JPH0640955Y2 - 磁気軸受型ターボ分子ポンプ - Google Patents
磁気軸受型ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH0640955Y2 JPH0640955Y2 JP13975088U JP13975088U JPH0640955Y2 JP H0640955 Y2 JPH0640955 Y2 JP H0640955Y2 JP 13975088 U JP13975088 U JP 13975088U JP 13975088 U JP13975088 U JP 13975088U JP H0640955 Y2 JPH0640955 Y2 JP H0640955Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- molecular pump
- magnetic bearing
- blade
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は磁気軸受型ターボ分子ポンプに関するものであ
る。
る。
第３図は従来の玉軸受を用いたターボ分子ポンプの構造
を示す縦断面図である。図示するように、ターボ分子ポ
ンプは外周に多数段の動翼13が形成されたロータ胴14が
ロータ軸15に固定されてなるロータと、多数段の静翼12
を有するステータ11を具備し、該ロータを玉軸受16,17
にて支承し、ロータを高速回転することによりロータ胴
14の動翼13がステータ11の静翼12と静翼12の間を通過す
る構造である。また、磁気軸受型ターボ分子ポンプは回
転軸15を磁気軸受で支承する構造である。
を示す縦断面図である。図示するように、ターボ分子ポ
ンプは外周に多数段の動翼13が形成されたロータ胴14が
ロータ軸15に固定されてなるロータと、多数段の静翼12
を有するステータ11を具備し、該ロータを玉軸受16,17
にて支承し、ロータを高速回転することによりロータ胴
14の動翼13がステータ11の静翼12と静翼12の間を通過す
る構造である。また、磁気軸受型ターボ分子ポンプは回
転軸15を磁気軸受で支承する構造である。
上記構造のターボ分子ポンプにおいて、ロータを高速回
転することにより、気体分子は吸引側Ａから排出側Ｂへ
と移動する。
転することにより、気体分子は吸引側Ａから排出側Ｂへ
と移動する。
上記従来のターボ分子ポンプでは、動翼13と静翼12のク
リアランスC1,C2,・・・・,Cnを吸気側Ａと排気側Ｂで同じ
寸法になるように調節し組立てていた。このように動翼
13と静翼12のクリアランスC1,C2,・・・・,Cnを一定にして
も、ロータ軸を球軸受で支承する場合はよいが、磁気軸
受型ターボ分子ポンプでは軸受のクリアランスが大きい
ため、磁気軸受の異常時には、第４図に示すように真の
軸心Ｙ−Ｙに対してロータが傾き（Ｙ′−Ｙ′はロータ
軸の軸心を示す）、吸引側の動翼３と静翼２とが接触す
る場合がある（D,D部分を参照）。ターボ分子ポンプの
ロータは高速で回転しているから、この接触により、静
翼２や動翼３等が破損することがある。
リアランスC1,C2,・・・・,Cnを吸気側Ａと排気側Ｂで同じ
寸法になるように調節し組立てていた。このように動翼
13と静翼12のクリアランスC1,C2,・・・・,Cnを一定にして
も、ロータ軸を球軸受で支承する場合はよいが、磁気軸
受型ターボ分子ポンプでは軸受のクリアランスが大きい
ため、磁気軸受の異常時には、第４図に示すように真の
軸心Ｙ−Ｙに対してロータが傾き（Ｙ′−Ｙ′はロータ
軸の軸心を示す）、吸引側の動翼３と静翼２とが接触す
る場合がある（D,D部分を参照）。ターボ分子ポンプの
ロータは高速で回転しているから、この接触により、静
翼２や動翼３等が破損することがある。
本考案は上述の点に鑑みてなされたもので、上記問題を
除去し、磁気軸受の異常時でも静翼、動翼が接触破損を
防止できる磁気軸受型ターボ分子ポンプを提供すること
にある。
除去し、磁気軸受の異常時でも静翼、動翼が接触破損を
防止できる磁気軸受型ターボ分子ポンプを提供すること
にある。
上記課題を解決するため本考案は、多数段の動翼を有す
るロータと、多数段の静翼を有するステータを具備し、
該ロータを磁気軸受にて支承し、ロータを回転すること
によりステータの静翼間をロータの動翼が通過する構造
の磁気軸受型ターボ分子ポンプにおいて、動翼と静翼の
クリアランスを吸気側を排気側より大きくしたことを特
徴とする。
るロータと、多数段の静翼を有するステータを具備し、
該ロータを磁気軸受にて支承し、ロータを回転すること
によりステータの静翼間をロータの動翼が通過する構造
の磁気軸受型ターボ分子ポンプにおいて、動翼と静翼の
クリアランスを吸気側を排気側より大きくしたことを特
徴とする。
磁気軸受型ターボ分子ポンプを上記の如く構成すること
により、磁気軸受の異常時にロータが傾いても静翼と動
翼が接触することがないから、これらの破損を防止でき
る。
により、磁気軸受の異常時にロータが傾いても静翼と動
翼が接触することがないから、これらの破損を防止でき
る。
以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本考案に係るターボ分子ポンプの静翼及び動翼
部分を示す断面図、第２図（ａ）はこのターボ分子ポン
プの吸引側静翼の展開図、第２図（ｂ）は同図（ａ）の
Ｅ−Ｅ断面矢視図である。
部分を示す断面図、第２図（ａ）はこのターボ分子ポン
プの吸引側静翼の展開図、第２図（ｂ）は同図（ａ）の
Ｅ−Ｅ断面矢視図である。
静翼２は第２図（ａ）に示すようにリング状板体６の内
方に放射に一体的に形成されている。この静翼２はその
翼幅が外径部で大きくならないように切欠部2aを形成し
ている。静翼２はリング状板体６に沿って形成された溝
状切欠部6aの幅分だけを上方に折り曲げて形成されてお
り、これにより第２図（ｂ）に示すように静翼２の外径
部の翼幅が大きくならない。
方に放射に一体的に形成されている。この静翼２はその
翼幅が外径部で大きくならないように切欠部2aを形成し
ている。静翼２はリング状板体６に沿って形成された溝
状切欠部6aの幅分だけを上方に折り曲げて形成されてお
り、これにより第２図（ｂ）に示すように静翼２の外径
部の翼幅が大きくならない。
本考案に係るターボ分子ポンプの静翼は第１図に示すよ
うに、ロータ胴４の動翼３と動翼３の間に静翼２が位置
するようにケーシング１の内側にスペーサ５を介在させ
て積み重ねている。そして、静翼２と動翼３のクリアラ
ンスC1,C2,C3,C4,C5,・・・・はC1>C2>C3>C4>C5>になるよう
に設定されている。即ち、吸引側のクリアランスを排出
側のクリアランスより大きく設定している。
うに、ロータ胴４の動翼３と動翼３の間に静翼２が位置
するようにケーシング１の内側にスペーサ５を介在させ
て積み重ねている。そして、静翼２と動翼３のクリアラ
ンスC1,C2,C3,C4,C5,・・・・はC1>C2>C3>C4>C5>になるよう
に設定されている。即ち、吸引側のクリアランスを排出
側のクリアランスより大きく設定している。
このように静翼２と動翼３のクリアランスの吸引側をク
リアランスの排出側より大きく設定することにより、磁
気軸受の異常時にロータが傾いても、吸引端側の静翼２
と動翼３が接触しないから、これらが破損されることも
ない。また、静翼２は翼幅は切欠部2aだけ小さくなり、
それによるクリアランスが増加するが、このクリアラン
スの増加は静翼２の外径部分に留まるのでターボ分子ポ
ンプの性能の低下を最小限に抑えることが可能である。
リアランスの排出側より大きく設定することにより、磁
気軸受の異常時にロータが傾いても、吸引端側の静翼２
と動翼３が接触しないから、これらが破損されることも
ない。また、静翼２は翼幅は切欠部2aだけ小さくなり、
それによるクリアランスが増加するが、このクリアラン
スの増加は静翼２の外径部分に留まるのでターボ分子ポ
ンプの性能の低下を最小限に抑えることが可能である。
以上、説明したように本考案によれば、動翼と静翼のク
リアランスを吸気側を排気側より大きくしたので、磁気
軸受の異常時にロータが傾いても静翼と動翼が接触する
ことがないから、これらの破損を防止できるという優れ
た効果が得られる。
リアランスを吸気側を排気側より大きくしたので、磁気
軸受の異常時にロータが傾いても静翼と動翼が接触する
ことがないから、これらの破損を防止できるという優れ
た効果が得られる。
第１図は本考案に係るターボ分子ポンプの静翼及び動翼
部分を示す断面図、第２図（ａ）はターボ分子ポンプの
吸引側静翼の展開図、第２図（ｂ）は同図（ａ）のＥ−
Ｅ断面矢視図、第３図は従来の玉軸受を用いたターボ分
子ポンプの構造を示す縦断面図、第４図はロータが傾い
た状態を示す図である。 図中、１……ケーシング、２……静翼、３……動翼、４
……ロータ胴、５……ロータ軸、６……リング状板体。
部分を示す断面図、第２図（ａ）はターボ分子ポンプの
吸引側静翼の展開図、第２図（ｂ）は同図（ａ）のＥ−
Ｅ断面矢視図、第３図は従来の玉軸受を用いたターボ分
子ポンプの構造を示す縦断面図、第４図はロータが傾い
た状態を示す図である。 図中、１……ケーシング、２……静翼、３……動翼、４
……ロータ胴、５……ロータ軸、６……リング状板体。
Claims (1)
- 【請求項１】多数段の動翼を有するロータと、多数段の
静翼を有するステータを具備し、該ロータを磁気軸受に
て支承し、前記ロータを回転することにより前記ステー
タの静翼間をロータの動翼が通過する構造の磁気軸受型
ターボ分子ポンプにおいて、前記動翼と静翼のクリアラ
ンスを吸気側を排気側より大きくしたことを特徴とする
磁気軸受型ターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13975088U JPH0640955Y2 (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 磁気軸受型ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13975088U JPH0640955Y2 (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 磁気軸受型ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0261198U JPH0261198U (ja) | 1990-05-07 |
| JPH0640955Y2 true JPH0640955Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=31403301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13975088U Expired - Lifetime JPH0640955Y2 (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 磁気軸受型ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640955Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-10-26 JP JP13975088U patent/JPH0640955Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0261198U (ja) | 1990-05-07 |
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