DE7237362U - Turbomolekularvakuumpumpe - Google Patents
TurbomolekularvakuumpumpeInfo
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- DE7237362U DE7237362U DE7237362U DE7237362DU DE7237362U DE 7237362 U DE7237362 U DE 7237362U DE 7237362 U DE7237362 U DE 7237362U DE 7237362D U DE7237362D U DE 7237362DU DE 7237362 U DE7237362 U DE 7237362U
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- Germany
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- blades
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- vacuum pump
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
72.026
LEYBOLD-HERAEUS GMBH. & CO„KG,
Köln-Bayental
Turbomolekularvakuumpumpe
Die Neuerung bezieht sich auf eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- und Statorschaufelstufen, bei der mehrere Stufengruppen
vorgesehen sind, deren Schaufeln unterschiedliche, jedoch innerhalb einer Gruppe gleiche Überlappungsgrade und Anstellwinkel
aufweisen. Bei derartigen Pumpen ist die Drehzahl des Rotors derart gewählt, daß die Rotorschaufeln sich mit einer
Umlaufgeschwindigkeit bewegen, die dem 0,4- bis 0,6fachem der mittleren Molekulargeschwindigkeit entspricht„ In der Praxis
bezieht man sich dabei auf die mittlere Molekulargeschwindigkeit des Stickstoffes.
Der Oberlappungsgrad ist definiert als das Verhältnis der
Schaufelbreite zum Abstand einer Schaufelvorderkante zur nächsten Schaufelvorderkante, Unter dem Anstellwinkel wird
der Winkel verstanden, den die Schaufel mit einer zur Drehachse senkrechten Ebene bildet= Als Schaufelstufe wird ein
Rotor- bzw. Statorschaufelkranz bezeichnet.
Aus der DT-OS 2 046 6 39 ist es bekannt, in Turbomolekularvakuumpumpen
Rotor- und Statorschaufelstufen mit unterschiedlichen Überlappungsgraden und Anstellwinkeln einzubauen. Ausgehend
von diesem Stand der Technik liegt der vorliegenden Neuerung die Aufgabe zugrunde, eine Turbomolekularvakuumpumpe
der eingangs genannten Art zu schaffen, die gleichzeitig hinsichtlich des Saug- und Kompressionsvermögens optimale Werte
aufweist und hinsichtlich der Fertigung eine vernünftige und leicht zu realisierende Lösung darstellt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die
Schaufeln einer ersten, ansaugseitig angeordneten Gruppe (Sauggruppe) , b€3t*?h°Tid aus vier" bis acht Rotor- bzw.
Statorschaufelstufen, einen Öberlappungsgrad 2 und einen Anstellwinkel von 30° bis 40° aufweisen und daß die Schaufeln
einer zweiten Gruppe (Kompressionsgruppe), bestehend aus den restlichen Rotor- bzw. Statorschaufelstufen, einen Öberlappungsgrad
1 und einen Anstellwinkel von 17° bis, 30° aufweisen. Die Anzahl der Stufen der zweiten Gruppe richtet sich nach
dem gewünschten Kompressionsvermögen und liegtfür den praktischen Fall eines Kompressionsverhältnisses für Stickstoff
S 7
von 10 bis 10 bei etwa 17 bis 23 Stufen. Aufgrund eingehender
Untersuchungen wurde gefunden, daß eine in dieser Weise ausgebildete Turbomolekularvakuumpumpe überraschend
gute Werte hinsichtlich des Saugvermögens und des !Compressions-Vermögens
aufweist» Da außerdem nur zwei Gruppen von Schaufelstufen vorgesehen sind, die untereinander gleiche Überlappungsgrade und Anstellwinkel aufweisen, ist auch diefserienmäßige
Fertigung der Pumpe besonders einfach.
Um eine gute Anpassung der Sauggruppe an die nachfolgende Kompressionsgruppe zu erreichen, ist es vorteilhaft, die
zweite Gruppe in zwei Untergruppen aufzuteilen, wobei die Schaufeln der ersten Untergruppe, die sich an die Schaufeln
der Sauggruppe anschließen, einen Öberlappungsgrad 1 und einen Anstellwinkel von 25° bis 30° aufweisen und daß die Schaufeln
der zweiten Untergruppe einen Öberlappungsgrad 1 und einen Anstellwinkel von 17° bis 25° aufweisen.
Einzelheiten der Neuerung sollen anhand der Figuren 1 und 2 erläutert werden:
Figur 1 zeigt zwei Schaufeln 1 und 2 einer Schaufelstufe 3„
Aus dieser Figur ist die Definition des Oberlappungsgrades
als das Verhältnis von Schaufelbreite b zum Abstand s einer Schaufelvorderkante zur nächsten Schaufelvorderkante
ersichtlich. Der Anstellwinkel ist mit ^C bezeichnet. .
- 3 - [Q
In der Figur 2 ist ein Teil eines Schnittes durch eine Turbomolekularvakuumpumpe H mit einem Rotor 5 und Rotorschaufeln 6 sowie einem Stator 7 und Statorschaufeln 8 dargestellt.
Die ersten sechs Stator- bzw. Rotorschaufelstufen bilden die Sauggruppe A, die dem nicht-dargestellten, zu
evakuierenden Rezipienten zugewandt ist. Die restlichen Schaufelstufen bilden die Kompressionsgruppe B.
Entsprechend der Neuerung weisen die Schaufeln der Sauggruppe A einen Oberlappungsgrad von s/b = 2 und einen Anstellwinkel ^C
von 30° bis 40° auf. Die Schaufeln der Kompressionsgruppe B
weisen alle einen Oberlappungsgrad s/b = 1 auf. Auch ihr Anstellwinkel kann entsprechend der Neuerung gleich sein,
nämlich 17° bis 30°. Beim Ausführungsbeispiel ist jedoch die Kompressionsgruppe B in zwei Untergruppen B1 und Bg unterteilt.
Der Anstellwinkel der Schaufeln der Gruppe B. beträgt 25° bis 30°, während die Schaufeln der Untergruppe B« einen Anstellwinkel
von 17° bis 25° aufweisen. Dadurch wird ein besserer Obergang erreicht.
7237382 u ι η
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Claims (3)
1. Turbomolekularvakuumpumpe mit Rotor- und Statorschaufelstufen, bei der mehrere Stufengruppen vorgesehen sind,
deren Schaufeln unterschiedliche, jedoch innerhalb einer Gruppe gleiche Überlappungsgrade und Anstellwinkel aufweisen,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schaufeln (6,8) einer ersten, ansaugseitig angeordneten Gruppe (Sauggruppe
A), bestehend aus vier bis acht Rotor- bzw. Statorschaufelstufen, einen Oberlappungsgrad 2 und einen Anstellwinkel
J^ von 30° bis 40° aufweisen und daß die
Schaufeln (6,ß) einer zweiten Gruppe (Kompressionsgruppe B), bestehend aus den restlichen Rotor- bzw. Statorschaufelstufen
einen Oberlappungsgrad 1 und einen Anstellwinkel öC von 17° bis 30Q aufweisen.
2. Turbomolekularvakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Schaufeln der zweiten Gruppe (B) einen Anstellwinkel «&, von 17° bis 25° aufweisen.
3. Turbomolekularvakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet
, daß die zweite Gruppe (B) aufgeteilt ist in zwei Untergruppen (B^ und Bj), wobei die Schaufeln der
ersten Untergruppe (B1), die sich an die Schaufeln der
ersten Gruppe (A) anschließen, einen Oberlappungsgrad 1 und einen Anstellwinkel dC von 25° bis 30° aufweisen, und
daß die Schaufeln der zweiten Untergruppe (B2) einen Ober
lappungsgr.
aufweisen.
lappungsgrad 1 und einen Anstellwinkel ^C von 17 bis 25°
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE7237362T | 1972-10-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE7237362U true DE7237362U (de) | 1973-01-11 |
Family
ID=1285718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE7237362U Expired DE7237362U (de) | 1972-10-12 | 1972-10-12 | Turbomolekularvakuumpumpe |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE7237362U (de) |
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-
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- 1972-10-12 DE DE7237362U patent/DE7237362U/de not_active Expired
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