JPH10255477A - 駆動回路及びそれを利用した半導体記憶装置 - Google Patents
駆動回路及びそれを利用した半導体記憶装置Info
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- JPH10255477A JPH10255477A JP9058766A JP5876697A JPH10255477A JP H10255477 A JPH10255477 A JP H10255477A JP 9058766 A JP9058766 A JP 9058766A JP 5876697 A JP5876697 A JP 5876697A JP H10255477 A JPH10255477 A JP H10255477A
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Abstract
ングで供給されるようにした駆動回路を提供する。 【解決手段】所定のタイミングで駆動信号を発生する信
号発生部10と、駆動信号11に応答して、複数の被制
御回路30が接続された第一の配線100の一端側を駆
動する第一のドライバ回路20と、駆動信号11に応答
して、第一の配線より駆動負荷が小さい第二の配線11
0の一端側を駆動する第二のドライバ回路40と、第二
の配線110の他端側及び前記第一の配線100の他端
側に入力が接続され、第一の配線100の他端側と第二
の配線110の他端側のレベルが一致しない時に第一の
配線100の他端側を駆動する出力端子を有する高速化
ドライバ回路50とを有する駆動回路。
Description
を駆動する駆動信号を供給するための配線を駆動する回
路、及びその駆動回路を用いた半導体記憶装置に関す
る。
を駆動する場合、それらの複数の被制御回路に沿って配
線を設け、その配線の一端側からドライバ回路により駆
動制御信号を与え、その配線に接続された複数の被制御
回路を一斉に駆動することが行われる。その場合、複数
の被制御回路が接続された配線は、特に容量性の負荷が
大きく、配線の一端側に接続されたドライバ回路により
駆動される場合は、配線の他端側でその駆動制御信号の
形状が大きくなまることがある。
ある。この例では、駆動制御信号を発生する信号発生回
路10の駆動制御信号11が、ドライバ回路20に与え
られ、そのタイミングで配線100の一端側がドライバ
回路20により駆動される。配線100は、その配線に
沿って設けられた被制御回路31〜36にその駆動制御
信号を供給する。被制御回路30は、例えば図示しない
別の入力信号を与えられ、駆動制御信号の発生回路10
が発生する駆動制御信号のタイミングで一斉に所定の動
作を行う。
集積化に伴い、上記の配線100の幅や厚みが小さくな
る傾向にある。特に、多層化の要請から下層側にある配
線の厚みは薄くなる傾向にあり、一方占有面積の問題か
ら配線の幅を大きくすることは制限される。従って、配
線100の抵抗は大きくなる傾向にある。しかも、非常
に多くの被制御回路30に駆動制御信号を供給する場合
は、上記配線100の長さは長くなり、それに接続され
る被制御回路の入力端子の負荷容量により、配線100
は大きな駆動負荷を有する。
20の出力側に近い点Aでの信号波形と、反対側の先端
部に近い点Bでの信号波形とを示す図である。ドライバ
回路20に近い点Aでは、図中の実線に示される通り比
較的シャープな波形になるが、配線100の先端側の点
Bでは、図中の破線に示される通りかなりなまった波形
になる。この現象は、被制御回路30の数が多ければ多
いほど、更に配線100の長さが長ければ長い程顕著に
なる。即ち、配線のCR時定数の増大に伴い信号波形の
なまりが顕著になる。従って、図7中点A付近に配置さ
れる被制御回路31は信号発生回路10の出力と同等の
タイミングで駆動制御されるが、点B付近に接続される
被制御回路36はそれよりかなり遅れたタイミングで駆
動制御される。
い期間のみで被制御回路を駆動制御したいといった要請
がある場合は、被制御回路31と36とで制御期間のタ
イミングが異なり、デバイス内で高速に制御する場合に
好ましくない。
点を解決し、駆動制御信号の伝播の遅延をなくした駆動
回路を提供することにある。
の駆動制御信号の伝播遅延をなくした駆動回路を有する
半導体記憶回路を提供することにある。
に、本発明の駆動回路は、所定のタイミングで駆動信号
を発生する信号発生部と、該駆動信号に応答して、複数
の被制御回路が接続された第一の配線の一端側を駆動す
る第一のドライバ回路と、該駆動信号に応答して、前記
第一の配線より駆動負荷が小さい第二の配線の一端側を
駆動する第二のドライバ回路と、前記第二の配線の他端
側及び前記第一の配線の他端側に入力が接続され、前記
第一の配線の他端側と該第二の配線の他端側のレベルが
一致しない時に前記第一の配線の他端側を駆動する出力
端子を有する高速化ドライバ回路とを有することを特徴
とする。
を遅延することなく高速化ドライバ回路に与え、それに
応答して高速化ドライバ回路が第一の配線を駆動するこ
とで、駆動負荷が大きい第一の配線により供給される駆
動信号の伝播遅延をできるだけなくすことができる。
は、前記第一の配線の他端側をプルアップするプルアッ
プトランジスタと、プルダウンするプルダウントランジ
スタとを有し、該第一の配線の他端側がLレベルで該第
二の配線の他端側がHレベルの時に前記プルアップトラ
ンジスタを駆動し、前記第一の配線の他端側がHレベル
で前記第二の配線の他端側がLレベルの時に前記プルダ
ウントランジスタを駆動することを特徴とする。
は、複数のワード線と、複数のビット線と、それらの交
差部分に配置される複数のメモリセルとを有する半導体
記憶装置において、前記ワード線に接続され該ワード線
を駆動する複数のワード線駆動回路と、メモリのアドレ
スサイクルより短いワード線駆動制御信号を発生する駆
動信号発生部と、前記複数のワード線駆動回路に沿って
配置され、該ワード線駆動回路に前記ワード線駆動制御
信号を供給する第一の配線と、前記ワード線駆動制御信
号に応答して、該第一の配線の一端側を駆動する第一の
ドライバ回路と、前記第一の配線に沿って配置され、前
記第一の配線よりも駆動負荷が小さい第二の配線と、前
記ワード線駆動制御信号に応答して、該第二の配線の一
端側を駆動する第二のドライバ回路と、前記第二の配線
の他端側及び前記第一の配線の他端側に入力が接続さ
れ、前記第一の配線の他端側と該第二の配線の他端側の
レベルが一致しない時に前記第一の配線の他端側を駆動
する出力端子を有する高速化ドライバ回路とを有するこ
とを特徴とする。
イバ回路は、ほぼ同じタイミングで駆動される。
ついて図面に従って説明する。しかしながら、かかる実
施の形態例が本発明の技術的範囲を限定するものではな
い。
図である。この例では、複数の被制御回路が接続された
配線100と別に、その配線100よりも駆動負荷が軽
い第二の配線110を設け、その第二の配線110をド
ライバ回路40で一端側から駆動する。従って、ドライ
バ40からの信号は点Cから点Dに遅延することなく伝
播する。そして、第二の配線110の他端側に高速化ド
ライバ回路50を設けて、遅延することなく伝播してき
た信号に応答して、第一の配線100の他端側を駆動す
る。
一の配線100の点Bの部分の信号伝播の遅れを取り戻
す為に動作し、特に、第一の配線100の点Bの部分の
信号レベルと第二の配線110の点Dの部分の信号レベ
ルとが異なる時に、第一の配線100の他端側を駆動す
る様に動作する。従って、定常状態の時には、高速化ド
ライバ回路50はドライブ動作はしない。
明するための各点の信号波形図である。上記した通り、
第二の配線110には被制御回路が接続されず、またデ
バイス構造上、その抵抗が低く、全体の負荷が第一の配
線100よりも小さくなる様に構成されている。従っ
て、ドライバ回路40により第二の配線110に与えら
れた信号は、点Cと点Dとでほとんど遅延時間はなく立
ち上がり、立ち下がる。一方、ドライバ回路20により
第一の配線100に与えられた信号は、点Aでは、点C
と同等のタイミングで立ち上がり、立ち下がる。そし
て、点Bでは、多少の遅延はあるが、高速化ドライバ回
路50により点Dでの信号に応答して駆動されるので、
従来の様に立ち上がりと立ち下がりの傾斜がなだらかに
なることはなく、比較的急峻な立ち上がりと立ち下がり
の信号になる。
回路図の例である。駆動制御信号の発生回路10は、外
部信号18の立ち上がりエッジを検出して、3段のイン
バータ回路12、13、14の遅延時間分の幅を持つパ
ルス信号11を生成する。第一のドライバ回路20は、
信号発生回路10が発生した駆動制御信号11を与えら
れて第一の配線100に駆動制御信号を転送する。その
構成は、2つのインバータ回路21、22からなる。第
二のドライバ回路40は、同様に、信号発生回路10が
発生した駆動制御信号11を与えられて第二の配線11
0に駆動制御信号を転送する。その構成は、2つのイン
バータ回路41、42からなる。
1が与えられる被制御回路30は、この例では、それぞ
れNANDゲート311、321....361とインバー
タ312、322....326で構成される。このNAN
Dゲートの一方の入力端子に第一の配線100が接続さ
れる。そして、NANDゲートの他方の入力端子には、
適宜それぞれの制御信号が与えられる。
ライバ回路50の詳細回路例が示されている。この高速
化ドライバ回路は、プルダウン用の回路510とプルア
ップ用の回路520とからなる。プルダウン用の回路5
10には、第一の配線100を駆動するプルダウン用の
N型のMOSトランジスタ511、NORゲート51
2、インバータ513を有する。インバータ513に
は、第一の配線100の他端側(点B側)が入力として
与えられる。また、NORゲート512には、第二の配
線110の他端側(点D側)とインバータ513の出力
がそれぞれ入力として与えられる。
線100を駆動するプルアップ用のP型のMOSトラン
ジスタ521、NANDゲート522、インバータ52
3を有する。インバータ523には、第一の配線100
の他端側(点B側)が入力として与えられる。また、N
ANDゲート522には、第二の配線110の他端側
(点D側)とインバータ523の出力がそれぞれ入力と
して与えられる。
立ち上がりにおける、図3の各部分の信号波形を示す図
である。今仮に、駆動制御信号11が立ち下がる場合の
動作を説明する。図4に示される通り、駆動制御信号1
1の立ち下がりに応答して、インバータ21と41の出
力23と43とが、インバータ1段分の遅れをもって立
ち上がる。従って、第一と第二のドライバ回路20と4
0に近い点Aと点Cとがインバータ22、42分の遅れ
をもって立ち下がる。この時、負荷が軽い第二の配線1
10の点Dにおいても、ほとんどの遅延を伴わずに信号
が立ち下がる。
きいために、点Bでの信号レベルはHレベルのままであ
る。従って、インバータ513の出力514はLレベル
であり、点Dの信号レベルのLレベルにより、NORゲ
ート512の出力515は一時的にHレベルに上昇す
る。この出力515のHレベルにより、プルダウン用の
N型のトランジスタ511が導通し、第一の配線100
の他端側(点B側)のレベルを立ち下げる。従って、点
Bでの信号レベルは、図4にBで示した通り、従来BO
の如く鈍い立ち下がり特性を示していたのに対して、こ
の高速化ドライバ回路50により急峻に立ち下がる。
NANDゲート311と点Bの信号により駆動制御され
るNANDゲート361との動作は、僅かの遅延のずれ
を伴うだけである。そして、点Bの信号レベルが急峻に
立ち下がるのに伴い、インバータ513の出力514は
立ち上がり、NORゲート512の出力515を立ち下
げる。その結果、プルダウン用のトランジスタ511は
非導通となる。
ード515に発生するパルス信号により、プルダウント
ランジスタ511が過渡的に導通するだけである。従っ
て、高速化ドライバ回路50は、その後ノード11がH
レベルになったときに配線100を駆動するドライバ回
路20と競合することはなく、従って、電源からグラン
ドに向かって流れる貫通電流は発生しない。
駆動回路の動作について説明する。まず、駆動制御信号
11が立ち上がると、遅延してインバータ出力23、4
3が立ち下がる。そして、それに伴い、第一の配線10
0の点Aと第二の配線110の点CおよびDが立ち上が
る。その時、第一の配線100の点Bでの信号レベルが
Lレベルのままであるので、インバータ523の出力5
24はHレベルのままである。そこで、点Dの信号もH
レベルになり、NANDゲート522の出力525は立
ち下がり、P型のプルアップトランジスタ521が導通
し、第一の配線110の他端側(点B側)のレベルを引
き上げる。従って、点Bが急峻に立ち上がる。図4中に
示した様に、従来のBOの如き緩慢な立ち上がり特性で
はなく、Bで示した通り急峻な立ち上がり特性となる。
ータ523の出力524が立ち下がり、NANDゲート
522の出力525はHレベルとなり、P型のトランジ
スタ521は非導通となる。即ち、図4中の期間tupの
間に出力525に発生する負のパルス信号により、過渡
的にP型のトランジスタ521が導通して、第一の配線
100の他端側のレベルを急峻に引き上げる。定常状態
では、P型のトランジスタ521はオフのままであるの
で、その後ノード11がLレベルになったときに配線1
00を駆動するドライバ回路20と競合することはな
く、従って、電源からグランドに向かって流れる貫通電
流は発生しない。
Bでの信号が僅かの遅延はあるが、共に急峻な立ち上が
りと立ち下がり特性をもつので、それにより駆動制御さ
れる被制御回路のNANDゲート311と361とは、
ほとんど遅延なく動作する。
ド・ワード方式で動作する半導体記憶装置の全体構成図
である。また、図6は、その詳細部分図である。図5に
示された半導体記憶装置60は、スタティック型のメモ
リの例である。行アドレスをデコードする行デコータ6
1の出力と、駆動制御信号の発生回路10の出力とによ
り各ワード線WL1〜WLmが駆動される。メモリセル
アレイ62内には、複数のワード線WL1〜WLmと、
それに交差する複数のビット線対BL1〜BLnが配置
される。そして、それらの交差部分にメモリセルMCが
設けられる。
1〜63nを介してセンスアンプ64に接続される。セ
ンスアンプ回路64には入出力端子Dout /Dinが接続
される。Y1〜Ynは、コラム選択信号であり、図示し
ないコラムデコーダの出力である。
ぞれのワードドライバ回路により選択される。例えば、
ワード線WL1は、ワードドライバ回路313,31
4,315により駆動される。同様に、ワード線WL2
は、ワードドライバ回路323、324,325により
駆動される。
図3で説明した被制御回路に対応する。これらのワード
ドライバ回路は、駆動制御信号発生回路10により生成
され、ドライバ回路20により第一の配線100に送出
される駆動制御信号のタイミングで動作する。したがっ
て、行デコーダ61により1本のワード線が選択され、
第一の配線100に与えられる駆動制御信号のタイミン
グで、ワード線が一定期間だけ立ち上げられる。例え
ば、1サイクル期間の間のごく一部の期間のみ駆動制御
信号が第一の配線100に与えられると、ワード線は、
そのごく一部の期間のみ選択レベルに立ち上げられる。
駆動回路に沿ってコラム方向に延びる配線であり、多く
のワード駆動回路が接続される。したがって、その負荷
は大きくなる。そこで、第二の配線110を平行に配置
し、その一端をドライバ40で駆動し、その他端側に設
けた高速化ドライバ回路50により、第一の配線100
の他端側を駆動する。この高速化ドライバ回路50は、
上記した通り、第一の配線100の他端側が未だ立ち上
がっていない期間と、未だ立ち下がっていない期間の
み、当該第一の配線100の他端側を駆動する。したが
って、ワードドライバ回路の動作のタイミングは、ほぼ
同一のタイミングとなる。
される。このメモリセルMCは、6トランジスタから構
成される。N型のトランジスタ70,71とP型のトラ
ンジスタ72,73とからなるCMOSインバータがそ
れぞれゲートとドレインとを交差接続している。そし
て、N型のトランジスタ74,75によりメモリセルが
ビット線対BL1に接続される。上記した一部の期間の
みワード線WLが選択レベルに駆動されることにより、
メモリセルMCのトランジスタ74,75は、一部の期
間のみ導通する。
より、ビット線BLをメモリセルのデータを記憶してい
るトランジスタ70,71の一方及びトランジスタ7
2,73の一方が駆動し、それをセンスアンプ回路64
が検出する。したがって、トランジスタ74または75
からの電流の流入により、記憶データに応じてHまたは
Lレベルであったノードn1,n2のレベルが不安定と
なり、ワード線を長期間にわたって選択レベルにすると
記憶データの反転を招く。したがって、ワード線を選択
レベルにしてトランジスタ74,75を導通させる期間
はできるだけ短くしたほうが良い。更に、ある程度メモ
リセルのトランジスタ70,71,72,73によりビ
ット線が駆動されれば、センスアンプ回路64が検出す
ることができる。その場合は、必要最小限の時間だけ駆
動させることで、メモリセルのビット線駆動による消費
電力を最小限に抑えることができる。そこで、上記した
クロックド・ワード方式により、ワード線が駆動される
のである。
を駆動した後に、センスアンプ回路64がその状態を検
出して、外部に出力される。そのため、複数のワード線
が駆動されるタイミングをできるだけあわせることが要
求される。本発明の実施の形態例で示した駆動回路を利
用することにより、駆動制御信号を第一の配線100を
通じて各ワード線駆動回路にほぼ同一のタイミングで供
給することができる。
ーダ回路例であり、その出力はワードドライバ回路のN
ORゲート313,323,3m3に与えられる。
バ回路に接続されるので、その駆動負荷は大きい。一
方、第二の配線110は、高速化ドライバ50をできる
だけ早いタイミングで駆動させるために、できるだけ駆
動負荷を小さくする様に構成される。例えば、一般に半
導体装置は、下層側の配線は比較的薄い配線層で構成さ
れる。これは多層化される時の上層の凹凸をできるだけ
小さくするためである。そこで、上記の第一の配線10
0を下層側の配線層で実現し、第二の配線110を上層
側の配線層で実現することが好ましい。
りも抵抗値が低い材料からなる配線とすることでも良
い。更に、必要な場合は、第二の配線110を駆動する
ドライバ回路40の駆動能力を大きくするために、駆動
トランジスタを大きいサイズにすることでも良い。
動制御信号を複数の被制御回路に供給する第一の配線に
加えて、第二の配線を設け、第二の配線の一端側を第一
の配線ど同様にドライバ回路で駆動し、第二の配線の他
端側に設けた高速化ドライバ回路により、第二の配線の
他端側のレベルと第一の配線の他端側のレベルとがこと
なる期間だけ、第一の配線の他端側を駆動することがで
きる。したがって、少ない消費電流で、複数の被制御回
路にほぼ同等のタイミングで駆動制御信号を第一の配線
から与えることができる。
・ワード方式に利用することにより、消費電力が少なく
記憶データの反転を防止した半導体記憶装置を提供する
ことができる。
各点の信号波形図である。
ある。
おける、図3の各部分の信号波形を示す図である。
作する半導体記憶装置の全体構成図である。
点Aでの信号波形と、反対側の先端部に近い点Bでの信
号波形とを示す図である。
Claims (5)
- 【請求項1】所定のタイミングで駆動信号を発生する信
号発生部と、 該駆動信号に応答して、複数の被制御回路が接続された
第一の配線の一端側を駆動する第一のドライバ回路と、 該駆動信号に応答して、前記第一の配線より駆動負荷が
小さい第二の配線の一端側を駆動する第二のドライバ回
路と、 前記第二の配線の他端側及び前記第一の配線の他端側に
入力が接続され、前記第一の配線の他端側と該第二の配
線の他端側のレベルが一致しない時に前記第一の配線の
他端側を駆動する出力端子を有する高速化ドライバ回路
とを有する駆動回路。 - 【請求項2】請求項1において、 前記高速ドライブ回路は、 前記第一の配線の他端側をプルアップするプルアップト
ランジスタと、プルダウンするプルダウントランジスタ
とを有し、該第一の配線の他端側がLレベルで該第二の
配線の他端側がHレベルの時に前記プルアップトランジ
スタを駆動し、前記第一の配線の他端側がHレベルで前
記第二の配線の他端側がLレベルの時に前記プルダウン
トランジスタを駆動することを特徴とする駆動回路。 - 【請求項3】複数のワード線と、複数のビット線と、そ
れらの交差部分に配置される複数のメモリセルとを有す
る半導体記憶装置において、 前記ワード線に接続され該ワード線を駆動する複数のワ
ード線駆動回路と、 メモリのアドレスサイクルより短いワード線駆動制御信
号を発生する駆動信号発生部と、 前記複数のワード線駆動回路に沿って配置され、該ワー
ド線駆動回路に前記ワード線駆動制御信号を供給する第
一の配線と、 前記ワード線駆動制御信号に応答して、該第一の配線の
一端側を駆動する第一のドライバ回路と、 前記第一の配線に沿って配置され、前記第一の配線より
も駆動負荷が小さい第二の配線と、 前記ワード線駆動制御信号に応答して、該第二の配線の
一端側を駆動する第二のドライバ回路と、 前記第二の配線の他端側及び前記第一の配線の他端側に
入力が接続され、前記第一の配線の他端側と該第二の配
線の他端側のレベルが一致しない時に前記第一の配線の
他端側を駆動する出力端子を有する高速化ドライバ回路
とを有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項4】請求項3において、 前記高速化ドライバ回路は、 前記第一の配線の他端側をプルアップするプルアップト
ランジスタと、プルダウンするプルダウントランジスタ
とを有し、該第一の配線の他端側がLレベルで該第二の
配線の他端側がHレベルの時に前記プルアップトランジ
スタを駆動し、前記第一の配線の他端側がHレベルで前
記第二の配線の他端側がLレベルの時に前記プルダウン
トランジスタを駆動することを特徴とする半導体記憶装
置。 - 【請求項5】請求項3において、 前記ワード線駆動回路は、 ワード線のデコーダ回路の出力信号と前記第一の配線を
介して供給されるワード線駆動制御信号とを入力し、選
択されたワード線を前記ワード線駆動制御信号のタイミ
ングで駆動することを特徴とする半導体記憶装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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