JPH10147404A - 自動倉庫 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 保管物の出入庫操作を省力化して搬送効率を
向上する。 【解決手段】 保管すべき物品２の収容部３が所定方向
に複数列設され、その収容部３の列設方向に移動可能に
設けられた移載手段４によって収容部３に物品２が出入
されると共に、外部に対する物品の搬送手段７によって
物品２が搬出入されるようにした自動倉庫において、搬
送手段７の軌道６が、複数の収容部３の列設方向に並ん
で配置され、搬送手段７と移載手段４との間で直接物品
２の積み卸しが行われるようにした。これにより、移載
手段４による搬送手段７と収容部３との間の移載動作の
みで保管物２の出入庫が済むようになるため、出入庫操
作が大幅に省力化され、搬送効率を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自動倉庫に関し、
特に保管すべき物品の収容部が複数列設され、その収容
部に物品を出入する移載手段が収容部の列設方向に移動
可能に設けられた自動倉庫に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程に設けられる自動倉庫と
して、例えば、図４に示すように、半導体ウエハの清浄
度を保持するべく外気の流入を抑制するように構成され
た壁体１の内部に、半導体ウエハが格納されたキャリア
ケース２を収容する棚３が、上下方向に多数列設された
ものが知られている。

【０００３】この自動倉庫の内部には、棚３に対してキ
ャリアケース２を出入するためのアーム４ａを備えたク
レーン４が、上下方向に延在する支柱５に沿って昇降可
能に設けられている。また、上部には、図５に併せて示
すように、ガイドレール６に沿って走行する搬送台車７
に対してキャリアケース２の積み卸しを行う積み卸し機
８と、この積み卸し機８に隣接して壁体１の内外を往来
する昇降台９とが設けられており、これら積み卸し機８
並びに昇降台９と上記クレーン４とが互いに協働してキ
ャリアケース２の出入庫を行うようになっている。

【０００４】すなわち、キャリアケース２を入庫する場
合には、まず、図６（ａ）に示すように、積み卸し機８
に横付けされた搬送台車７上のキャリアケース２が積み
卸し機８によって昇降台９上に移載され、次いで、この
昇降台９が降下してキャリアケース２が壁体１の内側に
導入される。そして、図６（ｂ）に示すように、昇降台
９に横並びとなる高さ位置まで上昇したクレーン４が、
そのアーム４ａを動作して昇降台９上のキャリアケース
２を取り込んだ後、図６（ｃ）に示すように、空の棚３
に横並びとなる高さ位置まで降下し、アーム４ａを動作
してキャリアケース２を空の棚３上に載置する。一方、
キャリアケース２を出庫するには、以上の操作が逆に行
われる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このように、上記従来
構成の自動倉庫においては、積み卸し機による搬送台車
と昇降台との間での保管物の移載動作、昇降台の昇降動
作、並びにクレーンによる昇降台と棚との間での保管物
の移載動作を順次経て保管物が出入庫されるが、これら
各動作の所要時間を個々に短縮化するには限界がある。
このため、保管物の出入庫操作に時間を要し、これが搬
送工程全体を律速してしまうことになり、搬送効率向上
の要望を十分に満足することができないといった不都合
があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決し
て、保管物の出入庫操作を省力化して搬送効率を向上す
るために、本発明においては、保管すべき物品の収容部
が所定方向に複数列設され、該収容部の列設方向に移動
可能に設けられた移載手段によって前記収容部に物品が
出入されると共に、外部に対する物品の搬送手段によっ
て物品が搬出入されるようにした自動倉庫において、前
記搬送手段の軌道が、複数の前記収容部の列設方向に並
んで配置され、前記搬送手段と前記移載手段との間で直
接物品の積み卸しが行われるものとした。これにより、
移載手段による搬送手段と収容部との間での保管物の移
載動作のみで保管物の出入庫が済むようになり、出入庫
操作が大幅に簡略化される。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下に添付の図面に示された実施
形態に基づいて本発明の構成を詳細に説明する。

【０００８】図１は、本発明に基づき構成された自動倉
庫を示している。この自動倉庫は、上記従来構成の自動
倉庫（図４参照）と同様に、半導体製造工程における製
造途中の半導体ウエハをキャリアケースに格納した状態
で保管するものであり、壁体１の内部にキャリアケース
２が載置される棚３が上下方向に複数列設され、これら
の棚３に載置されたキャリアケース２を移載するための
クレーン４が上下方向の支柱５に昇降自在に設けられて
いる。

【０００９】壁体１の内部にクレーン４を挟んで両側に
並設された棚列の一方（図中右側）の最上部には、搬送
台車７を案内するガイドレール６が、図２に併せて示す
ように、壁体１を貫通する態様で横方向に延設させてい
る。このため、ガイドレール６上の搬送台車７を棚３に
並列した位置に停止させることで、搬送台車７上のキャ
リアケース２をクレーン４を用いて直接積み卸しするこ
とができる。

【００１０】すなわち、図３（ａ）に示すように、搬送
台車７に横並びとなる高さ位置まで上昇したクレーン４
が、そのアーム４ａを動作して搬送台車７上のキャリア
ケース２を取り込むことによって、キャリアケース２の
荷卸しが行われる。その後、図３（ｂ）に示すように、
クレーン４が空の棚３に横並びとなる高さ位置まで降下
し、アーム４ａを動作してキャリアケース２を空の棚３
上に載置することによって、キャリアケース２の入庫が
完了する。一方、以上の操作を逆に行って、棚３上のキ
ャリアケース２をクレーン４で搬送台車７上に移載する
ことで、キャリアケース２の出庫がなされる。

【００１１】以上の出入庫操作を上記した従来構成のも
のと比較すると、図６（ａ）に示す積み卸し機８による
搬送台車７と昇降台９との間の移載動作、並びに昇降台
９の昇降動作に要する時間が短縮され、従来に対して出
入庫操作の所要時間を概ね２分の１に短縮化することが
可能となり、搬送能力を２倍に高めることができる。

【００１２】

【発明の効果】このように本発明によれば、移載手段と
搬送手段との間で保管物を直接受渡可能となり、移載手
段による搬送手段と収容部との間の移載動作のみで保管
物の出入庫が済むようになるため、出入庫操作が大幅に
省力化され、搬送効率を向上させる上に多大な効果を奏
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に基づき構成された自動倉庫の断面図で
ある。

【図２】図１に示した自動倉庫の要部斜視図である。

【図３】（ａ）部及び（ｂ）部からなり、図１に示した
自動倉庫の要部断面図であり、入庫操作を段階的に示し
ている。

【図４】従来の自動倉庫の断面図である。

【図５】図４に示した従来の自動倉庫の要部斜視図であ
る。

【図６】（ａ）部乃至（ｃ）部からなり、図４に示した
従来の自動倉庫の要部断面図であり、入庫操作を段階的
に示している。

【符号の説明】

１ 壁体 ２ キャリアケース ３ 棚 ４ クレーン ４ａ アーム ５ 支柱 ６ ガイドレール ７ 搬送台車 ８ 積み卸し機 ９ 昇降台

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 保管すべき物品の収容部が所定方向に
   複数列設され、該収容部の列設方向に移動可能に設けら
   れた移載手段によって前記収容部に物品が出入されると
   共に、外部に対する物品の搬送手段によって物品が搬出
   入されるようにした自動倉庫であって、 前記搬送手段の軌道が、複数の前記収容部の列設方向に
   並んで配置され、前記搬送手段と前記移載手段との間で
   直接物品の積み卸しが行われるようにしたことを特徴と
   する自動倉庫。