
論のこと、保守時の交換単位としても容易であり経済的
である。
以上説明したようにこの発明は、駆動源として圧電素子
を使用し、その変位を機械的増幅部で拡大し、変位伝達
腕を変位する構造および複数個の積層によるユニット化
も可能のように構成したから、従来のステンピ／グモー
クや′＋ｆｉＷ石或はツレ／イドの有する停止積度の不
安定やエネルギ莢候効至・過熱・寸法および里量の増大
等の欠点は１％消し、変位が正畑で、低騒音、かつ躯勤
制紳も容易であり、小形軽量、高速作動に適した電子様
器用の精密アクチュエータとして利息を有すると共匡、
特にピンハンマーを飛行させインクリボン、記録紙をプ
ラナ／に押圧して印字を行うような印字ヘッドの駆動ユ
ニットとしては、従来の可動子を有する構成と比較して
、関連印字が実現できる上、小形軽量で、ｊ３ＩＩ造が
簡単であるため部品点数も少く、組立容易な生産性・経
済性の優れた多くの効果を有している。
を使用し、その変位を機械的増幅部で拡大し、変位伝達
腕を変位する構造および複数個の積層によるユニット化
も可能のように構成したから、従来のステンピ／グモー
クや′＋ｆｉＷ石或はツレ／イドの有する停止積度の不
安定やエネルギ莢候効至・過熱・寸法および里量の増大
等の欠点は１％消し、変位が正畑で、低騒音、かつ躯勤
制紳も容易であり、小形軽量、高速作動に適した電子様
器用の精密アクチュエータとして利息を有すると共匡、
特にピンハンマーを飛行させインクリボン、記録紙をプ
ラナ／に押圧して印字を行うような印字ヘッドの駆動ユ
ニットとしては、従来の可動子を有する構成と比較して
、関連印字が実現できる上、小形軽量で、ｊ３ＩＩ造が
簡単であるため部品点数も少く、組立容易な生産性・経
済性の優れた多くの効果を有している。
第１図は、積層型圧電素子の説明図、第２図（甲）およ
び（乙）は、本発明の第一の実施例を示す正面図および
側面図、第３図は、本発明の第一の実施例の機械的増幅
部の斜視図、第４図は、本発明の第一の実施例の支点軸
の奏弁嚇の正面図および側面図、第５図は、本発明の第
一の実施例の支点軸・支点軸取付板・機械的増幅部との
閃係を示す断面図、第６図（甲）および（乙）は、本発
明の第二の実施例乞示す正面図および側聞図、第７図（
甲）および（乙）は、本発明の第三の実施例を示す正面
図および側聞図、第８図は、本発明の第三の実施例の機
械的増幅部の正面図、第９図は、本発明の第三の実施例
のスペーサの正面図、第１０図は、本発明の第三の笑ｂ
ｍ例の斜視図である。
び（乙）は、本発明の第一の実施例を示す正面図および
側面図、第３図は、本発明の第一の実施例の機械的増幅
部の斜視図、第４図は、本発明の第一の実施例の支点軸
の奏弁嚇の正面図および側面図、第５図は、本発明の第
一の実施例の支点軸・支点軸取付板・機械的増幅部との
閃係を示す断面図、第６図（甲）および（乙）は、本発
明の第二の実施例乞示す正面図および側聞図、第７図（
甲）および（乙）は、本発明の第三の実施例を示す正面
図および側聞図、第８図は、本発明の第三の実施例の機
械的増幅部の正面図、第９図は、本発明の第三の実施例
のスペーサの正面図、第１０図は、本発明の第三の笑ｂ
ｍ例の斜視図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、枠体５に圧電素子６の一端を固定し、前記圧電素子
６の他端に直結された機械的増幅部７と、該機械的増幅
部７の先端に突設した変位伝達腕８を直列に配置し、前
記機械的増幅部７は挺子部と挺子支点部より成り該挺子
支点部を基端とした挺子部の各腕長の比により変位拡大
するように構成したことを特徴とする圧電素子を用いた
アクチュエータ。 ２、支点軸９を挾持する一対の支点軸取付板１０を枠体
５の両端部に固定し、前記支点軸９は軸部９ａを軸中心
として偏心回動させ支点部９ｂの外周面を機械的増幅部
７の板状の側面に摺接させ挺子支点部を形成したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧電素子を用い
たアクチュエータ。 ３、機械的増幅部７の平面部に弾性ヒンジ部１５を設け
、前記弾性ヒンジ部１５が挺子支点部を形成したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧電素子を用い
たアクチュエータ。 ４、枠体５と機械的増幅部７を直列に配置して一体に形
成したことを特徴とする特許請求範囲第１項記載の圧電
素子を用いたアクチュエータ。 ５、圧電素子６と圧電素子６の 他端に直結された機械的増幅部７とを枠体５の平坦面部
に載置して取付けたことを特徴とする特許請求範囲第１
項記載の圧電素子を用いたアクチエータ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181517A JPS6162369A (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 圧電素子を用いたアクチユエ−タ |
| DE19853530729 DE3530729A1 (de) | 1984-08-30 | 1985-08-28 | Piezoelektrisches betaetigungsglied |
| IT22015/85A IT1200731B (it) | 1984-08-30 | 1985-08-29 | Attuatore ad elemento piezoelettrico con escursione amplificata mediante leve |
| US06/770,665 US4647808A (en) | 1984-08-30 | 1985-08-29 | Piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181517A JPS6162369A (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 圧電素子を用いたアクチユエ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6162369A true JPS6162369A (ja) | 1986-03-31 |
Family
ID=16102135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59181517A Pending JPS6162369A (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 圧電素子を用いたアクチユエ−タ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4647808A (ja) |
| JP (1) | JPS6162369A (ja) |
| DE (1) | DE3530729A1 (ja) |
| IT (1) | IT1200731B (ja) |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6162370A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-31 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | ピエゾモ−タ |
| JPH043809Y2 (ja) * | 1985-12-25 | 1992-02-05 | ||
| IT1218170B (it) * | 1986-10-11 | 1990-04-12 | Murata Machinery Ltd | Procedimento per avvolgere filo in roccatrice automatica e relativo dispositivo di controllo |
| JP2592615B2 (ja) * | 1987-09-16 | 1997-03-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 電歪駆動装置 |
| DE3841416A1 (de) * | 1987-12-09 | 1989-07-13 | Max Co Ltd | Vorrichtung zur vergroesserung sehr kleiner verschiebungen und druckkopf unter verwendung dieser vorrichtung |
| US4975615A (en) * | 1989-06-08 | 1990-12-04 | Atlantic Richfield Company | Piezoelectric transducer |
| DE3923967A1 (de) * | 1989-07-20 | 1991-01-31 | Robert Zimmermann | Modul zur darstellung taktiler informationen |
| US4949316A (en) * | 1989-09-12 | 1990-08-14 | Atlantic Richfield Company | Acoustic logging tool transducers |
| US5165809A (en) * | 1990-03-06 | 1992-11-24 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator and print head using the actuator, having means for increasing durability of laminar piezoelectric driver |
| US5410206A (en) * | 1993-04-06 | 1995-04-25 | New Focus, Inc. | Piezoelectric actuator for optical alignment screws |
| US6548938B2 (en) * | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
| US6717332B2 (en) | 2000-04-18 | 2004-04-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a support structure and actuator |
| US6613005B1 (en) | 2000-11-28 | 2003-09-02 | Insightec-Txsonics, Ltd. | Systems and methods for steering a focused ultrasound array |
| US6759790B1 (en) * | 2001-01-29 | 2004-07-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving folded-back arms having a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
| US6879087B2 (en) * | 2002-02-06 | 2005-04-12 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
| WO2002086982A1 (de) | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum übertragen einer auslenkung eines aktors und verfahren zu seiner herstellung |
| DE112004000605T5 (de) | 2003-04-04 | 2006-03-09 | Viking Technologies, L.C., Sarasota | Vorrichtung und Verfahren zum Optimieren der Arbeit eines Formveränderungsmaterial-Betätigungsgliedprodukts |
| EP2122702B1 (en) * | 2007-01-18 | 2015-08-26 | Newport Corporation | Optical adjustment mounts with piezoelectric inertia driver |
| US7994688B2 (en) * | 2008-09-18 | 2011-08-09 | Uchicago Argonne, Llc | Mechanical design of laminar weak-link mechanisms with centimeter-level travel range and sub-nanometer positioning resolution |
| US9177543B2 (en) | 2009-08-26 | 2015-11-03 | Insightec Ltd. | Asymmetric ultrasound phased-array transducer for dynamic beam steering to ablate tissues in MRI |
| WO2011045669A2 (en) | 2009-10-14 | 2011-04-21 | Insightec Ltd. | Mapping ultrasound transducers |
| US9852727B2 (en) | 2010-04-28 | 2017-12-26 | Insightec, Ltd. | Multi-segment ultrasound transducers |
| SE534895C2 (sv) * | 2010-05-17 | 2012-02-07 | Mindray Medical Sweden Ab | Förfarande för tillverkning av en mekanisk rörelseförstärkare |
| US8624467B2 (en) * | 2010-05-18 | 2014-01-07 | Mindray Medical Sweden Ab | Methods, systems, and devices for mechanical motion amplification |
| JP5911860B2 (ja) | 2010-07-15 | 2016-04-27 | ニューポート・コーポレイションＮｅｗｐｏｒｔ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 絶対位置フィードバックを用いて調整可能な光学マウント |
| EP2613889B1 (en) | 2010-09-07 | 2017-09-20 | University of Limerick | A liquid droplet dispenser |
| US20160182786A1 (en) * | 2013-09-11 | 2016-06-23 | Lytro, Inc. | Hybrid light-field camera |
| US10154197B2 (en) | 2013-09-11 | 2018-12-11 | Google Llc | Image capture device having light field image capture mode, 2D image capture mode, and intermediate capture mode |
| US9312790B2 (en) | 2013-09-13 | 2016-04-12 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Compact versatile stick-slip piezoelectric motor |
| DE102014205280B3 (de) * | 2014-03-21 | 2015-06-11 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Trägheitsantrieb |
| US9425711B2 (en) | 2014-04-15 | 2016-08-23 | Newport Corporation | Integral preload mechanism for piezoelectric actuator |
| WO2016123265A1 (en) | 2015-01-29 | 2016-08-04 | Newport Corporation | Integrated picomotor mount |
| US11482658B1 (en) | 2018-06-06 | 2022-10-25 | Government Of The United States As Represented By The Secretary Of The Air Force | Piezoelectric rotary optical mount |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1751543A1 (de) * | 1968-06-15 | 1970-08-27 | Kloeckner Humboldt Deutz Ag | Elektrisch steuerbares Einspritzventil |
| US3614486A (en) * | 1969-11-10 | 1971-10-19 | Physics Int Co | Lever motion multiplier driven by electroexpansive material |
| US4435666A (en) * | 1981-05-26 | 1984-03-06 | Nippon Electric Co., Ltd. | Lever actuator comprising a longitudinal-effect electroexpansive transducer and designed to prevent actuation from degrading the actuator |
| US4506154A (en) * | 1982-10-22 | 1985-03-19 | Scire Fredric E | Planar biaxial micropositioning stage |
| US4547086A (en) * | 1982-12-06 | 1985-10-15 | Nec Corporation | Piezoelectrically driven printing mechanism for dot matrix printers |
| CA1218561A (en) * | 1983-02-25 | 1987-03-03 | Takeshi Yano | Differential lever actuator including differentially force-transmitting members which are not liable to break |
| JPS6081568A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-09 | Nec Corp | 機械的増幅機構 |
-
1984
- 1984-08-30 JP JP59181517A patent/JPS6162369A/ja active Pending
-
1985
- 1985-08-28 DE DE19853530729 patent/DE3530729A1/de active Granted
- 1985-08-29 IT IT22015/85A patent/IT1200731B/it active
- 1985-08-29 US US06/770,665 patent/US4647808A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3530729A1 (de) | 1986-03-13 |
| IT1200731B (it) | 1989-01-27 |
| US4647808A (en) | 1987-03-03 |
| DE3530729C2 (ja) | 1990-11-15 |
| IT8522015A0 (it) | 1985-08-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6162369A (ja) | 圧電素子を用いたアクチユエ−タ | |
| US3622815A (en) | High reliability ceramic bender | |
| JPH0150192B2 (ja) | ||
| CN107907992A (zh) | 正应力电磁驱动的快速偏转反射镜作动机构及作动方法 | |
| JPH0596755A (ja) | 圧電素子型アクチユエータの保持構造 | |
| JPS59178986A (ja) | 機械的増幅機構 | |
| KR830009942A (ko) | 구동기저하를 방지한 종축효과 전기팽창변환기로 구성된 레버 구동기 | |
| JPS59175386A (ja) | 機械的増幅機構 | |
| JPH02192176A (ja) | ラッチ型圧電アクチュエータ | |
| JPS62272575A (ja) | 圧電アクチユエ−タ | |
| JPH0364313B2 (ja) | ||
| JPH0454481Y2 (ja) | ||
| JPH0785507B2 (ja) | 双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タ | |
| JP2844717B2 (ja) | ドットインパクト式プリンタ印字ハンマ | |
| JPS63130175A (ja) | ム−ビング圧電素子アクチユエ−タ・ユニツト | |
| JP2847889B2 (ja) | ドットインパクト式プリンタ印字ハンマ | |
| US4703689A (en) | Two lever print actuator with aligned pivots and energy transfer surfaces | |
| JPS61123547A (ja) | ワイヤドツトプリンタヘツド | |
| JPS59150756A (ja) | 印字機構 | |
| JPS6292777A (ja) | リニアモ−タ | |
| JPH0519912B2 (ja) | ||
| JPS58213484A (ja) | 差動型変位発生機構 | |
| JPH02119277A (ja) | 圧電素子変位増幅機構 | |
| JPH0630445Y2 (ja) | ワイヤドット印字ヘッド | |
| JPS58177376A (ja) | 印字ユニツト |