JPH1089284A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH1089284A JPH1089284A JP26352396A JP26352396A JPH1089284A JP H1089284 A JPH1089284 A JP H1089284A JP 26352396 A JP26352396 A JP 26352396A JP 26352396 A JP26352396 A JP 26352396A JP H1089284 A JPH1089284 A JP H1089284A
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- rotor
- blades
- turbo
- molecular pump
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
- F04D29/324—Blades
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 排気性能の向上、およびロータ翼を回転させ
る回転発生源の負荷の軽減を図るようにしたターボ分子
ポンプを提供すること。 【解決手段】 磁気軸受２０に支持されるロータ軸１２
に、ロータ翼１４１〜１４４が取り付けられ、このロー
タ翼の間に位置固定のステータ翼１８１〜１８４が配置
されている。そして、このロータ翼とステータ翼とで気
体の排気、圧縮を行う排気段、中間段、および圧縮段を
順次形成している。圧縮段を形成するロータ翼１４４の
各ブレードは、ロータ軸１２に対して傾斜させて放射状
に配置され、かつ各ブレードの幅方向は、ブレードの回
転方向に対して後方側に凸状となるように湾曲させてい
る。このため、各ブレード１４４ｂの周囲では、板面に
沿って気体が流れるので、上側から下側に気体を移動さ
せることができ、ターボ分子ポンプの排気性能が向上す
る。
る回転発生源の負荷の軽減を図るようにしたターボ分子
ポンプを提供すること。 【解決手段】 磁気軸受２０に支持されるロータ軸１２
に、ロータ翼１４１〜１４４が取り付けられ、このロー
タ翼の間に位置固定のステータ翼１８１〜１８４が配置
されている。そして、このロータ翼とステータ翼とで気
体の排気、圧縮を行う排気段、中間段、および圧縮段を
順次形成している。圧縮段を形成するロータ翼１４４の
各ブレードは、ロータ軸１２に対して傾斜させて放射状
に配置され、かつ各ブレードの幅方向は、ブレードの回
転方向に対して後方側に凸状となるように湾曲させてい
る。このため、各ブレード１４４ｂの周囲では、板面に
沿って気体が流れるので、上側から下側に気体を移動さ
せることができ、ターボ分子ポンプの排気性能が向上す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
電子顕微鏡などの真空装置として使用されるターボ分子
ポンプに関する。
電子顕微鏡などの真空装置として使用されるターボ分子
ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】ターボ分子ポンプは、高速回転するロー
タ軸に取付けられたロータ翼と、ケーシングに固定され
たステータ翼とが交互に配置され、ロータ翼とステータ
翼との対が複数段設けられ、これらによって分子流領域
における気体の排気、圧縮を行う排気段、中間段、およ
び圧縮段が形成されている。ロータ翼１は、図７に示す
ように、円環状のリング部１ａと、このリング部１ａの
外周面に放射状に設けられた平板形状の複数のブレード
（羽根）１ｂとから構成されている。各ブレード１ｂ
は、図７に示すように、回転軸Ｒに対して所定角度をも
って傾斜しており、その厚さはほぼ均一となっている。
図８は、ロータ翼１の部分的な平面図であり、図９は、
ブレード１ｂの長さ方向における各位置の断面図であ
る。
タ軸に取付けられたロータ翼と、ケーシングに固定され
たステータ翼とが交互に配置され、ロータ翼とステータ
翼との対が複数段設けられ、これらによって分子流領域
における気体の排気、圧縮を行う排気段、中間段、およ
び圧縮段が形成されている。ロータ翼１は、図７に示す
ように、円環状のリング部１ａと、このリング部１ａの
外周面に放射状に設けられた平板形状の複数のブレード
（羽根）１ｂとから構成されている。各ブレード１ｂ
は、図７に示すように、回転軸Ｒに対して所定角度をも
って傾斜しており、その厚さはほぼ均一となっている。
図８は、ロータ翼１の部分的な平面図であり、図９は、
ブレード１ｂの長さ方向における各位置の断面図であ
る。
【０００３】また、ターボ分子ポンプでは、ロータ翼の
ブレードは、排気段、中間段、および圧縮段で大きさや
傾斜角度が異なるが、その断面の形状は、図９に示すよ
うに平坦な板状である。このような構成からなるターボ
分子ポンプでは、ロータ軸の回転によりロータ翼が回転
し、ロータ翼のブレードは、気体分子を回転方向に叩く
ことにより軸方向に移動させ、これにより排気を行って
いる。
ブレードは、排気段、中間段、および圧縮段で大きさや
傾斜角度が異なるが、その断面の形状は、図９に示すよ
うに平坦な板状である。このような構成からなるターボ
分子ポンプでは、ロータ軸の回転によりロータ翼が回転
し、ロータ翼のブレードは、気体分子を回転方向に叩く
ことにより軸方向に移動させ、これにより排気を行って
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ターボ分子
ポンプの圧縮段側の気体密度は、排気段側の気体密度に
比べて大きくなり、気体が粘性流としての性質を生じる
と考えられ、排気段側のように気体を叩いて移動させよ
うとしても、その移動ができにくくなる。すなわち、図
１０に示すように、特にブレード１ｂの回転方向に対し
て後方側（図面中のブレードの右側）において、気体が
ブレード１ｂの表面に沿って移動できずに剥離を起こ
し、気体をかき混ぜたような状態となるため、排気性能
の向上が図れなくなる。また、気体の乱流のために、ロ
ータ翼を回転させるモータにかかる負荷が増大し、モー
タが必要以上に発熱するという問題が生じていた。
ポンプの圧縮段側の気体密度は、排気段側の気体密度に
比べて大きくなり、気体が粘性流としての性質を生じる
と考えられ、排気段側のように気体を叩いて移動させよ
うとしても、その移動ができにくくなる。すなわち、図
１０に示すように、特にブレード１ｂの回転方向に対し
て後方側（図面中のブレードの右側）において、気体が
ブレード１ｂの表面に沿って移動できずに剥離を起こ
し、気体をかき混ぜたような状態となるため、排気性能
の向上が図れなくなる。また、気体の乱流のために、ロ
ータ翼を回転させるモータにかかる負荷が増大し、モー
タが必要以上に発熱するという問題が生じていた。
【０００５】そこで、本発明は、排気性能の向上、およ
びロータ翼を回転させる回転発生源の負荷の軽減を図る
ようにしたターボ分子ポンプを提供することを目的とす
る。
びロータ翼を回転させる回転発生源の負荷の軽減を図る
ようにしたターボ分子ポンプを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明は、ロータ軸と、このロータ軸を回転自在
に支持する軸受と、この軸受に支持されたロータ軸を回
転させるモータと、ロータ軸に取り付けられ、ロータ軸
に対して所定角度で傾斜させて放射状に複数のブレード
が設けられた複数段のロータ翼と、この複数段のロータ
翼の間に配置された複数段のステータ翼とを備え、前記
ロータ翼の少なくとも一部は、そのブレードの幅方向
を、ブレードの回転方向に対して後方側に凸状となるよ
うに湾曲させている。
めに、本発明は、ロータ軸と、このロータ軸を回転自在
に支持する軸受と、この軸受に支持されたロータ軸を回
転させるモータと、ロータ軸に取り付けられ、ロータ軸
に対して所定角度で傾斜させて放射状に複数のブレード
が設けられた複数段のロータ翼と、この複数段のロータ
翼の間に配置された複数段のステータ翼とを備え、前記
ロータ翼の少なくとも一部は、そのブレードの幅方向
を、ブレードの回転方向に対して後方側に凸状となるよ
うに湾曲させている。
【０００７】このように、本発明では、例えば図４に示
すように、ロータ翼１４４の各ブレード１４４ｂは、そ
の幅方向を、ブレード１４４ｂの回転方向に対して後方
側に凸状となるように湾曲させている。そのため、ロー
タ翼１４４の回転により各ブレード１４４ｂが回転する
と、各ブレード１４４ｂの周囲では、図４に示すよう
に、気体が剥離せずに板面に沿って流れるので、上側の
気体を下側に移動させることができ、ターボ分子ポンプ
の全体としての排気性能が向上する。また、ブレード１
４４ｂの下流側における乱流がなくなって気体の剥離が
発生しないので、ロータ翼１４４を回転させる駆動源で
あるモータにかかる負荷が減少し、この減少によりモー
タの発熱が防止できる。
すように、ロータ翼１４４の各ブレード１４４ｂは、そ
の幅方向を、ブレード１４４ｂの回転方向に対して後方
側に凸状となるように湾曲させている。そのため、ロー
タ翼１４４の回転により各ブレード１４４ｂが回転する
と、各ブレード１４４ｂの周囲では、図４に示すよう
に、気体が剥離せずに板面に沿って流れるので、上側の
気体を下側に移動させることができ、ターボ分子ポンプ
の全体としての排気性能が向上する。また、ブレード１
４４ｂの下流側における乱流がなくなって気体の剥離が
発生しないので、ロータ翼１４４を回転させる駆動源で
あるモータにかかる負荷が減少し、この減少によりモー
タの発熱が防止できる。
【０００８】さらに、本発明では、圧縮段を形成するロ
ータ翼１４４の各ブレード１４４ｂは、その先端部を丸
くしたり、または、各ブレード１４４ｂの表面の表面粗
さを向上させ、上記の効果の一層の向上を図るようにし
ている。
ータ翼１４４の各ブレード１４４ｂは、その先端部を丸
くしたり、または、各ブレード１４４ｂの表面の表面粗
さを向上させ、上記の効果の一層の向上を図るようにし
ている。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の好適な実施の形態
について、図１ないし図６を参照して説明する。図１
は、本発明の第１の実施の形態であるターボ分子ポンプ
の全体の構成を示す断面図である。図２は、同ターボ分
子ポンプの圧縮段におけるロータ翼の部分的な平面図で
ある。図３は、そのロータ翼のブレードの各部の断面図
である。この第１の実施の形態のターボ分子ポンプ１０
は、図１に示すように、略円柱形状のロータ軸１２と、
このロータ軸１２に取り付けられたロータ翼部１４と、
略円筒形状の外装体１６の内周に固定されたステータ翼
部１８と、ロータ軸１２を磁力により支持する磁気軸受
２０と、ロータ軸１２にトルクを発生させるモータ２１
とを備えている。
について、図１ないし図６を参照して説明する。図１
は、本発明の第１の実施の形態であるターボ分子ポンプ
の全体の構成を示す断面図である。図２は、同ターボ分
子ポンプの圧縮段におけるロータ翼の部分的な平面図で
ある。図３は、そのロータ翼のブレードの各部の断面図
である。この第１の実施の形態のターボ分子ポンプ１０
は、図１に示すように、略円柱形状のロータ軸１２と、
このロータ軸１２に取り付けられたロータ翼部１４と、
略円筒形状の外装体１６の内周に固定されたステータ翼
部１８と、ロータ軸１２を磁力により支持する磁気軸受
２０と、ロータ軸１２にトルクを発生させるモータ２１
とを備えている。
【００１０】ロータ翼部１４は、４種類のロータ翼１４
１、１４２、１４３、１４４で構成され、ステータ翼部
１８は、そのロータ翼１４１、１４２、１４３、１４４
に対応する４種類のステータ翼１８１、１８２、１８
３、１８４で構成されている。そして、ロータ翼１４１
〜１４４と、対応するステータ翼１８１〜１８４とは若
干の隙間を持って上下方向に交互に配置されている。こ
のような配置により、例えば、ロータ翼１４１とステー
タ翼１８１とで排気段が形成され、ロータ翼１４２、１
４３とステータ翼１８２、１８３とで中間段が形成さ
れ、ロータ翼１４４とステータ翼１８４とで圧縮段が形
成されている。圧縮段を形成するロータ翼１４４とステ
ータ翼１８４は、気体の排気口３９側からの逆流を防止
するために、後述のブレードが他の部分のブレードより
も密の状態に設けられている。
１、１４２、１４３、１４４で構成され、ステータ翼部
１８は、そのロータ翼１４１、１４２、１４３、１４４
に対応する４種類のステータ翼１８１、１８２、１８
３、１８４で構成されている。そして、ロータ翼１４１
〜１４４と、対応するステータ翼１８１〜１８４とは若
干の隙間を持って上下方向に交互に配置されている。こ
のような配置により、例えば、ロータ翼１４１とステー
タ翼１８１とで排気段が形成され、ロータ翼１４２、１
４３とステータ翼１８２、１８３とで中間段が形成さ
れ、ロータ翼１４４とステータ翼１８４とで圧縮段が形
成されている。圧縮段を形成するロータ翼１４４とステ
ータ翼１８４は、気体の排気口３９側からの逆流を防止
するために、後述のブレードが他の部分のブレードより
も密の状態に設けられている。
【００１１】ロータ翼１４１、１４２、１４３は、図７
に示すロータ翼１と同様に、円環状のリング部と、この
リング部の外周面に放射状に設けられた平板形状の複数
のブレード（羽根）とから構成されている。そして、ブ
レードの大きさや傾斜角度は、ロータ翼１４１、１４
２、１４３によって異なる。ステータ翼１８１、１８
２、１８３は、ロータ翼１４１、１４２、１４３と同様
のブレードを有し、この各ブレードの傾斜方向がロータ
翼１４１、１４２、１４３のブレードの傾斜方向と逆に
なっている。
に示すロータ翼１と同様に、円環状のリング部と、この
リング部の外周面に放射状に設けられた平板形状の複数
のブレード（羽根）とから構成されている。そして、ブ
レードの大きさや傾斜角度は、ロータ翼１４１、１４
２、１４３によって異なる。ステータ翼１８１、１８
２、１８３は、ロータ翼１４１、１４２、１４３と同様
のブレードを有し、この各ブレードの傾斜方向がロータ
翼１４１、１４２、１４３のブレードの傾斜方向と逆に
なっている。
【００１２】次に、ロータ翼１４４の詳細な構成につい
て、図２から図４を参照して説明する。このロータ翼１
４４は、図２に示すように、円環状のリング部１４４ａ
と、このリング部１４４ａの外周面に放射状に設けられ
た複数のブレード１４４ｂとから構成されている。各ブ
レード１４４ｂは、図３に示すように、回転軸に対して
所定角度をもって傾斜しており、かつ、各ブレード１４
４ｂの幅方向を、ブレード１４４ｂの回転方向に対して
後方側に凸状となるように湾曲させている。さらに、各
ブレード１４４ｂは、図４に示すように、先端側１４４
ｂ−１を丸く形成させ、かつ、ブレードの回転方向に対
する後方側の表面１４４ｂ−２の表面粗さを向上させて
いる。ステータ翼１８４は、ステータ翼１８１、１８
２、１８３と同様に構成されている。
て、図２から図４を参照して説明する。このロータ翼１
４４は、図２に示すように、円環状のリング部１４４ａ
と、このリング部１４４ａの外周面に放射状に設けられ
た複数のブレード１４４ｂとから構成されている。各ブ
レード１４４ｂは、図３に示すように、回転軸に対して
所定角度をもって傾斜しており、かつ、各ブレード１４
４ｂの幅方向を、ブレード１４４ｂの回転方向に対して
後方側に凸状となるように湾曲させている。さらに、各
ブレード１４４ｂは、図４に示すように、先端側１４４
ｂ−１を丸く形成させ、かつ、ブレードの回転方向に対
する後方側の表面１４４ｂ−２の表面粗さを向上させて
いる。ステータ翼１８４は、ステータ翼１８１、１８
２、１８３と同様に構成されている。
【００１３】また、上述の磁気軸受２０は、ロータ軸１
２に対して半径方向の磁力と軸方向の磁力をそれぞれ発
生させる半径方向電磁石２２、２４および軸方向電磁石
２６と、ロータ軸１２の半径方向の位置と軸方向の位置
とをそれぞれ検出する半径方向センサ３０、３２、およ
び軸方向センサ３４と、これら半径方向センサ３０、３
２、および軸方向センサ３４の検出信号を基に半径方向
電磁石２２、２４および軸方向電磁石２６などの励磁電
流をそれぞれフィードバック制御する制御系３６とを備
えている。
２に対して半径方向の磁力と軸方向の磁力をそれぞれ発
生させる半径方向電磁石２２、２４および軸方向電磁石
２６と、ロータ軸１２の半径方向の位置と軸方向の位置
とをそれぞれ検出する半径方向センサ３０、３２、およ
び軸方向センサ３４と、これら半径方向センサ３０、３
２、および軸方向センサ３４の検出信号を基に半径方向
電磁石２２、２４および軸方向電磁石２６などの励磁電
流をそれぞれフィードバック制御する制御系３６とを備
えている。
【００１４】次に、このような構成からなる第１の実施
の形態の動作について、図面を参照して説明する。この
実施の形態のターボ分子ポンプ１０の駆動時において
は、磁気軸受２０によってロータ軸１２が所定の浮上位
置に非接触の状態で保持され、この状態でモータ２１が
駆動されることで、ロータ軸１２が回転する。そして、
ステータ翼１８の間で各ロータ翼１４が回転すること
で、図１に示すように、気体が吸気口３８から吸気さ
れ、圧縮されることで排気口３９から排出される。
の形態の動作について、図面を参照して説明する。この
実施の形態のターボ分子ポンプ１０の駆動時において
は、磁気軸受２０によってロータ軸１２が所定の浮上位
置に非接触の状態で保持され、この状態でモータ２１が
駆動されることで、ロータ軸１２が回転する。そして、
ステータ翼１８の間で各ロータ翼１４が回転すること
で、図１に示すように、気体が吸気口３８から吸気さ
れ、圧縮されることで排気口３９から排出される。
【００１５】ところで、ロータ翼１４１とステータ翼１
８１とで形成される排気段と、ロータ翼１４２、１４３
とステータ翼１８２、１８３とで形成される中間段とで
は、気体の流れは分子流として取り扱えるため、気体分
子はロータ翼１４１、１４２、１４３のブレードに叩か
れて排気口３９側に向けて移動する。しかし、ロータ翼
１４４とステータ翼１８４とで形成される圧縮段では、
排気段や中間段に比べて気体密度が大きくなり、分子流
として取り扱うことが出来なくなる。
８１とで形成される排気段と、ロータ翼１４２、１４３
とステータ翼１８２、１８３とで形成される中間段とで
は、気体の流れは分子流として取り扱えるため、気体分
子はロータ翼１４１、１４２、１４３のブレードに叩か
れて排気口３９側に向けて移動する。しかし、ロータ翼
１４４とステータ翼１８４とで形成される圧縮段では、
排気段や中間段に比べて気体密度が大きくなり、分子流
として取り扱うことが出来なくなる。
【００１６】ところが、この第１の実施の形態では、圧
縮段を形成するロータ翼１４４の各ブレード１４４ｂの
幅方向を、図３に示すように、ブレード１４４ｂの回転
方向に対して後方側に凸状となるように湾曲させてい
る。そのため、ロータ翼１４４の回転により各ブレード
１４４ｂが回転すると、各ブレード１４４ｂの周囲で
は、気体が板面に沿って流れて剥離を起こさないので、
上側の気体を下側に移動させることができ、排気性能が
向上する。
縮段を形成するロータ翼１４４の各ブレード１４４ｂの
幅方向を、図３に示すように、ブレード１４４ｂの回転
方向に対して後方側に凸状となるように湾曲させてい
る。そのため、ロータ翼１４４の回転により各ブレード
１４４ｂが回転すると、各ブレード１４４ｂの周囲で
は、気体が板面に沿って流れて剥離を起こさないので、
上側の気体を下側に移動させることができ、排気性能が
向上する。
【００１７】また、ブレード１４４ｂの下流側における
乱流がなくなって気体の剥離が発生しないので、ロータ
翼を回転させる駆動源であるモータにかかる負荷が減少
し、この減少によりモータの発熱を防止できる。さら
に、この実施の形態では、各ブレード１４４ｂは、先端
側１４４ｂ−１を丸く形成させ、その表面１４４ｂ−２
の表面粗さを向上させているので、排気性能が一層向上
する。
乱流がなくなって気体の剥離が発生しないので、ロータ
翼を回転させる駆動源であるモータにかかる負荷が減少
し、この減少によりモータの発熱を防止できる。さら
に、この実施の形態では、各ブレード１４４ｂは、先端
側１４４ｂ−１を丸く形成させ、その表面１４４ｂ−２
の表面粗さを向上させているので、排気性能が一層向上
する。
【００１８】次に、本発明の第２の実施の形態につい
て、図５および図６を参照して説明する。この第２の実
施の形態は、第１の実施の形態におけるロータ翼１４４
を、図５および図６に示すようなロータ翼１４５に代え
たものである。すなわち、第２の実施の形態では、ロー
タ翼１４５が、図５に示すように、円環状のリング部１
４５ａと、このリング部１４５ａの外周面に放射状に設
けられた複数のブレード１４５ｂとから構成されてい
る。各ブレード１４５ｂは、図６に示すように、回転軸
に対して所定角度に傾斜させるとともに、各ブレード１
４４ｂの幅方向を、ブレード１４４ｂの回転方向に対し
て後方側に凸状となるように湾曲させると同時に、その
長さ方向にひねりを加えるようにしたものである。な
お、この第２の実施の形態の他の部分の構成は、第１の
実施の形態と同様であるので、その説明は省略する。
て、図５および図６を参照して説明する。この第２の実
施の形態は、第１の実施の形態におけるロータ翼１４４
を、図５および図６に示すようなロータ翼１４５に代え
たものである。すなわち、第２の実施の形態では、ロー
タ翼１４５が、図５に示すように、円環状のリング部１
４５ａと、このリング部１４５ａの外周面に放射状に設
けられた複数のブレード１４５ｂとから構成されてい
る。各ブレード１４５ｂは、図６に示すように、回転軸
に対して所定角度に傾斜させるとともに、各ブレード１
４４ｂの幅方向を、ブレード１４４ｂの回転方向に対し
て後方側に凸状となるように湾曲させると同時に、その
長さ方向にひねりを加えるようにしたものである。な
お、この第２の実施の形態の他の部分の構成は、第１の
実施の形態と同様であるので、その説明は省略する。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、ロー
タ翼のブレードの幅方向を、ブレードの回転方向に対し
て後方側に凸状となるように湾曲させたので、排気性能
の向上、およびロータ翼の回転発生源の負荷の軽減が図
れる。
タ翼のブレードの幅方向を、ブレードの回転方向に対し
て後方側に凸状となるように湾曲させたので、排気性能
の向上、およびロータ翼の回転発生源の負荷の軽減が図
れる。
【図１】本発明の第１の実施の形態によるターボ分子ポ
ンプの断面図である。
ンプの断面図である。
【図２】圧縮段におけるロータ翼の部分的な平面図であ
る。
る。
【図３】同ロータ翼のブレードの断面図である。
【図４】同ブレードの作用を説明する図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態の圧縮段におけるロ
ータ翼の部分的な平面図である。
ータ翼の部分的な平面図である。
【図６】同ロータ翼のブレードの各部の断面図である。
【図７】従来のターボ分子ポンプのロータ翼の斜視図で
ある。
ある。
【図８】同ロータ翼の部分的な平面図である。
【図９】同ロータ翼のブレードの断面図である。
【図１０】同ブレードの作用を説明する図である。
１０ ターボ分子ポンプ １２ ロータ軸 １４ ロータ翼部 １４１、１４２、１４３、１４４、１４５ ロータ翼 １４４ａ、１４５ａ リング部 １４４ｂ、１４５ｂ ブレード １８ ステータ翼部 １８１、１８２、１８３、１８４ ステータ翼 ２０ 磁気軸受
Claims (4)
- 【請求項１】 ロータ軸と、 このロータ軸を回転自在に支持する軸受と、 この軸受に支持された前記ロータ軸を回転させるモータ
と、 前記ロータ軸に取り付けられ、ロータ軸に対して所定角
度で傾斜させて放射状に複数のブレードが設けられた複
数段のロータ翼と、 この複数段のロータ翼の間に配置された複数段のステー
タ翼とを備え、 前記ロータ翼の少なくとも一部は、そのブレードの幅方
向を、ブレードの回転方向に対して後方側に凸状となる
ように湾曲させたことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記湾曲させたブレードは、その長さ方
向にねじれを加えたことを特徴とする請求項１記載のタ
ーボ分子ポンプ。 - 【請求項３】 前記湾曲させたブレードは、先端側を丸
くしたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の
ターボ分子ポンプ。 - 【請求項４】 前記湾曲させたブレードは、ブレードの
回転方向に対して後方側の表面の表面粗さを向上させた
ことを特徴とする請求項１、請求項２、または請求項３
記載のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26352396A JPH1089284A (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | ターボ分子ポンプ |
| EP97306652A EP0829645A3 (en) | 1996-09-12 | 1997-08-29 | Turbomolecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26352396A JPH1089284A (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1089284A true JPH1089284A (ja) | 1998-04-07 |
Family
ID=17390728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26352396A Pending JPH1089284A (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0829645A3 (ja) |
| JP (1) | JPH1089284A (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| WO2009101699A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Shimadzu Corporation | ターボ分子ポンプ |
| KR20150119549A (ko) * | 2014-04-15 | 2015-10-26 | 한밭대학교 산학협력단 | 터보분자식 수증기 압축장치 |
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| DE2229724B2 (de) * | 1972-06-19 | 1980-06-04 | Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln | Turbomolekularpumpe |
| DE7237362U (de) * | 1972-10-12 | 1973-01-11 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Turbomolekularvakuumpumpe |
| SU1252552A1 (ru) * | 1984-06-01 | 1986-08-23 | Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском государственном университете им.Н.И.Лобачевского | Ротор радиального турбомолекул рного вакуумного насоса |
| DE3507274A1 (de) * | 1985-03-01 | 1986-09-04 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Scheiben mit schaufeln hoher stabilitaet fuer turbomolekularpumpen |
| WO1994007033A1 (en) * | 1992-09-23 | 1994-03-31 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Turbo-molecular blower |
-
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-
1997
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008136084A1 (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-13 | Shimadzu Corporation | ターボ分子ポンプ |
| WO2009101699A1 (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Shimadzu Corporation | ターボ分子ポンプ |
| CN102007298A (zh) * | 2008-02-15 | 2011-04-06 | 株式会社岛津制作所 | 涡轮分子泵 |
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| KR20150119549A (ko) * | 2014-04-15 | 2015-10-26 | 한밭대학교 산학협력단 | 터보분자식 수증기 압축장치 |
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