JP2005121553A - プローブカード及び半導体チップの試験方法 - Google Patents
プローブカード及び半導体チップの試験方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本発明のプローブカードは、複数の半導体チップが形成された被試験ウエハの1つの半導体チップに対してDC試験を行うためのDC試験専用の配線及び探針と、他の1つの半導体チップに対してAC試験を行うためのAC試験専用の配線及び探針と、を有する。
【選択図】図1
Description
集積化された回路であるICにおいては、同一パッドに対して同一探針でDC試験、AC試験を行うことがある。まず、DC試験では図4(a)に示すように、リレー5をDC試験用配線31〜34に設定し、入力ピンIN1、IN2に接続されたDC信号源から電気信号を印加し、出力ピンOUT1、OUT2から取り出した電気信号をDC測定器で測定する。次に、AC試験では図4(b)に示すように、リレー5をAC試験用配線41〜44に設定し、入力ピンIN1に接続されたAC信号源から正弦波を入力し、出力ピンOUT1から取り出した正弦波の振幅を、AC測定器で測定する。
そこで本発明は、リレーの容量、配線の寄生容量の影響を軽減できるプローブ試験の試験結果の補正が容易なプローブ、及びそれを用いた半導体チップの試験方法の提供を目的とする。
前記請求項1記載のプローブカードを使用して、1つの半導体チップに対してDC試験を行うと同時に、他の1つの半導体チップに対してAC試験を行い、DC試験を行った半導体チップに対して次ぎにAC試験を行うことを特徴とする半導体チップの試験方法である。
図1、2を用いて本発明の実施の形態のプローブカード及び半導体チップの試験方法を説明する。図1は本発明の実施の形態のプローブカードの構成図、図2はn番目の半導体チップに対してプローブ試験を行う場合の工程を示す説明図である。図1及び図2において、1はプローブカード、2は探針、31〜34はDC試験用配線、41〜44はAC試験用配線、6は半導体チップ、7はパッド、8は被試験ウエハを示す。図1及び図2において従来(図3及び図4)箇所には同一の符号を付す。
前記n番目の半導体チップに対するAC試験は前工程のDC試験にて良品と判別されたもののみに対して行う。
本発明の半導体チップの試験方法により、本発明のプローブカードを用いて、各半導体チップのDC試験及びAC試験を行うことができる。
2 探針
5 リレー
6 半導体チップ
7 パッド
8 ウエハ
31、32、33、34 DC試験用配線
41、42、43、44 AC試験用配線
Claims (3)
- 複数の半導体チップが形成された被試験ウエハの1つの半導体チップに対してDC試験を行うためのDC試験専用の配線及び探針と、他の1つの半導体チップに対してAC試験を行うためのAC試験専用の配線及び探針と、を有することを特徴とするプローブカード。
- 前記請求項1記載のプローブカードを使用して、1つの半導体チップに対してDC試験を行うと同時に、他の1つの半導体チップに対してAC試験を行い、DC試験を行った半導体チップに対して次ぎにAC試験を行うことを特徴とする半導体チップの試験方法。
- DC試験の結果が良品であった半導体チップに対してのみ次ぎのAC試験を行うことを特徴とする請求項2に記載の半導体チップの試験方法。
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