JPH11163479A - 配線基板、表示装置のアレイ基板、アレイ基板を備えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板の製造方法 - Google Patents
配線基板、表示装置のアレイ基板、アレイ基板を備えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板の製造方法Info
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- JPH11163479A JPH11163479A JP24977198A JP24977198A JPH11163479A JP H11163479 A JPH11163479 A JP H11163479A JP 24977198 A JP24977198 A JP 24977198A JP 24977198 A JP24977198 A JP 24977198A JP H11163479 A JPH11163479 A JP H11163479A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高品質、高歩留り、低コスト化を実現可能な配
線基板、表示装置のアレイ基板、その製造方法、アレイ
基板を備えた液晶表示装置を提供する。 【解決手段】アレイ基板のガラス基板上には、マトリク
ス状に配置された複数の信号線３２および走査線と、表
示領域を形成した複数の画素電極とが設けられている。
信号線および走査線は、表示領域の外方に延出した引き
出し配線部４６をそれぞれ有し、信号線の各引き出し配
線部は、絶縁膜を介して積層された第１配線４６ａおよ
び第２配線４６ｂを有する２層構造に形成されていると
ともに、２カ所で第１および第２配線を互いに電気的に
導通した導通部６４と、導通部間で、第１配線と第２配
線とがガラス基板の面方向にずれて位置した２つの非重
複部６６と、を有している。引き出し配線間でショート
が生じた場合、非重複部の位置で、第１または第２配線
を切断する。
線基板、表示装置のアレイ基板、その製造方法、アレイ
基板を備えた液晶表示装置を提供する。 【解決手段】アレイ基板のガラス基板上には、マトリク
ス状に配置された複数の信号線３２および走査線と、表
示領域を形成した複数の画素電極とが設けられている。
信号線および走査線は、表示領域の外方に延出した引き
出し配線部４６をそれぞれ有し、信号線の各引き出し配
線部は、絶縁膜を介して積層された第１配線４６ａおよ
び第２配線４６ｂを有する２層構造に形成されていると
ともに、２カ所で第１および第２配線を互いに電気的に
導通した導通部６４と、導通部間で、第１配線と第２配
線とがガラス基板の面方向にずれて位置した２つの非重
複部６６と、を有している。引き出し配線間でショート
が生じた場合、非重複部の位置で、第１または第２配線
を切断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、絶縁基板上に複
数の配線が設けられた配線基板、フラットディスプレイ
パネル等に用いられるアレイ基板、このアレイ基板を備
えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板の
製造方法に関する。
数の配線が設けられた配線基板、フラットディスプレイ
パネル等に用いられるアレイ基板、このアレイ基板を備
えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板の
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、小型、軽量、低消費電力を志向し
て、液晶表示装置に代表されるフラットパネルディスプ
レイの開発が進められている。液晶表示装置は、液晶層
を挟んで対向配置されたアレイ基板および対向基板を備
えている。アレイ基板は、絶緑基板上に複数本の信号線
および走査線をマトリクス状に配線し、信号線および走
査線で囲まれる各領域に設けられた画素電極をスイッチ
ング素子を介して信号線と走査線との交点部に接続する
ことにより構成されている。また、対向基板は、絶縁基
板上に透明電極材料から成る対向電極を設けて構成され
ている。
て、液晶表示装置に代表されるフラットパネルディスプ
レイの開発が進められている。液晶表示装置は、液晶層
を挟んで対向配置されたアレイ基板および対向基板を備
えている。アレイ基板は、絶緑基板上に複数本の信号線
および走査線をマトリクス状に配線し、信号線および走
査線で囲まれる各領域に設けられた画素電極をスイッチ
ング素子を介して信号線と走査線との交点部に接続する
ことにより構成されている。また、対向基板は、絶縁基
板上に透明電極材料から成る対向電極を設けて構成され
ている。
【０００３】アレイ基板上の信号線および走査線は、そ
れぞれ表示領域外に引き出され、アレイ基板の側縁部に
設けられた給電電極にそれぞれ接続されているととも
に、これらの給電電極を介して外部駆動回路等と電気的
に接続されている。
れぞれ表示領域外に引き出され、アレイ基板の側縁部に
設けられた給電電極にそれぞれ接続されているととも
に、これらの給電電極を介して外部駆動回路等と電気的
に接続されている。
【０００４】このような液晶表示装置においては、近
年、外形寸法に対して大きな表示領域を確保するため、
狭額縁化、即ち、有効表示領域に対して周辺の保持枠を
小さくすることが要求されている。また、一層のコスト
ダウンも求められ、製品歩留りの更なる向上が必要とな
っている。
年、外形寸法に対して大きな表示領域を確保するため、
狭額縁化、即ち、有効表示領域に対して周辺の保持枠を
小さくすることが要求されている。また、一層のコスト
ダウンも求められ、製品歩留りの更なる向上が必要とな
っている。
【０００５】しかしながら、液晶表示装置の狭額縁化を
すすめると、表示領域から引き出される配線の設置領域
が狭くなるため、配線幅、配線間を狭くしなければなら
ず、その結果、配線オープン、配線間ショートなどの不
良が生じ易くなる。
すすめると、表示領域から引き出される配線の設置領域
が狭くなるため、配線幅、配線間を狭くしなければなら
ず、その結果、配線オープン、配線間ショートなどの不
良が生じ易くなる。
【０００６】そこで、近年、配線オープンに対する信頼
性向上を図るために、例えば、信号線の内、表示領域か
ら外側に引き出された部分を２層配線構造とした液晶表
示装置が提供されている。すなわち、信号線の引き出し
部分は、絶縁層を介して積層形成された第１配線と第２
配線とによって構成されている。そして、第１および第
２配線の表示領域側の端部同志、および給電電極側の端
部同志は、それぞれスルーホールを介して互いに導通し
ている。このような２層配線構造とした場合、第１およ
び第２配線のいずれか一方が断線した場合でも信号線の
接続状態を維持することができ、信頼性の向上を図るこ
とができる。
性向上を図るために、例えば、信号線の内、表示領域か
ら外側に引き出された部分を２層配線構造とした液晶表
示装置が提供されている。すなわち、信号線の引き出し
部分は、絶縁層を介して積層形成された第１配線と第２
配線とによって構成されている。そして、第１および第
２配線の表示領域側の端部同志、および給電電極側の端
部同志は、それぞれスルーホールを介して互いに導通し
ている。このような２層配線構造とした場合、第１およ
び第２配線のいずれか一方が断線した場合でも信号線の
接続状態を維持することができ、信頼性の向上を図るこ
とができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような２層配線構造とした場合、配線オープンに対する
信頼性が向上する反面、配線数が２倍になることから配
線間ショートの発生確率も２倍となってしまう。特に、
液晶表示装置の狭額縁化を進めた場合、配線引き出し部
の設置スペースが狭くなり、配線間ショートが一層起こ
り易くなる。
ような２層配線構造とした場合、配線オープンに対する
信頼性が向上する反面、配線数が２倍になることから配
線間ショートの発生確率も２倍となってしまう。特に、
液晶表示装置の狭額縁化を進めた場合、配線引き出し部
の設置スペースが狭くなり、配線間ショートが一層起こ
り易くなる。
【０００８】また、配線間ショートが生じた場合には、
ショート位置の検出、およびショート配線の切断が困難
であり、液晶表示装置製造の自動化を妨げる要因となっ
ている。
ショート位置の検出、およびショート配線の切断が困難
であり、液晶表示装置製造の自動化を妨げる要因となっ
ている。
【０００９】この発明は、以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、高品質、高歩留り、低コスト化を実現
可能な配線基板、表示装置のアレイ基板、アレイ基板を
備えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板
の製造方法を提供することにある。
で、その目的は、高品質、高歩留り、低コスト化を実現
可能な配線基板、表示装置のアレイ基板、アレイ基板を
備えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板
の製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明に係る配線基板は、絶縁基板と、上記絶縁
基板上に設けられた複数の配線と、を備え、上記配線の
各々は、絶縁膜を介して積層された第１配線および第２
配線で形成されているとともに、少なくとも２カ所で上
記第１配線と第２配線とを互いに電気的に導通した少な
くとも２つの導通部と、上記導通部間に設けられ、上記
第１配線と第２配線とが上記絶縁基板の面方向にずれて
位置した少なくとも２つのリペア領域と、を備えている
ことを特徴としている。
め、この発明に係る配線基板は、絶縁基板と、上記絶縁
基板上に設けられた複数の配線と、を備え、上記配線の
各々は、絶縁膜を介して積層された第１配線および第２
配線で形成されているとともに、少なくとも２カ所で上
記第１配線と第２配線とを互いに電気的に導通した少な
くとも２つの導通部と、上記導通部間に設けられ、上記
第１配線と第２配線とが上記絶縁基板の面方向にずれて
位置した少なくとも２つのリペア領域と、を備えている
ことを特徴としている。
【００１１】また、この発明に係る表示装置のアレイ基
板は、絶縁基板と、上記絶縁基板上に設けられた複数の
配線と、上記絶縁基板上に設けられ表示領域を形成して
いるとともに、それぞれスイッチング素子を介して上記
配線に電気的に接続された複数の画素電極と、を備え、
上記配線は、上記表示領域の外方に延出した引き出し配
線部をそれぞれ有し、上記各引き出し配線部は、絶縁膜
を介して積層された第１配線および第２配線を有する２
層構造に形成されているとともに、少なくとも２カ所で
上記第１配線と第２配線とを互いに電気的に導通した少
なくとも２つの導通部と、上記導通部間に設けられ、上
記第１配線と第２配線とが上記絶縁基板の面方向にずれ
て位置した少なくとも２つの非重複部と、を備えている
ことを特徴としている。
板は、絶縁基板と、上記絶縁基板上に設けられた複数の
配線と、上記絶縁基板上に設けられ表示領域を形成して
いるとともに、それぞれスイッチング素子を介して上記
配線に電気的に接続された複数の画素電極と、を備え、
上記配線は、上記表示領域の外方に延出した引き出し配
線部をそれぞれ有し、上記各引き出し配線部は、絶縁膜
を介して積層された第１配線および第２配線を有する２
層構造に形成されているとともに、少なくとも２カ所で
上記第１配線と第２配線とを互いに電気的に導通した少
なくとも２つの導通部と、上記導通部間に設けられ、上
記第１配線と第２配線とが上記絶縁基板の面方向にずれ
て位置した少なくとも２つの非重複部と、を備えている
ことを特徴としている。
【００１２】この発明に係る液晶表示装置は、第１絶縁
基板と、上記第１絶縁基板上に設けられた複数の配線
と、上記第１絶縁基板上に設けられ表示領域を形成して
いるとともに、それぞれスイッチング素子を介して上記
配線に電気的に接続された複数の画素電極と、を有する
アレイ基板と、上記アレイ基板に対向配置された第２絶
縁基板と、上記第２絶縁基板上に設けられ上記画素電極
と対向した対向電極と、を有する対向基板と、上記アレ
イ基板と対向基板との間に設けられた液晶組成物と、を
備え、上記アレイ基板の配線は、上記表示領域の外方に
延出した引き出し配線部をそれぞれ有し、上記各引き出
し配線部は、絶縁膜を介して積層された第１配線および
第２配線を有する２層構造に形成されているとともに、
少なくとも２カ所で上記第１配線と第２配線とを互いに
電気的に導通した少なくとも２つの導通部と、上記導通
部間に設けられ、上記第１配線と第２配線とが上記絶縁
基板の面方向にずれて位置した少なくとも２つの非重複
部と、を備えていることを特徴としている。
基板と、上記第１絶縁基板上に設けられた複数の配線
と、上記第１絶縁基板上に設けられ表示領域を形成して
いるとともに、それぞれスイッチング素子を介して上記
配線に電気的に接続された複数の画素電極と、を有する
アレイ基板と、上記アレイ基板に対向配置された第２絶
縁基板と、上記第２絶縁基板上に設けられ上記画素電極
と対向した対向電極と、を有する対向基板と、上記アレ
イ基板と対向基板との間に設けられた液晶組成物と、を
備え、上記アレイ基板の配線は、上記表示領域の外方に
延出した引き出し配線部をそれぞれ有し、上記各引き出
し配線部は、絶縁膜を介して積層された第１配線および
第２配線を有する２層構造に形成されているとともに、
少なくとも２カ所で上記第１配線と第２配線とを互いに
電気的に導通した少なくとも２つの導通部と、上記導通
部間に設けられ、上記第１配線と第２配線とが上記絶縁
基板の面方向にずれて位置した少なくとも２つの非重複
部と、を備えていることを特徴としている。
【００１３】上記構成の配線基板、アレイ基板および液
晶表示装置によれば、配線あるいは引き出し配線部を２
層構造とすることにより、第１および第２配線の一方が
断線した場合でも接続状態を維持することができ、断線
に対する信頼性が向上する。また、各配線にリペア領
域、あるいは、各引き出し配線部に非重複部を設けるこ
とにより、配線間でショート不良が発生した際、このリ
ペア領域あるいは非重複部で第１あるいは第２配線を容
易に切断することが可能となる。
晶表示装置によれば、配線あるいは引き出し配線部を２
層構造とすることにより、第１および第２配線の一方が
断線した場合でも接続状態を維持することができ、断線
に対する信頼性が向上する。また、各配線にリペア領
域、あるいは、各引き出し配線部に非重複部を設けるこ
とにより、配線間でショート不良が発生した際、このリ
ペア領域あるいは非重複部で第１あるいは第２配線を容
易に切断することが可能となる。
【００１４】更に、この発明に係る表示装置のアレイ基
板を製造する方法は、上記引き出し配線部間のショート
不良を検出し、ショート不良が検出された際、上記ショ
ート不良が検出された引き出し配線部の上記非重複部
で、第１配線および第２配線のいずれか一方を切断する
工程を備えたことを特徴としている。
板を製造する方法は、上記引き出し配線部間のショート
不良を検出し、ショート不良が検出された際、上記ショ
ート不良が検出された引き出し配線部の上記非重複部
で、第１配線および第２配線のいずれか一方を切断する
工程を備えたことを特徴としている。
【００１５】上記切断工程において、ショート不良が検
出された隣合う２本の引き出し配線部の一方は、上記非
重複部の位置で第１配線を切断し、他方の引き出し配線
部は、上記非重複部の位置で第２配線を切断する。ま
た、上記切断工程においては、レーザ照射によって切断
を行う。
出された隣合う２本の引き出し配線部の一方は、上記非
重複部の位置で第１配線を切断し、他方の引き出し配線
部は、上記非重複部の位置で第２配線を切断する。ま
た、上記切断工程においては、レーザ照射によって切断
を行う。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、この
発明の実施の形態に係るアクティブマトリクス型の液晶
表示装置について詳細に説明する。図１に示すように、
液晶表示装置は、液晶パネル１０、液晶パネルを駆動す
るための信号線駆動回路基板１２、走査線駆動回路基板
１４、各駆動回路基板と液晶パネルとを電気的に接続し
た複数のテープキャリアパッケージ（ＴＣＰと称する）
１６を備えている。
発明の実施の形態に係るアクティブマトリクス型の液晶
表示装置について詳細に説明する。図１に示すように、
液晶表示装置は、液晶パネル１０、液晶パネルを駆動す
るための信号線駆動回路基板１２、走査線駆動回路基板
１４、各駆動回路基板と液晶パネルとを電気的に接続し
た複数のテープキャリアパッケージ（ＴＣＰと称する）
１６を備えている。
【００１７】図１および図２に示すように、液晶パネル
１０はアレイ基板１８および対向基板２０を備え、これ
ら基板は、周縁部を後述するシール剤によって貼り合わ
せることにより、所定のギャップをおいて対向配置され
ている。そして、アレイ基板１８と対向基板２０との間
には、それぞれ配向膜２３、２４を介して、液晶組成物
２６が封入されている。この発明における配線基板とし
て機能するアレイ基板１８および対向基板２０の外表面
には、それぞれ偏光板２８、３０が配置されている。
１０はアレイ基板１８および対向基板２０を備え、これ
ら基板は、周縁部を後述するシール剤によって貼り合わ
せることにより、所定のギャップをおいて対向配置され
ている。そして、アレイ基板１８と対向基板２０との間
には、それぞれ配向膜２３、２４を介して、液晶組成物
２６が封入されている。この発明における配線基板とし
て機能するアレイ基板１８および対向基板２０の外表面
には、それぞれ偏光板２８、３０が配置されている。
【００１８】図２および図３に示すように、アレイ基板
１８は第１絶縁基板として機能する０．７ｍｍ厚のガラ
ス基板３１を有し、このガラス基板上には、配線として
８００×３本の信号線３２と６００本の走査線３４とが
互いに直交してマトリクス状に設けられている。信号線
３２と走査線３４とで囲まれる領域には、それぞれＩＴ
Ｏからなる画素電極３６が設けられ、各画素電極は、ス
イッチング素子としての薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴ
と称する）３８を介して、信号線３２と走査線３４との
交差部に接続されている。
１８は第１絶縁基板として機能する０．７ｍｍ厚のガラ
ス基板３１を有し、このガラス基板上には、配線として
８００×３本の信号線３２と６００本の走査線３４とが
互いに直交してマトリクス状に設けられている。信号線
３２と走査線３４とで囲まれる領域には、それぞれＩＴ
Ｏからなる画素電極３６が設けられ、各画素電極は、ス
イッチング素子としての薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴ
と称する）３８を介して、信号線３２と走査線３４との
交差部に接続されている。
【００１９】そして、多数の画素電極３６によりほぼ矩
形状の表示領域４０が規定されている。また、ガラス基
板３１上には、例えば、紫外線硬化樹脂等からなるシー
ル剤を塗布する矩形枠状のシール剤塗布領域４２が表示
領域４０を囲むように設けられている。
形状の表示領域４０が規定されている。また、ガラス基
板３１上には、例えば、紫外線硬化樹脂等からなるシー
ル剤を塗布する矩形枠状のシール剤塗布領域４２が表示
領域４０を囲むように設けられている。
【００２０】各走査線３４は、例えば、モリブデン−タ
ングステン（Ｍｏ−Ｗ）合金等の低抵抗金属材料により
形成されている。そして、各走査線３４は、ガラス基板
３１の対向する２つの短辺３１ａ、３１ｂ間に延在して
いる。走査線３４の一方の端部は、シール剤塗布領域４
２を越えて一方の短辺３１ｂまで引き出され、ガラス基
板３１上の走査線接続パッド４７に導通した引き出し配
線部４８を構成している。そして、走査線接続パッド４
７は、ＴＣＰ１６を介して走査線駆動回路基板１４に接
続されている。
ングステン（Ｍｏ−Ｗ）合金等の低抵抗金属材料により
形成されている。そして、各走査線３４は、ガラス基板
３１の対向する２つの短辺３１ａ、３１ｂ間に延在して
いる。走査線３４の一方の端部は、シール剤塗布領域４
２を越えて一方の短辺３１ｂまで引き出され、ガラス基
板３１上の走査線接続パッド４７に導通した引き出し配
線部４８を構成している。そして、走査線接続パッド４
７は、ＴＣＰ１６を介して走査線駆動回路基板１４に接
続されている。
【００２１】また、信号線３２は、窒化膜からなるゲー
ト絶縁膜４３を介して、走査線３４上に走査線と略直交
して配置されている。この信号線３２は、例えば、アル
ミニウム（Ａｌ）合金等の低抵抗金属により形成されて
いる。各信号線３２は、ガラス基板３１の対向する２つ
の長辺３１ｃ、３１ｄ間に延在している。
ト絶縁膜４３を介して、走査線３４上に走査線と略直交
して配置されている。この信号線３２は、例えば、アル
ミニウム（Ａｌ）合金等の低抵抗金属により形成されて
いる。各信号線３２は、ガラス基板３１の対向する２つ
の長辺３１ｃ、３１ｄ間に延在している。
【００２２】そして、各信号線３２の一方の端部は、シ
ール剤塗布領域４２を越えて一方の長辺３１ｄまで引き
出され、ガラス基板３１上の信号線接続パッド４４に導
通した引き出し配線部４６を構成している。そして、信
号線接続パッド４４は、ＴＣＰ１６を介して信号線駆動
回路基板１２に接続されている。
ール剤塗布領域４２を越えて一方の長辺３１ｄまで引き
出され、ガラス基板３１上の信号線接続パッド４４に導
通した引き出し配線部４６を構成している。そして、信
号線接続パッド４４は、ＴＣＰ１６を介して信号線駆動
回路基板１２に接続されている。
【００２３】図２から良く分かるように、各ＴＦＴ３８
は、走査線３４自体をゲート電極５０とし、ゲート電極
上にゲート絶縁膜４３を介してａ−Ｓｉ：Ｈ膜からなる
半導体層５２が形成されている。また、半導体層５２上
には、走査線３４に自己整合されて成るチャネル保護膜
５３として窒化シリコンが配置されている。
は、走査線３４自体をゲート電極５０とし、ゲート電極
上にゲート絶縁膜４３を介してａ−Ｓｉ：Ｈ膜からなる
半導体層５２が形成されている。また、半導体層５２上
には、走査線３４に自己整合されて成るチャネル保護膜
５３として窒化シリコンが配置されている。
【００２４】そして、半導体層５２は、ソース電極５４
を介して画素電極３６に電気的に接続されているととも
に、ドレイン電極５５を介して信号線３２に電気的に接
続されている。なお、半導体層５２としては、ポリシリ
コン（ｐ−Ｓｉ）や化合物半導体等を用いることもでき
る。
を介して画素電極３６に電気的に接続されているととも
に、ドレイン電極５５を介して信号線３２に電気的に接
続されている。なお、半導体層５２としては、ポリシリ
コン（ｐ−Ｓｉ）や化合物半導体等を用いることもでき
る。
【００２５】本実施の形態に係る液晶表示装置のアレイ
基板１８によれば、各信号線３２の引き出し配線部４
６、および各走査線３４の引き出し配線部４８は、２層
配線構造に形成されている。図５（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）は、図４図の線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃにそれぞ
れ沿った断面図を示している。
基板１８によれば、各信号線３２の引き出し配線部４
６、および各走査線３４の引き出し配線部４８は、２層
配線構造に形成されている。図５（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）は、図４図の線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃにそれぞ
れ沿った断面図を示している。
【００２６】すなわち、信号線３２の引き出し配線部４
６について説明すると、図４および図５に示すように、
引き出し配線部４６は、ガラス基板３１上に形成された
Ｍｏ−Ｗ合金からなる第１配線４６ａと、ゲート絶縁層
４３を介して第１配線４６ａ上に重ねて形成されたＡｌ
合金からなる第２配線４６ｂと、で構成されている。
６について説明すると、図４および図５に示すように、
引き出し配線部４６は、ガラス基板３１上に形成された
Ｍｏ−Ｗ合金からなる第１配線４６ａと、ゲート絶縁層
４３を介して第１配線４６ａ上に重ねて形成されたＡｌ
合金からなる第２配線４６ｂと、で構成されている。
【００２７】第１および第２配線４６ａ、４６ｂは、シ
ール剤塗布領域４２を間に挟んで表示領域４０側と信号
線接続パッド４４側との２箇所で、導通部としてのコン
タクトスルーホール６４を介して互いに導通している。
ール剤塗布領域４２を間に挟んで表示領域４０側と信号
線接続パッド４４側との２箇所で、導通部としてのコン
タクトスルーホール６４を介して互いに導通している。
【００２８】また、引き出し配線部４６は、シール剤塗
布領域４２を間に挟んで表示領域４０側と信号線接続パ
ッド４４側との２箇所で、かつ、２つのコンタクトスル
ーホール６４間に位置した非重複部６６を備えて構成さ
れている。リペア領域として機能する各非重複部６６に
おいて、第１および第２配線４６ａ、４６ｂの一方、例
えば、第２配線４６ｂは、第１配線４６ａに対して、ガ
ラス基板３１の面方向にずれて位置した迂回経路部４６
ｃを有している。
布領域４２を間に挟んで表示領域４０側と信号線接続パ
ッド４４側との２箇所で、かつ、２つのコンタクトスル
ーホール６４間に位置した非重複部６６を備えて構成さ
れている。リペア領域として機能する各非重複部６６に
おいて、第１および第２配線４６ａ、４６ｂの一方、例
えば、第２配線４６ｂは、第１配線４６ａに対して、ガ
ラス基板３１の面方向にずれて位置した迂回経路部４６
ｃを有している。
【００２９】上記構成のアレイ基板１８のように、信号
線３２の引き出し配線部４６を２層配線構造とすること
により、製造工程中に付着したゴミ等によって第１配線
４６ａあるいは第２配線４６ｂのいずれかが断線した場
合でも、他方の配線が接続状態に維持されているため、
断線不良となることはない。そのため、配線オープンに
対する信頼性の向上を図ることができる。
線３２の引き出し配線部４６を２層配線構造とすること
により、製造工程中に付着したゴミ等によって第１配線
４６ａあるいは第２配線４６ｂのいずれかが断線した場
合でも、他方の配線が接続状態に維持されているため、
断線不良となることはない。そのため、配線オープンに
対する信頼性の向上を図ることができる。
【００３０】また、引き出し配線部４６の配線間スペー
スは最小部で１０〜２０μｍ程度であり、表示領域４０
内での配線間スペース５０〜１００μｍと比較して非常
に狭くなっている。そのため、引き出し配線部４６間で
ショートが生じる可能性も高くなる。
スは最小部で１０〜２０μｍ程度であり、表示領域４０
内での配線間スペース５０〜１００μｍと比較して非常
に狭くなっている。そのため、引き出し配線部４６間で
ショートが生じる可能性も高くなる。
【００３１】そこで、図６（ａ）に示すように、例え
ば、信号線３２の隣合う２本の引き出し配線部４６で第
１配線４６ａ同志のショートが生じた場合、いずれか一
方の引き出し配線部４６の両非重複部６６において、第
１配線４６ａのＸ、Ｘ’部分を、例えば、レーザ照射に
よって切断する。これにより、第１配線４６ａ同志のシ
ョートを回避することができる。
ば、信号線３２の隣合う２本の引き出し配線部４６で第
１配線４６ａ同志のショートが生じた場合、いずれか一
方の引き出し配線部４６の両非重複部６６において、第
１配線４６ａのＸ、Ｘ’部分を、例えば、レーザ照射に
よって切断する。これにより、第１配線４６ａ同志のシ
ョートを回避することができる。
【００３２】また、図６（ｂ）に示すように、隣合う２
本の引き出し配線部４６で第２配線４６ｂ同志のショー
トが生じた場合、いずれか一方の引き出し配線部４６の
両非重複部６６において、第２配線４６ｂのＹ、Ｙ’部
分を、例えば、レーザ照射によって切断する。これによ
り、第２配線４６ｂ同志のショートを回避することがで
きる。
本の引き出し配線部４６で第２配線４６ｂ同志のショー
トが生じた場合、いずれか一方の引き出し配線部４６の
両非重複部６６において、第２配線４６ｂのＹ、Ｙ’部
分を、例えば、レーザ照射によって切断する。これによ
り、第２配線４６ｂ同志のショートを回避することがで
きる。
【００３３】ここで、２層配線構造の場合、切断部分に
おいて一方の配線のみを切断することは困難であるが、
上記構成の引き出し配線部４６によれば、第１および第
２配線４６ａ、４６ｂがガラス基板の面方向にずれて設
けられてた非重複部６６を備えているため、この非重複
部にて、一方の配線のみを容易に切断することができ
る。
おいて一方の配線のみを切断することは困難であるが、
上記構成の引き出し配線部４６によれば、第１および第
２配線４６ａ、４６ｂがガラス基板の面方向にずれて設
けられてた非重複部６６を備えているため、この非重複
部にて、一方の配線のみを容易に切断することができ
る。
【００３４】配線間ショートの検出は、アレイ基板製造
工程の最終段階において、信号線接続パッド４４、およ
び走査線接続パッド４７上に検査用プローブを接触さ
せ、電気的特性を測定することによって行う。この場
合、どの引き出し配線部間でショート不良が生じている
かは特定できるが、第１配線間のショート不良である
か、あるいは、第２配線間のショート不良であるかを判
別することは困難である。
工程の最終段階において、信号線接続パッド４４、およ
び走査線接続パッド４７上に検査用プローブを接触さ
せ、電気的特性を測定することによって行う。この場
合、どの引き出し配線部間でショート不良が生じている
かは特定できるが、第１配線間のショート不良である
か、あるいは、第２配線間のショート不良であるかを判
別することは困難である。
【００３５】しかしながら、引き出し配線部４６間ショ
ートが検出された場合、上述した切断位置Ｘ、Ｘ′、お
よびＹ、Ｙ′を同時に切断すれば、ショート不良が第１
配線４６ａ同志の場合でも、第２配線４６ｂ同志の場合
でも引き出し配線部間のショートをリペアすることがで
き、かつ配線オープンなどの他の不良は生じない。そこ
で、本実施の形態によれば、検査工程でショート不良が
生じた引き出し配線部が特定された場合、図４に示すよ
うに、無条件で両引き出し配線部を切断位置Ｘ、Ｘ′、
およびＹ、Ｙ′で切断する構成としている。
ートが検出された場合、上述した切断位置Ｘ、Ｘ′、お
よびＹ、Ｙ′を同時に切断すれば、ショート不良が第１
配線４６ａ同志の場合でも、第２配線４６ｂ同志の場合
でも引き出し配線部間のショートをリペアすることがで
き、かつ配線オープンなどの他の不良は生じない。そこ
で、本実施の形態によれば、検査工程でショート不良が
生じた引き出し配線部が特定された場合、図４に示すよ
うに、無条件で両引き出し配線部を切断位置Ｘ、Ｘ′、
およびＹ、Ｙ′で切断する構成としている。
【００３６】また、図４に示すように、切断工程におい
て、各配線の切断位置は、切断位置ＸとＹ、および切断
位置ＹとＹ′がそれぞれ隣接して位置するように、つま
り、間に他の配線が存在しないように、選択することが
望ましい。切断位置をこのように定めた場合、切断位置
ＸおよびＸ’を１回のレーザ照射によって連続的に切断
することができ、同様に、切断位置ＹおよびＹ’を１回
のレーザ照射によって連続的に切断することができる。
て、各配線の切断位置は、切断位置ＸとＹ、および切断
位置ＹとＹ′がそれぞれ隣接して位置するように、つま
り、間に他の配線が存在しないように、選択することが
望ましい。切断位置をこのように定めた場合、切断位置
ＸおよびＸ’を１回のレーザ照射によって連続的に切断
することができ、同様に、切断位置ＹおよびＹ’を１回
のレーザ照射によって連続的に切断することができる。
【００３７】なお、走査線３４の引き出し配線部４８も
信号線３２の引き出し配線部４６と同様に構成され、引
き出し配線部４８間でショートが生じた場合も、上記と
同様の工程でリペアされる。
信号線３２の引き出し配線部４６と同様に構成され、引
き出し配線部４８間でショートが生じた場合も、上記と
同様の工程でリペアされる。
【００３８】一方、図２に示すように、対向基板２０は
第２絶縁基板として機能する透明なガラス基板５６を備
え、このガラス基板上には、クロム（Ｃｒ）の酸化膜か
らなる遮光層５８が形成されている。遮光層５８は、ア
レイ基板１８上のＴＦＴ３８、信号線３２と画素電極３
６との間隙、および走査線３４と画素電極３６との間隙
をそれぞれを遮光するように、マトリクス状に形成され
ている。
第２絶縁基板として機能する透明なガラス基板５６を備
え、このガラス基板上には、クロム（Ｃｒ）の酸化膜か
らなる遮光層５８が形成されている。遮光層５８は、ア
レイ基板１８上のＴＦＴ３８、信号線３２と画素電極３
６との間隙、および走査線３４と画素電極３６との間隙
をそれぞれを遮光するように、マトリクス状に形成され
ている。
【００３９】また、ガラス基板５６上において、アレイ
基板１８側の画素電極３６と対向する位置には、赤、
緑、青のカラーフィルタ層６０が形成されている。そし
て、これら遮光層５８、カラーフィルタ層６０に重ね
て、ＩＴＯからなる透明な対向電極６１、配向層２４が
順に設けられている。
基板１８側の画素電極３６と対向する位置には、赤、
緑、青のカラーフィルタ層６０が形成されている。そし
て、これら遮光層５８、カラーフィルタ層６０に重ね
て、ＩＴＯからなる透明な対向電極６１、配向層２４が
順に設けられている。
【００４０】そして、アレイ基板１８の検査およびリペ
ア終了後、アレイ基板１８のシール剤塗布領域４２にシ
ール剤を塗布し、アレイ基板１８および対向基板２０の
周縁部同志を貼り合わせた後、これら基板間に液晶組成
物２６を封入することにより液晶パネル１０が製造され
る。
ア終了後、アレイ基板１８のシール剤塗布領域４２にシ
ール剤を塗布し、アレイ基板１８および対向基板２０の
周縁部同志を貼り合わせた後、これら基板間に液晶組成
物２６を封入することにより液晶パネル１０が製造され
る。
【００４１】以上のように構成された液晶表示装置によ
れば、信号線３２および走査線３４の引き出し配線部４
６、４８を２層配線構造とすることにより、断線不良の
発生率を低減し、配線オープンの信頼性を向上させるこ
とができる。また、各引き出し配線部は非重複領域６６
を備えていることから、引き出し配線間でショートが生
じた場合でも容易にショート不良をリペアすることが可
能となる。
れば、信号線３２および走査線３４の引き出し配線部４
６、４８を２層配線構造とすることにより、断線不良の
発生率を低減し、配線オープンの信頼性を向上させるこ
とができる。また、各引き出し配線部は非重複領域６６
を備えていることから、引き出し配線間でショートが生
じた場合でも容易にショート不良をリペアすることが可
能となる。
【００４２】更に、各引き出し配線部の非重複部６６
は、シール剤塗布領域４０の両側に位置し、シール剤塗
布領域上では２層配線構造となっている。そのため、シ
ール剤塗布領域４０に例えば紫外線硬化型のシール剤を
塗布し、ガラス基板３１側から引き出し配線部４６、４
８を通して紫外線を照射する場合、引き出し配線部に基
因するシール剤の紫外線未照射領域の発生を低減し、シ
ール強度の低下、およびアレイ基板、対向基板の位置ず
れを回避することができる。
は、シール剤塗布領域４０の両側に位置し、シール剤塗
布領域上では２層配線構造となっている。そのため、シ
ール剤塗布領域４０に例えば紫外線硬化型のシール剤を
塗布し、ガラス基板３１側から引き出し配線部４６、４
８を通して紫外線を照射する場合、引き出し配線部に基
因するシール剤の紫外線未照射領域の発生を低減し、シ
ール強度の低下、およびアレイ基板、対向基板の位置ず
れを回避することができる。
【００４３】なお、この発明は上述した実施の形態に限
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、この発明に係る配線基板は、上述した液
晶表示装置のアレイ基板に限らず、絶縁基板上に多数の
配線が設けられたものであればよく、電子機器に使用さ
れるプリント配線基板等にも適用することができる。こ
の場合においても、絶縁基板上に設けられた配線を２層
構造とし、少なくとも２つの導通部と、少なくとも２つ
のリペア領域とを設けることにより、前述した実施の形
態と同様の作用効果を得ることができる。
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、この発明に係る配線基板は、上述した液
晶表示装置のアレイ基板に限らず、絶縁基板上に多数の
配線が設けられたものであればよく、電子機器に使用さ
れるプリント配線基板等にも適用することができる。こ
の場合においても、絶縁基板上に設けられた配線を２層
構造とし、少なくとも２つの導通部と、少なくとも２つ
のリペア領域とを設けることにより、前述した実施の形
態と同様の作用効果を得ることができる。
【００４４】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、断線不良の発生を低減し、かつ、配線間のショート
不良を容易にリペアできる構造とすることにより、高品
質な配線基板、高品質な液晶表示装置を低コストおよび
高歩留りで製造可能なアレイ基板、アレイ基板を備えた
液晶表示装置、並びに、配線基板およびアレイ基板の製
造方法を提供することができる。
ば、断線不良の発生を低減し、かつ、配線間のショート
不良を容易にリペアできる構造とすることにより、高品
質な配線基板、高品質な液晶表示装置を低コストおよび
高歩留りで製造可能なアレイ基板、アレイ基板を備えた
液晶表示装置、並びに、配線基板およびアレイ基板の製
造方法を提供することができる。
【図１】この発明の実施の形態に係るアクティブマトリ
クス型の液晶表示装置を示す斜視図。
クス型の液晶表示装置を示す斜視図。
【図２】上記液晶表示装置における液晶パネルの断面
図。
図。
【図３】上記液晶パネルのアレイ基板を概略的に示す斜
視図。
視図。
【図４】上記アレイ基板の引き出し配線部を模式的に示
す平面図。
す平面図。
【図５】図４における線Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃにそれ
ぞれ沿った断面図。
ぞれ沿った断面図。
【図６】引き出し配線間ショートが生じた切断位置を模
式的に示す引き出し配線部の平面。
式的に示す引き出し配線部の平面。
１０…液晶パネル １８…アレイ基板 ２０…対向基板 ３１…ガラス基板 ３２…信号線 ３４…走査線 ３６…画素電極 ３８…ＴＦＴ ４０…表示領域 ４２…シール剤塗布領域 ４４…信号線接続パッド ４６、４８…引き出し配線 ４７…走査線接続パッド ４６ａ…第１配線 ４６ｂ…第２配線 ４６ｃ…迂回経路部 ６４…コンタクトスルーホール ６６…非重複部 Ｘ、Ｘ’、Ｙ、Ｙ’…切断位置
Claims (11)
- 【請求項１】絶縁基板と、 上記絶縁基板上に設けられた複数の配線と、を備え、 上記配線の各々は、絶縁膜を介して積層された第１配線
および第２配線で形成されているとともに、 少なくとも２カ所で上記第１配線と第２配線とを互いに
電気的に導通した少なくとも２つの導通部と、 上記導通部間に設けられ、上記第１配線と第２配線とが
上記絶縁基板の面方向にずれて位置した少なくとも２つ
のリペア領域と、を備えていることを特徴とする配線基
板。 - 【請求項２】絶縁基板と、上記絶縁基板上に設けられた
複数の配線と、を備え、 上記配線の各々は、絶縁膜を介して積層された第１配線
および第２配線で形成されているとともに、少なくとも
２カ所で上記第１配線と第２配線とを互いに電気的に導
通した少なくとも２つの導通部と、上記導通部間に設け
られ、上記第１配線と第２配線とが上記絶縁基板の面方
向にずれて位置した少なくとも２つのリペア領域と、を
備えた配線基板を製造する方法において、 上記配線間のショート不良を検出し、 ショート不良が検出された際、上記ショート不良が検出
された配線の上記リペア領域で、第１配線および第２配
線のいずれか一方を切断する工程を備えたことを特徴と
する配線基板の製造方法。 - 【請求項３】上記切断工程において、ショート不良が検
出された隣合う２本の配線の一方は、上記リペア領域の
位置で第１配線を切断し、他方の配線は、上記リペア領
域の位置で第２配線を切断することを特徴とする請求項
２に記載の配線基板の製造方法。 - 【請求項４】絶縁基板と、 上記絶縁基板上に設けられた複数の配線と、 上記絶縁基板上に設けられ表示領域を形成しているとと
もに、それぞれスイッチング素子を介して上記配線に電
気的に接続された複数の画素電極と、を備え、 上記配線は、上記表示領域の外方に延出した引き出し配
線部をそれぞれ有し、 上記各引き出し配線部は、絶縁膜を介して積層された第
１配線および第２配線を有する２層構造に形成されてい
るとともに、 少なくとも２カ所で上記第１配線と第２配線とを互いに
電気的に導通した少なくとも２つの導通部と、 上記導通部間に設けられ、上記第１配線と第２配線とが
上記絶縁基板の面方向にずれて位置した少なくとも２つ
の非重複部と、を備えていることを特徴とする表示装置
のアレイ基板。 - 【請求項５】上記絶縁基板は、上記表示領域を囲むよう
に設けられたシール剤塗布領域を有し、 上記各引き出し配線部の上記少なくとも２つの導通部
は、上記シール剤塗布領域を間に挟んでシール剤塗布領
域の両側に位置し、 上記少なくとも２つの非重複部は、上記シール剤塗布領
域を間に挟んでシール剤塗布領域の両側に設けられてい
ることを特徴とする請求項４に記載の表示装置のアレイ
基板。 - 【請求項６】絶縁基板と、上記絶縁基板上に設けられた
複数の配線と、上記絶縁基板上に設けられ表示領域を形
成しているとともに、それぞれスイッチング素子を介し
て上記配線に電気的に接続された複数の画素電極と、を
備え、上記配線は、上記表示領域の外方に延出した引き
出し配線部をそれぞれ有し、上記各引き出し配線部は、
絶縁膜を介して積層された第１配線および第２配線を有
する２層構造に形成されているとともに、少なくとも２
カ所で上記第１配線と第２配線とを互いに電気的に導通
した少なくとも２つの導通部と、上記導通部間に設けら
れ、上記第１配線と第２配線とが上記絶縁基板の面方向
にずれて位置した少なくとも２つの非重複部と、を備え
ている表示装置のアレイ基板を製造する方法において、 上記引き出し配線部間のショート不良を検出し、 ショート不良が検出された際、上記ショート不良が検出
された引き出し配線部の上記非重複部で、第１配線およ
び第２配線のいずれか一方を切断する工程を備えたこと
を特徴とする表示装置のアレイ基板製造方法。 - 【請求項７】上記切断工程において、ショート不良が検
出された隣合う２本の引き出し配線部の一方は、上記非
重複部の位置で第１配線を切断し、他方の引き出し配線
部は、上記非重複部の位置で第２配線を切断することを
特徴とする請求項６に記載の表示装置のアレイ基板製造
方法。 - 【請求項８】上記切断工程において、ショート不良が検
出された隣合う２本の引き出し配線部を上記非重複部の
位置でそれぞれ切断する際、一方の引き出し配線部の第
１配線と、この第１配線に他の配線を介することなく隣
接した他方の引き出し配線部の第２配線と、を連続的に
切断することを特徴とする請求項６に記載の表示装置の
アレイ基板製造方法。 - 【請求項９】上記切断工程において、レーザ照射によっ
て切断を行うことを特徴とする請求項６ないし８のいず
れか１項に記載の表示装置のアレイ基板製造方法。 - 【請求項１０】第１絶縁基板と、上記第１絶縁基板上に
設けられた複数の配線と、上記第１絶縁基板上に設けら
れ表示領域を形成しているとともに、それぞれスイッチ
ング素子を介して上記配線に電気的に接続された複数の
画素電極と、を有するアレイ基板と、 上記アレイ基板に対向配置された第２絶縁基板と、上記
第２絶縁基板上に設けられ上記画素電極と対向した対向
電極と、を有する対向基板と、 上記アレイ基板と対向基板との間に設けられた液晶組成
物と、を備え、 上記アレイ基板の配線は、上記表示領域の外方に延出し
た引き出し配線部をそれぞれ有し、 上記各引き出し配線部は、絶縁膜を介して積層された第
１配線および第２配線を有する２層構造に形成されてい
るとともに、 少なくとも２カ所で上記第１配線と第２配線とを互いに
電気的に導通した少なくとも２つの導通部と、 上記導通部間に設けられ、上記第１配線と第２配線とが
上記絶縁基板の面方向にずれて位置した少なくとも２つ
の非重複部と、を備えていることを特徴とする液晶表示
装置。 - 【請求項１１】第１絶縁基板と、上記第１絶縁基板上に
マトリクス状に設けられた複数の信号線および走査線
と、上記第１絶縁基板上で、上記信号線および走査線に
より囲まれた領域にそれぞれ設けられているとともにス
イッチング素子を介して上記信号線および走査線に電気
的に接続され、表示領域を形成した複数の画素電極と、
を有するアレイ基板と、 上記アレイ基板に対向配置された第２絶縁基板と、上記
第２絶縁基板上に設けられ上記画素電極と対向した対向
電極と、を有する対向基板と、 上記アレイ基板と対向基板との間に設けられた液晶組成
物と、を備え、 上記アレイ基板および対向基板は、上記表示領域を囲む
ように塗布されたシール剤により互いに貼り合わされ、 上記アレイ基板の信号線および走査線は、上記シール剤
の塗布領域を通って上記表示領域の外方に延出した引き
出し配線部をそれぞれ有し、 少なくとも上記信号線の各引き出し配線部は、絶縁膜を
介して積層された第１配線および第２配線を有する２層
構造に形成されているとともに、 上記シール剤の塗布領域と重ならない少なくとも２カ所
で上記第１配線と第２配線とを互いに電気的に導通した
少なくとも２つの導通部と、 上記導通部間で、上記シール剤の塗布領域と重ならない
部位に設けられ、上記第１配線と第２配線とが上記絶縁
基板の面方向にずれて位置した少なくとも２つの非重複
部と、を備えていることを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24977198A JP2965979B2 (ja) | 1997-09-19 | 1998-09-03 | 配線基板、表示装置のアレイ基板、アレイ基板を備えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25573197 | 1997-09-19 | ||
| JP9-255731 | 1997-09-19 | ||
| JP24977198A JP2965979B2 (ja) | 1997-09-19 | 1998-09-03 | 配線基板、表示装置のアレイ基板、アレイ基板を備えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11163479A true JPH11163479A (ja) | 1999-06-18 |
| JP2965979B2 JP2965979B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=26539476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24977198A Expired - Fee Related JP2965979B2 (ja) | 1997-09-19 | 1998-09-03 | 配線基板、表示装置のアレイ基板、アレイ基板を備えた液晶表示装置、並びに配線基板およびアレイ基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2965979B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2014103384A1 (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-03 | 株式会社 東芝 | 電子機器、液晶パネル |
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-
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- 1998-09-03 JP JP24977198A patent/JP2965979B2/ja not_active Expired - Fee Related
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