JP3555679B2 - Icテスタ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験対象、例えば、A/D変換器、D/A変換器等のアナログ部とデジタル部が混在するミックスドシグナルIC、LSI等を試験するICテスタに関し、テストヘッドに依存しないICテスタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
アナログ部とデジタル部が混在するミックスドシグナルの被試験対象(以下DUTと略す)は、ICテスタを用いて試験が行われている。ICテスタは、DUTに対して、アナログまたはデジタルの試験信号を与え、この試験信号に基づいたDUTが出力するアナログまたはデジタル信号により、良否の判定を行っている。このような装置を、図3を用いて以下に説明する。
【0003】
図3において、本体1は、制御部11、信号発生部12、測定部13等が設けられる。制御部11は、装置全体の制御を行う。信号発生部12はアナログ信号を発生する。測定部13はアナログ信号の測定を行う。ここで、信号発生部12は、例えば、一般的なアナログ発生器、UHF信号発生器、VHS信号発生器等である。また、測定部13は、例えば、一般的なデジタイザ、UHF測定器、VHS測定器、タイム・インターバル測定器等である。これらの信号発生部12、測定部13は、DUTの種類により、選択され、本体1に設けられる。
【0004】
テストヘッド2は、本体1とケーブル3により接続し、複数のピンエレクトロニクスボード(以下PE)21、複数のアナログ試験ボード22が設けられる。そして、PE21とアナログ試験ボード22は、相互干渉を避けるために分離して設けられる。PE21は、デジタル信号を出力するドライバ、デジタル信号を入力するコンパレータ等を有し、ケーブル3を介して、制御部11に接続する。アナログ試験ボード22は、ケーブル3を介して、信号発生部12、測定部13に接続し、アナログ試験の補助を行う。
【0005】
パフォーマンスボード4は、テストヘッド2と電気的に接続し、PE21、アナログ試験ボード22と電気的に接続する。DUTボード5は、パフォーマンスボード5に電気的に接続し、DUT6が取り付けられ、電気的に接続する。ここで、通常、DUT6がパッケージの場合は、DUTボード5にはソケットが設けられ、DUT6がウェハーの場合は、DUTボード5にはプローブが設けられている。
【0006】
このような装置の動作を以下に説明する。テストヘッド2は、図示しない搬送装置(ハンドラ、プローバ等)に接続され、搬送装置がDUT6を搬送して、DUTボード5に電気的に接続する。
【0007】
そして、DUT6にデジタル信号を出力する場合、制御部11により、PE21はパフォーマンスボード4、DUTボード5を介して、DUT6にデジタル信号を出力する。
【0008】
DUT6にアナログ信号を出力する場合、制御部11により、信号発生部12はアナログ信号を出力し、このアナログ信号をアナログ試験ボード22で加工(例えば、高周波化等)を行い、パフォーマンスボード4、DUTボード5を介して、DUT6にアナログ信号を出力する。
【0009】
DUT6がデジタル信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、DUT6がデジタル信号を出力し、DUTボード5、パフォーマンスボード4を介して、PE21に入力する。そして、PE21は、DUT6のデジタル信号と期待値信号とを比較し、良否の判定を行う。
【0010】
DUT6がアナログ信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、DUT6がアナログ信号を出力し、DUTボード5、パフォーマンスボード4を介して、アナログ試験ボード22に入力する。そして、アナログ試験ボード2は、DUT6のアナログ信号を中継して、測定部13に入力する。測定部13は、DUT6のアナログ信号の測定を行い、良否の判定を行う。ここで、アナログ試験ボード22は、信号の中継を行っているが、DUT6からのアナログ信号を減衰等の加工を行い、測定部13に入力していもよい。
【0011】
そして、搬送装置が、DUT6を切り替えて、DUTボード5に電気的に接続する。このような動作を繰り返し、DUT6の試験を行う。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
ミックスドシグナルIC、LSI等は、種類が多く、信号発生部12の種類以上に各種の信号が要求されるが、すべての種類の信号を発生できる信号発生器12を設けることは不可能で、アナログ試験ボード22により、信号発生器12からの信号を加工して、DUT6に与えている。また、測定部13で測定する信号も各種あるため、アナログ試験ボード22で加工される場合がある。
【0013】
このため、DUT6の種類ごとに、アナログ試験ボード22を開発して、テストヘッド2に搭載し、DUT6の専用機として、ICテスタを扱っている。従って、DUT6のアナログ試験内容の変化(高精度化等)やデジタルの高速化等の変化に対応できなくなるたびに、ユーザは新たなICテスタ(テストヘッド2)を導入しなければず、メーカーは新たなICテスタ(テストヘッド2)を開発しなければならなかった。
【0014】
また、IC,LSI等の高密度化に伴い、DUT6のピン数が多くなり、テストヘッド2の大きさは、搬送装置により、通常、ドライバ、コンパレータの組で512ピンに制限され、必要な数のPE21やアナログ試験ボード2の領域を確保できなくなってきた。また、複数のDUT6の同時試験が要求されているが、アナログ試験ボード22の搭載により、PE21の数が制限され、複数のDUT6の試験も制限されてしまった。
【0015】
そして、このような装置では、ICテスタを専用機として設けているが、ユーザ側から見れば、他の種類のDUTの試験からの転用や他のDUTの試験に転用できなかった。また、メーカー側から見れば、専用機を開発しなければならないという問題点があった。
【0016】
そこで、本発明の目的は、テストヘッドに依存しないICテスタを実現することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明は、
被試験対象を試験するICテスタにおいて、
アナログ信号を発生する信号発生部、アナログ信号を測定する測定部の少なくとも一方を設け、試験制御を行う本体と、
この本体とケーブルにより接続し、前記被試験対象のデジタル部の試験を行うテストヘッドと、
このテストヘッドの上に設けられ、テストヘッドと前記被試験対象との信号中継を行うと共に、ケーブルを介して、前記本体の信号発生部または測定部の少なくとも一方と接続し、前記被試験対象と接続し、アナログ試験の補助を行うアナログ試験部を設けたアダプタと
を有し、前記アナログ試験部は、前記本体の信号発生部が発生する信号を加工し、前記被試験対象に出力し、アダプタは、交流アナログ信号を扱う交流アダプタと直流アナログ信号を扱う直流アダプタとに分離したことを特徴とするものである。
また、本発明は、
被試験対象を試験するICテスタにおいて、
アナログ信号を発生する信号発生部、アナログ信号を測定する測定部の少なくとも一方を設け、試験制御を行う本体と、
この本体とケーブルにより接続し、前記被試験対象のデジタル部の試験を行うテストヘッドと、
このテストヘッドの上に設けられ、テストヘッドと前記被試験対象との信号中継を行うと共に、ケーブルを介して、前記本体の信号発生部または測定部の少なくとも一方と接続し、前記被試験対象と接続し、アナログ試験の補助を行うアナログ試験部を設けたアダプタと
を有し、前記アナログ試験部は、前記被試験対象からの信号を加工し、前記測定部に出力し、アダプタは、交流アナログ信号を扱う交流アダプタと直流アナログ信号を扱う直流アダプタとに分離したことを特徴とするものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図3と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0019】
図1において、テストヘッド7は、複数のPE71が設けられ、本体1とケーブル31により接続し、DUT6のデジタル部の試験を行う。PE71は、デジタル信号を出力するドライバ、デジタル信号を入力するコンパレータ等を有し、ケーブル31を介して、制御部11に接続する。
【0020】
アダプタ8は、テストヘッド7の上部に、例えば、エアークランプ機構で着脱可能に設けられ、テストヘッド7とDUT6との信号中継を行うと共に、ケーブル32を介して、本体1の信号発生部12、測定部13と接続し、DUT6と接続し、アナログ試験の補助を行う。アダプタ8は、筐体に、パフォーマンスボード81、アナログ試験ボード82を設けて構成される。パフォーマンスボード81は、テストヘッド7と電気的に接続し、PE71と電気的に接続すると共に、ケーブル32と電気的に接続する。アナログ試験ボード82はアナログ試験部で、パフォーマンスボード81とコネクタを介して電気的に接続すると共に、DUTボード5と電気的に接続し、アナログ試験の補助を行う。
【0021】
このような装置の動作を以下に説明する。テストヘッド7は、図示しない搬送装置(ハンドラ、プローバ等)に接続され、搬送装置がDUT6を搬送して、DUTボード5に電気的に接続する。
【0022】
そして、DUT6にデジタル信号を出力する場合、制御部11によりケーブル31を介して制御され、PE71はパフォーマンスボード81、アナログ試験ボード82、DUTボード5を介して、DUT6にデジタル信号を出力する。
【0023】
DUT6にアナログ信号を出力する場合、制御部11により、信号発生部12はアナログ信号をケーブル32に出力し、このアナログ信号をパフォーマンスボード81が入力する。アナログ試験ボード82は、パフォーマンスボード81からアナログ信号を入力し、加工を行い、DUTボード5を介して、DUT6にアナログ信号を出力する。
【0024】
DUT6がデジタル信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、DUT6がデジタル信号を出力し、DUTボード5、アナログ試験ボード82、パフォーマンスボード81を介して、PE71に入力する。そして、PE71は、DUT6のデジタル信号と期待値信号とを比較し、良否の判定を行う。
【0025】
DUT6がアナログ信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、DUT6がアナログ信号を出力し、DUTボード5を介して、アナログ試験ボード82に入力する。そして、アナログ試験ボード82は、DUT6のアナログ信号を中継して、パフォーマンスボード81、ケーブル32を介して、測定部13に出力する。測定部13は、DUT6のアナログ信号の測定を行い、良否の判定を行う。ここで、アナログ試験ボード82は、DUT6からの信号を加工してもよい。
【0026】
そして、搬送装置が、DUT6を切り替えて、DUTボード5に電気的に接続する。このような動作を繰り返す。
【0027】
このように、テストヘッド7の上部に、本体1の信号発生部12、測定部13とDUT6とを電気的に接続するアダプタ8を設けたので、テストヘッド7に依存せずに、DUT6のアナログ部の試験を行うことができる。これにより、アナログ試験の内容変化に対して、アダプタ8を開発し、アダプタ8を取り替えるだけで対応することができる。従って、メーカーは、アダプタ8の開発だけでよいので、開発期間を短縮することができ、ユーザーは、テストヘッド7を汎用的に使用することができ、ICテスタ全体を変更する必要がない。また、アダプタ8は、テストヘッド7に依存しないため、DUT6のデジタル部の高速化に伴い、テストヘッド7が対応できなくなった場合でも、アダプタ8は再利用することができる。そして、テストヘッド7は、通常のデジタル部のみのDUTの試験も行うこともできる。
【0028】
また、テストヘッド7にアナログ試験ボードを設ける必要がないので、PE71をテストヘッド7の大きさの制限だけ設けることができ、DUT6の高密度化及びDUT6の同時試験に対応することができる。
【0029】
次に、他の実施例を図2に示し、以下に説明する。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0030】
図2において、本体1は、信号発生部12の代わりに交流信号発生部121、直流信号発生部122を設け、測定部13の代わりに、交流測定部131、直流測定部132を設ける。交流信号発生部121は、交流アナログ信号を発生し、直流信号発生部122は、直流アナログ信号を発生する。交流測定部131は、交流アナログ信号の測定を行い、直流測定部132は、直流アナログ信号の測定を行う。
【0031】
交流アダプタ9は、テストヘッド7の上部に、直脱自在に設けられ、テストヘッド7からの信号の中継を行うと共に、ケーブル321を介して、本体1の交流信号発生部121、交流測定部131と電気的に接続し、DUT6と電気的に接続し、交流アナログ試験の補助を行う。また、交流アダプタ9の内部構成は、ほぼアダプタ8とほぼ同一である。
【0032】
直流アダプタ10は、交流アダプタ9の上部に、着脱自在に設けられ、交流アダプタ9とDUT6との信号中継を行うと共に、ケーブル322を介して、本体1の直流信号発生部122、直流測定部132と電気的に接続し、DUT6と電気的に接続し、直流アナログ試験の補助を行う。また、直流アダプタ10の内部構成は、ほぼアダプタ8と同一である。
【0033】
このような装置の動作を以下に説明する。テストヘッド7は、図示しない搬送装置に接続され、搬送装置がDUT6を搬送して、DUTボード5に電気的に接続する。
【0034】
そして、DUT6にデジタル信号を出力する場合、制御部11によりケーブル31を介して制御され、PE71は、交流アダプタ9、直流アダプタ10、DUTボード5を介して、DUT6にデジタル信号を出力する。
【0035】
DUT6に交流アナログ信号を出力する場合、制御部11により、交流信号発生部121は交流アナログ信号をケーブル321に出力し、この交流アナログ信号を交流アダプタ9が入力する。交流アダプタ9は、交流アナログ信号を加工し、直流アダプタ10、DUTボード5を介して、DUT6に交流アナログ信号を出力する。
【0036】
DUT6に直流アナログ信号を出力する場合、制御部11により、直流信号発生部122は直流アナログ信号をケーブル322に出力し、この直流アナログ信号を直流アダプタ10が入力する。直流アダプタ10は、直流アナログ信号を加工し、DUTボード5を介して、DUT6に直流アナログ信号を出力する。
【0037】
DUT6がデジタル信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、DUT6がデジタル信号を出力し、DUTボード5、直流アダプタ10、交流アダプタ9を介して、PE71に入力する。そして、PE71は、DUT6のデジタル信号と期待値信号とを比較し、良否の判定を行う。
【0038】
DUT6が交流アナログ信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、DUT6が交流アナログ信号を出力し、DUTボード5を介して、直流アダプタ10に入力する。そして、直流アダプタ10は、DUT6の交流アナログ信号を中継して、交流アダプタ9に入力する。交流アダプタ9も、DUT6の交流アナログ信号を中継して、ケーブル321を介して、交流測定部131に出力する。交流測定部131は、DUT6の交流アナログ信号の測定を行い、良否の判定を行う。ここで、交流アダプタ9は、DUT6からの信号を加工してもよい。
【0039】
DUT6が直流アナログ信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、DUT6が直流アナログ信号を出力し、DUTボード5を介して、直流アダプタ10に入力する。そして、直流アダプタ10は、DUT6の直流アナログ信号を中継して、ケーブル322を介して、直流測定部132に出力する。直流測定部132は、DUT6の直流アナログ信号の測定を行い、良否の判定を行う。ここで、直流アダプタ10は、DUT6からの信号を加工してもよい。
【0040】
そして、搬送装置が、DUT6を切り替えて、DUTボード5に電気的に接続する。このような動作を繰り返す。
【0041】
このように、交流アダプタ9、直流アダプタ10とに分離したので、交流アナログ信号のノイズが直流アダプタ10に混入することを防止し、高精度のアナログ試験を可能にすることができる。
【0042】
なお、DUT6のデジタル部の直流特性試験について説明を省略したが、通常のICテスタと同様に、PE71を介して測定されることはいうまでもない。
【0043】
また、交流アダプタ9を下部に、直流アダプタ10を上部に設けた構成を示したが、交流アダプタ9を上部に、直流アダプタ10を下部に設ける構成でもよい。
【0044】
そして、本体1に、信号発生部12(交流信号発生部121、直流信号発生部122)、測定部13(交流測定部131、交流測定部132)を設ける構成を示したが、DUT6が入力ピン、出力ピンに対応して、どちらか一方だけ設ける構成でもよい。
【0045】
さらに、信号発生部12からの信号を加工するアナログボード82を設ける構成を示したが、加工せずに、信号の中継だけ行う構成でもよい。
【0046】
その上、本体1は、制御部11、信号発生部12、測定部13が一体に筐体に設けられるものだけでなく、別々の筐体に設けられる構成でもよい。
【0047】
また、アナログ試験を補助するアナログ試験部が、アナログ試験ボード82の構成を示したが、パフォーマンスボード81に設けてもよい。そして、DUTボード5上にアナログ試験部を設け、アナログ試験ボード82をなくす構成にしてもよい。
【0048】
【発明の効果】
本発明によれば、テストヘッドの上に、本体の信号発生部、測定部と被試験対象とを電気的に接続するアダプタを設けたので、テストヘッドに依存せずに、被試験対象のアナログ部の試験を行うことができる。これにより、アナログ試験の内容変化に対して、アダプタを開発し、アダプタを取り替えるだけで対応することができる。また、アダプタは、テストヘッドに依存しないため、被試験対象のデジタル部の高速化に伴い、テストヘッドが対応できなくなった場合でも、アダプタは再利用することができる。そして、テストヘッドは、通常のデジタル部のみのDUTの試験も行うこともできる。
【0049】
また、テストヘッドにアナログ試験部を設ける必要がないので、被試験対象の高密度化及び被試験対象の同時試験に対応することができる。
【0050】
そして、交流アダプタ、直流アダプタとに分離したので、交流アナログ信号のノイズが直流側に混入することを防止し、高精度のアナログ試験を可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図2】本発明の他の実施例を示した構成図である。
【図3】従来のICテスタの構成を示した図である。
【符号の説明】
1 本体
12 信号発生部
13 測定部
121 交流信号発生部
122 直流信号発生部
131 交流測定部
132 直流測定部
31,32,321,322 ケーブル
6 DUT
7 テストヘッド
8 アダプタ
82 アナログ試験ボード
9 交流アダプタ
10直流アダプタ
Claims (5)
- 被試験対象を試験するICテスタにおいて、
アナログ信号を発生する信号発生部、アナログ信号を測定する測定部の少なくとも一方を設け、試験制御を行う本体と、
この本体とケーブルにより接続し、前記被試験対象のデジタル部の試験を行うテストヘッドと、
このテストヘッドの上に設けられ、テストヘッドと前記被試験対象との信号中継を行うと共に、ケーブルを介して、前記本体の信号発生部または測定部の少なくとも一方と接続し、前記被試験対象と接続し、アナログ試験の補助を行うアナログ試験部を設けたアダプタと
を有し、前記アナログ試験部は、前記本体の信号発生部が発生する信号を加工し、前記被試験対象に出力し、アダプタは、交流アナログ信号を扱う交流アダプタと直流アナログ信号を扱う直流アダプタとに分離したことを特徴とするICテスタ。 - アナログ試験部は、被試験対象からの信号を加工し、測定部に出力することを特徴とする請求項1記載のICテスタ。
- 被試験対象を試験するICテスタにおいて、
アナログ信号を発生する信号発生部、アナログ信号を測定する測定部の少なくとも一方を設け、試験制御を行う本体と、
この本体とケーブルにより接続し、前記被試験対象のデジタル部の試験を行うテストヘッドと、
このテストヘッドの上に設けられ、テストヘッドと前記被試験対象との信号中継を行うと共に、ケーブルを介して、前記本体の信号発生部または測定部の少なくとも一方と接続し、前記被試験対象と接続し、アナログ試験の補助を行うアナログ試験部を設けたアダプタと
を有し、前記アナログ試験部は、前記被試験対象からの信号を加工し、前記測定部に出力し、アダプタは、交流アナログ信号を扱う交流アダプタと直流アナログ信号を扱う直流アダプタとに分離したことを特徴とするICテスタ。 - アナログ試験部は、信号の中継を行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のICテスタ。
- 被試験対象は、アナログ部とデジタル部とが混在することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のICテスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001041288A JP3555679B2 (ja) | 2001-02-19 | 2001-02-19 | Icテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001041288A JP3555679B2 (ja) | 2001-02-19 | 2001-02-19 | Icテスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002243811A JP2002243811A (ja) | 2002-08-28 |
JP3555679B2 true JP3555679B2 (ja) | 2004-08-18 |
Family
ID=18903748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001041288A Expired - Fee Related JP3555679B2 (ja) | 2001-02-19 | 2001-02-19 | Icテスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3555679B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9140749B2 (en) | 2010-05-20 | 2015-09-22 | Advantest Corporation | Test apparatus |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060214679A1 (en) * | 2005-03-28 | 2006-09-28 | Formfactor, Inc. | Active diagnostic interface for wafer probe applications |
-
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- 2001-02-19 JP JP2001041288A patent/JP3555679B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9140749B2 (en) | 2010-05-20 | 2015-09-22 | Advantest Corporation | Test apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002243811A (ja) | 2002-08-28 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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