TWI481539B - 保管庫以及出入庫方法 - Google Patents

Description

保管庫以及出入庫方法

本發明之技術領域係關於一種保管庫，其係將收納製造半導體元件用之各種基板的晶圓盒(Front Opening Unified Pod，以下簡寫為FOUP)等的貨品，於其與運載部等搬運車之間連續進行出入庫，且關於該保管庫其出入庫方法之技術領域。

該種保管庫，係具有滑動板，其係於搬入/搬出埠等出入庫用部的上方且於搬運車的軌道下方處至少具有1塊，據以暫時保管2個貨品；滑動機構，其係可推進後撤至少1塊的滑動板。於此類保管庫中，係利用滑動板的進退機能以及搬運車對貨品的昇降機能，與搬運車之間進行傳遞貨品的動作。具體而言，關於該傳遞的動作，係先將把持於搬運車的應入庫貨品載置於滑動板上，接著，再將載置於埠的應出庫貨品載置於滑動板。其後，於滑動板上的應入庫貨品則移載於埠(意即，入庫)，接著再將滑動板上的應出庫貨品移載往搬運車(意即，出庫)。如此，則於保管庫的埠以及1台搬運車之間，連續進行出入庫。(參考專利文獻1及2)。

【專利文獻1】特開2007-096140號公報

【專利文獻2】特開2007-096145號公報

然而，就上述日本專利文獻1及2所記載之保管庫而言，因係暫時將應入庫貨品以及應出庫貨品放置於滑動板上，出入庫動作所需的時間，比起直接移載自或移載往搬運車所需的為長。假若，為了減短此用於放置的動作時間，雖可以高速推進後撤滑動板、以高速驅動昇降機能，但亦有會增加對應入庫貨品以及應出庫貨品的震動之技術性問題點。此外，用於連續出入庫的滑動板以及滑動機構，將造成搬運系統整體的高成本化。

本發明係以例如上述的問題點為鑑，以提供可藉由簡單的結構而有效率地進行貨品出入庫之保管庫、以及提供對於此種保管庫的出入庫方法作為課題。

本發明之第1保管庫為了解決上述課題，其係於其本身與將一貨品及另一貨品分別升降的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫的保管庫，其係包含：複數個架位，其係將該貨品以及該另一貨品收納或載置，配置於上下方向，於上側具有1個架位作為從該搬運車移載該貨品的入庫埠；一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之第1載置面；一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動，將該載置部移動於該等架位與一假定出庫埠之間，該假定出庫埠是在未存在有該等架位且設定在該入庫埠的上方及該搬運車下方的空間處；以及一控制單元，其係於該貨品應入庫時，控制該驅動單元以使該載置部從該假定出庫埠撤離、或保持撤離的狀態下，且其係於該另一貨品應出庫時，控制該驅動單元以使狀態為載置有該另一貨品的該載置部移動至該假定出庫埠，其中，該等複數個架位以及該驅動單元係構成為讓該載置部撤離後，該貨品可經由該假定出庫埠下降至該入庫埠。

根據本發明的第1保管庫，於入庫時，應入庫貨品(意即，一貨品)係例如由沿著軌道行駛的搬運車，搬運往入庫埠。於此，一貨品係從停止的搬運車，移動往相關保管庫的入庫埠。如此一來，一貨品係從入庫埠，藉由具備有例如垂直驅動部以及水平驅動部的驅動單元移動往所期望的架位。意即，保管庫內搬運。於出庫時，應出庫貨品(意即，另一貨品)係由複數或眾多架位中所期望的架位，藉由驅動單元進行保管庫內搬運至相關保管庫中於後述所言之假定出庫埠。

在本發明的保管庫中，係於其與搬運車之間，連續進行一貨品的入庫以及另一貨品的出庫。該搬送車係具有例如吊車機構等升降單元。該升降單元係具有例如握爪等的把持單元，可藉由該把持單元升降其所把持住的一貨品以及另一貨品。

本發明的第1保管庫，係具有複數個架位、載置部、驅動單元以及控制單元。複數個架位，係可收納或載置一貨品以及另一貨品，且配置於相關保管庫內的上下方向。該等複數個架位其中之一的架位，係位於該上下方向的上側，以作為移載自搬運車之一貨品的入庫埠。載置部係具有第1載置面，藉由該第1載置面將一貨品以及另一貨品從底側進行支撐。驅動單元係為，將該載置部在複數個架位之間，並且於假定出庫埠以及複數的架位之間進行移動。根據此移動，可於上述之入庫時以及出庫時進行保管庫內搬運。此處的「假定出庫埠」，既為不存在於任一個架位的假定的出庫埠，同時設定為位於入庫埠上方且位於搬運車下方的空間處。

於一貨品應入庫的情況下，控制部控制驅動單元以將載置部從假定出庫埠撤離或保持撤離的狀況下。藉由此撤離，搬運車可將一貨品經由假定出庫埠下降至入庫埠，亦可將一貨品入庫於相關保管庫。作為「可下降」的條件，於此例如將作為入庫埠的一個架位與搬運車之間，只設定有假定出庫埠。此外，在另一貨品應出庫的情況下，控制部控制驅動單元以將載置有另一貨品的載置部移動至假定出庫埠。藉由此控制，搬運車可把持另一貨品，另一貨品亦可出庫於相關保管庫。

由此，於本發明的第1保管庫中，例如於入庫時，首先，沿著軌道行駛的搬運車停止於對應入庫埠以及假定出庫埠的位置，在一貨品從搬運車下降之前，載置部係從假定出庫埠撤離或保持撤離的狀況。接著，藉由搬運車將一貨品經由假定出庫埠下降至入庫埠，以將一貨品移載至入庫埠。藉由此移載，當出庫動作結束之後，即結束一連串的出入庫動作處理。

例如於出庫時，首先將保管於相關保管庫內的另一貨品載置於載置部上，續將該載置部移動至假定出庫埠。接著，位於假定出庫埠上的載置部上另一貨品，係藉由搬運車進行上升，移載至搬運車。藉由此移載，當出庫動作結束之後，即結束一連串的出入庫動作處理。

如以上所述，係具有設定於一架位的入庫埠、以及設定位於該入庫埠上方且於搬運車下方空間的假定出庫埠，於入庫的時候，藉由將載置部從假定出庫埠撤離或保持撤離的狀況下，使得應入庫貨品可從搬運車入庫於入庫埠；而出庫時，藉由將載置有應出庫貨品的載置部移動至假定出庫埠，使得應出庫貨品可從假定出庫埠出庫往搬運車。藉此，在與搬運車之間連續進行的出入庫動作中，藉由複數個架位以及驅動單元的結構，直接將應入庫貨品以及應出庫貨品移載自或移載往搬運車，而非暫時放置。因此，可藉由較簡單的結構，進行更有效率的出入庫。

本發明之第2保管庫為了解決上述課題，其係於其本身與將一貨品及另一貨品分別升降的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫的保管庫，其係包含：複數個架位，其係將該貨品及該另一貨品收納或載置，配置於上下方向，於上側具有1個架位作為將該另一貨品移載往該搬運車的出庫埠；一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之第1載置面；一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動，將該載置部移動於該等架位與一假定出庫埠之間，該假定出庫埠是在未存在有該等架位且設定在該出庫埠的上方及該搬運車下方的空間處；以及一控制單元，其係於該貨品應入庫時，控制該驅動單元以將空載的該載置部為配置或保持配置於該假定入庫埠的狀態下，且其係於該另一貨品應出庫時，控制該驅動單元以將該載置部為從該假定入庫埠撤離、或保持撤離的狀態下，且控制該驅動單元以將狀態為載置有該另一貨品的該載置部移動至該出庫埠，再將該另一貨品從受到移動的載置部移載往該出庫埠，其中，該等複數個架位以及該驅動單元，係構成為讓該載置部撤離後，該另一貨品可從該出庫埠經由該假定入庫埠進行上升。

根據本發明的第1保管庫，於入庫時，應入庫貨品(意即，一貨品)係例如由沿著軌道行駛的搬運車，搬運至入庫埠。於此，一貨品係從停止的搬運車，移動往相關保管庫之後述的假定入庫埠。如此一來，一貨品係從假定入庫埠，藉由具備有例如垂直驅動部以及水平驅動部的驅動單元移動往所期望的架位。意即，保管庫內搬運。於出庫時，應出庫貨品(意即，另一貨品)係由複數或眾多架位中所期望的架位，藉由驅動單元進行保管庫內搬運至相關保管庫中之出庫埠。於此，另一貨品係由出庫埠移載往結束入庫而於待機狀態的搬運車。

本發明的第2保管庫，係具有複數個架位、載置部、驅動單元以及控制單元。複數個架位，係可收納或載置一貨品以及另一貨品，且配置於相關保管庫內的上下方向。該等複數個架位其中之一的架位，係位於該上下方向的上側，以作為移載自搬運車之一貨品的入庫埠。載置部係具有第1載置面，藉由該第1載置面將一貨品以及另一貨品從底側進行支撐。驅動單元係為，將該載置部在複數個架位之間，並且於假定入庫埠以及複數的架位之間進行移動。根據此移動，可於上述之入庫時以及出庫時進行保管庫內搬運。此處的「假定入庫埠」，既為不存在有任何架位的假定的入庫埠，同時設定為位於出庫埠上方且位於搬運車下方的空間處。

於一貨品應入庫的情況下，控制部控制驅動單元，以使得呈空載狀態的載置部為配置或保持配置於假定入庫埠的狀況下。藉由此撤離，搬運車可將一貨品下降至假定入庫埠，可入庫於相關保管庫。此外，在另一貨品應出庫的情況下，控制部控制驅動單元以使得載置部在從假定入庫埠撤離或保持撤離的狀態下，且將載置有另一貨品的載置部移動至出庫埠，將其他貨物從該受到移動的載置部移載至出庫埠。藉由此控制，搬運車可將另一貨品從出庫埠經由假定入庫埠進行上升，使得另一貨品出庫於相關保管庫。作為「可上升」的條件，於此例如將作為出庫埠的一個架位與搬運車之間，只設定有假定入庫埠。

由此，於本發明的第2保管庫中，例如於入庫時，首先，沿著軌道行駛的搬運車停止於對應假定入庫埠以及出庫埠的位置，在一貨品從搬運車下降之前，呈空載狀態的載置部係為配置或保持配置於假定出庫埠的狀況。接著，藉由搬運車將一貨品下降至假定入庫埠，以將一貨品移載 至位於假定入庫埠的載置部上。藉由此移載，當入庫動作結束之後，即開始接下來的出入庫動作處理。

例如於出庫時，首先將載置部從假定入庫埠撤離之後，將保管於相關保管庫內的另一貨品載置於載置部上，續將該載置部移動至出庫埠。接著，將另一貨品從該受到移動的載置部載置於出庫埠上。接著，將載置於出庫埠上的另一貨品藉由搬運車經由假定入庫埠進行上升，移載往搬運車。藉由此移載，當出庫動作結束之後，即結束一連串的出入庫動作處理。

如以上所述，係具有設定於一架位的出庫埠、以及設定位於該出庫埠上方且於搬運車下方空間的假定入庫埠，於入庫的時候，藉由將呈空載狀態的載置部係為配置或保持配置於假定出庫埠的狀況，使得應入庫貨品可從搬運車入庫於假定入庫埠；而出庫時，使得載置部在從假定入庫埠撤離或保持撤離的狀態下，且藉由將載置有應出庫貨品的載置部移動至出庫埠，將應出庫貨品載置於出庫埠，使得應出庫貨品可從出庫埠出庫往搬運車。藉此，在與搬運車之間連續進行的出入庫動作中，藉由複數個架位以及驅動單元的結構，直接將應入庫貨品以及應出庫貨品移載自或移載往搬運車，而非暫時放置。因此，可藉由較簡單的結構，進行更有效率的出入庫。

於本發明之第1保管庫的一較佳的態樣中，該驅動單元係具有：將該載置部朝一水平方向來回移動的水平驅動部、以及將該載置部朝垂直方向來回移動垂直驅動部；該等複數個架位係於沿著垂直方向的複數階層之每階層上、藉由該水平驅動部而可到達的水平位置上設有一個或複數個，且其係分別具有將該貨品以及該另一貨品於該第1載置面之間相互移載之第2載置面，該等複數個架位中位於該假定出庫埠下層的架位，係作為該入庫埠。

根據本發明的保管庫，複數個架位係具有沿著垂直方向配置有一列或複數列的複數個載置面(意即，第2載置面)。例如，於垂直方向上有m階層(唯，m係2以上的自然數)、於水平一方向有n列(唯，n係1以上的自然數)，且於垂直於水平一方向之剩餘的水平一方向(以下僅稱「厚度方向」)上僅有一列的狀況下，架體整體的骨架係構成為薄且呈縱向細長的平板形狀。載置部的結構係為，在例如其第1載置面上乘載有貨品的狀態下，在這樣的保管庫內，藉由垂直驅動部以及水平驅動部，可沿著垂直方向以及水平一方向此2方向或雙軸方向移動。

第1載置面以及第2載置面，係可將一貨品以及另一貨品，各自相互移載於其雙方之間。例如於入庫時，一貨品係從搬運車移載往作為入庫埠的架位之第2載置面上。接著，移載至該第2載置面的一貨品，則載置於可沿雙軸方向移動的載置部之第1載置面。例如，第1載置面以及第2載置面之構成，係支撐著貨品(一貨品或另一貨品)底側之不同處(典型的情況下，係為靠近中央的部份與靠近周邊的部份)，且可用任一者單獨支撐貨品(一貨品或另一貨品)。具體而言，當載置部移動至第2載置面所在之垂直位置及水平位置時，該第2載置面係被取代，而藉由第1載置面支撐一貨品，進行從第2載置面往第1載置面的移載。在典型的情況下，藉由垂直驅動部將第1載置面移動到比第2載置面為高處的作業，一貨品則藉由第1載置面得到支撐。藉此，即開始進行入庫時的保管庫內搬運作業。於此，藉由垂直驅動部以及水平驅動部進行的簡單雙軸動作，於架體的任何一個第2載置面皆可迅速地進行保管庫內搬運。

接著，當載置部移動至用於保管的第2載置面所在之垂直位置及水平位置時，第1載置面係被取代，而藉由第2載置面的支撐，進行從第1載置面往第2載置面的移動。在典型的情況下，藉由垂直驅動部將第1載置面移動到比第2載置面為低處的作業，一貨品即藉由第2載置面得到支撐。藉此，入庫時的保管庫內搬運即告結束，開始了於架位的保管。

另一方面，於出庫時，載置部係移動往載置有即將出庫之另一貨品的第2載置面所在之垂直位置及水平位置。接著，第2載置面係被取代，而藉由第1載置面的支撐，進行從第2載置面往第1載置面的移動。在典型的情況下，藉由垂直驅動部將第1載置面移動到較第2載置為高處的作業，另一貨品則藉由第1載置面而得到支撐。於此，出庫時的保管庫內搬運即告開始。接著，載置部被移動往設定為並未存在第2載置面的假定出庫埠所在空間之垂直位置及水平位置。於此，藉由垂直驅動部以及水平驅動部進行的簡單雙軸動作，可從任何一個第2載置面迅速地進行保管庫內搬運。

於本態樣中，複數個架位中作為入庫埠的架位，係位置於假定出庫埠的下層。具體而言，例如在假定出庫埠係設置於最頂層並未存在有架位的空間之情況下，從最頂層算起第2層且位於假定出庫埠下方之架位，係被作為入庫埠。在該等設定當中，搬運車、入庫埠以及假定出庫埠係於上下方向為最近距離，且一貨物以及其他貨物的升降距離係為最短。此外，入庫埠以及假定出庫埠係設置於同一垂直方向，不需變更搬運車的停止位置(意即，與保管庫之間進行移載的移載位置)。藉此，可藉由搬運車縮短升降貨品的時間。從而，可使得於與搬運車之間連續進行的出入庫動作更有效率。

於此態樣中，該等複數個架位亦可再包含設於其與該假定出庫埠之間，藉由該水平驅動部可相互抵達的水平位置上的另一架位。

根據這樣的結構，複數個架位又包含了另一架位。該另一架位，係設置於出庫埠的水平位置上。於此所指的「水平位置」，係指假定出庫埠以及另一架位可藉由水平驅動部相互到達的位置，且假定出庫埠以及另一架位，係例如位於同層處。於此情況下，例如相關保管庫內應最早出庫的另一貨品係載置於另一架位，而於出庫時藉由載置部，將該另一貨品以最短時間移動至假定出庫埠，故可更有效率地進行出庫動作。

於此態樣中，該控制部亦可控制該驅動單元，在該貨品從該搬運車移載至該入庫埠前，將該載置部移動至該另一架位，使得該另一貨品由該另一架位支撐。

根據此結構，控制部亦可控制該驅動單元，在一貨品從搬運車移載至入庫埠前，將載置有另一貨品的載置部移動至另一架位，使得該另一貨品由該另一架位支撐。藉由事先進行此出庫準備，於出庫時藉由載置部，使得另一貨品只需從另一架位移動至假定出庫埠即可，故可更有效率地進行出庫動作。

於複數個架位又包含另一架位的態樣中，該另一架位亦可位於藉由該水平驅動部以及該垂直驅動部可到達的位置，且將該另一貨品移動至該假定出庫埠的時間為相對較短時間的位置上。

根據此結構，出庫時可藉由載置部將另一貨品從另一架位以最短時間移動至假定出庫埠，故可更有效率地進行出庫動作。此外，在另一架位與假定出庫埠之間的距離為相對較長距離的情況下，亦可將載置有另一貨品的載置埠移動往假定出庫埠的側方，以取代用另一架位部分支撐另一貨品。

在複數個架位又包含另一架位的態樣中，該控制部亦可控制該驅動單元，在該貨品從該搬運車移載至該入庫埠前，將載置有該另一貨品的該載置部，移動至設於該假定出庫埠以及該另一架位之間的空間的待機位置，使得該另一貨品由該另一架位支撐。

根據此結構，一貨品從搬運車移載至入庫埠前，將載置有另一貨品的載置部，移動至假定出庫埠與另一架位之間的空隙。該空間係例如位於假定出庫埠對於另一架位側的側方。於此情況下，另一貨品移動至假定出庫埠的時間，較從另一架位移動至假定出庫埠的時間為短。藉由事先進行此出庫準備，於出庫時藉由載置部，使得另一貨品只需進行些許水平移動至假定出庫埠即可，故可更有效率地進行出庫動作。

於本發明之第2保管庫的一較佳的態樣中，與上述之第1保管庫的一較佳態樣中者約略相同，該驅動單元係具有：用以將該載置部朝水平一方向來回移動的水平驅動部、以及用以將該載置部朝垂直方向來回移動垂直驅動部；該等複數個架位係於沿著該垂直方向的複數階層之每階層上、藉由該水平驅動部而可到達的水平位置上設有一個或複數個，且其係分別具有使可將該貨品以及該另一貨品於該第1載置面之間相互移載之第2載置面，該等複數個架位中位於該假定入庫埠下層的架位，係作為該出庫埠。

根據此態樣，第1載置面以及第2載置面，係可將一貨品以及另一貨品，各自相互移載於其雙方之間。於本發明的第2保管庫中，例如於入庫時，可沿雙軸方向移動的載置部，被移動往設定為並未存在第2載置面的假定入庫埠所在空間之垂直位置及水平位置。藉此，達成可從搬運車往假定搬運庫移載的狀態。

此外，於此第2保管庫的一較佳的態樣中，該等複數個架位亦可再包含設於其與該假定出庫埠之間，藉由該水平驅動部可相互抵達的水平位置上的另一架位。

根據這樣的結構，複數個架位又包含了另一架位。該另一架位，係設置於入庫埠的水平位置上。於此情況下，例如於入庫時，剛入庫於假定入庫埠的一貨品載置於另一架位的時間係為最短，故可更有效率地進行入庫動作。

本發明的第1出入庫方法為了解決上述的課題，係於保管庫與將一貨品及另一貨品升降的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫，該保管庫具有(i)複數個架位，其係將該貨品以及該另一貨品收納或載置，配置於上下方向，於上側具有1個架位作為將該貨品從該搬運車移載的入庫埠；(ii)一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之第1載置面；以及(iii)一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動，將該載置部移動於該等架位與一假定出庫埠之間，該假定出庫埠是在未存在有該等架位且設定在該入庫埠的上方及該搬運車下方的空間處，此方法包含：一入庫準備工程，控制該驅動單元使得該載置部從該假定出庫埠撤離或保持撤離；一入庫工程，其係接續於該入庫準備工程後，藉由將該貨品從該搬運車移載往該入庫埠，使得該貨品入庫於該保管庫；一出庫準備工程，其係接續該入庫工程，控制該驅動單元使得載置有該另一貨品的該載置部移動至該假定出庫埠；以及一出庫工程，其係接續於該出庫準備工程後，藉由將該另一貨品從假定出庫 埠移載至該搬運車，使得該另一貨品從該保管庫出庫；其中，該等複數個架位以及該驅動單元，係構成為讓該載置部退離後，該貨品可經由該假定出庫埠下降至該入庫埠。

根據本發明的第1出入庫方法，與上述之本發明第1保管庫相同，係直接將應入庫貨品以及應出庫貨品移載自或移載往搬運車，而非暫時放置。故可以簡單的構造，進行效率良好的出入庫動作。

本發明的第2出入庫方法為了解決上述的課題，係於保管庫與將一貨品及另一貨品升降的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫，該保管庫具有(i)複數個架位，其係將該貨品以及該另一貨品收納或載置，配置於上下方向，於上側具有1個架位作為將該另一貨品朝該搬運車移載的出庫埠；(ii)一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之第1載置面；以及(iii)一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動，將該載置部移動於該等架位與一假定入庫埠之間，該假定入庫埠是在未存在有該等架位且設定在該出庫埠的上方及該搬運車下方的空間處，此方法包含：一第1出庫準備工程，其係控制該驅動單元以移動載置有該另一貨品的該載置部，以將該另一貨品從該受到移動的載置部移載至該出庫埠；一入庫準備工程，其係接續於該第1出庫準備工程後，控制該驅動單元使得空載的該載置部移動於該假定入庫埠；一入庫工程，其係接續於該入庫準備工程後，藉由將該貨品從該搬運車移載往該假定入庫埠，使得該貨品入庫於該保管庫；一第2出庫準備 工程，其係接續該入庫工程，控制該驅動單元使得該載置部從該假定入庫埠撤離或保持撤離；以及一出庫工程，其係接續於該第2出庫準備工程後，藉由將該另一貨品從出庫埠移載至該搬運車，使得該另一貨品出庫於該保管庫；其中，該等複數個架位以及該驅動單元，係構成為讓該載置部退離後，該另一貨品可從該出庫埠經由該假定入庫埠進行上升。

根據本發明的第2出入庫方法，與上述知本發明第2保管庫相同，係直接將應入庫貨品以及應出庫貨品移載自或移載往搬運車，而非暫時放置。故可以簡單的構造，進行效率良好的出入庫動作。此外，第1出庫準備工程亦可於實施於入庫工程之後隨即進行的第2出庫準備工程之後。

本發明的第3保管庫為了解決上述的課題，係於其本身與將一貨品及另一貨品升降且可進行橫向移載的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫的保管庫，其係包含：一框體或一框架；複數個架位，其係配置於上下方向，配置於該框體或該框架內且將該貨品以及該另一貨品收納或載置，其具有(i)一架位作為入庫埠，其結構係為在載置有該貨品的狀態下，經由設置於該框體外壁或該框架外框之一出入口，在該框體或該框架的內側以及外側間進行水平移動，於往該外側移動後，讓該貨品從該搬運車藉由縱向移載置而載置，以及(ii)另一架位作為出庫埠，其係位於較該架位更上方的位置，經由設置於該外壁或該外框的其他出入口，藉由往該搬運車的橫向 移載讓該另一貨品取出；以及一內外移動單元，其係選擇性地於該架位往該外側以及該內側進行水平移動。

根據本發明的第3保管庫，首先於入庫時，將例如FOUP等之應入庫一貨品，藉由例如沿著舖設於天井的軌道行駛的搬運車，搬運至入庫埠。於此所謂的「搬運車」係例如為天井行駛型的運載部，其係具有收納把持貨品的握爪機構、將貨品連整個握爪機構一起升降的吊車機構、以及可收納握爪機構以及吊車機構同時具行走機能的本體部。又且，搬運車係構成為可進行出庫用橫向移載，亦有將例如吊車機構以及握爪機構從本部體朝橫向推出的滑動機構。

作為入庫埠的一架位，接續或並行於這樣的保管庫搬運動作，藉由例如具有滑動機構、運輸機構等之內外移動單元，經由設置於框體外壁或是框架外框的一出入口，移動往框體或框架的外側。意即，一架位係為推出於框體或框架外的狀態。在此狀態下，一貨品係從停止的搬運車，移動往移至位於框體或框架的外側之入庫埠，此入庫埠係為一架位；在典型的情況下，係以縱向移載或縱向載置進行。具體而言，例如將一貨品於藉由搬運車的握爪機構等進行把持的狀態下，藉由吊車機構等的升降機構，從入庫埠的上方位置下降至入庫埠。又且，藉由握爪機構等的放開動作，移載於入庫埠。

結束這樣的往入庫埠的移載動作之後，此時，此一作為入庫埠的架位，係藉由內外一度單元移動至框體或框架的內側。接著，一貨品從一架位藉由具備有垂直驅動部以及水平驅動部的驅動單元，移動往複數或眾多架位中所期 望的架位。意即，接續於入庫動作後進行保管庫內搬運。此外，這樣的保管庫內搬運動作，亦可接續或並行於以下說明的出庫相關動作。

另一方面，於出庫時，應出庫的另一貨品，係接續或並行於上述入庫相關動作，從複數或眾多架位中所期望的架位，藉由驅動單元進行保管庫搬運至相關保管庫的出庫埠。接著，另一貨品係從出庫埠，經由設置於框架或框體的其他出入口進行橫向移載，移載往成停止狀態且結束入庫的搬運車。具體而言，另一貨品係藉由結束往入庫埠的移載作業且具有橫向移載的搬運車，例如在出庫埠上，藉由滑動機構朝橫向推出之吊車機構以及握爪機構，從出庫埠橫向移載至搬運車。其後，例如已出庫貨品，係於搬運車之中與握爪機構、吊車機構以及滑動機構一起搬運至、收納於本體部。

此外，關於入庫埠與一架位，以及出庫埠與另一架位的組合，埠與架位並非分別處理，而是入庫埠與一個架位、以及出庫埠與一個架位，係可各自兼用。

以上的結果，藉由停止於入庫埠上的搬運車所進行的一連串移載動作，可連續地實行入庫以及出庫作業。此外，保管庫方面亦可至少並行處理部分關於入庫動作以及關於出庫動作，且可於搬運車抵達之前先行實施。此時，不需如前述的技術背景所述，將應入庫或應出庫貨品暫時放置，而可直接從搬運車移載往入庫埠，且可接續進行出庫埠往搬運車的移載。故可以簡單的構造，進行效率良好的出入庫動作。

於本發明之第3保管庫的一較佳的態樣中，係具有控制內外移動單元的控制單元，在該貨品應入庫的情況下，控制該內外移動單元將該架位水平移動至該外側，使得該貨品載置於該架位之後，將該架位水平移動至該內側。

根據此態樣，在一貨品應入庫的情況下，在例如具有控制部、處理器、記憶體等之控制單元的控制單元的控制下，藉由內外移動單元，將一架位水平移動至框架或框體外側，使之作為可即時載置的入庫埠。意即，經由從框體或框架外側推出的入庫埠，一貨品係可入庫於相關保管庫。又且，在控制單元的控制下，藉由內外移動單元，移載有一貨品的一架位，係往框體或框架內側水平移動。藉此，係可於移載往入庫埠時起，毫無窒礙地進行已入庫貨品的保管庫內搬運作業。

如此，藉由將一架體水平移動至框體或架體的內側以及外側此一簡單的結構，即可迅速且有效地進行入庫作業、以及接續於入庫作業的保管庫內搬運作業。

在此態樣之中，係具有：一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之第1載置面；以及一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動。該控制單元係於該貨品應入庫時，控制該驅動單元，使得該架位水平移動至該內側後，藉由該載置部將該貨品從該架位移動至該等複數個架位中該架位以外的架位；而於該另一貨品應出庫時，亦可控制該驅動單元，藉由該載置部將該另一貨品從該等複數個架位中的該另一架位以外的架位、移動往該另一架位。

以此結構，以第1載置面對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之載置部，係藉由例如具有致動器、滑動部、馬達、機器手臂等之驅動單元，於複數個架位之間相互移載。藉此移動，可進行上述之入庫時以及出庫時的保管庫內搬運作業。

此時，控制單元係於一架位水平移動至框體或框架內側後，控制驅動單元，以將藉由載置部載置於一架位的一貨品，移動往一架位以外的架位。此處的「一架位以外的架位」，係為例如保管用架位、或作為出庫埠的另一架位，而在移動至保管用架位的情況下，已入庫的一貨品係至少暫時收納於相關保管庫中。此外，控制單元係於另一貨品應出庫的情況下，控制驅動單元，以藉由載置部將另一貨品從複數個架位之中的另一架位以外的架位。此處的「另一架位以外的架位」，係為例如保管用架位、或作為入庫埠的一架位。

當此出庫準備先於入庫前進行時，載入庫結束之後，可隨即藉由搬運車進行其他貨物的出庫作業。藉此，可使得出庫動作更有效率。

於此態樣中，該驅動單元係又具有一水平驅動部，其係使載置部往一水平方向來回移動；以及一垂直驅動部，其係使載置部沿垂直方向來回移動；其中，複數個架位沿著垂直方向的複數階層之每階層上、藉由水平驅動部而可到達的水平位置上係設有一個或複數個，其係分別具有使貨品可於與第1載置面之間相互移載之第2載置面，複數個架位中位於最上層的一個可作為出庫埠，而複數個架位 中位於該出庫埠下層的架位之該第2載置面，亦可作為入庫埠。

根據這樣的結構，進行保管庫內搬運時，沿著複數階層之每階層上設置有一個或複數個的複數個架位之中，朝向「搬運出發點」架位，藉由例如水平致動器、水平滑動單元、機器手臂的水平移動機構等的水平驅動部，將載置部往水平一方向來回移動。接續於與此水平一方向的移動，朝向相關搬運出發點架位，藉由例如垂直昇降機、垂直致動器、機器手臂的垂直移動機構等垂直驅動部，將載置部往垂直方向來回移動。其後，進行於搬運出發點架位的第2載置面往第1載置面的貨品移載。又且，朝向複數個架位中「搬運目標點」架位，藉由水平驅動部將載置部沿水平一方向來回移動。接續於與此水平一方向的移動，朝向相關搬運目標點架位，藉由垂直驅動部將載置部沿垂直方向來回移動。其後，其後，進行於搬運目標點架位的第1載置面往第2載置面的貨品移載。

第1載置面以及第2載置面，係可相互移載一貨品以及另一貨品。於入庫時，例如將作為入庫埠的一架位朝框體或框架的外側移動，使得一貨品從搬運車縱向移載至該架位的第2載置面。藉由此縱向移載，一貨品係入庫於相關保管庫。接著，該架位朝框體或框架的內側移動後，使得一貨品為可進行保管庫內搬運的狀態。接著，該架位的第2載置面上的一貨品，移載於可朝雙軸方向移動的載置部之第1載置面。

此外，於出庫時，載置部係移動往載置有即將出庫之 另一貨品的第2載置面所在之垂直位置以及水平位置。接著，第1載置面取代第2載置面進行支撐，進行從第2載置面往第1載置面的移載作業。藉此，開始了出庫時的保管庫內搬運作業。接著，載置部移動往作為出庫埠的第2載置面所在之垂直位置以及水平位置。

接著，藉由作為出庫埠的第2載置面取代第1載置面的支撐，進行從第1載置面往作為出庫埠的第2載置面的移載作業。典型的情況下，藉由垂直驅動部將第1載置部移動往較第2載置部為低處，貨品係由第2載置面得到支撐。藉此，出庫時的保管庫內搬運作業結束，成為可從出庫埠移載往搬運車的狀態。

其後，當往相關保管庫的入庫作業結束，藉由待基於軌道尚同一位置的搬運車，將另一貨品從出庫埠進行橫向移載往該搬運車。藉由此橫向移載，另一貨品係出庫於相關保管庫。

於本態樣中，複數個架位中作為入庫埠的架位(換言之，即該架位的第2載置面)，係位於出庫埠的下層。具體而言，當位於最上層的1個架位設定作為出庫埠時，位於從上數來第2層且位於出庫埠下方的架位則設定作為入庫埠。然而，為了將該架位作為入庫埠，需將該架位移動往框體或框架的外側。於此設定中，當搬運車停止於相對於相關保管庫的停止位置時，入庫埠係例如配置於搬運車的下方、而出庫埠係配置於搬運車的側方。於此配置之中，搬運車的停止位置(意即，與保管庫之間的進行移載的移載位置)並不受到改變，使得藉由搬運車進行縱向移 載時的升降移動距離、以及橫向移載時的水平移動距離為最短。藉此，可縮短貨品(一貨品以及另一貨品)藉由搬運車進行的移載時間，使得於與搬運車之間連續進行的出入庫動作更有效率。此外，內外移動單元與水平驅動部，亦可至少有部分機構或機能為共用或共有者。

根據本發明第3保險庫的其他態樣，該出庫埠係設定為，使得將該另一貨品進行出庫時，從該出庫埠進行移載該搬運車停止位置的時間為相對較短的時間。

根據此態樣，因從出庫不宜往搬運車的另一貨品係於短時間內移動，可此得出庫動作更迅速且更有效率。出庫埠亦可例如位於與作為入庫埠的一架位為同一垂直線上。

本發明的第4保管庫為了解決上述的課題，係於其本身與將一貨品及另一貨品升降且可進行橫向移載的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫的保管庫，其係包含：一框體或一框架；複數個架位，其係配置於上下方向，配置於該框體或該框架內且將該貨品以及該另一貨品收納或載置，其具有(i)一架位作為出庫埠，其結構係為在載置有該另一貨品的狀態下，經由設置於該框體外壁或該框架外框之一出入口，在該框體或該框架的內側以及外側間進行水平移動，於往該外側移動後，讓該另一貨品藉由縱向移載而被取出往該搬運車，以及(ii)另一架位作為入庫埠，其係位於較該架位更上方位置，經由設置於該外壁或該外框的其他出入口，讓該貨品從該搬運車藉由橫向移載而置入；以及一內外移動單元，其係選擇性地於該架位往該外側以及該內側進行水平移動。

根據本發明的第4保管庫，首先於入庫時，將應入庫一貨品，藉由搬運車搬運至入庫埠。搬運車係構成為可進行入庫用橫向移載。一貨品從停止的搬運車，經由設於框體或框架的其他出入口，往入庫不盡行橫向移載或橫向載置。

結束這樣的往入庫埠的移載後，一貨品係從入庫埠藉由驅動單元進行保管庫內搬運往複數或眾多架位中所期望的架位。此外，這樣的保管庫內搬運作業，亦可接續或並行於以下說明的出庫相關動作。

另一方面，於出庫時，係接續或並行於上述入庫相關動作，例如作為出庫埠的一架位，係藉由內外移動單元經由設置於框體外壁或框架外框的一出入口，移動往框體或框架的內側。接著，應出庫的另一貨品係從複數或眾多架位中所期望的架位，藉由驅動單元進行保管庫搬運至一架位，載置於一架位。接著，一架位藉由內外移動單元，經由一出入口移動往框體或框架的外側，成為推出於框體或框架外的狀態。在此狀態下，另一貨品係由作為移動往框體或框架外側的出庫埠之一架位，移載往呈停止狀態且完成入庫的搬運車，在典型的情況下，其係為縱向移載。其後，例如已出庫貨品，係於搬運至、收納於本體部。

此外，關於入庫埠與另一架位，以及出庫埠與一架位的組合，埠與架位並非分別處理，而是入庫埠與一個架位、以及出庫埠與一個架位，係可各自兼用。

以上的結果，藉由停止於入庫埠上的搬運車所進行的一連串移載動作，可連續地實行入庫以及出庫作業。此 外，保管庫方面亦可至少並行處理部分關於入庫動作以及關於出庫動作，且可於搬運車抵達之前先行實施。此時，不需如前述的技術背景所述，將應入庫或應出庫貨品暫時放置，而可直接從搬運車移載往入庫埠，且可接續進行出庫埠往搬運車的移載。故可以簡單的構造，進行效率良好的出入庫動作。

於本發明之第4保管庫的一較佳的態樣中，更包含一控制單元，其係控制內外移動單元，在該另一貨品應出庫的情況下，控制該內外移動單元將載置有該另一貨品的該架位水平移動至該外側，而取起該另一貨品之後，控制該內外移動單元將該架位水平移動至該內側。

根據此態樣，在另一貨品應出庫的情況下，在控制單元的控制下，藉由內外移動單元，將一架位水平移動至框架或框體外側，使之作為可即時載置的出庫埠。意即，經由從框體或框架外側推出的出庫埠，另一貨品係可出庫於相關保管庫。又且，在控制單元的控制下，藉由內外移動單元，被取起另一貨品的一架位，係往框體或框架內側水平移動。藉此，係可於從出庫埠取後，進行下一次對應出另一貨品的保管庫內搬運作業。

如此，藉由將一架體水平移動至框體或架體的內側以及外側此一簡單的結構，即可迅速且有效地進行出庫作業、以及下一次進行應出庫另一貨品的保管庫內搬運作業。

本發明的第3出入庫方法為了解決上述的課題，係於保管庫與將一貨品及另一貨品升降且可進行橫向移載的 搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品。該保管庫包含：(I)一框體或一框架、(II)複數個架位，其係配置於該框體或框架內，將該貨品以及該另一貨品收納或載置，其具有(i)一架位作為入庫埠，其結構係在載置有該貨品的狀態下，經由設置於該框體外壁或該框架外框之一出入口，在該框體或該框架的內側以及外側間進行水平移動，於往該外側移動後，讓該貨品從該搬運車藉由縱向載置而載置，以及(ii)另一架位作為出庫埠，其係位於較該架位更上方的位置，經由設置於該外壁或該外框的其他出入口，藉由往該搬運車的橫向移載讓該另一貨品取出；以及(III)一內外移動單元，其係選擇性地於該架位往該外側以及該內側進行水平移動。此方法包含：一第1控制工程，其係於該貨品應入庫的情況下，控制該內外移動單元使得該架位水平移動往該外側；以及一第2控制工程，其係接續於該第1控制工程，當該貨品載置於該架位後，控制該內外移動單元以使得該架位水平移動往該內側。

根據本發明的第3出入庫方法，與上述之本發明第1保管庫相同，係直接從搬運車移載往入庫埠、或從出庫埠移載往搬運車，而非暫時放置。故可以簡單的構造，進行效率良好的出入庫動作。

此外，在本發明的第3出入庫方法，亦可採納與上述本發明的第3保管庫之各種態樣相同的各種態樣。

在本發明的第3出入庫方法的一較佳的態樣中，該保管庫係具有：一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨 品分別從其底側進行支撐之第1載置面；以及一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動。該方法更包含：一第3控制工程，其係於該貨品應入庫時，藉由該第2控制工程將該架位水平移動至該內側後，控制該驅動單元以藉由該載置部將該貨品從該架位移動至該等複數個架位中該架位以外處；以及一第4控制工程，其係於該另一貨品應出庫時，藉由接續或並行於第1控制工程至第3控制工程，控制該驅動單元以藉由該載置部將該另一貨品從該等複數個架位中該另一架位以外的架位移動至該另一架位。

根據此態樣，於第3控制工程中，使用驅動單元，藉由具有第1載置面的載置部以及複數架位之間的相互移動，可進行入庫時以及出庫時的保管庫內搬運。於該保管庫內搬運之中，具體而言，在一架位水平移動至框體或框架內側時，載置於一架位的一貨品，係移動往一架位以外的架位。一架位以外的架位，若例如為保管用架位時，即可至少暫時收納已入庫的一貨品於相關保管庫內。此外，於出庫時，其他貨物則從複數個架位中另一架位以外的價位，移動到另一架位。另一架位以外的架位，若例如為保管用架位時，收納於相關保管庫內的另一貨品則載置於出庫埠。若這樣的出庫準備先於入庫進行，則於入庫結束後，可隨即由搬運車進行另一貨品的出庫。藉此，可使得出庫動作更具效率。

本發明的第4出入庫方法為了解決上述的課題，係於保管庫與將一貨品及另一貨品升降的搬運車之間，連續進 行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫，該保管庫包含：(I)一框架或一框體、(II)複數個架位，其係配置於上下方向，配置於該框體或框架的內且將該貨品以及該另一貨品收納或載置，其係具有(i)一架位作為出庫埠，其結構係為在載置有該另一貨品的狀態下，經由設置於該框體外壁或該框架外框之一出入口，在該框體或該框架的內側以及外側間進行水平移動，於往該外側移動後，讓該另一貨品藉由縱向移載而取起至該搬運車，以及(ii)另一架位作為入庫埠，其係位於較該架位更上方的位置，經由設置於該外壁或該外框的其他出入口，讓該貨品從搬運車藉由橫向移載而置入；以及(III)一內外移動單元，其係選擇性地於該架位往該外側以及該內側進行水平移動。此方法包含：一第1控制工程，其係於該另一貨品應出庫的情況下，控制該內外移動單元使得該架位在載置有該另一貨品的狀態下水平移動往該外側；以及一第2控制工程，其係接續於該第1控制工程，當該另一貨品被取起後，控制該內外移動單元使得該架位水平移動往該內側。

根據本發明的第4出入庫方法，與上述之本發明第4保管庫相同，係直接從搬運車移載往入庫埠、或從出庫埠移載往搬運車，而非暫時放置。故可以簡單的構造，進行效率良好的出入庫動作。

此外，在本發明的第4出入庫方法，亦可採納與上述本發明的第4保管庫之各種態樣相同的各種態樣。

本發明的作用及其他的優點，將藉由以下說明的最佳實施方式揭示。

以下參考圖形以說明本發明之實施例。

(第1實施型態)

首先，參照圖1到圖3以說明關於第1實施型態的保管庫結構。於此，圖1係為顯示具有關於第1實施型態之保管庫的搬運系統外觀之立體圖、圖2係為顯示圖1的保管庫內部構造模式之剖面圖、圖3係為顯示關於第1實施型態的第1載置面以及第2載置面，對於貨品之卡合狀態之剖面圖。

第1實施型態，係為關於本發明「第1保管庫」的實施型態。

在圖1之中，搬運系統100係具有軌道1、運載部2、存取庫10以及控制部20。搬運系統100驅動運載部2，於軌道1上搬運FOUP3。軌道1係作為本發明中關於「軌道」之一例，作為運載部2行走用的軌道。

運載部2係作為本發明中關於「搬運車」之一例，藉由例如線性馬達以進行驅動之OHT(Overhead Hoist Transport)(天井行走車)，將FOUP3搬運往存取庫10或並未圖示的製造裝置、OHT緩衝區、以及大型存取庫等。運載部2內部具有沿垂直方向移動的吊車2a。

吊車2a於搬運時，將被搬運的FOUP3的凸緣4，藉由例如挾持機構以進行保持。吊車2a係構成為，藉由運載部2本體具有之如卷取皮帶以及卷出皮帶等升降機構，可於軌道1下方往垂直方向進行升降。在與存取庫10之間 進行FOUP3的出庫或入庫時，吊車2a下降至後述之存取庫10的入庫埠或假定出庫埠的上方位置。吊車2a於入庫時，再於下降至埠的位置上，意即在FOUP3的底側接觸到入庫埠的底板表面(後述的第2載置面)上，放開凸緣4。此外，吊車2a在出庫時，再於下降至埠的位置上，即對應於載置在假定出庫埠之後述載置部上的FOUP3的凸緣4的位置上，維持住凸緣4。運載部2於本實施型態中，連續進行上述的入庫動作以及出庫動作。

如圖1及圖2所示，FOUP3係作為本發明中關於「一貨品」以及「另一貨品」之一例，在存取庫10之中，進行目的為對運載部2相互進行出入庫、以及調整保管位置等的搬運(即，保管庫內搬運)。

如圖3所示，FOUP3係於底側具有凹部5、以及凹部6。凹部5係形成為，與設置於後述的架位15上之凸部16相對應的尺寸。另一方面，凹部6係形成為，與設置於後述的載置部11上之凸部12相對應的尺寸。

再次回到圖1，控制部20係於例如半導體元件製程之中，對於存取庫10進行FOUP3的出入庫(保管庫內搬運)指示。存取庫10回應此指示受到驅動，對於由運載部2進行搬運的FOUP3施以各種處理，以製造半導體元件。

(第1實施型態的保管庫元件)

存取庫10，係作為本發明中關於「保管庫」之一例，舖設於鄰接軌道1之處，保管複數個FOUP3。於本實施型態中，存取庫10係於與運載部2之間，連續進行應入庫貨品的入庫動作、以及應出庫貨品的出庫動作。

於圖2之中，存取庫10備有本體部10a、保管庫內搬運裝置19、以及複數個架位15。保管庫內搬運裝置19係具有載置部11、水平驅動部13、以及垂直驅動部14，藉由控制部20的控制，在複數個架位15之間移載FOUP3。

載置部11，為了在複數個架位15之間移載FOUP3，藉由水平驅動部13往水平一方向、且由垂直驅動部14往垂直方向移動。載置部11係於上面具有第1載置面11a。第1載置面11a於移載時接觸FOUP3的底側，且將FOUP3從其底側支撐。第1載置面11a上，形成有作為支撐部材的凸部12。如圖3(b)所示，凸部12係形成為與FOUP3的凹部6相對應的尺寸，於移載時與此凹部6相卡合。

再次回到圖2，水平驅動部13係作為本發明關於「，驅動單元」之一例，藉由例如並未圖示的馬達，驅於朝水平一方向延伸的水平導引17上。水平驅動部13係與載置部11相連結，將載置部11沿著水平導引17，朝水平一方向D1來回移動。

垂直驅動部14係作為本發明關於「驅動單元」之一例，藉由例如並未圖示的馬達，驅動於朝垂直方向延伸的垂直導引18上。垂直驅動部14係固定於水平導引17的中央部。垂直驅動部14將此水平導引17沿著垂直導引18，朝垂直方向D2來回移動。於此來回移動時，載置部11係位於水平導引17的中央部。如此，載置部11係藉由水平驅動部13以及垂直驅動部14，朝垂直方向以及水平一方向之雙軸方向移動。

複數個架位15，係於垂直方向具有7階層、於最上層 的水平一方向具有1列、於該最上層下方之6層的水平一方向具有2列、且於各層的厚度方向有1列，由合計13個架位15構成。各個架位15係於上面具有第2載置面15a，FOUP3則載置於此第2載置面15a上。第2載置面15a上，形成有作為支撐部材之凸部16。如圖3(a)所示，凸部16係形成為，與FOUP3的凹部5相對應的尺寸，於載置(保管)時與此凹部5相卡合。

再次回到圖2，13個架位15之中的1個架位(換言之，其即為所具有之第2載置面15a)，係作為從運載部2接收FOUP3之入庫埠P1。被設定為入庫埠P1的架位15，係為位於從上數來第2層的2個架位15之中，其最頂層無架位的空間下方之架位(意即，位於圖2中的假想線P1內者)。

於本實施型態中，在本部體10a的內部，設定有將FOUP3受送往運載部2的假定出庫埠P4(意即，位於圖2中的假想線P4內者)。假定出庫埠P4係為入庫埠P1的上方且於最頂層不具有架位的空間。該等入庫埠P1以及假定出庫埠P4皆被設定為位於同一垂直線上，而位於入庫埠P1以及假定出庫埠P4上方及側方的本體部10a，則開放為可使得FOUP3進行出入庫。

控制部20於預計進行入庫時，在假定出庫埠P4上有載置部11的情形下，則藉由保管庫內搬運裝置19，將載置部11從假定出庫埠P4撤離。又或，當控制部20於預計進行入庫時，即使在下一個應即將出庫的FOUP3已承載於載置部11的情形下，也可藉由保管庫內搬運裝置19， 不將載置部11移動往假定出庫埠P4。藉此，應入庫的FOUP3從運載部2藉由假定出庫埠P4進行下降，形成可移載至入庫埠P1的情形。此外，控制部20於出庫時，藉由保管庫內搬運裝置19，將承載了應出庫的FOUP3之載置部11，移動至假定出庫埠P4。藉此，應出庫的FOUP3成為可從假定出庫埠P14移載至運載部2的情形。

除去作為入庫埠P1的架位15之外的12個架位15，係為用於保管FOUP3的保管用架位15(意即，如圖2中假想線P5內者)。12個保管用架位15中的一個架位，亦可作為假定出庫埠P6。設定為假定出庫埠P6的架位15，係為位於最頂層的1個架位(意即，位於圖2中的假想線P6內者)。

本實施型態中，將位於最頂層的1個架位(意即，圖2中的假想線P6內者)以及假定出庫埠P4之間的空間(意即，位於圖2中的假想線P3內者)，設定為待機位置P3。待機位置P3，係為將FOUP3從載置部11移動到假定出庫埠P4之所需時間最短的位置。

控制部20於出庫時，在應入庫的FOUP3移載至入庫埠P1前，藉由保管庫內搬運裝置19，將載置部移動至待機位置P3。其後，應入庫的FOUP3，在比載置於12個保管用架位15中的任何一個架位上都短的時間內，從待機位置P3移動至假定出庫埠P4。如此，待機位置P3係設定為位於實際進行出庫的假定出庫埠P4的側方，於進行迅速的出庫作業上十分有利。

關於存取庫10的配置，入庫埠P1以及假定出庫埠 P4，係配置於軌道1的下方。具體而言，載置部11移動的水平一方向的方位，係與軌道1的方位交為直角。

接著，參照圖4(a)進行關於本實施型態第1載置面以及第2載置面形體的說明。於此，圖4(a)係為顯示關於本實施型態之載置部於水平一方向動作狀態的平面圖。具體而言，圖4(a)相當於圖2中之A1-A1剖面，顯示出設置於從存取庫10最頂層算起第2層之2列架位15(第2載置面15a)。

如圖4(a)所示，從存取庫10的上面側觀之，第2載置面15a，係形成為馬蹄般的U字型，而第1載置面11a，係形成為填滿此U字型中央之島狀四角形。由此，第1載置面11a以及第2載置面15a，係具有互補的平面形狀。FOUP3係於這樣的第1載置面11a以及第2載置面以及15a之間，進行移載。

又，於圖3以及圖4(a)所示之例中，從平面觀之，第1載置面11a係位於第2載置面15a的內側，其外徑較小。然而，亦可反之使兩者的結構為：第1載置面11a位於第2載置面15a的外側且外徑變得較大。此時，作為圖4(a)所示的第1載置面以及第2載置面形體之變形例，如圖4(b)所示，例如從存取庫30的上方側觀之，第1載置面31a係形成為如馬蹄狀的U字型，而第2載置面35a，係形成為填滿此U字型中央之島狀四角形。如此，當移動往上下左右的第1載置面31a變大時，可增加將FOUP3載於載置部31以進行保管庫內搬運時的安定性，有利於防止FOUP3落下或是不穩定。

(第1實施型態的保管庫內搬運動作)

接著，參照圖2至圖4，對關於本實施型態之保管庫內的貨品移載、即保管庫內搬運的動作進行說明。

於圖2以及圖4之中，將藉由運載部2進行入庫、且載置於位於入庫埠P1的架位15其第2載置面15a(以下僅以「入庫埠P1的第2載置面15a」稱之)上的FOUP3，移載往位於同層的另一個第2載置面15a(意即，於圖2中以假想線所示的區域P5內者)。此時，首先，已完成將FOUP3移載往區域P2(意即，於圖2中以假想線所示者)的第2載置面15a之載置部11(於圖2中以虛線所示者)，移動至入庫埠P1的第2載置面15a正下方。此時，載置部11藉由水平驅動部13移動至水平導引17的約莫中央處後，藉由垂直驅動部14沿著垂直導引18移動往指定的垂直位置。此指定的垂直位置，係位於較入庫埠P1的第2載置面15a更下方處。之後，位於指定垂直位置的載置部11，藉由水平驅動部13沿著水平導引17移動往指定的水平位置(意即，圖2中以實線所示者)。如圖3(a)所示，此指定的水平位置，係位於FOUP3的凹部6之垂直下方、具有載置部11的凸部12所在處。

被移動往指定的垂直位置及水平位置的載置部11，藉由垂直驅動部14上升。藉由此上升，第1載置面11a通過第2載置部15a的中央，如圖3(b)所示，高於第2載置面15a。此時，於入庫埠P1的凹部5與凸部16的卡合分開，以第1載置面11a取代第2載置面15a支撐FOUP3，且藉由載置部11的凸部12以及FOUP3的凹部6之互相卡 合，將FOUP3從第2載置面15a移載往第1載置面11a。

載置了FOUP3的載置部11，移動至區域P5的第2載置面15a之正上方。此時，載置部11藉由水平驅動部13移動往水平一方向上指定的水平位置。此指定水平位置係指，位於區域P5的第2載置面15a其凸部16之垂直上方、即FOUP3的凹部5之所在位置。移動至指定水平位置的載置部11，係藉由垂直驅動部14下降。藉由這個下降，第1載置面11a通過區域P2的第2載置面15a的中央，如圖3(a)所示，其位置較第2載置面15a為低。此時，於區域P5的凸部12以及凹部6的卡合分開，以第2載置面15a取代第1載置面11a支撐FOUP3，且藉由FOUP3的凹部5以及第2載置面15a其凸部16的互相卡合，將FOUP3從第1載置面11a，移載往區域P5的第2載置面15a。藉此，將FOUP3從設定為入庫埠的區域P1、移往位於區域P5的保管用架位15的移載動作即告完成。此外，若將此移載工程以相反順序進行，即為從區域P5往入庫埠P1的移載動作。

(第1實施型態的出入庫動作處理)

接著參照圖5，說明關於本實施型態之保管庫的出入庫動作。於此，圖5係顯示關於本實施型態之保管庫於進行出入庫動作處理時的流程圖。此外，作為初始設定，載置部11係為從假定出庫埠P4撤離的狀態，意即，係位於假定出庫埠P4之外。

在圖5之中，首先基於半導體元件製程的工序，藉由控制部20對存取庫10進行是否有出庫要求的判斷(步驟 S31)。此時在無出庫要求的情形下(步驟S31：否)，即可省略由步驟S32以及步驟S33進行的出庫準備，實行步驟S34的處理。

另一方面，依據步驟S31的判定結果，當判定為有出庫要求時(步驟S31：是)，藉由保管庫內搬運裝置19，將保管於區域P2的保管用架位15之應出庫FOUP3，移載至載置部11(意即，從保管用架位15取出)(步驟S32)。接著，將載置著應出庫FOUP3的載置部11，移動至假定出庫埠P4側方的待機位置P3，至實際出庫為止呈待機狀態(步驟S33)。

接著，在判定運載部2是否抵達對應存取庫10的停止位置時，一併對抵達的運載部2進行其係為可入庫或可出庫的判定(步驟S34)。此時若判定為運載部2並未到達的情況下(步驟S34：未達)，再次實行步驟S31的處理。

另一方面，依據步驟S34判定的結果，在運載部2並未載有應出庫FOUP3、判定為可出庫的情況下(步驟S34：出庫用運載部)，即實行步驟S37的處理。另外，在運載部2載有應出庫FOUP3、判定為可入庫的情況下(步驟S34：入庫用運載部)，則藉由運載部2將應入庫的FOUP3從運載部2移載至入庫埠P1(步驟S35)。此時，載置部係位於假定出庫埠P4之外的待機位置P3，使得存取庫10呈可使得應入庫FOUP3入庫的狀態。

接著，判定是否有應出庫的FOUP3(步驟S36)。此時在無應出庫FOUP3的情形下(步驟S36：否)，即實行步驟S40的處理。另一方面，在有應出庫FOUP3的情形下(步 驟S36：是)，載置有應出庫FOUP3的載置部11，則從待機位置P3移動往假定出庫埠P4(步驟S37)。或，載置著FOUP3在假定出庫埠P6或其附近待機的載置部11，移動往假定出庫埠P4。藉此，假定出庫埠P4上載置有應出庫FOUP3，使得存取庫10呈可將應出庫FOUP3進行出庫的狀態。接著，藉由運載部2，將應出庫FOUP3從假定出庫埠P4移載往運載部2(步驟S38)。

接著，判定是否有已入庫的FOUP3(步驟S39)。此時在無已入庫FOUP3的情形下(步驟S39：否)，即結束一連串的出入庫動作處理，再次實行步驟S31的處理。另一方面，在有已入庫FOUP3的情形下(步驟S39：是)，藉由保管庫內搬運裝置19，將載置於入庫埠P1的已入庫FOUP3，移載往載置部11(意即，從入庫埠P1取出)(步驟S40)。接著，當載置有已入庫FOUP3的載置部11往區域P2移動時，應入庫FOUP3則從載置部11移載(收納)於保管用架位15(步驟S41)。由此，即結束一連串的出入庫動作處理。

如此，根據第1實施態樣的存取庫10，其係具有為使應入庫FOUP3入庫的入庫埠P1、以及為使應出庫FOUP3出庫的假定出庫埠P4，於入庫時，將載置部11從假定出庫埠P4撤離、或在撤離的情況下達到可入庫的狀態；出庫時，係將載置有應出庫FOUP3的載置部11移動往假定出庫埠P4，以達到可出庫的狀態，因此利用運載部2的升降動作以及載置部11的移動動作，可以簡單的結構進行效率良好的出入庫工作。

此外，根據本實施型態，在應入庫的FOUP3完成入庫為止，應出庫的FOUP3雖載置於假定出庫埠P3，但亦可為不載置於假定出庫埠P3，而是將載置著應出庫FOUP3的載置部11直接移動往假定出庫埠P4的側方或鄰近位置(意即，至少位於不會妨礙在入庫埠P1進行的入庫作業、且在較佳的情形下為易於且短時間內即可到達出庫埠P4的位置)。藉此，可將應出庫FOUP3載置於假定出庫埠P3、且不需從假定出庫埠P3的移載動作，可於短時間內完成出入庫。

此外，根據本實施型態，作為入庫埠P1的架位15上方的空間，雖設定為假定出庫埠P4，但亦可將架位15作為出庫埠以取代入庫埠的功能，而作為出庫埠的該架位15上方的空間設定為假定入庫埠。

(第2實施型態)

接著參照圖6，說明關於第2實施型態之保管庫結構。於此，圖6係為顯示關於第2實施型態之保管庫內部構造的模式，為與圖2意義相同的剖面圖。具體而言，第2實施型態與第1實施型態的相異點在於，將圖2所示的入庫埠P1設定為出庫埠、且將圖2所示的假定出庫埠P4設定為假定入庫埠。此外，於圖6所示的保管庫中，關於與圖2所示的保管庫結構相同的要素，係以同一號碼標示，省略其說明。

第2實施型態，係為關於本發明「第2保管庫」的實施型態。

在圖6之中，搬運系統200係具有軌道1、運載部2、存取庫110以及控制部120。存取庫110備有本體部110a、保管庫內搬運裝置19、以及複數個架位15。保管庫內搬運裝置19係具有載置部11、水平驅動部13、以及垂直驅動部14，藉由控制部120的控制，在複數個架位15之間移載FOUP3。

複數個架位15係與圖2所示的存取庫相同，由13個架位15構成。

13個架位15之中的1個架位，係作為從運載部2接收FOUP3之出庫埠P14。被設定為出庫埠P14的架位15，係為位於從上數來第2層的2個架位15之中，其最頂層無架位的空間下方之架位(意即，位於圖6中的假想線P14內者)。

於本實施型態中，在本部體110a的內部，設定有將FOUP3受送往運載部2的假定入庫埠P11(意即，位於圖6中的假想線P11內者)。假定入庫埠P4係為出庫埠P14的上方且於最頂層不具有架位的空間。該等出庫埠P14以及假定入庫埠P11，皆被設定為位於同一垂直線上，而位於出庫埠P14以及假定入庫埠P11上方及側方的本體部110a，則開放為可使得FOUP3進行出入庫。

控制部120於進行入庫時，藉由保管庫內搬運裝置19，將呈空載狀態的載置部11移動往假定入庫埠P11。藉此，應入庫的FOUP3從運載部2下降，形成可移載往假定入庫埠P11的狀態。此外，控制部120於出庫時，若載置 部11位於假定入庫埠P11時，則藉由保管庫內搬運裝置19，將載置部11從假定入庫埠P11撤離。藉此，應出庫的FOUP3從出庫埠P14經由假定入庫埠P11上升，成為可移載至運載部2的狀態。

(第2實施型態的出入庫動作處理)

接著參照圖7，說明關於本實施型態之保管庫的出入庫動作。於此，圖7係顯示關於本實施型態之保管庫於進行出入庫動作處理時的流程圖。

在圖7之中，首先如圖5所示的步驟S31，基於半導體元件製程的工序，藉由控制部120對存取庫110進行是否有出庫要求的判斷(步驟S51)。此時在無出庫要求的情形下(步驟S51：否)，即可省略由步驟S52以及步驟S53進行的出庫準備，實行步驟S54的處理。

另一方面，依據步驟S51的判定結果，當判定為有出庫要求時(步驟S51：是)，藉由保管庫內搬運裝置19，將保管於區域P2的保管用架位15之應出庫FOUP3，移載至載置部11(意即，從保管用架位15取出)(步驟S52)。接著，將載置著應出庫FOUP3的載置部11，移動至出庫埠P14，使應出庫FOUP3載置於出庫埠P14(步驟S53)。

接著，在判定運載部2是否抵達對應存取庫110的停止位置時，一併對抵達的運載部2進行其係為可入庫或可出庫的判定(步驟S54)。此時若判定為運載部2並未到達的情況下(步驟S54：未達)，再次實行步驟S51的處理。

另一方面，依據步驟S54判定的結果，在運載部2並 未載有應出庫FOUP3、判定為可出庫的情況下(步驟S54：出庫用運載部)，即實行步驟S59的處理。另外，在運載部2載有應入庫FOUP3、判定為可入庫的情況下(步驟S54：入庫用運載部)，則將空載的載置部11移動到假定入庫埠P11(步驟S55)。藉此，使得存取庫110呈可使應入庫FOUP3入庫的狀態。接著，藉由運載部2將應入庫的FOUP3從運載部2移載往假定入庫埠P11(步驟S56)。接著，載置著已入庫的FOUP3的載置部11，從假定入庫埠P11退出(步驟S57)。藉此，使得存取庫110呈隨使可使得應出庫FOUP3出庫的狀態。

接著，判定是否有應出庫的FOUP3(步驟S58)。此時在無應出庫FOUP3的情形下(步驟S58：否)，即實行步驟S61的處理。另一方面，在有應出庫FOUP3的情形下(步驟S58：是)，藉由運載部2將應出庫FOUP3，從出庫埠P14移載往運載部2(步驟S59)。

接著，判定是否有已入庫的FOUP3(步驟S60)。此時在無已入庫FOUP3的情形下(步驟S60：否)，即結束一連串的出入庫動作處理，再次實行步驟S51的處理。另一方面，在有已入庫FOUP3的情形下(步驟S60：是)，藉由保管庫內搬運裝置19，將載置有已入庫FOUP3的載置部11，移載往於區域P12後，應入庫FOUP3即從載置部11移載(收納)於保管用架位15(步驟S61)。由此，即結束一連串的出入庫動作處理。

如此，根據第2實施態樣的存取庫110，其係具有為 使應入庫FOUP3入庫的假定入庫埠P11、以及為使應出庫FOUP3出庫的出庫埠P14，於入庫時，將呈空載狀態的載置部11移動至假定入庫埠P11，以達到可入庫的狀態；出庫時，係應出庫FOUP3載置於出庫埠P14，且使得載置有FOUP3的載置部11，從假定入庫埠P11撤離，以達到可出庫的狀態，因此利用運載部2的升降動作以及載置部11的移動動作，可以簡單的結構進行效率良好的出入庫工作。

此外，於同一保管庫中，可選擇性實行上述之第1實施型態以及第2實施型態。例如，隨著現在要求的出入庫內容、存取庫內的載置部11的空載或載置情形、以及入庫埠或出庫埠的空載或載置情形，亦可將位於存取庫本體部中朝向最頂層開口的空間，適當地作為假定出庫埠或假定入庫埠運用。又且，亦可配合該等狀況，將位於存取庫本體部中未朝向最頂層開口的架位，適當地作為假定出庫埠或假定入庫埠運用。尤其，於具有眾多保管庫以及眾多運載部2的搬運系統中，可藉由這樣的假定出庫埠或是假定入庫埠的使用區分，更加提昇搬運效率。

(第3實施型態)

參照圖3以及圖8到圖11以說明關於第3實施型態的保管庫結構。

首先，參照圖8以說明關於附保管庫搬運系統的概要。於此，圖8係以顯示具有關於第3實施型態之保管庫的搬運系統外觀。此外，於圖8所示的保管庫中，關於與 圖2所示的保管庫結構相同的要素，係以同一號碼標示，省略其說明。

第3實施型態，係為關於本發明「第3保管庫」的實施型態。

在圖8之中，搬運系統100係具有軌道1、運載部2、存取庫10以及控制部20。

運載部2係具有本體部2a、上下移動部5、以及水平移動部6，以使得應入庫FOUP3可進行縱向移載，以及應出庫FOUP3可進行橫向移載。

於本部體2a內部之中，配置有上下移動部5以及水平移動部6。上下移動部5係被設置於水平移動部6的下方，以可進行水平移動。於本部體2a內部之中，在上下移動部5的下方，設置有可收納FOUP3的空間。本部體2a開放了該空間的下方底側、以及該空間的單側側面(即，圖8中運載部2的左側面)，使其收納的FOUP3可進行上下移動以及水平移動。

接著參考圖9以及圖10，以說明關於圖8所示的保管庫之內部構造。於此，圖9為同時顯示圖8之保管庫內部構造、以及由搬運車進行縱向移載之動作狀態模式；圖10為同時顯示關於第3實施型態的保管庫內部構造、以及由搬運車進行縱向移載之動作狀態模式。

在圖9以及圖10之中，係備有上下移動部5、吊車5a、皮帶5b、以及握爪5c。吊車5a係被有並未圖示的馬達，藉此馬達的控制進行將皮帶5b送出或捲起的動作。 皮帶5b的一端，係固定於吊車5a之並未圖示的捲軸上，另一端則固定於握爪5c的上端。為可把持住裝付於FOUP3上的凸緣4，握爪5c的兩端部係朝內側彎曲。握爪5c可於把持住凸緣4的把持狀態、以及放開凸緣4的解放狀態之間改變位置。吊車5a藉由將皮帶5b送出或捲起的動作，將握爪5c上下移動。運載部2亦可增設有可微調握爪5c對出庫埠或入庫埠相對位置的調整機構。

水平移動埠6係具有本部體6a、軌道6b、以及並未圖示的致動器。本部體6a的底側，形成有並未圖示的凹部，軌道6b係嵌合於該凹部。軌道6b係配置為，其長度方向垂直於軌道1、平行於水平方向，藉由本部體6a朝該水平方向移動。該軌道6b的下端係與上下移動部5的上端相嵌合，使上下移動部5沿著軌道6b移動。

在運載部2與存取庫10之間，進行應入庫FOUP3的入庫以及/或應出庫FOUP3的出庫時，運載部2係停止於位於存取庫10中的入庫埠P1上方、且於出庫埠P4的側方處。此時，入庫時如圖9所示，上下移動部5降下把持狀態下的握爪5c，藉由握爪5c將在把持狀態下的FOUP3的底側，在接觸入庫埠P1的位置上放開，藉以將應入庫FOUP3載置(意即，縱向移載)於入庫埠P1。又且，出庫時如圖10所示，水平移動部6係藉由軌道6b的水平移動、以及沿著軌道6b移動的上下移動部5的移動，將吊車5a水平移動至出庫埠P4的上方。此外，上下移動部5在其被移動至的位置上，將下在解放狀態下的握爪5c，藉由以 握爪5c把持載置於出庫埠P4的FOUP3，將應出庫FOUP3從出庫埠P4取出(意即，橫向移載)。在本實施型態之中，運載部2係連續進行此入庫動作以及出庫動作。

FOUP3係作為本發明關於「一貨品」以及「另一貨品」的一例，在保管庫10內部，進行目的為保管庫10與運載部2間之入庫、出庫、以及調整保管位置等的搬運動作(意即，保管庫內搬運)。

接著，參照上述的圖3以及圖11，以說明關於將FOUP於載置部之間的受送構造以及其動作。於此，圖11為關於實施型態中載置部往水平一方向的動作狀態。

如圖3以及圖11所示，FOUP3係於底側具有凹部5以及凸部6。

再次回到圖8，控制部20係於例如半導體元件製程之中，對於存取庫10進行FOUP3的出入庫(保管庫內搬運)指示。

(第3實施型態的保管庫個體)

接著參照圖3、圖9以及圖10，對保管庫個體的構造與動作加以說明。於本實施型態中，係於存取庫10與運載部2之間，連續進行應入庫貨品的入庫動作、以及應出庫貨品的出入庫動作。

在圖9之中，存取庫10係備有本體部10a、保管庫內搬運裝置19、複數的架位15、以及滑動部21。

本體部10a，係作為本發明中關於「框體或框架」之一例，開放為可使FOUP3進行出入庫。具體而言，本體部 10a，係形成有可將應入庫FOUP3往本部體10a內取入用的開口H1、以及將應出庫FOUP3往本部體10a外取出用的開口H2。開口H1係作為本發明中關於「一出入口」的一例，設置於軌道1側的側壁；開口H2係作為本發明中關於「其他出入口」的一例，設置於軌道1側的側壁以及連接往該側壁的部分頂壁。此外，開口H2雖係將出庫埠的周圍大範圍切開而成，但在運載部3可藉由橫向移載取出貨品的限度內，出庫埠的周圍亦可有壁面包圍。

複數個架位15，係於垂直方向具有7階層、於各層的水平一方向具有2列、且於各層的厚度方向有1列，由合計14個架位構成。

再次回到圖9，14個架位15之中的1個架位(換言之，其即為所具有之第2載置面15a)，係構成為可朝本體部10a的外側以及內側水平移動。該1個架位，係為位於本體部10a的外側時，作為用以將FOUP3從運載部2接收的入庫埠P1之入庫用架位I15。入庫用架位I15，係為從上數來第2層的2個架位15之中，靠近開口H1之架位(意即，位於圖9中的假想線P1內者)。

除去作為入庫用架位I15之外的13個架位15中的1個架位，係為用於往運載埠2受送FOUP3的出庫埠P4之出庫用架位O15。出庫用架位O15，係為位於最上層的2個架位之中，接近開口H2的架位(意即，如圖9中假想線P4內者)。

滑動部21，係作為本發明中關於「內外移動單元」之 一例，在配置於本體部10a外側的入庫位置(意即，如圖9中以實線所示者)、在及配置於本體部10a內側的搬運位置(意即，如圖9中以虛線所示者)之間，水平移動入庫用架位15。滑動部21係備有本體部21a、以及支持部21b。本體部21a係備有並未圖示的致動器，將支持部21b水平移動往與軌道1垂直的水平方向。支持部21b的頂面，係固定於入庫用架位I15的底側，將入庫用架位I15從其底側支撐。滑動部21於入庫時，藉由將支持部21b移動往本體部10a的外側，使得入庫用架位I15變位於入庫位置，以設定入庫埠P1。滑動部21，係於應入庫FOUP3載置於位於入庫位置的入庫用架位I15(換言之，入庫於入庫埠P1)後，藉由將支持部21b移動往本體部10a的內部，使得入庫用架位I15變位於搬運位置，使已入庫FOUP3呈可進行保管庫內搬運的狀態。

控制部20，係作為本發明中關於「控制單元」之一例，於預計入庫、而入庫用架位I15位於搬運位置時，控制部20控制滑動部21，以將入庫用架位I15移動至入庫位置。藉此，應入庫FOUP3係為可從運載部2移載於入庫用架位I15(換言之，入庫埠P1)的狀態。此外，控制部20係於入庫(意即，應入庫FOUP3載置於入庫用架位I15上)後，控制滑動部21，以將入庫用架位I15移動至搬運位置。藉此，應入庫FOUP3係為可於包括入庫用架位I15的所有架位之間相互移載的狀態。

除了入庫用架位I15以及出庫用架位O15的其餘12 個架位15，係為用以保管FOUP3的保管用架位15(意即，例如於圖9中於假想線P5內者)。控制部20於將入庫用架位I15移動至搬運位置後，將載置於入庫用架位15的FOUP3移動至任一個保管用架位15，收容於存取庫10之內。

控制部20於即將進行接續於入庫後的出庫動作時，直至將應入庫FOUP3從運載部2移載至入庫用架位15時，控制保管庫內搬運裝置19，將載置部11從所期望的保管用架位15移動至出庫埠P4，將應出庫FOUP3載置於出庫用架位O15。藉此，應出庫FOUP3則可從出庫用架位O15(換言之，出庫埠P4)移載至運載部2的狀態。其後，控制部20控制運載部2，將應出庫FOUP3從出庫埠P4移載至運載部2。此時，應出庫FOUP3在本體部2a之內，可在比位於較入庫用架位15更上方的任一個保管用架位15移動至運載部2所需的更短時間內，從出庫埠P4移動至運載部2。如此，出庫埠P4若為，距離停止於對應存取庫10的停止位置上的運載部2較近者，則有利於迅速進行出庫作業。

關於存取庫10的配置，入庫埠P1係配置於軌道1的下方，且出庫埠P4係配置於軌道1與入庫埠P1之間的空間的偏側方。更詳細的配置情形為，載置部11移往的水平一方向的方位，與軌道1的方位交為直角。

(第3實施型態的保管庫內搬運動作)

接著，參照圖3、以及圖9至圖11，對關於本實施型 態之保管庫內的貨品移載、即保管庫內搬運的動作進行說明。

於圖9以及圖11之中，藉由運載部2，將載置於位於本體部10a外側(意即，入庫位置)的入庫用架位15的其第2載置面15a上的FOUP3，移載往位於同層的另一個第2載置面15a(意即，於圖9中以假想線所示的區域P5內者)。此時，首先藉由滑動部21，將位於入庫位置的入庫用架位I15(意即，如圖11(a)中以假想線所示者)移動往內側，使之為可進行保管庫內搬運的狀態(意即，如圖11(a)中以實線所示者)。接著，完成將FOUP3移載往區域P2(意即，如圖9中以假想線所示者)內的第2載置面15a動作的載置部11(意即，如圖9中以虛線所示者)，移動往入庫用架位I15的第2載置面15a之正下方。此時，當載置部11藉由水平驅動部13移動至水平導引17的約莫中央處後，藉由垂直驅動部14沿著垂直導引18移動往指定的垂直位置。此指定的垂直位置，係為位於較本體部10a內側(意即，搬運位置)的入庫用架位I15的第2載置面15a更下方處。之後，位於指定垂直位置的載置部11，藉由水平驅動部13沿著水平導引17移動往指定的水平位置(意即，如圖9中以實線所示者)。如圖3(a)所示，此指定的水平位置，係位於FOUP3的凹部6之垂直下方、具有載置部11的凸部12所在處。

被移動往指定的垂直位置及水平位置的載置部11，藉由垂直驅動部14上升。藉由此上升，第1載置面11a通 過第2載置部15a的中央，如圖3(b)所示，高於第2載置面15a。此時，於入庫埠P1的凹部5與凸部16的卡合分開，以第1載置面11a取代第2載置面15a支撐FOUP3，且藉由載置部11的凸部12以及FOUP3的凹部6之互相卡合，將FOUP3從第2載置面15a移載往第1載置面11a。

載置了FOUP3的載置部11，移動至區域P5的第2載置面15a之正上方。此時，載置部11藉由水平驅動部13移動往水平一方向上指定的水平位置。此指定水平位置係指，位於區域P5的第2載置面15a其凸部16之垂直上方、即FOUP3的凹部5之所在位置。移動至指定水平位置的載置部11，係藉由垂直驅動部14下降。藉由這個下降，第1載置面11a通過區域P2的第2載置面15a的中央，如圖3(a)所示，其位置較第2載置面15a為低。此時，於區域P5的凸部12以及凹部6的卡合分開，以第2載置面15a取代第1載置面11a支撐FOUP3，且藉由FOUP3的凹部5以及第2載置面15a其凸部16的互相卡合，將FOUP3從第1載置面11a，移載往區域P5的第2載置面15a。藉此，將FOUP3從入庫埠P1(意即，位於入庫位置的入庫用架位I15)移往區域P5(意即，保管用架位15)的移載動作即告完成。此外，若將此移載工程以相反順序進行，即為從區域P5往入庫埠P1的移載動作。

(第3實施型態的出入庫動作處理)

接著參照圖12，說明關於本實施型態之保管庫的出入庫動作。於此，圖12係顯示關於本實施型態之保管庫於 進行出入庫動作處理時的流程圖。此外，作為初始設定，入庫用架位係位於本體部10a外側的。

在圖12之中，首先基於半導體元件製程的工序，藉由控制部120對存取庫10進行是否有出庫要求的判斷(步驟S31)。此時在無出庫要求的情形下(步驟S31：否)，即可省略由步驟S32以及步驟S33進行的出庫準備，實行步驟S34的處理。

另一方面，依據步驟S31的判定結果，當判定為有出庫要求時(步驟S31：是)，藉由保管庫內搬運裝置19，將保管於區域P2的保管用架位15之應出庫FOUP3，移載至載置部11(意即，從保管用架位15取出)(步驟S32)。接著，將載置著應出庫FOUP3的載置部11，移動至出庫埠P4後，使應出庫FOUP3從載置部11移載於出庫埠P4(意即，出庫用架位O15)(步驟S33)。

接著，在判定運載部2是否抵達對應存取庫10的停止位置時，一併對抵達的運載部2進行其係為可入庫或可出庫的判定(步驟S34)。此時若判定為運載部2並未到達的情況下(步驟S34：未達)，再次實行步驟S31的處理。

另一方面，依據步驟S34判定的結果，在運載部2並未載有應入庫FOUP3、判定為可出庫的情況下(步驟S34：出庫用運載部)，即實行步驟S38的處理。另外，在運載部2載有應入庫FOUP3、判定為可入庫的情況下(步驟S34：入庫用運載部)，則藉由運載部2的縱向移載，將應入庫FOUP3從運載部2移載至入庫埠P1(意即，位於入庫 位置的入庫用架位I15)(步驟S35)。接著，藉由滑動部21，將入庫用架位I15移動至本部體10a內側的搬運位置後，已入庫的FOUP3即水平移動至可進行保管庫內搬運的位置(步驟S36)。

接著，判定出庫埠P4上是否有應出庫的FOUP3(步驟S37)。此時在無應出庫FOUP3的情形下(步驟S37：否)，即實行步驟S40的處理。另一方面，在有應出庫FOUP3的情形下(步驟S37：是)，則藉由運載部2進行橫向移載，將應出庫FOUP3，從出庫埠P4移載往運載部2(步驟S38)。

接著，判定位於搬運位置的入庫用架位I15上，是否有已入庫的FOUP3(步驟S39)。此時在無已入庫FOUP3的情形下(步驟S39：否)，即結束一連串的出入庫動作處理，再次實行步驟S31的處理。另一方面，在尚有已入庫FOUP3的情形下(步驟S39：是)，藉由保管庫內搬運裝置19，將載置於位於搬運位置之入庫用架位I15之已入庫FOUP3，移載往載置部11(意即，從入庫用架位I15取出)(步驟S40)。接著，當狀態為載置有已入庫FOUP3的載置部11，往區域P2移動後，已入庫FOUP3即從載置部11移載(收納)於保管用架位15(步驟S41)。由此，即結束一連串的出入庫動作處理。

如此，根據第3實施態樣的存取庫10，其係具有設有開口H1以及開口H2的本體部10a、位於較入庫用架位I15以及該入庫用架位的位置為高之包含出庫用架位O15的複數個架位15、以及將入庫用架位I15移動往本體部10a之 外側以及內側的滑動部21。於此類存取庫10中，可於入庫時將空載的入庫用架位I15，從本體部10a內側經由開口H1移動往或移動至該外側以及內側，藉由運載部2的橫向移載，將應入庫FOUP3從運載部2載置於入庫用架位I15。此外，於出庫時，可藉由運載部2的橫向移載，將應出庫FOUP3從出庫用架位O15經由開口2取往運載部2。藉由與此種可縱向移載以及橫向移載運載部2之間連續進行的出入庫動作，並非將應入庫FOUP3以及應出庫FOUP3暫時放置，而是直接從運載部2移載往入庫埠P1(意即，位於入庫位置的入庫用架位I15)、或從出庫埠P4(意即，出庫用架位O15)移載往運載部2。因此，可藉由相對簡單的結構，達到更有效率的出入庫動作。

此外，根據本實施型態，可將入庫埠P1設置於軌道1的下方、出庫埠P4則設置於較軌道1與入庫埠P1之間隙更為側方的位置，亦可將出庫埠P4取代入庫埠P1設置於軌道1的下方、而將入庫埠P1取代出庫埠P4設置於較該空間更為側方的位置。

(第4實施型態)

接著參照圖13以說明關於第4實施型態的保管庫結構。於此，圖13係為顯示關於第4實施型態的保管庫內部構造模式的平面圖，其用意與圖9相同。具體而言，於第4實施型態之中與第3實施型態的相異點在於，將圖9所示的入庫埠P1設定為出庫埠，且將圖9所示的出庫埠P4設定為入庫埠。此外，於圖13所示的保管庫中，關於 與圖9所示的保管庫結構相同的要素，係以同一號碼標示，省略其說明。

第4實施型態，係為關於本發明「第4保管庫」的實施型態。

在圖13之中，搬運系統200係具有軌道1、運載部2、存取庫110以及控制部120。存取庫110係具有本體部10a、保管庫內部搬運裝置19、複數個架位115、以及滑動部121。保管庫內部搬運裝置19則備有載置部11、水平驅動部13、以及垂直驅動部14，藉由控部120的控制，將FOUP3在複數個架位115之間進行移載。

本部體110a係與圖9所示的存取庫10相同，開放為可使得FOUP3進行出入庫。具體而言，本部體110a上，係形成有為將應出庫FOUP3送出往本體部110a的開口H11、以及為將應入庫FOUP3放入本體部110a的開口H12。

複數個架位115係與圖9所示的存取庫10相同，由14個架位115所構成。

14個架位115中的1個架位，係構成為可往本體部110a的外側以及內側水平移動。當該1個架位係位於本體部110a的外側時，其係作為將FOUP3受送往運載部2的出庫埠P14之出庫用架位O115。出庫用架位O115係為從，係為位於從上數來第2層的2個架位115之中，接近開口H11的架位(意即，位於圖13中的假想線P14內者)。

除去作為出庫用架位O115之外的13個架位115中的1個架位，係作為用於從運載埠2取得FOUP3的入庫埠P11 之入庫用架位I115。入庫用架位I115，係為位於最上層的2個架位之中，接近開口H12的架位(意即，如圖13中假想線P11內者)。

滑動部121，係於配置於本體部110a外側的出庫位置(意即，如圖13中以時線所示者)、以及配置於本體部110a內側的搬運位置(意即，如圖13中以虛線所示者)之間，將出庫用架位O115進行水平移動。

控制部120，係於預計出庫、而出庫用架位O115尚為空載狀態且位於搬運位置的情況下，控制保管庫內搬運裝置19，將應出庫FOUP3載置於位於搬運位置的出庫用架位O115。由此，即控制滑動部121，將載置有應出庫FOUP3的出庫用架位O115移動至出庫位置。藉此，應出庫FOUP3則為可從出庫用架位O115(換言之，出庫埠P14)移載往載部2的狀態。此外，控制部120係於出庫(意即，應出庫FOUP3自出庫用架位O115舉起)後，控制滑動部121，將出庫用架位O115移動至搬運位置。藉此，則使得出庫用架位O115，呈可載置應出庫FOUP3的狀態。

控制部20於即將進行接續於入庫後的出庫動作時，直至將應入庫FOUP3從運載部2移載至入庫用架位I115時，控制保管庫內搬運裝置19，將載置部11從所期望的保管用架位115移動至位於搬運位置的出庫用架位O115，將應出庫FOUP3載置於該出庫用架位O115。又且，控制部120控制滑動部121，將載置有應出庫FOUP3的出庫用架位O115，從搬運位置移動往出庫位置。

(第4實施型態的出入庫動作處理)

接著參照圖14，說明關於本實施型態之保管庫的出入庫動作。於此，圖14係顯示關於本實施型態之保管庫於進行出入庫動作處理時的流程圖。

在圖14之中，首先如圖12所示的步驟S31，係基於半導體元件製程的工序，藉由控制部120對存取庫110進行是否有出庫要求的判斷(步驟S51)。此時在無出庫要求的情形下(步驟S51：否)，即可省略由步驟S52到步驟S54進行的出庫準備，實行步驟S55的處理。

另一方面，依據步驟S51的判定結果，當判定為有出庫要求時(步驟S51：是)，藉由保管庫內搬運裝置19，將保管於區域P2的保管用架位115之應出庫FOUP3，移載至載置部11(意即，從保管用架位115取出)(步驟S52)。接著，將載置著應出庫FOUP3的載置部11，移動至位於本體部110a內側搬運位置的出庫用架位O115後，使應出庫FOUP3從載置部11移載於出庫用架位O115(步驟S53)。接著，藉由滑動部121，將出庫用架位O115水平移動至本體部110a外側的出庫位置後(步驟S54)。

接著，在判定運載部2是否抵達對應存取庫110的停止位置時，一併對抵達的運載部2進行其係為可入庫或可出庫的判定(步驟S55)。此時若判定為運載部2並未到達的情況下(步驟S55：未達)，再次實行步驟S51的處理。

另一方面，依據步驟S55判定的結果，在運載部2並未載有應入庫FOUP3、判定為可出庫的情況下(步驟S55： 出庫用運載部)，即實行步驟S58的處理。另外，在運載部2載有應入庫FOUP3、判定為可入庫的情況下(步驟S55：入庫用運載部)，則藉由運載部2的橫向移載，將應入庫FOUP3從運載部2移載至入庫埠P11(意即，位於入庫位置的入庫用架位I115)(步驟S56)。

接著，判定位於出庫位置的出庫用架位O115上是否有應出庫FOUP3(步驟S57)。此時在無應出庫FOUP3的情形下(步驟S57：否)，即實行步驟S61的處理。另一方面，在有應出庫FOUP3的情形下(步驟S57：是)，則藉由運載部2進行縱向移載，將應出庫FOUP3，從出庫埠P14(意即，位於出庫位置的出庫用架位O115)移載往運載部2(步驟S58)。接著，藉由滑動部121，將出庫用架位O115水平移動至搬運位置(步驟S59)。

接著，判定入庫埠P11(意即，入庫用架位I115)上，是否有已入庫FOUP3(步驟S60)。此時在無已入庫FOUP3的情形下(步驟S60：否)，即結束一連串的出入庫動作處理，再次實行步驟S51的處理。另一方面，在尚有已入庫FOUP3的情形下(步驟S60：是)，藉由保管庫內搬運裝置19，將載置於入庫埠P11的已入庫FOUP3，移載往載置部11(意即，從入庫用架位I115取出)(步驟S61)。接著，當狀態為載置有已入庫FOUP3的載置部11，往區域P2移動後，已入庫FOUP3即從載置部11移載(收納)於保管用架位115(步驟S62)。由此，即結束一連串的出入庫動作處理。

如此，根據第4實施態樣的存取庫110，其係具有設有開口H11以及開口H12的本體部110a、位於較出庫用架位O115以及該出庫用架位O115的位置為高之包含入庫用架位I115的複數個架位115、以及將出庫用架位O115移動往本體部110a之外側以及內側的滑動部121。於此類的存取庫110中，可於入庫時藉由運載部2的橫向移載，將應入庫FOUP3從運載部2經由開口H12載置於入庫用架位I115。此外，於出庫時，可將狀態為載置有應出庫FOUP3的出庫用架位O115，從本體部110a內側經由開口H11移動往或移動至該外側以及內側，以經由運載部2的縱向移載，將應出庫FOUP3從出庫埠往運載部2舉起。藉由與此種可縱向移載以及橫向移載運載部2之間連續進行的出入庫動作，並非將應入庫FOUP3以及應出庫FOUP3暫時放置，而是直接從運載部2移載往入庫埠P11(意即，位於入庫位置的入庫用架位I115)、或從出庫埠P14(意即，出庫用架位O115)移載往運載部2。因此，可藉由相對簡單的結構，達到更有效率的出入庫動作。

此外，於同一保管庫中，可選擇性實行上述之第3實施型態以及第4實施型態。例如，隨著現在要求的出入庫內容、存取庫內的載置部11的空載或載置情形、以及入庫埠或出庫埠的空載或載置情形，亦可將複數個架位中位於從最頂層算起第2層之2列架位且朝向開口H11水平移動的架位，適當地作為入庫埠或出庫埠運用。又且，亦可配合該等狀況，將位於最頂層且朝向開口H12的架位，適 當地作為入庫埠或出庫埠運用。尤其，於具有眾多保管庫以及眾多搬運車的搬運系統中，可藉由這樣的入庫埠或是出庫埠的使用區分，更加提昇搬運效率。

本發明不只限於上述的實施型態，亦可於不違反讀取自專利申請範圍以及說明書整體內容的發明主旨或思想的情況下，進行適度的改變，而隨著這些改變製作的出入庫方法，也包含在本發明的技術範圍之內。

1、6b‧‧‧軌道

2‧‧‧運載部

2a、5a‧‧‧吊車

3‧‧‧晶圓盒

4‧‧‧凸緣

5、6‧‧‧凹部

5‧‧‧上下移動部

5b‧‧‧皮帶

5c‧‧‧握爪

6‧‧‧水平移動部

10、30、110‧‧‧存取庫

10a、2a、6a、21a、110a‧‧‧本體部

11、31‧‧‧載置部

11a、31a‧‧‧第1載置面

12、16‧‧‧凸部

13‧‧‧水平驅動部

14‧‧‧垂直驅動部

15、115‧‧‧架位

15a、35a‧‧‧第2載置面

17‧‧‧水平導引

18‧‧‧垂直導引

19‧‧‧保管庫內搬運裝置

20、120‧‧‧控制部

21、121‧‧‧滑動部

21b‧‧‧支持部

100、200‧‧‧搬運系統

D1‧‧‧水平一方向

D2‧‧‧垂直方向

H1、H2、H11、H12‧‧‧開口

I15、I115‧‧‧入庫用架位

O15、O115‧‧‧出庫用架位

P1、P11‧‧‧入庫埠

P4、P14‧‧‧出庫埠

P2、P5‧‧‧區域

P1、P3、P4、P5、P6、P11、P14‧‧‧假想線

P3‧‧‧待機位置

P3、P4、P6、P11‧‧‧假定出庫埠

S31~S41、S51~S62‧‧‧步驟

圖1為顯示備有關於本發明第1實施型態保管庫的搬運系統之外觀立體圖；圖2為顯示關於第1實施型態之保管庫內部構造的剖面圖；圖3為顯示關於第1實施型態的第1載置面以及第2載置面卡合狀態的剖面圖；圖4為顯示關於實施型態的載置部往水平一方向之動作狀態的平面圖；圖5為顯示關於第1實施型態之保管庫於進行出入庫動作處理時的流程圖；圖6為顯示備有關於本發明第2實施型態保管庫的搬運系統之外觀立體圖；圖7為顯示關於第2實施型態之保管庫於進行出入庫動作處理時的流程圖；圖8為顯示備有關於本發明第3實施型態保管庫的搬 運系統之外觀立體圖；圖9為同時顯示關於第3實施型態的保管庫內部構造、以及由搬運車進行縱向移載之動作狀態模式的平面圖；圖10為同時顯示關於第3實施型態的保管庫內部構造、以及由搬運車進行縱向移載之動作狀態模式的平面圖；圖11為顯示關於實施型態的載置部往水平一方向之動作狀態的平面圖；圖12為顯示關於第3實施型態之保管庫於進行出入庫動作處理時的流程圖；圖13為同時顯示關於第4實施型態的保管庫內部構造、以及由搬運車進行縱向移載之動作狀態模式的平面圖；以及圖14為顯示關於第4實施型態之保管庫於進行出入庫動作處理時的流程圖。

1．．．軌道

2．．．運載部

2a．．．吊車

3．．．晶圓盒(FOUP)

4．．．凸緣

10．．．存取庫

10a．．．本體部

11．．．載置部

11a．．．第1載置面

13．．．水平驅動部

14．．．垂直驅動部

15．．．架位

17．．．水平導引

18．．．垂直導引

19．．．保管庫內搬運裝置

D1．．．水平一方向

D2．．．垂直方向

P2．．．區域

P3．．．待機位置

P4．．．埠

P5．．．假想線

P6．．．假定出庫埠

Claims (17)

1. 一種保管庫，其係與一能將一貨品及另一貨品分別升降的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫的保管庫，包含：複數個架位，其係將該貨品及該另一貨品收納或載置，配置於上下方向，於上側具有1個架位作為從該搬運車移載該貨品的入庫埠；一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐的一第1載置面；一驅動單元，其係使該載置部於該等複數個架位之間相互移動，將該載置部移動於該等架位與一假定出庫埠之間，該假定出庫埠是未存在有該等架位，且設定在該入庫埠的同一垂直線上方及該搬運車下方的空間處；以及一控制單元，其係於該貨品應入庫時，控制該驅動單元以使該載置部為從該假定出庫埠撤離、或保持撤離的狀態下，而使該入庫埠與該搬運車之間可移載該貨品，且其係於該另一貨品應出庫時，控制該驅動單元以使狀態為載置有該另一貨品之該載置部移動至該假定出庫埠，而使該載置部與該搬運車之間可移載該另一貨品，其中，當該貨品入庫時，該控制單元讓該載置部撤離或保持撤離，以使該貨品可經由該假定出庫埠下降 至該入庫埠。
2. 一種保管庫，其係與一能將一貨品及另一貨品分別升降的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫的保管庫，包含：複數個架位，其係將該貨品及該另一貨品收納或載置，配置於上下方向，於上側具有1個架位作為將該另一貨品移載往該搬運車的出庫埠；一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐的一第1載置面；一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動，將該載置部移動於該等架位與一假定入庫埠之間，該假定入庫埠是未存在有該等架位，且設定在該出庫埠的同一垂直線上方及該搬運車下方的空間處；以及一控制單元，其係於該貨品應入庫時，控制該驅動單元以將空載的該載置部為配置或保持配置於該假定入庫埠的狀態下，而使該載置部與該搬運車之間可移載該貨品，且其係於該另一貨品應出庫時，控制該驅動單元以將該載置部為從該假定入庫埠撤離、或保持撤離的狀態下，且控制該驅動單元以將狀態為載置有該另一貨品的該載置部移動至該出庫埠，再將該另一貨品從受到移動的載置部移載往該出庫埠，而使該出庫埠與該搬運車之間可移載該另一貨 品，其中，當該貨品出庫時，該控制單元讓該載置部撤離或保持撤離，以使該另一貨品可從該出庫埠經由該假定入庫埠進行上升。
3. 如申請專利範圍第1項所述之保管庫，其中該驅動單元包含：一水平驅動部，其係使該載置部朝一水平方向來回移動；以及一垂直驅動部，其係使該載置部朝垂直方向來回移動，其中，該等複數個架位係於沿著垂直方向的複數階層之每階層上、藉由該水平驅動部而可到達的水平位置上設有一個或複數個，且其係分別具有將該貨品以及該另一貨品於該第1載置面之間相互移載之第2載置面，該等複數個架位中位於該假定出庫埠下層的架位，係作為該入庫埠。
4. 如申請專利範圍第3項所述之保管庫，其中該等複數個架位更包含設於其與該假定出庫埠之間，藉由該水平驅動部可相互抵達的水平位置上的一另一架位。
5. 如申請專利範圍第4項所述之保管庫，其中該控制單元係控制該驅動單元，在該貨品從該搬運車移載至該入庫埠前，將該載置部移動至該另一架位，使得該另一貨品由該另一架位支撐。
6. 如申請專利範圍第4項所述之保管庫，其中該控制單元係控制該驅動單元，在該貨品從該搬運車移載至該入庫埠前，將載置有該另一貨品的該載置部，移動至設於該假定出庫埠以及該另一架位之間的空間的待機位置，使得該另一貨品由該另一架位支撐。
7. 一種出入庫方法，係於保管庫與將一貨品及另一貨品升降的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫，該保管庫具有(i)複數個架位，其係將該貨品以及該另一貨品收納或載置，配置於上下方向，於上側具有1個架位作為將該貨品從該搬運車移載的入庫埠，(ii)一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之第1載置面，以及(iii)一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動，將該載置部移動於該等架位與一假定出庫埠之間，該假定出庫埠是在未存在有該等架位且設定在該入庫埠的同一垂直線上方及該搬運車下方的空間處，此方法包含：一入庫準備工程，控制該驅動單元使得該載置部從該假定出庫埠撤離或保持撤離，而使該入庫埠與該搬運車之間可移載該貨品；一入庫工程，其係接續於該入庫準備工程後，藉由將該貨品從該搬運車移載往該入庫埠，使得該貨品入庫於該保管庫； 一出庫準備工程，其係接續該入庫工程，控制該驅動單元使得載置有該另一貨品的該載置部移動至該假定出庫埠，而使該載置部與該搬運車之間可移載該另一貨品；以及一出庫工程，其係接續於該出庫準備工程後，藉由將該另一貨品從假定出庫埠移載至該搬運車，使得該另一貨品從該保管庫出庫，其中，在該入庫準備工程中，係讓該載置部撤離或保持撤離，以使該貨品在該入庫工程中可經由該假定出庫埠下降至該入庫埠。
8. 一種出入庫方法，係於保管庫與一能將一貨品及另一貨品分別升降的搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫，該保管庫具有(i)複數個架位，其係將該貨品以及該另一貨品收納或載置，配置於上下方向，於上側具有1個架位作為將該另一貨品朝該搬運車移載的出庫埠；(ii)一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之第1載置面；以及(iii)一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動，將該載置部移動於該等架位與一假定入庫埠之間，該假定入庫埠是在未存在有該等架位且設定在該出庫埠的同一垂直線上方及該搬運車下方的空間處，此方法包含：一第1出庫準備工程，其係控制該驅動單元以移動載 置有該另一貨品的該載置部，以將該另一貨品從該受到移動的載置部移載至該出庫埠；一入庫準備工程，其係接續於該第1出庫準備工程後，控制該驅動單元使得空載的該載置部移動於該假定入庫埠，而使該載置部與該搬運車之間可移載該貨品；一入庫工程，其係接續於該入庫準備工程後，藉由將該貨品從該搬運車移載往該假定入庫埠，使得該貨品入庫於該保管庫；一第2出庫準備工程，其係接續該入庫工程，控制該驅動單元使得該載置部從該假定入庫埠撤離或保持撤離，而使該出庫埠與該搬運車之間可移載該另一貨品；以及一出庫工程，其係接續於該第2出庫準備工程後，藉由將該另一貨品從該出庫埠移載至該搬運車，使得該另一貨品出庫於該保管庫，其中，在該第2出庫準備工程中，係讓該載置部撤離或保持撤離，以使該另一貨品在該出庫工程中可從該出庫埠經由該假定入庫埠進行上升。
9. 一種保管庫，其係與一搬運車之間，連續進行該貨品的入庫及該另一貨品的出庫，該搬運車包含一上下移動部及一水平移動部，該上下移動部使該貨品及該另一貨品分別升降，該水平移動部使該貨品及該另一貨 品分別進行水平移動，該搬運車藉由該上下移動部的升降動作而可進行縱向移載，並藉由該上下移動部的升降動作及該水平移動部的水平移動動作而可進行橫向移載，該保管庫係包含：一框體或一框架；複數個架位，其係配置於上下方向，配置於該框體或該框架內且將該貨品以及該另一貨品收納或載置，其具有(i)一架位作為入庫埠，在載置有該貨品的狀態下，該架位經由設置於該框體外壁或該框架外框之一出入口，在該框體或該框架的內側以及外側間進行水平移動，於往該外側移動後，讓該貨品從該搬運車藉由該縱向移載置而載置，以及(ii)另一架位作為出庫埠，其係位於較該架位更上方的位置，經由設置於該外壁或該外框的其他出入口，藉由往該搬運車的該橫向移載讓該另一貨品取出；以及一內外移動單元，其係選擇性地於該架位往該外側以及該內側進行水平移動，其中，該入庫埠配置在該搬運車移載該貨品或該另一貨品時的一停止位置的正下方，該出庫埠配置在該停止位置的側方，且該入庫埠及該出庫埠係配置在從上下方向及左右方向皆不互相重疊的位置。
10. 如申請專利範圍第9項所述之保管庫，更包含一控制 單元，其係該控制內外移動單元，在該貨品應入庫的情況下，控制該內外移動單元將該架位水平移動至該外側，使得該貨品載置於該架位之後，將該架位水平移動至該內側。
11. 如申請專利範圍第10項所述之保管庫，更包含：一載置部，其係具有對該貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之第1載置面；以及一驅動單元，其係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動，其中，該控制單元係於該貨品應入庫時，控制該驅動單元，使得該架位水平移動至該內側後，藉由該載置部將該貨品從該架位移動至該等複數個架位中該架位以外的架位，該控制單元係於該另一貨品應出庫時，控制該驅動單元，藉由該載置部將該另一貨品從該等複數個架位中的該另一架位以外的架位、移動往該另一架位。
12. 如申請專利範圍第11項所述之保管庫，其中該驅動單元更包含：一水平驅動部，其係使該載置部往一水平方向來回移動；以及一垂直驅動部，其係使該載置部沿一垂直方向來回移動，其中，該等複數個架位沿著該垂直方向的複數階層之 每階層上、藉由該水平驅動部而可到達的水平位置上係設有一個或複數個，其係分別具有使該貨品可於與該第1載置面之間相互移載之第2載置面，該等複數個架位中位於最上層的一個係作為該出庫埠，該等複數個架位中位於該出庫埠下層的架位之該第2載置面，係作為該入庫埠。
13. 一種保管庫，其係與一搬運車之間，連續進行該一貨品的入庫及該另一貨品的出庫的保管庫，該搬運車包含一上下移動部及一水平移動部，該上下移動部使該一貨品及該另一貨品分別升降，該水平移動部使該一貨品及該另一貨品分別進行水平移動，該搬運車藉由該上下移動部的升降動作而可進行縱向移載，並藉由該上下移動部的升降動作及該水平移動部的水平移動動作而可進行橫向移載，該保管庫係包含：一框體或一框架；複數個架位，其係配置於上下方向，配置於該框體或該框架內且將該一貨品以及該另一貨品收納或載置，其具有(i)一架位作為出庫埠，在載置有該另一貨品的狀態下，該架位經由設置於該框體外壁或該框架外框之一出入口，在該框體或該框架的內側以及外側間進行水平移動，於往該外側移動後，讓該另一貨品藉由該縱向移載而取出往該搬運 車，以及(ii)其他架位作為入庫埠，其係位於較該一架位更上方位置，經由設置於該外壁或該外框的其他出入口，讓該一貨品從該搬運車藉由該橫向移載而置入；以及一內外移動單元，其係選擇性地於該一架位往該外側以及該內側進行水平移動，其中，該入庫埠配置在該搬運車移載該一貨品或該另一貨品時的一停止位置的正下方，該出庫埠配置在該停止位置的側方，且該入庫埠及該出庫埠係配置在從上下方向及左右方向皆不互相重疊的位置。
14. 如申請專利範圍第13項所述之保管庫，更包含一控制單元，其係該控制內外移動單元，在該另一貨品應出庫的情況下，控制該內外移動單元將載置有該另一貨品的該一架位水平移動至該外側，而取起該另一貨品之後，控制該內外移動單元將該一架位水平移動至該內側。
15. 一種出入庫方法，係於保管庫與搬運車之間，連續進行該一貨品的入庫及該另一貨品的出庫，該搬運車包含一上下移動部及一水平移動部，該上下移動部使該一貨品及該另一貨品分別升降，該水平移動部使該一貨品及該另一貨品分別進行水平移動，該搬運車藉由該上下移動部的升降動作而可進行縱向移載，並藉由該上下移動部的升降動作及該水平移動部的水平移 動動作而可進行橫向移載，該保管庫具有：(I)一框架或一框體、(II)複數個架位，其係配置於上下方向，配置於該框體或框架的內且將該一貨品以及該另一貨品收納或載置，其係具有(i)一架位作為入庫埠，在載置有該另一貨品的狀態下，該架位經由設置於該框體外壁或該框架外框之一出入口，在該框體或該框架的內側以及外側間進行水平移動，於往該外側移動後，讓該一貨品從該搬運車藉由該縱向移載而被載置，以及(ii)其他架位作為出庫埠，其係位於較該一架位更上方的位置，經由設置於該外壁或該外框的其他出入口，讓該另一貨品藉由該橫向移載而取出至該搬運車；以及(III)一內外移動單元，其係選擇性地於該一架位往該外側以及該內側進行水平移動，此方法包含：一第1控制工程，其係於該一貨品應入庫的情況下，控制該內外移動單元使得該一架位水平移動往該外側；以及一第2控制工程，其係接續於該第1控制工程，當該一貨品載置於該一架位後，控制該內外移動單元以使得該一架位水平移動往該內側，其中，該入庫埠配置在該搬運車移載該一貨品或該另一貨品時的一停止位置的正下方，該出庫埠配置在該停止位置的側方，且該入庫埠及該出庫埠係配置 在從上下方向及左右方向皆不互相重疊的位置。
16. 如申請專利範圍第15項所述之出入庫方法，其中該保管庫係具有一載置部以及一驅動單元，該載置部係具有對該一貨品以及該另一貨品分別從其底側進行支撐之第1載置面，該驅動單元係將該載置部於該等複數個架位之間相互移動，該方法更包含：一第3控制工程，其係於該一貨品應入庫時，藉由該第2控制工程將該一架位水平移動至該內側後，控制該驅動單元以藉由該載置部將該一貨品從該一架位移動至該等複數個架位中該一架位以外處；以及一第4控制工程，其係於該另一貨品應出庫時，藉由接續於第1控制工程至第3控制工程，控制該驅動單元以藉由該載置部將該另一貨品從該等複數個架位中該其他架位以外的架位移動至該其他架位。
17. 一種出入庫方法，係於保管庫與搬運車之間，連續進行該一貨品的入庫及該另一貨品的出庫，該搬運車包含一上下移動部及一水平移動部，該上下移動部使該一貨品及該另一貨品分別升降，該水平移動部使該一貨品及該另一貨品分別進行水平移動，該搬運車藉由該上下移動部的升降動作而可進行縱向移載，並藉由該上下移動部的升降動作及該水平移動部的水平移動動作而可進行橫向移載，該保管庫包含：(I)一框 架或一框體、(II)複數個架位，其係配置於上下方向，配置於該框體或框架的內且將該一貨品以及該另一貨品收納或載置，其係具有(i)一架位作為出庫埠，在載置有該另一貨品的狀態下，該架位經由設置於該框體外壁或該框架外框之一出入口，在該框體或該框架的內側以及外側間進行水平移動，於往該外側移動後，讓該另一貨品藉由該縱向移載而取起至該搬運車，以及(ii)其他架位作為入庫埠，其係位於較該一架位更上方的位置，經由設置於該外壁或該外框的其他出入口，讓該一貨品從搬運車藉由該橫向移載而置入；以及(III)一內外移動單元，其係選擇性地於該一架位往該外側以及該內側進行水平移動，此方法包含：一第1控制工程，其係於該另一貨品應出庫的情況下，控制該內外移動單元使得該一架位在載置有該另一貨品的狀態下水平移動往該外側；以及一第2控制工程，其係接續於該第1控制工程，當該另一貨品被取起後，控制該內外移動單元使得該一架位水平移動往該內側，其中，該入庫埠配置在該搬運車移載該一貨品或該另一貨品時的一停止位置的正下方，該出庫埠配置在該停止位置的側方，且該入庫埠及該出庫埠係配置在從上下方向及左右方向皆不互相重疊的位置。