JPH05106587A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH05106587A JPH05106587A JP18702991A JP18702991A JPH05106587A JP H05106587 A JPH05106587 A JP H05106587A JP 18702991 A JP18702991 A JP 18702991A JP 18702991 A JP18702991 A JP 18702991A JP H05106587 A JPH05106587 A JP H05106587A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port side
- side moving
- moving blades
- exhaust
- exhaust port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 動翼にかかる応力を増加することなく排気性
能を向上したターボ分子ポンプを得る。 【構成】 ターボ分子ポンプ１において前記吸気口側動
翼４ａの外径Ａを排気口側動翼５ａの外径Ｂより大きく
し、吸気口側動翼４ａの周速が増加し、該動翼４ａの応
力条件をきびしくしない範囲で排気速度が向上する。
能を向上したターボ分子ポンプを得る。 【構成】 ターボ分子ポンプ１において前記吸気口側動
翼４ａの外径Ａを排気口側動翼５ａの外径Ｂより大きく
し、吸気口側動翼４ａの周速が増加し、該動翼４ａの応
力条件をきびしくしない範囲で排気速度が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣや半導体等の製造
に使用されるターボ分子ポンプのロータ形状に関する。
に使用されるターボ分子ポンプのロータ形状に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来ターボ分子ポンプの動翼の直径は吸
気口側から排気口側まで同一に形成されていた。
気口側から排気口側まで同一に形成されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のターボ分子
ポンプにおいて排気速度や圧縮比等の排気性能を向上し
ようとすると、動翼の外径を大きくする必要がある。し
かしながら動翼の外径を大きくすると、動翼を支持固定
している動翼内径部に生じる応力が大きくなり、動翼の
材料（例えばAl合金）の強度が不足して破損する危険性
が生じ、特に前記応力は排気口側動翼内径部がより大き
く作用するため、従来は排気口側動翼内径に合わせて全
ての動翼の外径を同一に制限しており排気性能の向上が
し難い問題を有していた。
ポンプにおいて排気速度や圧縮比等の排気性能を向上し
ようとすると、動翼の外径を大きくする必要がある。し
かしながら動翼の外径を大きくすると、動翼を支持固定
している動翼内径部に生じる応力が大きくなり、動翼の
材料（例えばAl合金）の強度が不足して破損する危険性
が生じ、特に前記応力は排気口側動翼内径部がより大き
く作用するため、従来は排気口側動翼内径に合わせて全
ての動翼の外径を同一に制限しており排気性能の向上が
し難い問題を有していた。
【０００４】本発明は上記の課題を解決し、動翼にかか
る応力を増大することなく排気性能を向上したターボ分
子ポンプを提供することを目的とする。
る応力を増大することなく排気性能を向上したターボ分
子ポンプを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、吸気口側動翼の外径を排気口側動翼の外径
より大きくしたことを特徴とする。
成するため、吸気口側動翼の外径を排気口側動翼の外径
より大きくしたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】上記の構成により、吸気口側動翼の周速が増加
し該動翼の応力条件をきびしくしない範囲で排気速度が
向上する。
し該動翼の応力条件をきびしくしない範囲で排気速度が
向上する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の１実施例を第１図により説明
する。
する。
【０００８】１はターボ分子ポンプを示し、該ターボ分
子ポンプ１は筐体１ａ内に設けられた回転軸１ｂに固定
されたロータ１ｃを有する。
子ポンプ１は筐体１ａ内に設けられた回転軸１ｂに固定
されたロータ１ｃを有する。
【０００９】２は吸気口、３は排気口を示し、該ロータ
１ｃの外周面には複数段の吸気口側動翼４ａ…４ａと多
数の排気口側動翼５ａ…５ａが突設されており、これら
吸気口側動翼４ａと、排気口側動翼５ａとに近接してそ
れぞれ静翼４ｂ及び５ｂが前記筐体１ａの内周面に突設
されている。
１ｃの外周面には複数段の吸気口側動翼４ａ…４ａと多
数の排気口側動翼５ａ…５ａが突設されており、これら
吸気口側動翼４ａと、排気口側動翼５ａとに近接してそ
れぞれ静翼４ｂ及び５ｂが前記筐体１ａの内周面に突設
されている。
【００１０】又前記吸気口側動翼４ａの外径Ａは排気口
側動翼５ｂの外径Ｂより大きく形成され、且つ該吸気口
側動翼４ａの厚みＣは吸気口２側が厚く順次下方段に行
くに従って薄く形成されている。
側動翼５ｂの外径Ｂより大きく形成され、且つ該吸気口
側動翼４ａの厚みＣは吸気口２側が厚く順次下方段に行
くに従って薄く形成されている。
【００１１】６はベース部を示し、該ベース部６に前記
筐体１ａを嵌挿螺止すると共に内部ハウジング７ａ及び
７ｂが嵌入螺止されている。
筐体１ａを嵌挿螺止すると共に内部ハウジング７ａ及び
７ｂが嵌入螺止されている。
【００１２】８ａ、８ｂは前記内部ハウジング７ａ及び
ベース部６内に設けられたラジアル軸受、９はスラスト
磁気軸受を示し、これら軸受８ａ、８ｂ、９に前記回転
軸１ｂを支承するようにした。又該回転軸１ｂの下部に
モータ１０のロータ１０ａが固定され、該モータ１０の
駆動により前記ロータ１ｃを駆動し、前記吸気口側動翼
４ａ…４ａ及び排気口側動翼５ａ…５ａを回転するよう
にした。
ベース部６内に設けられたラジアル軸受、９はスラスト
磁気軸受を示し、これら軸受８ａ、８ｂ、９に前記回転
軸１ｂを支承するようにした。又該回転軸１ｂの下部に
モータ１０のロータ１０ａが固定され、該モータ１０の
駆動により前記ロータ１ｃを駆動し、前記吸気口側動翼
４ａ…４ａ及び排気口側動翼５ａ…５ａを回転するよう
にした。
【００１３】又前記内部ハウジング７ａの頂部及び前記
ベース部６の底部には磁気軸受制御異常時に前記回転軸
１ｂを軸支する非常用玉軸受１１ａ、１１ｂを設けた。
尚、１２は配線用コネクターを示す。
ベース部６の底部には磁気軸受制御異常時に前記回転軸
１ｂを軸支する非常用玉軸受１１ａ、１１ｂを設けた。
尚、１２は配線用コネクターを示す。
【００１４】次に上記実施例の作動を説明する。
【００１５】ターボ分子ポンプ１のモータ１０に通電す
るとロータ１ｃが高速に回転し、該ロータ１ｃに突設さ
れた吸気口側動翼４ａ及び排気口側動翼５ａと、筐体１
ａから突設した静翼４ｂ、５ｂとの間に気体の流れが生
じ、吸気口２から排気口３に向って排気作用を起す。
るとロータ１ｃが高速に回転し、該ロータ１ｃに突設さ
れた吸気口側動翼４ａ及び排気口側動翼５ａと、筐体１
ａから突設した静翼４ｂ、５ｂとの間に気体の流れが生
じ、吸気口２から排気口３に向って排気作用を起す。
【００１６】この場合例えば従来の全段が同径で動翼の
外径が３２０mmでロータ１ｃの回転数が２１，６００r.
p.m とすると、吸気口側動翼内周ｄ1 、での応力は１６
Kgf/mm2 、排気口側動翼内周ｄ2 での応力は２０Kgf/mm
2 となり排気速度は２８００l/s となる。
外径が３２０mmでロータ１ｃの回転数が２１，６００r.
p.m とすると、吸気口側動翼内周ｄ1 、での応力は１６
Kgf/mm2 、排気口側動翼内周ｄ2 での応力は２０Kgf/mm
2 となり排気速度は２８００l/s となる。
【００１７】しかし本実施例の吸気口側動翼４ａの４段
の外径を３４０mmとし排気口側動翼１２段の外径を３２
０mmとしロータ１ｃの回転数を従来と同様の２１，６０
０r.p.m とした場合、吸気口側動翼４ａ及び排気口側動
翼内周での応力は１９〜２０Kgf/mm2 となり、排気速度
は３２００ l/sとなる。
の外径を３４０mmとし排気口側動翼１２段の外径を３２
０mmとしロータ１ｃの回転数を従来と同様の２１，６０
０r.p.m とした場合、吸気口側動翼４ａ及び排気口側動
翼内周での応力は１９〜２０Kgf/mm2 となり、排気速度
は３２００ l/sとなる。
【００１８】即ち排気速度が従来より４００ l/s向上
し、且つ排気口側動翼内径ｄ2 部の応力は２０Kgf/mm2
で従来と同じ応力に維持される。
し、且つ排気口側動翼内径ｄ2 部の応力は２０Kgf/mm2
で従来と同じ応力に維持される。
【００１９】
【発明の効果】このように本発明によれば、ターボ分子
ポンプの吸気口側の動翼の外径を排気口側の動翼の外径
より大きくすることにより、排気口側動翼にかかる応力
を同じくして排気性能特に排気速度を向上することが可
能となり、小型高性能のターボ分子ポンプを得ることが
できる優れた効果を有する。
ポンプの吸気口側の動翼の外径を排気口側の動翼の外径
より大きくすることにより、排気口側動翼にかかる応力
を同じくして排気性能特に排気速度を向上することが可
能となり、小型高性能のターボ分子ポンプを得ることが
できる優れた効果を有する。
【図１】本発明の１実施例を示す縦断面図である。
１ ターボ分子ポンプ 1a 筐体 4a 吸気口側動翼 5a 排気口側動翼
Claims (1)
- 【請求項１】 筐体内に動翼と静翼とを有するターボ分
子ポンプにおいて、吸気口側動翼の外径を排気口側動翼
の外径より大きくしたことを特徴とするターボ分子ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18702991A JPH05106587A (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18702991A JPH05106587A (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05106587A true JPH05106587A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=16198947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18702991A Pending JPH05106587A (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05106587A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6019581A (en) * | 1995-08-08 | 2000-02-01 | Leybold Aktiengesellschaft | Friction vacuum pump with cooling arrangement |
| RU2560133C1 (ru) * | 2014-10-10 | 2015-08-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Владимирский центр механической обработки" | Однопоточный четырехступенчатый турбомолекулярный насос |
-
1991
- 1991-07-02 JP JP18702991A patent/JPH05106587A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6019581A (en) * | 1995-08-08 | 2000-02-01 | Leybold Aktiengesellschaft | Friction vacuum pump with cooling arrangement |
| RU2560133C1 (ru) * | 2014-10-10 | 2015-08-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Владимирский центр механической обработки" | Однопоточный четырехступенчатый турбомолекулярный насос |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4395210B2 (ja) | 真空ポンプの改良 | |
| JP3961273B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP6331491B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP3047292B1 (ja) | ターボ分子ポンプ及び真空装置 | |
| JP2003515038A (ja) | 高速ターボポンプ | |
| JP2003515037A5 (ja) | ||
| JPS60125795A (ja) | 複合真空ポンプ | |
| EP1039138A2 (en) | Vacuum pump with inverted motor | |
| JPH05106587A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| EP0829645A2 (en) | Turbomolecular pump | |
| JPS60204997A (ja) | 複合真空ポンプ | |
| JP3079367B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH0538389U (ja) | 真空ポンプ | |
| JP3710584B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH10246197A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2011027049A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2585265Y2 (ja) | 排気ポンプ | |
| JP3734616B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH0536093U (ja) | 真空ポンプ | |
| JPS6361798A (ja) | 多段一体羽根車 | |
| JP2000110771A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP7371852B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2557551Y2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JPH03237297A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH11218093A (ja) | ターボ分子ポンプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000605 |