JPH09283990A - マウントヘッド及びボンディング装置 - Google Patents

マウントヘッド及びボンディング装置

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JPH09283990A
JPH09283990A JP8088225A JP8822596A JPH09283990A JP H09283990 A JPH09283990 A JP H09283990A JP 8088225 A JP8088225 A JP 8088225A JP 8822596 A JP8822596 A JP 8822596A JP H09283990 A JPH09283990 A JP H09283990A
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JP
Japan
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suction
circuit board
printed circuit
voice coil
electronic component
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Application number
JP8088225A
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English (en)
Inventor
Yasutaka Koga
康隆 古賀
Hironori Takabayashi
弘徳 高林
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】電子部品の下面とプリント基板上面とを低加圧
で電子部品の全てのリードをプリント基板に接触させる
ことのできるマウントヘッドを提供すること。 【解決手段】ヘッド本体21と、電子部品を吸着する吸
着面62を有し、ヘッド本体21に揺動自在に設けられ
たコレット60と、コレット60をスライド自在かつ揺
動自在にスライド方向に駆動する駆動部40と、駆動部
40によるコレット60のスライド方向の駆動を制御す
る制御部44とを備え、駆動部40は、ヘッド本体21
に固定された固定部41a,42aと、固定部41a,
42aにスライド移動自在に支持されるとともに、その
移動方向がコレット60の吸着面に対して垂直をなし、
かつその先端が吸着面62の反対側に当接する可動部4
1b,42bを有するボイスコイルモータ41,42と
を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品をプリン
ト基板上に精度良く搭載するマウントヘッド及びこのマ
ウントヘッドによりプリント基板上に電子部品を搭載す
るとともに、この電子部品のリードをプリント基板上に
形成されたパッドにはんだ付け接続するボンディング装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来からプリント基板のパッド上にテー
プキャリアパッケージ(以下、「TCP」と称する。)
等の電子部品のリードをはんだ付け接続する場合にボン
ディング装置が用いられている。また、ボンディング装
置は、TCPを吸着保持し、プリント基板上に搭載する
とともに加圧して仮固定するマウントヘッドを備えてい
る。
【0003】なお、TCPの下面と実装されるプリント
基板の上面とが平行になっていないと、最近の狭ピッチ
のTCPではリードの一部が先にプリント基板のパッド
に当接することとなり、他のリードは加圧することがで
きなかったり、視覚認識で得られた位置からずれてリー
ドが所定のパッドと接合されない虞がある。
【0004】したがって、TCPをプリント基板の所定
位置に正確に搭載するためには、TCPの下面とプリン
ト基板の上面とを可能な限り平行に保つ必要がある。図
4の(a),(b)は、マウントヘッドの従来例を示す
図である。すなわち、図4の(a)に示すマウントヘッ
ド1は、マウントヘッド本体2に固定されたシャフト3
と、このシャフト先端に装着されたコレット4を備えて
いる。シャフト3は内部に吸気路3aが設けられてお
り、この吸気路3aは吸引力発生装置(不図示)に接続
されている。コレット4内部には吸気路4aが設けられ
ており、この吸気路4aはコレット4の図中下端に設け
られた吸着面4bにおいて露出し、電子部品であるTC
P5を吸着している。TCP5は複数のリード5aを有
している。図中6はプリント基板、6aはプリント基板
6上に設けられリード5aとの接合に供されるパッド、
7はプリント基板6を載置する載置台を示している。
【0005】このように構成されたマウントヘッド1
は、シャフト3とコレット4とは固定されている。した
がって、コレット4に吸着されたTCP5の下面5aと
実装されるプリント基板6の上面6aとを平行に保つた
めに、あらかじめボンディング装置自体の組み立て精度
を高くしていた。
【0006】また、プリント基板6をバックアップによ
って支持し、バックアップの上面とコレット4の吸着面
4bをあらかじめ機械的に調整することにより、TCP
5の下面5bと実装されるプリント基板6の上面6aと
を平行に保つようにしたものもある。
【0007】一方、図4の(b)に示すマウントヘッド
8においては、上述したようにシャフト3とコレット4
を備えるとともに、コレット4の吸着面4bにゴム等の
弾性体9が設けられている。このようなマウントヘッド
8では、TCP5の下面5bとプリント基板6の上面6
aとが平行になっていない場合であっても、弾性体9の
変形によりある程度のTCP5を傾かせて、全てのリー
ドを加圧できるようにしている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなマウント
ヘッドを備えたボンディング装置にあっては次のような
問題があった。すなわち、図4の(a)に示したマウン
トヘッドでは、シャフト3、コレット4、バックアップ
などの加工を高精度に行わなければならないという問題
があった。また、バックアップを用いたものにあって
は、バックアップが接触するプリント基板の裏面に他の
電子部品を配置できなくなるため製品の設計に制約が生
じることとなる。
【0009】さらに、上述したような方法で平行に保持
しても、プリント基板毎の表面の加工精度やリフロー加
熱によるプリント基板の反りにより必ずしも装着時にT
CPの下面とプリント基板の上面とが平行になっている
とは限らない。
【0010】一方、図4の(b)に示したマウントヘッ
ドでは、弾性体9の劣化により吸着力が低下したり、弾
性体9の交換などの付随する作業が増える等の問題があ
った。
【0011】そこで本発明は、マウントヘッドに吸着保
持された電子部品の下面とプリント基板上面とを平行に
保持されていない場合や、突発的に平行保持がずれた場
合であっても、低加圧で電子部品の全てのリードをプリ
ント基板に接触させることのできるマウントヘッド及び
ボンディング装置を提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項1に記載された発明は、プリン
ト基板に装着するための電子部品を吸着保持するマウン
トヘッドにおいて、ヘッド本体と、前記電子部品を吸着
する吸着面を有し、前記ヘッド本体に揺動自在に設けら
れた吸着部と、前記ヘッド本体に設けられ、前記吸着部
をスライド自在かつ揺動自在にスライド方向に駆動する
駆動手段と、この駆動手段による前記吸着部のスライド
方向の駆動を制御する制御部とを備え、前記駆動手段
は、前記ヘッド本体に固定された固定部と、この固定部
にスライド移動自在に支持されるとともに、その移動方
向が前記吸着部の吸着面に対して垂直をなし、かつその
先端が前記吸着部の吸着面の反対側に当接する可動部を
有する少なくとも3個のボイスコイルモータと、一端部
が前記吸着部に接続されるとともに他端部が前記固定部
に接続され上記一端部と上記他端部とに所定の引張力を
与える弾性部材とを備えるようにした。
【0013】請求項2に記載された発明は、プリント基
板に電子部品を接続するボンディング装置において、前
記電子部品を吸着保持するマウントヘッドと、このマウ
ントヘッドと前記プリント基板との相対的な位置決めを
行う位置決め手段とを具備し、前記マウントヘッドは、
ヘッド本体と、前記電子部品を吸着する吸着面を有し、
前記ヘッド本体に揺動自在に設けられた吸着部と、前記
ヘッド本体に設けられ、前記吸着部をスライド自在かつ
揺動自在に保持するとともにスライド方向に駆動する手
段と、この駆動手段による前記吸着部のスライド方向の
駆動を制御する制御部とを備え、前記駆動手段は、前記
ヘッド本体に固定された固定部と、この固定部にスライ
ド移動自在に支持されるとともに、その移動方向が前記
吸着部の吸着面に対して垂直をなし、かつその先端が前
記吸着部の吸着面の反対側に当接する可動部を有する少
なくとも3個のボイスコイルモータと、一端部が前記吸
着部に接続されるとともに他端部が前記固定部に接続さ
れ上記一端部と上記他端部とに所定の引張力を与える弾
性部材とを備えるようにした。
【0014】上記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。すなわち、請求項1に記載された発明では、電
子部品の下面とプリント基板の上面とが平行に保持され
ていない場合において、マウントヘッドの下降に伴い、
電子部品の一部がプリント基板に当接すると、電子部品
はプリント基板と平行になるような方向に力を受ける。
このため、支持部にスライド自在かつ揺動自在に保持さ
れた吸着部は電子部品の下面とプリント基板の上面とが
最終的に平行となる。この状態を制御部により制御され
た駆動手段により保持したままマウントヘッドを下降さ
せることにより、電子部品をプリント基板に均一に接触
させることができる。
【0015】また、駆動手段は、可動部先端が吸着部に
当接するボイスコイルモータと、これらボイスコイルモ
ータと吸着部とに引張力を与える弾性部材を備え、ボイ
スコイルの推力と弾性部材の引張力とを均衡させること
で、電子部品がプリント基板から受ける力により、容易
に吸着部を傾けることができる。また、吸着部はボイス
コイルモータの可動部先端が当接しているので、ボイス
コイルモータに印加する電流を制御することで吸着部の
角度を全方向に制御することができる。
【0016】このため、マウントヘッドによる加圧力を
低いものとすることができる。したがって、ボンディン
グ装置の組み立てを高精度に行う必要がないとともに、
バックアップが不要となり、プリント基板の裏面にも部
品を配置することが可能となる。
【0017】請求項2に記載された発明では、電子部品
の下面とプリント基板の上面とが平行に保持されていな
い場合において、マウントヘッドの下降に伴い、電子部
品の一部がプリント基板に当接すると、電子部品はプリ
ント基板と平行になるような方向に力を受ける。このた
め、支持部にスライド自在かつ揺動自在に保持された吸
着部は電子部品の下面とプリント基板の上面とが最終的
に平行となる。この状態を制御部により制御された駆動
手段により保持したままマウントヘッドを下降させるこ
とにより、電子部品をプリント基板に均一に接触させる
ことができる。
【0018】また、駆動手段は、可動部先端が吸着部に
当接するボイスコイルモータと、これらボイスコイルモ
ータと吸着部とに引張力を与える弾性部材を備え、ボイ
スコイルの推力と弾性部材の引張力とを均衡させること
で、電子部品がプリント基板から受ける力により、容易
に吸着部を傾けることができる。また、吸着部はボイス
コイルモータの可動部先端が当接しているので、ボイス
コイルモータに印加する電流を制御することで吸着部の
角度を全方向に制御することができる。
【0019】このため、マウントヘッドによる加圧力を
低いものとすることができる。したがって、ボンディン
グ装置の組み立てを高精度に行う必要がないとともに、
バックアップが不要となり、プリント基板の裏面にも部
品を配置することが可能となる。
【0020】
【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施の形態に係
るボンディング装置の概略を一部切欠して示す側面図で
あり、図2はこのボンディング装置に組み込まれたマウ
ントヘッドを示す断面図である。これらの図において、
図4と同一機能部分には同一符号が付されている。
【0021】図1中10はボンディング装置を示してい
る。ボンディング装置10は、架台11上に立設された
フレーム12の一方の側面に取り付けられた保持体13
によってX方向(紙面に対して垂直方向)及びZ方向に
移動自在に保持されている。フレーム12上部には、後
述するマウントヘッド20を上下駆動する上下駆動機構
14が設けられている。この上下駆動機構14はカムレ
バー15を介して上下駆動シリンダ16に接続されてい
る。なお、図中17はマウントヘッド20による装着動
作の際に実装部位を認識するCCDカメラを示してお
り、18はマウントヘッドにより載置されたTCP5の
リード5bを熱圧着によりはんだ付け接続するボンディ
ングツール、19はプリント基板を搬送・載置するとと
もに図中X,Y方向の位置決めを行う載置台を示してい
る。
【0022】マウントヘッド20は、上下駆動機構14
の図中下端に支持されたマウントヘッド本体21を備え
ている。マウントヘッド本体21には中空状のシャフト
30(支持部)が設けられている。シャフト30内部に
は吸気路31が設けられており、この吸気路31の一端
は吸気装置32に接続されている。また、シャフト30
の図中下端にはボールジョイント33を介して後述する
コレット60(吸着部)が揺動自在に支持されている。
【0023】シャフト30の周囲には駆動部40(駆動
手段)が設けられている。駆動部40は3つのボイスコ
イルモータ41,42,43(43は不図示)を備えて
いる。各ボイスコイルモータ41,42,43は、シャ
フト30に固定され筒状に形成された固定部41a,4
2a,43a(43aは不図示)と、固定部41a,4
2a,43a内部に配置され図中矢印A方向にスライド
移動可能な可動部41b,42b,43b(43bは不
図示)をそれぞれ備えている。固定部41a,42a,
43aは内部にコイル(不図示)を備えており、このコ
イルは制御部44に接続され、この制御に基づいて電流
が印加される。また、固定部41a,42a,43aに
は可動部41b,42b,43bの位置を検知するホー
ル素子等の位置センサ(不図示)が取り付けられてい
る。なお、ボイスコイルモータ41〜43の推力は50
〜300gf程度に制御されている。
【0024】コレット60は内部にシャフト30の吸気
路31と連通する吸気路61が設けられており、図中下
面の吸着面62において吸着孔61aとして露出してい
る。吸着孔61aは吸気路61,31を介して吸気装置
32からの吸気力によりTCP等の電子部品を吸着保持
できる。吸着孔61aはコレット60の吸着面62と電
子部品上面が充分に面で接触するように複数配置されて
いる。なお、この吸着孔61aの位置は電子部品の形状
などによって容易に変更できるようにコレット60は脱
着可能である。
【0025】コレット60の図中上面はボイスコイルモ
ータ41〜43の固定部41a,42a,43a(43
aは不図示)とは、引張ばね71,72,73(73は
不図示)によってそれぞれ連結されている。引張ばね7
1〜73は比較的弱い力(50〜200gf)でコレッ
ト60を引っ張り上げており、後述する電子部品を吸着
してもボイスコイルモータ41〜43の可動部41b〜
43bにコレット60が軽く押し付けられる程度のばね
定数の引張ばねが選択されている。また、ボイスコイル
モータ41〜43の可動部41b〜43bの図中下端は
コレット60の上面に当接している。
【0026】このように構成されたボンディング装置を
用いてTCP5をプリント基板6に装着する工程は次の
ように行われる。図1の載置台19により位置決めされ
たプリント基板6上に保持装置13によりマウントヘッ
ド20を移動させる。所定の位置に位置決めされたこと
をCCDカメラ17によって認識して、位置決めを完了
する。
【0027】次に、上下駆動機構14を駆動してマウン
トヘッド20を図中下方向に移動させる。このとき、制
御部44によりボイスコイルモータ41〜43に電流を
印加して、可動部41a〜43aに図中下方向に所定の
推力を発生させる。このときの推力は引張ばね71〜7
3の引張力と同等とする。
【0028】マウントヘッド20の下降方向がプリント
基板6の面に対して垂直になっていない場合において
は、マウントヘッド20を下降させると、図3の(a)
に示すようにTCP5の一部のリード5bがプリント基
板6のパッド6bと接触する。そのまま下降を続ける
と、リード5bがプリント基板6のパッド6bから力を
受けて変形する。リード5bは弾性を有しているのでリ
ード5bには反発力が生じる。変形量が所定にまで達す
ると、反発力によりTCP5及びコレット60が図中上
方に押し返され、ボイスコイルモータ41の可動部41
bが図中上方に移動する。このとき、コレット60が最
適な平行度に近付く方向へ傾く。コレット60の角度変
位はそのままボイスコイルモータ41の可動部41bの
位置変化となる。変位量が所定の量まで達した時点でマ
ウントヘッド20の下降を停止する。このとき、図3の
(b)に示すようにTCP5の下面5aとプリント基板
6の上面6aとは平行となっている。
【0029】この状態を保持するためにボイスコイルモ
ータ41〜43の推力を上昇させ、コレット60の傾き
を維持したまま、マウントヘッド20を再び下降させ
る。TCP5の全てのリード5bが図3の(c)に示す
ように所定の変形量に達した時点でマウントヘッド20
の下降を停止する。
【0030】上述したように、本実施の形態に係るボン
ディング装置に組み込まれたマウントヘッド20では、
TCP5の下面5bとプリント基板6の上面6aとが平
行になるまでコレット60を傾けるとともに、コレット
60の傾きを維持できるので、TCP5の全てのリード
5bはプリント基板6の所定のパッド6b上に均一に低
加圧により接触させることができる。
【0031】なお、本発明は上述した実施の形態に限定
されるものではない。すなわち上記実施の形態では、ボ
イスコイルモータを3個としたが、1個だけ用いるよう
にしてもよい。この場合は、コレットがボイスコイルモ
ータ可動部分に固定されていて、全リードを変形させる
のと同等の推力にしておき、ヘッドを下降させる。この
とき、ボイスコイルモータが変位する直前の位置で停止
すれば低加圧でTCPの全リードを接触させることがで
きる。また、全てのリードを弾性変形させるのに等しい
推力まで上昇させてリードを撓ませる程度まで下降でき
れば低加圧で全リードを基板に接触させることもでき
る。さらに、ボイスコイルモータの個数は限定せず、加
圧力に合わせて個数を変えることもできる。このほか本
発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能である
のは勿論である。
【0032】
【発明の効果】請求項1に記載された発明によれば、電
子部品の下面とプリント基板の上面とが平行に保持され
ていない場合において、マウントヘッドの下降に伴い、
電子部品の一部がプリント基板に当接すると、電子部品
はプリント基板と平行になるような方向に力を受ける。
このため、支持部にスライド自在かつ揺動自在に保持さ
れた吸着部は電子部品の下面とプリント基板の上面とが
最終的に平行となる。この状態を制御部により制御され
た駆動手段により保持したままマウントヘッドを下降さ
せることにより、電子部品をプリント基板に均一に接触
させることができる。
【0033】また、駆動手段は、可動部先端が吸着部に
当接するボイスコイルモータと、これらボイスコイルモ
ータと吸着部とに引張力を与える弾性部材を備え、ボイ
スコイルの推力と弾性部材の引張力とを均衡させること
で、電子部品がプリント基板から受ける力により、容易
に吸着部を傾けることができる。また、吸着部はボイス
コイルモータの可動部先端が当接しているので、ボイス
コイルモータに印加する電流を制御することで吸着部の
角度を全方向に制御することができる。
【0034】このため、マウントヘッドによる加圧力を
低いものとすることができる。したがって、ボンディン
グ装置の組み立てを高精度に行う必要がないとともに、
バックアップが不要となり、プリント基板の裏面にも部
品を配置することが可能となる。
【0035】請求項2に記載された発明によれば、電子
部品の下面とプリント基板の上面とが平行に保持されて
いない場合において、マウントヘッドの下降に伴い、電
子部品の一部がプリント基板に当接すると、電子部品は
プリント基板と平行になるような方向に力を受ける。こ
のため、支持部にスライド自在かつ揺動自在に保持され
た吸着部は電子部品の下面とプリント基板の上面とが最
終的に平行となる。この状態を制御部により制御された
駆動手段により保持したままマウントヘッドを下降させ
ることにより、電子部品をプリント基板に均一に接触さ
せることができる。
【0036】また、駆動手段は、可動部先端が吸着部に
当接するボイスコイルモータと、これらボイスコイルモ
ータと吸着部とに引張力を与える弾性部材を備え、ボイ
スコイルの推力と弾性部材の引張力とを均衡させること
で、電子部品がプリント基板から受ける力により、容易
に吸着部を傾けることができる。また、吸着部はボイス
コイルモータの可動部先端が当接しているので、ボイス
コイルモータに印加する電流を制御することで吸着部の
角度を全方向に制御することができる。
【0037】このため、マウントヘッドによる加圧力を
低いものとすることができる。したがって、ボンディン
グ装置の組み立てを高精度に行う必要がないとともに、
バックアップが不要となり、プリント基板の裏面にも部
品を配置することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係るボンディング装置
の概略を一部切欠して示す側面図。
【図2】同ボンディング装置に組み込まれたマウントヘ
ッドを示す断面図。
【図3】同マウントヘッドによりTCPをプリント基板
に装着する動作を示す側面図。
【図4】従来のマウントヘッドの示す側面図。
【符号の説明】
5…TCP 5b…リード 6…プリント基板 6b…パッド 10…ボンディング装置 11…架台 12…フレーム 13…保持体 14…上下駆動機構 15…カムレバー 16…上下駆動シリンダ 17…CCDカメラ 18…ボンディングツール 19…載置台 20…マウントヘッド 21…マウントヘッド本体 30…シャフト 31…吸気路 32…吸気装置 33…ボールジョイント 40…駆動部 41,42…ボイスコイルモータ 41a,42a…固定部 41b,42b…可動部 44…制御部 60…コレット(吸着部) 61…吸気路 61a…吸着孔 62…吸着面 71,72…引張ばね

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】プリント基板に装着するための電子部品を
    吸着保持するマウントヘッドにおいて、 ヘッド本体と、 前記電子部品を吸着する吸着面を有し、前記ヘッド本体
    に揺動自在に設けられた吸着部と、 前記ヘッド本体に設けられ、前記吸着部を所定の揺動角
    度に駆動する駆動手段と、 この駆動手段による前記吸着部の揺動角度を制御する制
    御部とを備え、 前記駆動手段は、前記ヘッド本体に固定された固定部
    と、 この固定部にスライド移動自在に支持されるとともに、
    その移動方向が前記吸着部の吸着面に対して垂直をな
    し、かつその先端が前記吸着部の吸着面の反対側に当接
    する可動部を有するボイスコイルモータとを備えてなる
    ことを特徴とするマウントヘッド。
  2. 【請求項2】プリント基板に電子部品を接続するボンデ
    ィング装置において、 前記電子部品を吸着保持するマウントヘッドと、このマ
    ウントヘッドと前記プリント基板との相対的な位置決め
    を行う位置決め手段とを具備し、 前記マウントヘッドは、ヘッド本体と、 前記電子部品を吸着する吸着面を有し、前記ヘッド本体
    に揺動自在に設けられた吸着部と、 前記ヘッド本体に設けられ、前記吸着部をスライド自在
    かつ揺動自在に保持するとともにスライド方向に駆動す
    る手段と、 この駆動手段による前記吸着部のスライド方向の駆動を
    制御する制御部とを備え、 前記駆動手段は、前記ヘッド本体に固定された固定部
    と、 この固定部にスライド移動自在に支持されるとともに、
    その移動方向が前記吸着部の吸着面に対して垂直をな
    し、かつその先端が前記吸着部の吸着面の反対側に当接
    する可動部を有するボイスコイルモータとを備えてなる
    ことを特徴とするマウントヘッド。
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Cited By (5)

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