JPH10275835A - ウエハ検査装置 - Google Patents
ウエハ検査装置Info
- Publication number
- JPH10275835A JPH10275835A JP9080004A JP8000497A JPH10275835A JP H10275835 A JPH10275835 A JP H10275835A JP 9080004 A JP9080004 A JP 9080004A JP 8000497 A JP8000497 A JP 8000497A JP H10275835 A JPH10275835 A JP H10275835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- test
- prober
- heads
- probe unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハサイズの大口径化に伴うプローバの設
置面積増加を抑制し、ウエハ検査装置全体の設置面積を
抑制し、また、1ウエハ当りの検査時間の増大を避け
る。 【解決手段】 2つのテストヘッドが接続される1つの
テスタと、1つのプローブユニット、1つのウエハステ
ージを有する1つのプローバより構成し、2つのテスト
ヘッドと1つのプローブユニットをテストボードを介し
て接続し、2つのテストヘッドで1つのウエハ上の複数
チップを同時に検査する。
置面積増加を抑制し、ウエハ検査装置全体の設置面積を
抑制し、また、1ウエハ当りの検査時間の増大を避け
る。 【解決手段】 2つのテストヘッドが接続される1つの
テスタと、1つのプローブユニット、1つのウエハステ
ージを有する1つのプローバより構成し、2つのテスト
ヘッドと1つのプローブユニットをテストボードを介し
て接続し、2つのテストヘッドで1つのウエハ上の複数
チップを同時に検査する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、テスタとプローバを含
むウエハ検査装置に関する。
むウエハ検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のウエハ検査装置は、図4
に示すように、2つのテストヘッド2a,2bが接続さ
れる1つのテスタ1と、各々のテストヘッドに接続され
る2つのプローバ8a,8bより構成されている。
に示すように、2つのテストヘッド2a,2bが接続さ
れる1つのテスタ1と、各々のテストヘッドに接続され
る2つのプローバ8a,8bより構成されている。
【0003】上の構成において、テストヘッド2a,2
bは、それぞれテストボード4aまたは4bを介してプ
ローブユニット5a,5bと電気的に接続されている。
bは、それぞれテストボード4aまたは4bを介してプ
ローブユニット5a,5bと電気的に接続されている。
【0004】本構成におけるウエハ検査概要を説明する
と、各プローバの図示していないウエハローダより、そ
れぞれ1枚のウエハ6a(または6b)を取り出し、ウ
エハステージ7a(または7b)に載せ、プローブユニ
ット5a(または5b)との位置合わせを行った後、ウ
エハ6a(または6b)とプローブユニット5a(また
は5b)とを電気的に接続し、テスタ1のテストヘッド
2a(または2b)を用いて2枚のウエハを同時に検査
する。(各プローブユニット5a,5bは、ニードル針
方式、垂直針立て方式、メンブレム方式等ウエハ6a,
6b上のチップに対して電気的に接続出来るものであれ
ば、如何なる方式であってもよい。) この時、各ウエハ上のチップを複数同時に検査すること
がメモリ製品では一般的である。図5は1ウエハ6の検
査回数を説明するものであり、この場合、4チップを同
時に検査し、56回で終了する。22は1チップ、21
は4チップからなる1回当りのテストエリアを示す。ウ
エハ1枚の検査が終了すると、図示していない各アンロ
ーダに収納する。アンローダはローダと兼用の場合もあ
る。
と、各プローバの図示していないウエハローダより、そ
れぞれ1枚のウエハ6a(または6b)を取り出し、ウ
エハステージ7a(または7b)に載せ、プローブユニ
ット5a(または5b)との位置合わせを行った後、ウ
エハ6a(または6b)とプローブユニット5a(また
は5b)とを電気的に接続し、テスタ1のテストヘッド
2a(または2b)を用いて2枚のウエハを同時に検査
する。(各プローブユニット5a,5bは、ニードル針
方式、垂直針立て方式、メンブレム方式等ウエハ6a,
6b上のチップに対して電気的に接続出来るものであれ
ば、如何なる方式であってもよい。) この時、各ウエハ上のチップを複数同時に検査すること
がメモリ製品では一般的である。図5は1ウエハ6の検
査回数を説明するものであり、この場合、4チップを同
時に検査し、56回で終了する。22は1チップ、21
は4チップからなる1回当りのテストエリアを示す。ウ
エハ1枚の検査が終了すると、図示していない各アンロ
ーダに収納する。アンローダはローダと兼用の場合もあ
る。
【0005】本従来例においては、各テストヘッド毎に
プローバを接続している為、テスタ本体の小型化及びテ
ストヘッドの小型化が行われてもプローバの大きさは変
わらず、ウエハ検査装置全体の設置面積削減が阻まれて
いた。
プローバを接続している為、テスタ本体の小型化及びテ
ストヘッドの小型化が行われてもプローバの大きさは変
わらず、ウエハ検査装置全体の設置面積削減が阻まれて
いた。
【0006】この不具合点を改良した公知例として、特
開昭62−86835号公報が挙げられる。図6に正面
図を示すように、2つのテストヘッド2a,2bが接続
される1つのテスタと1つのプローバより構成されてお
り、各テストヘッド2a,2bとテストボード4a,4
bを通じ電気的に接続される2つのプローブユニット5
a,5bを介して試験を行うウエハ6a,6bを載せて
セットする2つのウエハステージ7a,7bを1つのプ
ローバ8内に設置した構成である。本構成においては、
図示していないウエハローダより、各ウエハステージ7
a,7b上に2枚のウエハ6a,6bをそれぞれ供給す
る。
開昭62−86835号公報が挙げられる。図6に正面
図を示すように、2つのテストヘッド2a,2bが接続
される1つのテスタと1つのプローバより構成されてお
り、各テストヘッド2a,2bとテストボード4a,4
bを通じ電気的に接続される2つのプローブユニット5
a,5bを介して試験を行うウエハ6a,6bを載せて
セットする2つのウエハステージ7a,7bを1つのプ
ローバ8内に設置した構成である。本構成においては、
図示していないウエハローダより、各ウエハステージ7
a,7b上に2枚のウエハ6a,6bをそれぞれ供給す
る。
【0007】本例では、上述の従来例に比し、プローバ
として30%の小型化が実現出来、ウエハ検査装置全体
としての設置面積の削減が可能となった。この面積はプ
ローバの占める面積であるが、ウエハサイズを1とした
場合、ローダの占める面積は2、ウエハステージの面積
は3、但し2つのウエハステージの場合は5とすると、
先の従来例の場合(ローダ:2+ウエハステージ:3)
×2台=10に対し、本改良例ではローダ:2+ウエハ
ステージ2:5=7となり、設置面積として約30%の
縮減が可能となる。
として30%の小型化が実現出来、ウエハ検査装置全体
としての設置面積の削減が可能となった。この面積はプ
ローバの占める面積であるが、ウエハサイズを1とした
場合、ローダの占める面積は2、ウエハステージの面積
は3、但し2つのウエハステージの場合は5とすると、
先の従来例の場合(ローダ:2+ウエハステージ:3)
×2台=10に対し、本改良例ではローダ:2+ウエハ
ステージ2:5=7となり、設置面積として約30%の
縮減が可能となる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウエハ
検査装置では、いずれの場合もウエハステージを1つの
プローバ内に2つ含むため、ウエハサイズの大口径化に
伴い、プローバの設置面積がウエハサイズの2乗に比例
して増え、テスタ及びテストヘッドの小型化が行われて
も、ウエハ検査装置全体としての設置面積が増加してし
まうという問題があった。
検査装置では、いずれの場合もウエハステージを1つの
プローバ内に2つ含むため、ウエハサイズの大口径化に
伴い、プローバの設置面積がウエハサイズの2乗に比例
して増え、テスタ及びテストヘッドの小型化が行われて
も、ウエハ検査装置全体としての設置面積が増加してし
まうという問題があった。
【0009】又、1枚のウエハを検査する時間もウエハ
サイズの大口径化に伴い、ウエハサイズのほぼ2乗の割
合で長くなるという問題もあった。
サイズの大口径化に伴い、ウエハサイズのほぼ2乗の割
合で長くなるという問題もあった。
【0010】本発明の目的はウエハサイズの大口径化に
伴うウエハ検査装置の所要面積の増加を抑制し、かつウ
エハ1枚当りの検査時間を増大させないことである。
伴うウエハ検査装置の所要面積の増加を抑制し、かつウ
エハ1枚当りの検査時間を増大させないことである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明のウエハ検査装置
は、1つのウエハステージが接続されるプローバと複数
のテストヘッドが接続される1つのテスタを有し、1つ
のウエハステージに置かれた1枚のウエハ上のチップ
を、複数のテストヘッドを同時に作動させて検査を行
う。
は、1つのウエハステージが接続されるプローバと複数
のテストヘッドが接続される1つのテスタを有し、1つ
のウエハステージに置かれた1枚のウエハ上のチップ
を、複数のテストヘッドを同時に作動させて検査を行
う。
【0012】複数のテストヘッドに共通な1つのテスト
ボードが設けられてもよい。
ボードが設けられてもよい。
【0013】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【0014】図1は本発明のウエハ検査装置の実施形態
を示す概略正面図、図2は、図1のウエハ検査装置の測
定部エリア10の拡大図である。
を示す概略正面図、図2は、図1のウエハ検査装置の測
定部エリア10の拡大図である。
【0015】図1に示すウエハ検査装置は、1つのウエ
ハステージ7が含まれる1つのプローバ8と2つのテス
トヘッド2a,2bが接続される1つのテスタ1からな
り、2つのテストヘッド2a,2bは共通のテストボー
ド4を介して、1つのプローバの1つのプローブユニッ
ト5と電気的に接続されている。
ハステージ7が含まれる1つのプローバ8と2つのテス
トヘッド2a,2bが接続される1つのテスタ1からな
り、2つのテストヘッド2a,2bは共通のテストボー
ド4を介して、1つのプローバの1つのプローブユニッ
ト5と電気的に接続されている。
【0016】このウエハ検査装置による検査では、図示
していないウエハローダよりウエハ6を取り出し、ウエ
ハステージ7に載せ、プローブユニット5との位置合わ
せを行った後、ウエハ6とプローブユニット5とテスト
ボード4を電気的に接続し、テスタ1のテストヘッド2
a,2bによりウエハ6上のチップを複数づつ、同時に
検査する。
していないウエハローダよりウエハ6を取り出し、ウエ
ハステージ7に載せ、プローブユニット5との位置合わ
せを行った後、ウエハ6とプローブユニット5とテスト
ボード4を電気的に接続し、テスタ1のテストヘッド2
a,2bによりウエハ6上のチップを複数づつ、同時に
検査する。
【0017】図2において、テストボード4はテストヘ
ッド2a,2bに共用となっており、12a,12bは
テストヘッド2a,2bとテストボード4との接続部を
示し、11dは、プローブユニット5とテストボード4
との接続部を示す。
ッド2a,2bに共用となっており、12a,12bは
テストヘッド2a,2bとテストボード4との接続部を
示し、11dは、プローブユニット5とテストボード4
との接続部を示す。
【0018】図3は、本例における1ウエハ当りの検査
回数を説明するもので、図5の従来例と対応させて示し
てあり、図5の場合の56回に対し、この場合、8チッ
プを2台のテストヘッドによる1回当りのテストエリア
20として同時に検査し、30回で1枚のウエハの検査
を終了することができる。1ウエハ当りの検査時間はプ
ローブユニットがウエハにコンタクトする回数にほぼ比
例し、従来のほぼ半分の時間で終了する。ウエハ1枚の
検査が終了すると、図示していないアンローダ(ローダ
と兼用)に収納する。
回数を説明するもので、図5の従来例と対応させて示し
てあり、図5の場合の56回に対し、この場合、8チッ
プを2台のテストヘッドによる1回当りのテストエリア
20として同時に検査し、30回で1枚のウエハの検査
を終了することができる。1ウエハ当りの検査時間はプ
ローブユニットがウエハにコンタクトする回数にほぼ比
例し、従来のほぼ半分の時間で終了する。ウエハ1枚の
検査が終了すると、図示していないアンローダ(ローダ
と兼用)に収納する。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、複数のテ
ストヘッドを1つのテストボードを介して1つのプロー
ブユニットに電気的に接続し、複数のテストヘッドを用
いて1枚のウエハを検査出来る様にした為、ウエハサイ
ズが大口径化されても、プローバの設置面積は増加せ
ず、ウエハ検査装置全体としての設置面積の増加を抑制
することが出来、また、1ウエハ当たりの検査時間を増
大させない効果がある。
ストヘッドを1つのテストボードを介して1つのプロー
ブユニットに電気的に接続し、複数のテストヘッドを用
いて1枚のウエハを検査出来る様にした為、ウエハサイ
ズが大口径化されても、プローバの設置面積は増加せ
ず、ウエハ検査装置全体としての設置面積の増加を抑制
することが出来、また、1ウエハ当たりの検査時間を増
大させない効果がある。
【図1】本発明に従うウエハ検査装置の実施形態の例を
示す概略正面図である。
示す概略正面図である。
【図2】図1のウエハ検査装置の測定部エリアの拡大図
である。
である。
【図3】図1に示すウエハ検査装置における検査回数の
説明図である。
説明図である。
【図4】従来例のウエハ検査装置の概略正面図である。
【図5】従来例のウエハ検査装置における検査回数の説
明図である。
明図である。
【図6】従来例の改良されたウエハ検査装置の概略正面
図である。
図である。
1 テスタ 2a,2b テストヘッド 3 ケーブル 4,4a,4b テストボード 5,5a,5b プローブユニット 6,6a,6b ウエハ 7,7a,7b ウエハステージ 8,8a,8b プローバ 10 測定部エリア
Claims (2)
- 【請求項1】 ウエハステージが含まれるプローバとテ
ストヘッドが接続されるテスタを有し、ウエハステージ
に置かれるウエハ上のチップをテストヘッドからテスト
ボードを通じてプローブユニットに送られる試験信号を
用いて試験を行うウエハ検査装置において、 1つのウエハステージが含まれる1つのプローバと複数
のテストヘッドが接続される1つのテスタを有し、 前記1つのウエハステージに置かれた1枚のウエハ上の
チップを、前記複数のテストヘッドを同時に作動させて
検査を行うことを特徴とするウエハ検査装置。 - 【請求項2】 前記複数のテストヘッドに共通な1つの
テストボードが設けられる請求項1に記載のウエハ検査
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9080004A JPH10275835A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | ウエハ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9080004A JPH10275835A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | ウエハ検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10275835A true JPH10275835A (ja) | 1998-10-13 |
Family
ID=13706197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9080004A Pending JPH10275835A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | ウエハ検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10275835A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6732053B1 (en) * | 1998-09-30 | 2004-05-04 | Intel Corporation | Method and apparatus for controlling a test cell |
CN104678273A (zh) * | 2015-03-13 | 2015-06-03 | 秦皇岛视听机械研究所 | 一种二极管裸晶圆高速双针测试装置 |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP9080004A patent/JPH10275835A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6732053B1 (en) * | 1998-09-30 | 2004-05-04 | Intel Corporation | Method and apparatus for controlling a test cell |
CN104678273A (zh) * | 2015-03-13 | 2015-06-03 | 秦皇岛视听机械研究所 | 一种二极管裸晶圆高速双针测试装置 |
CN104678273B (zh) * | 2015-03-13 | 2017-09-29 | 秦皇岛视听机械研究所 | 一种二极管裸晶圆高速双针测试装置 |
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