JPH10147404A - Automated warehouse - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To save labor for the storing/delivering actions of storage objects and improve conveyance efficiency. SOLUTION: Multiple storage sections 3 of storage objects 2 are arranged in the prescribed direction, the objects 2 are moved into or out of the storage sections 3 by a transfer means 4 provided movably in the arranged direction of the storage sections 3, and the objects 2 are carried in or out by a conveying means 7 of the objects 2 to the outside in this automated warehouse. The track 6 of the conveying means 7 is arranged along the arranged direction of multiple storage sections 3, and the objects 2 are directly loaded/unloaded between the conveying means 7 and the means 4. The storage objects 2 can be stored or delivered merely by the transfer actions between the conveying means 7 and the storage sections 3 by the means 4, labor is sharply saved for the storing/ delivering actions, and conveyance efficiency is improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、自動倉庫に関し、
特に保管すべき物品の収容部が複数列設され、その収容
部に物品を出入する移載手段が収容部の列設方向に移動
可能に設けられた自動倉庫に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an automatic warehouse,
In particular, the present invention relates to an automatic warehouse in which a plurality of storage sections for articles to be stored are provided, and transfer means for moving articles into and out of the storage sections is provided so as to be movable in the row direction of the storage sections.

【０００２】[0002]

【従来の技術】半導体製造工程に設けられる自動倉庫と
して、例えば、図４に示すように、半導体ウエハの清浄
度を保持するべく外気の流入を抑制するように構成され
た壁体１の内部に、半導体ウエハが格納されたキャリア
ケース２を収容する棚３が、上下方向に多数列設された
ものが知られている。2. Description of the Related Art As an automatic warehouse provided in a semiconductor manufacturing process, for example, as shown in FIG. 4, inside a wall 1 configured to suppress the inflow of outside air in order to maintain the cleanliness of semiconductor wafers. It is known that a plurality of shelves 3 accommodating a carrier case 2 in which semiconductor wafers are stored are vertically arranged.

【０００３】この自動倉庫の内部には、棚３に対してキ
ャリアケース２を出入するためのアーム４ａを備えたク
レーン４が、上下方向に延在する支柱５に沿って昇降可
能に設けられている。また、上部には、図５に併せて示
すように、ガイドレール６に沿って走行する搬送台車７
に対してキャリアケース２の積み卸しを行う積み卸し機
８と、この積み卸し機８に隣接して壁体１の内外を往来
する昇降台９とが設けられており、これら積み卸し機８
並びに昇降台９と上記クレーン４とが互いに協働してキ
ャリアケース２の出入庫を行うようになっている。A crane 4 having an arm 4a for moving the carrier case 2 in and out of the shelf 3 is provided inside the automatic warehouse so as to be able to move up and down along a column 5 extending vertically. I have. On the upper part, as shown in FIG. 5, a transport vehicle 7 running along the guide rail 6 is provided.
A loading / unloading machine 8 for loading / unloading the carrier case 2 and a lifting / lowering table 9 which moves in and out of the wall 1 adjacent to the loading / unloading machine 8 are provided.
In addition, the elevator 9 and the crane 4 cooperate with each other to carry out the loading and unloading of the carrier case 2.

【０００４】すなわち、キャリアケース２を入庫する場
合には、まず、図６（ａ）に示すように、積み卸し機８
に横付けされた搬送台車７上のキャリアケース２が積み
卸し機８によって昇降台９上に移載され、次いで、この
昇降台９が降下してキャリアケース２が壁体１の内側に
導入される。そして、図６（ｂ）に示すように、昇降台
９に横並びとなる高さ位置まで上昇したクレーン４が、
そのアーム４ａを動作して昇降台９上のキャリアケース
２を取り込んだ後、図６（ｃ）に示すように、空の棚３
に横並びとなる高さ位置まで降下し、アーム４ａを動作
してキャリアケース２を空の棚３上に載置する。一方、
キャリアケース２を出庫するには、以上の操作が逆に行
われる。[0004] That is, when the carrier case 2 is to be stored, first, as shown in FIG.
The carrier case 2 on the transport carriage 7 laid sideways is transferred onto the elevator 9 by the loading / unloading machine 8, and then the elevator 9 descends and the carrier case 2 is introduced inside the wall 1. . Then, as shown in FIG. 6B, the crane 4 that has risen to a height position that is arranged side by side with the elevator 9 is
After the arm 4a is operated to take in the carrier case 2 on the elevating table 9, as shown in FIG.
Then, the carrier case 2 is placed on the empty shelf 3 by operating the arm 4a. on the other hand,
In order to take out the carrier case 2, the above operation is performed in reverse.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】このように、上記従来
構成の自動倉庫においては、積み卸し機による搬送台車
と昇降台との間での保管物の移載動作、昇降台の昇降動
作、並びにクレーンによる昇降台と棚との間での保管物
の移載動作を順次経て保管物が出入庫されるが、これら
各動作の所要時間を個々に短縮化するには限界がある。
このため、保管物の出入庫操作に時間を要し、これが搬
送工程全体を律速してしまうことになり、搬送効率向上
の要望を十分に満足することができないといった不都合
があった。As described above, in the above-described automatic warehouse having the conventional structure, the loading / unloading machine is used to transfer storage items between the transport vehicle and the elevating platform, and the elevating platform is moved up and down. Stored goods are moved in and out of the storage sequentially through the operation of transferring the stored goods between the lifting platform and the shelf by the crane. However, there is a limit in reducing the time required for each of these operations individually.
For this reason, it takes a long time to carry out the storage and retrieval operations of the stored items, which limits the speed of the entire transfer process, and there is a disadvantage that the demand for improving the transfer efficiency cannot be sufficiently satisfied.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】このような課題を解決し
て、保管物の出入庫操作を省力化して搬送効率を向上す
るために、本発明においては、保管すべき物品の収容部
が所定方向に複数列設され、該収容部の列設方向に移動
可能に設けられた移載手段によって前記収容部に物品が
出入されると共に、外部に対する物品の搬送手段によっ
て物品が搬出入されるようにした自動倉庫において、前
記搬送手段の軌道が、複数の前記収容部の列設方向に並
んで配置され、前記搬送手段と前記移載手段との間で直
接物品の積み卸しが行われるものとした。これにより、
移載手段による搬送手段と収容部との間での保管物の移
載動作のみで保管物の出入庫が済むようになり、出入庫
操作が大幅に簡略化される。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems and to reduce the labor for loading and unloading the stored items and to improve the transport efficiency, in the present invention, the container for storing the articles to be stored is provided with a predetermined space. A plurality of rows are provided in the direction, and articles are moved into and out of the storage section by transfer means provided so as to be movable in the row direction of the storage sections, and articles are loaded and unloaded by means of transporting articles to the outside. In the automatic warehouse, the trajectories of the transporting means are arranged side by side in the direction in which the plurality of storage sections are arranged, and articles are directly loaded and unloaded between the transporting means and the transfer means. did. This allows
Storage and unloading of the stored items can be completed only by the transfer operation of the stored items between the transport unit and the storage unit by the transfer unit, and the storage and unloading operation is greatly simplified.

【０００７】[0007]

【発明の実施の形態】以下に添付の図面に示された実施
形態に基づいて本発明の構成を詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The structure of the present invention will be described in detail below based on embodiments shown in the accompanying drawings.

【０００８】図１は、本発明に基づき構成された自動倉
庫を示している。この自動倉庫は、上記従来構成の自動
倉庫（図４参照）と同様に、半導体製造工程における製
造途中の半導体ウエハをキャリアケースに格納した状態
で保管するものであり、壁体１の内部にキャリアケース
２が載置される棚３が上下方向に複数列設され、これら
の棚３に載置されたキャリアケース２を移載するための
クレーン４が上下方向の支柱５に昇降自在に設けられて
いる。FIG. 1 shows an automatic warehouse constructed according to the present invention. This automatic warehouse is for storing semiconductor wafers being manufactured in a semiconductor manufacturing process in a carrier case in the same manner as the above-described conventional automatic warehouse (see FIG. 4). A plurality of rows of shelves 3 on which the cases 2 are mounted are vertically arranged, and a crane 4 for transferring the carrier cases 2 mounted on these shelves 3 is provided on a vertical support 5 so as to be able to move up and down. ing.

【０００９】壁体１の内部にクレーン４を挟んで両側に
並設された棚列の一方（図中右側）の最上部には、搬送
台車７を案内するガイドレール６が、図２に併せて示す
ように、壁体１を貫通する態様で横方向に延設させてい
る。このため、ガイドレール６上の搬送台車７を棚３に
並列した位置に停止させることで、搬送台車７上のキャ
リアケース２をクレーン４を用いて直接積み卸しするこ
とができる。A guide rail 6 for guiding a carriage 7 is provided at the top of one (right side in the figure) of a row of shelves arranged side by side on both sides of the crane 4 inside the wall body 1 as shown in FIG. As shown in FIG. Therefore, the carrier case 2 on the carriage 7 can be directly loaded and unloaded using the crane 4 by stopping the carriage 7 on the guide rail 6 at a position parallel to the shelf 3.

【００１０】すなわち、図３（ａ）に示すように、搬送
台車７に横並びとなる高さ位置まで上昇したクレーン４
が、そのアーム４ａを動作して搬送台車７上のキャリア
ケース２を取り込むことによって、キャリアケース２の
荷卸しが行われる。その後、図３（ｂ）に示すように、
クレーン４が空の棚３に横並びとなる高さ位置まで降下
し、アーム４ａを動作してキャリアケース２を空の棚３
上に載置することによって、キャリアケース２の入庫が
完了する。一方、以上の操作を逆に行って、棚３上のキ
ャリアケース２をクレーン４で搬送台車７上に移載する
ことで、キャリアケース２の出庫がなされる。That is, as shown in FIG. 3 (a), the crane 4 which has been raised
However, unloading of the carrier case 2 is performed by operating the arm 4a to take in the carrier case 2 on the transport trolley 7. Then, as shown in FIG.
The crane 4 is lowered to a position where it can be lined up with the empty shelf 3 and the arm 4a is operated to move the carrier case 2 to the empty shelf 3.
By placing it on the upper side, the storage of the carrier case 2 is completed. On the other hand, the above operation is performed in reverse, and the carrier case 2 on the shelf 3 is transferred onto the transport trolley 7 by the crane 4, so that the carrier case 2 is discharged.

【００１１】以上の出入庫操作を上記した従来構成のも
のと比較すると、図６（ａ）に示す積み卸し機８による
搬送台車７と昇降台９との間の移載動作、並びに昇降台
９の昇降動作に要する時間が短縮され、従来に対して出
入庫操作の所要時間を概ね２分の１に短縮化することが
可能となり、搬送能力を２倍に高めることができる。When the above-mentioned loading / unloading operation is compared with that of the above-described conventional construction, the loading / unloading machine 8 shown in FIG. The time required for the lifting and lowering operation is shortened, and the time required for the loading / unloading operation can be reduced to approximately one half of the conventional case, and the transport capacity can be doubled.

【００１２】[0012]

【発明の効果】このように本発明によれば、移載手段と
搬送手段との間で保管物を直接受渡可能となり、移載手
段による搬送手段と収容部との間の移載動作のみで保管
物の出入庫が済むようになるため、出入庫操作が大幅に
省力化され、搬送効率を向上させる上に多大な効果を奏
することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to directly transfer a stored item between the transfer means and the transfer means, and only the transfer operation between the transfer means and the storage unit by the transfer means is performed. Since the storage and unloading of the stored items can be completed, the operation of the storage and unloading is greatly reduced, and a great effect can be achieved in improving the transport efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に基づき構成された自動倉庫の断面図で
ある。FIG. 1 is a sectional view of an automatic warehouse constructed according to the present invention.

【図２】図１に示した自動倉庫の要部斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a main part of the automatic warehouse shown in FIG.

【図３】（ａ）部及び（ｂ）部からなり、図１に示した
自動倉庫の要部断面図であり、入庫操作を段階的に示し
ている。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of the automatic warehouse shown in FIG. 1 and including a part (a) and a part (b), and shows a warehousing operation in a stepwise manner.

【図４】従来の自動倉庫の断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a conventional automatic warehouse.

【図５】図４に示した従来の自動倉庫の要部斜視図であ
る。FIG. 5 is a perspective view of a main part of the conventional automatic warehouse shown in FIG.

【図６】（ａ）部乃至（ｃ）部からなり、図４に示した
従来の自動倉庫の要部断面図であり、入庫操作を段階的
に示している。FIG. 6 is a sectional view of a main part of the conventional automatic warehouse shown in FIG. 4, which is composed of parts (a) to (c), and shows a warehousing operation in a stepwise manner.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 壁体 ２ キャリアケース ３ 棚 ４ クレーン ４ａ アーム ５ 支柱 ６ ガイドレール ７ 搬送台車 ８ 積み卸し機 ９ 昇降台 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Wall body 2 Carrier case 3 Shelf 4 Crane 4a Arm 5 Prop 6 Guide rail 7 Carriage 8 Loading / unloading machine 9 Elevating platform

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 保管すべき物品の収容部が所定方向に
複数列設され、該収容部の列設方向に移動可能に設けら
れた移載手段によって前記収容部に物品が出入されると
共に、外部に対する物品の搬送手段によって物品が搬出
入されるようにした自動倉庫であって、 前記搬送手段の軌道が、複数の前記収容部の列設方向に
並んで配置され、前記搬送手段と前記移載手段との間で
直接物品の積み卸しが行われるようにしたことを特徴と
する自動倉庫。1. A plurality of storage sections for articles to be stored are arranged in a predetermined direction, and articles are moved into and out of the storage section by transfer means movably provided in the direction in which the storage sections are arranged. An automatic warehouse in which articles are carried in and out by means of articles transported to the outside, wherein a track of the transport means is arranged in a row direction of a plurality of the accommodating portions, and the transport means and the transfer means are arranged. An automatic warehouse characterized in that articles are directly loaded and unloaded between loading means.