JP2007234766A - 部品実装装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】加圧駆動手段による加圧制御と共に、該加圧駆動手段に電流を流すことなく、吸着ノズルの上下方向の動きを規制することにより、非加圧制御を実現する。
【解決手段】X軸駆動手段及びY軸駆動手段により平面方向に移動可能な搭載ヘッドが、部品を吸着保持する吸着ノズル20と、加圧駆動部8bをZ軸方向に進退動させ、該吸着ノズル20を同方向に移動させる加圧駆動手段8と、該加圧駆動手段を固定し支持する支持フレーム15と、該支持フレームをZ軸方向に進退動させ、前記加圧駆動手段8と一体で前記吸着ノズル20を同方向に移動させるZ軸駆動手段11と、前記吸着ノズル20に加わる接触荷重を検出する荷重検出手段16とを備え、前記加圧駆動部8の前記支持フレーム15に対するZ軸方向の進退動を、機械的に規制する加圧規制手段33を備えた。
【選択図】図4
【解決手段】X軸駆動手段及びY軸駆動手段により平面方向に移動可能な搭載ヘッドが、部品を吸着保持する吸着ノズル20と、加圧駆動部8bをZ軸方向に進退動させ、該吸着ノズル20を同方向に移動させる加圧駆動手段8と、該加圧駆動手段を固定し支持する支持フレーム15と、該支持フレームをZ軸方向に進退動させ、前記加圧駆動手段8と一体で前記吸着ノズル20を同方向に移動させるZ軸駆動手段11と、前記吸着ノズル20に加わる接触荷重を検出する荷重検出手段16とを備え、前記加圧駆動部8の前記支持フレーム15に対するZ軸方向の進退動を、機械的に規制する加圧規制手段33を備えた。
【選択図】図4
Description
本発明は、部品実装装置、特に電子部品をプリント基板や液晶のディスプレイパネル基板等の基板に自動的に実装する際に加圧制御と非加圧制御とを切替えることができる部品実装装置に関する。
電子部品をプリント基板等に加圧を行ないながら自動的に実装する部品実装装置としては、図11に示す搭載ヘッドを備えたものが特許文献1に開示されている。
この搭載ヘッド100では、部品吸着時の下降動作を、図12のフローチャートに従い以下のように行なう。
まず、ロードセル115で検出された無負荷時の初期荷重を記憶し(ステップ11)、図示しない動作制御手段の制御に従いZ軸モータ(第1の上下動手段)121によりリニアガイド117に沿って可動ブラケット114を下降目標位置に向けて下降駆動する(ステップ12)。
又、このとき、動作制御手段の制御に従いボイスコイルモータ(第2の上下動手段)134により、下部フランジ135がスラスト軸受136に加圧当接するまで下降駆動し(ステップ13)、回転ケース131の上下振動を防止する。
可動ブラケット114の下降動作中において、動作制御手段はロードセル115の出力に基づく加圧力の検出値が初期荷重と下降時閾値との合計値を超えるか否かを判定し(ステップ14)、超えない場合にはエンコーダ122の出力から下降目標位置に到達したか否かを判定する(ステップ15)。到達していない場合は、再びステップ14の処理に戻る。
一方、可動ブラケット114の下降により、吸着ノズル112の先端部が電子部品Cに当接すると、ロードセル115の検出圧力が増加し、初期荷重と加圧時閾値との合計値を超えることになる。これにより、動作制御手段はボイスコイルモータ134を上昇駆動させる動作制御を行ない(ステップ17)、ステップ14に戻る。動作制御手段はロードセル115の検出圧力を、初期荷重と下降時閾値との合計値と比較し、検出圧力が上回っている場合には更にボイスコイルモータ134による回転ケース131の上昇駆動制御を行なう(ステップ17)。
そして、ステップ14で検出圧力が下回る(NO)の場合にはステップ15に移り、エンコーダ122の出力から可動ブラケット114の現在位置を確認する。
可動ブラケット114が下降目標位置に到達したと判断されると(ステップ15でYES)、動作制御手段はZ軸モータ121の駆動を停止する(ステップ16)。これにより、吸着ノズル112の下降動作制御は終了する。なお、この下降動作終了後は、吸着ノズル112の先端部は電子部品Cに目標とする加圧力で当接した状態にあり、制御手段は負圧供給手段(図示せず)の駆動を開始する動作制御を行ない、吸着ノズル112内を負圧として先端部に電子部品Cの吸着を行なう。
このように、電子部品Cの吸着が完了すると、Z軸モータ121を駆動し、ブラケット114を上昇させて吸着ノズル112を引き上げた後、搭載ヘッド100を基板上方へ移動させ、前記フローチャートと実質的に同一の手順に従って基板上の目標位置に部品を目標とする加圧力の下で搭載する搭載制御を行なう。
しかしながら、特許文献1に開示されている電子部品実装装置には以下のような問題があった。
加圧制御を行なわない非加圧制御部品を搭載する場合、ボイスコイルモータ(加圧駆動手段)134に上向きの力を発生させ、回転ケース131をボイスコイルモータ134により上昇させることにより、上部フランジ137をスラスト軸受138に押付けて回転ケース131の上下振動を防止する必要がある。
従って、非加圧制御の場合は、常にボイスコイルモータ134に電流を流し、力を発生させておく必要があるので、押付けている状態が長時間に渡る場合、ボイスコイルモータ134が過熱してしまい、焼き付き等が発生する原因になる上に、消費電力の増加を来すことになる。又、ボイスコイルモータ134が発生した熱による熱膨張等により精度の低下などを招く問題もある。
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、加圧駆動手段による加圧制御と共に、該加圧駆動手段に電流を流すことなく、吸着ノズルの上下(Z軸)方向の動きを規制することにより、非加圧制御を実現することができる部品実装装置を提供することを課題とする。
本発明は、X軸駆動手段及びY軸駆動手段により平面方向に移動可能な搭載ヘッドが、部品を吸着保持する吸着ノズルと、加圧駆動部をZ軸方向に進退動させ、該吸着ノズルを同方向に移動させる加圧駆動手段と、該加圧駆動手段を固定し支持する支持フレームと、該支持フレームをZ軸方向に進退動させ、前記加圧駆動手段と一体で前記吸着ノズルを同方向に移動させるZ軸駆動手段と、前記吸着ノズルに加わる接触荷重を検出する荷重検出手段とを備えた部品実装装置において、前記加圧駆動部の前記支持フレームに対するZ軸方向の進退動を、機械的に規制する加圧規制手段を備えたことにより、前記課題を解決したものである。
本発明においては、前記加圧駆動部が、軸中心の回転と軸方向の移動が可能な駆動軸を有し、前記加圧規制手段が、該駆動軸に固定されたラジアル軸受を含む軸受部と、該軸受部を挟持し固定する、前記支持フレームに取付けられた挟持固定装置とを備えているようにしてもよい。
本発明によれば、加圧駆動手段により支持フレームに対してZ軸方向に進退動され、ノズルを同方向に移動させる加圧駆動部の動きを、加圧規制手段により機械的に規制できるようにしたので、加圧駆動手段による加圧制御と共に、該加圧駆動手段に電流を流すことなく、非加圧制御を実現することができる。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図1は、本発明に係る一実施形態の電子部品実装装置の概略構成図である。
図1において搭載ヘッド1は、部品を吸着保持し加圧を行なう加圧装置と、搭載ヘッド1の位置補正を行なう図示しない認識装置を備えている。
搭載ヘッド1は電子部品実装(搭載)装置のX軸方向への移動を行なうX軸ガントリ(X軸駆動手段)2に取付けられている。搭載ヘッド1とX軸ガントリ2は電子部品搭載装置のY軸方向へ移動するためのY軸ガントリ(Y軸駆動手段)3に取り付けられている。
又、この電子部品搭載装置には、吸着した電子部品の姿勢を認識するCMOSカメラやCCDカメラを使用した認識装置4が搭載ヘッド1の可動範囲に固定されている。基板へ搭載するための電子部品を供給する電子部品供給装置5が電子部品搭載装置の前面に設置されている。
次に、搭載ヘッド1について図2、図3を使用して説明を行なう。
搭載ヘッド1は、X軸ガントリ2と連結固定を行なうためのヘッドベース6を有してある。ヘッドベース6は、リニアガイド7と接続され、垂直Z軸駆動部(支持フレーム)15は垂直Z軸方向に移動が可能な構造となっている。
ヘッドベース6の上部には、部品を回転動作させるためのθモータ9と、スプライン軸受とベアリングで構成された垂直回転駆動部軸受21と、垂直回転駆動シャフト22があり、又θモータの動力を垂直回転駆動シャフト22に伝えるベルト10と、垂直Z駆動部15を垂直上下動させるためのZ軸モータ(Z軸駆動手段)11が取り付けられている。又、このZ軸モータ11にはカップリング12を介してボールねじのねじ部14が接続されている。
垂直Z駆動部15には、加圧用のボイスコイルモータ(加圧駆動手段、以下、VCMと記す)8が取り付けられている。このVCM8はθモータ9に垂直回転駆動シャフト22を介して接続されており、又、該VCM8の可動側の加圧制御部8bは、垂直回転駆動シャフト22によって垂直Z駆動部15に対して独立に支持されていることから、該垂直Z駆動部15に対して回転動作が可能であると共に、上下動作(Z軸方向進退動)が可能になっている。
又、垂直Z駆動部15には、ボールねじのナット部13が固定されており、該ナット部13にはZ軸モータ11とカップリング12を介して接続されたボールねじのねじ部14が嵌挿されており、Z軸モータ11を回転動作させることにより、ボールねじのナット部13によって垂直Z駆動部15が上下に動作可能な構造となっている。
更に、垂直Z駆動部15の内部には、円筒状の加圧検知部(荷重検出手段)16が内蔵されており、該加圧検知部16は、その外周と垂直Z駆動部15の内周との間のボールガイド軸受17を介して、該垂直Z駆動部15に対して回転動作と垂直上下動作が可能な構造となっている。
加圧検知部16の下部には、ノズルシャフト18が下方に延びており、ノズルシャフト18の下方の先端には、ノズルチャック機構19により、吸着ノズル20が保持され、且つ、交換可能な構造になっている。このノズル20は、部品の吸着保持を行ない、基板にその部品を搭載することができる。
次に、図3を用いて上記加圧検知部16とその近傍について説明する。
加圧検知部16の上部には前記VCM8が取り付けられており、VCM8の外筒である垂直Z駆動部15との固定側8aには、コイル(明示せず)が巻かれている。又、VCM8の加圧駆動部8bには、磁石が取り付けられており、VCM8の固定側8aのコイルに通電することによりVCM8を上下方向にリニアに駆動することができる。VCM8の加圧駆動部8bの中心には、前記シャフト22にカップリング29を介して連結された駆動軸8cが固定されており、加圧検知部16の上部と結合されている。
又、VCM8の加圧駆動部8bに固定されている駆動軸8cの上部には、上側ストッパ23aが取り付けられている。この上側ストッパ23aには、スラスト方向とラジアル方向の両方向に対して軸受として機能するスラスト玉軸受付きコロ軸受を採用している。従って、この上側ストッパ23aの上端部が、図4に示すように、ヘッドベース6aの下部に突き当たっても、駆動軸8cの回転力が規制されない構造となっている。
又、垂直Z軸駆動部15の上端部には、図示しないエアシリンダを駆動源とする挟持固定装置33が取り付けられ、VCM8に電圧を印加して加圧駆動部8bを上方に移動させると、上側ストッパ23aのラジアル方向の軸受部を挟持固定装置33に一致させることができ、その位置で該装置33により挟持することにより、図4に示した状態に固定することができるようになっている。即ち、上側ストッパ23aと挟持固定装置33により加圧規制手段の主体が構成されている。
図5には、この挟持固定装置33と上側ストッパ23aの関係を拡大して示す。この図に示されるように、挟持固定装置33は可動アーム33aを有し、該アーム33aの位置に上側ストッパ23aのラジアル方向の軸受部23cが一致したところで、図示しない電磁弁をON/OFFして、挟持固定装置33の可動アーム33aを駆動して該軸受部23cの外周部を挟持固定することにより、上側ストッパ23aを固定できるようになっている。従って、挟持固定装置33によって上側ストッパ23aを挟持固定しても回転動作は規制されず、垂直Z駆動部15に対して上下方向の移動のみが固定され、規制を受けることになる。
又、前記VCM8の加圧駆動部8bに固定されている駆動軸8cの下部には、スラスト軸受を使用した下側ストッパ23bが取り付けられており、この下側ストッパ23bは、垂直Z駆動部15の上部15aに突き当たるようになっている。
従って、上側ストッパ23aと下側ストッパ23bによってもVCM8の加圧駆動部8bに連結されている加圧検知部16、ノズル20等は上下方向の移動量が規制されている。但し、上側ストッパ23aあるいは下側ストッパ23bを当接させることによってVCM8による移動が規制された状態でも、スラスト軸受を使用しているため加圧駆動部8bの回転動作は可能な構造となっている。
この加圧検知部16の内部構造について説明すると、その上部にはロードセル(荷重検出手段)24が下向きに固定されている。このロードセル24の下方には、ばねを受けるための上側支持プレート25aが取り付けられている。上側支持プレート25aの下方には、与圧ばね26があり、与圧ばね26の下方には、与圧ばね26の下部を受けるための下側支持プレート25bが取り付けられている。
この下側支持プレート25bの下側には、ノズルシャフト18が固定されており、該ノズルシャフト18はスプライン軸受28で上下動作が可能な構造となっている。
加圧検知部16の内部の下側支持プレート25bの下方には、段部16aが設けてあり、下側支持プレート25bが突き当たるように下側支持プレート25bの外形よりも小さくできている。
そして、下側支持プレート25bの下方には、スプライン軸受28との間に自重キャンセルばね27が取り付けられており、下側支持プレート25bを押し上げている。自重キャンセルばね27のばね力は、与圧ばね26のばね力と、下側支持プレート25bの重さと、ノズルシャフト18、ノズルチャック機構19及びノズル20を加算した重さとを支えるようになっている。
しかも、自重キャンセルばね27のばね力は、これらを支える力よりも若干低く設定されており、下側支持プレート25bは、無負荷状態では段部16aに突き当たるように構成されている。従って、通常は下側支持プレート25bが段部16aに弱い力で押し付けられており、その弱い力以上の負荷がノズル20に加わると、ロードセル24がそれを検知することになる。
以上の構成において、実行される電子部品の吸着動作と加圧搭載動作を、図6、図7、図8をも参照して説明する。
図1の搭載ヘッド1を、X軸ガントリ2、Y軸ガントリ3を駆動させて電子部品供給装置5の上方に移動し、吸着ノズル20により電子部品を吸着する。
電子部品を吸着した搭載ヘッド1を、認識装置4の上方へ移動し、該認識装置4により部品の認識を行なう。
部品の認識を完了した後、搭載ヘッド1を図示しない基板上の電子部品の搭載予定部に移動し、該搭載ヘッド1の吸着ノズル20に吸着されている電子部品を基板上の搭載位置に搭載する。
以下、これらの動作について詳述するが、これらの動作は、搭載ヘッド1を制御する、図8に概要を示すような制御装置により実行される。
この制御装置(制御手段)40は、CPU等により構成され、該制御装置40には、Z軸駆動系を構成するZ軸モータ11とそれに内蔵されているZ軸エンコーダ41とがZ軸ドライバ42を介して、又、θ軸駆動系を構成するθ軸モータ9とそのエンコーダ43とがθ軸ドライバ44を介して、更に、加圧駆動系を構成するVCMモータ18とロードセル24とがVCMドライバ45を介して接続され、それぞれ制御信号の授受が可能になっていると共に、挟持固定装置33を駆動するエアシリンダ46をON/OFFする電磁弁47が接続され、該制御装置40により以下のような制御が実行される。
上記部品吸着動作は、搭載ヘッド1を部品供給装置5上の部品吸着位置で、Z軸モータ11を駆動し垂直Z駆動部15と共に吸着ノズル20を下降させる。
その際、VCM8に電圧を印加して下方向に力を発生させ、図6のように下側ストッパ23bを垂直Z駆動部15の上部15aに突き当て、下方へのVCM8の動きを規制しておく。
Z軸モータ11により垂直Z駆動部15と一体で吸着ノズル20を下降し、吸着する部品の吸着面の直前の高さで吸着ノズル20を急速停止させる。
このとき、加圧検知部16の重さと減速時の加速度により慣性力が下方向に働くが、VCM8の加圧駆動部8bは下側ストッパ23bにより位置が規制されている。又、加圧検知部16の内部の段部16aにより、与圧ばね26の下側支持プレート25bが突き当てで位置決めされているので、減速時の加速度による慣性力でノズルシャフト18及び接続されている下側支持プレート25bが下に押し下がることを防止している。従って、ノズル先端20の位置に変化は見られない。
上記のように吸着ノズル20を急速停止した後、Z軸モータ11をゆっくり動作させて衝突荷重を抑えつつ、加圧用VCM8により、部品に指定荷重圧を加える加圧動作を行ないながら部品の吸着保持を行なう。
部品を吸着保持した後、Z軸モータ11を駆動して部品を上昇させ、搭載ヘッド1を移動させて認識装置4の上へ移動する。
部品位置補正のための認識動作を行ない、その後部品を搭載位置(基板上方)に移動させ、以下のような部品搭載動作を行なう。
部品を搭載する際の下降・加圧動作を、図7に示すタイムチャートを参照して説明する。この部品搭載時の下降動作は、ノズル20に部品が吸着されている以外は前述した部品吸着時の場合と基本的に同一である。
Z軸モータ11を駆動して、下側ストッパ23bが図6の規制状態にある垂直Z駆動部15をZ0の高さから、部品が基板上面に接触しない高さで、該上面より微小変位だけ上方の第1位置Z1に高速で下降を行なう(時間T1)。次に、速度を切り換え、低速で基板上面の高さ(=0)より下方に設定した第2位置Z2まで移動を開始する(時間T2)。なお、Z0、Z1、Z2等のZ軸高さは、Z軸モータ11に内蔵されているエンコーダ41の出力により決定される。
Z軸モータ11により基板上面に吸着部品が接触しない上記第1位置Z1へ移動完了したという信号を、制御装置40がエンコーダ41から受けた場合には、VCM8に通電を行ない、該VCM8の駆動側8bと、これに接続されて上下動する加圧検知部16、ノズルシャフト18、ノズルチャック19、吸着ノズル20及びストッパ23a、23b等からなる可動部の重量+αの加圧力を上方に発生させ、可動部の自重キャンセル+αの力V1を発生させる。これにより、下側ストッパ23bが、図6の状態から図3(図1も同じ)の規制されない状態になる。
垂直Z駆動部15と共に吸着ノズル20はそのまま下降し、吸着ノズル20が基板上面の高さ0に到達すると、時刻T0で基板へノズル20に吸着されている部品が接触する。この接触は、ロードセル24により検出される。
時間T2において、時刻T0でノズル20の吸着部品が基板に接触しても、Z軸モータ11は駆動をエンコーダ出力がZ2になるまで停止しない。このZ2は、VCM8がV1の出力で可動部を上昇させて図3の状態にしても、吸着部品が十分に接触する高さに設定されている。
一方、VCM8は、ロードセル24からノズル20の接触信号を受けると、下向きの力に切り替え、徐々に加圧量(荷重)を増加させて設定した出力値V2まで増大させ、加圧検知部16の出力値が目標加圧量になるまで加圧を行なう。目標の加圧量に達した時点で加圧を停止し、予め設定してある加圧時間T3の間、目標の加圧量を保持した後、加圧搭載動作を終了する。
以上のように、部品の加圧搭載動作が終了したら、搭載ヘッド1の垂直Z駆動部15をZ軸モータ11により上向きに低速で上昇させ、時間T4で前記第1位置Z1まで上昇させた後、Z0まで高速上昇させることにより、加圧制御による1回の部品搭載動作が完了する。
その後、XYガントリを駆動させ、次の部品の吸着搭載動作に移る。
次に、本実施形態の部品実装装置により、加圧制御動作を行なわない生産モードについて図4を使用して説明を行なう。
加圧制御動作を行なわない場合は、VCM8を駆動させて上側ストッパ23aを挟持固定装置33の位置まで上昇させ、垂直Z駆動部15をZ軸モータ11により上昇させる際に、該上側ストッパ23aがヘッドベース6の下部6aに突き当たるようにする。
上側ストッパ23aをVCM8により上昇させた状態の時に、前記エアシリンダ46を駆動しストッパ23aのラジアル軸受部23cの外周部を挟持固定装置33により挟持固定し、VCM8の加圧駆動部8bを垂直Z駆動部15に対して固定し、その後VCM8の電流を停止して駆動を切る。上側ストッパ23aを固定したことにより、加圧駆動部8bは上下動は規制され、回転動作のみ自由にできるようになる。
このように加圧駆動部8bが固定された状態にすることにより、本実施形態の搭載ヘッド1を加圧制御の必要の無い通常の搭載ヘッドとして使用することができることになる。
次に、本実施形態の搭載ヘッド1が有する他の機能について説明する。
本実施形態では、前記図1等に示したように、θ軸モータ9やZ軸モータ11が固定されているヘッドベース6から、加圧駆動手段及びそれに関連する部材を着脱可能な構造になっている。
即ち、前記図1に示した状態から、挟持固定装置33と共に、加圧制御に関わるユニットであるVCM8、加圧検知部16、加圧検知部16の外周のボールガイド軸受17等が着脱可能な構成となっている。
加圧制御駆動を行なわない場合は、ヘッドベース6から加圧駆動部16、VCM8、上側と下側のストッパ23a、23bを取り外し、図9に示すように、外した部分に前記カップリング29を介して中空シャフト30を取り付ける。中空シャフト30と垂直Z駆動部15とは、ラジアル軸受31を介して取り付け固定を行なう。ラジアル軸受31には、垂直Z駆動部15を動作させた時にスラスト荷重がかかるので、アンギュラ軸受などスラスト荷重に強い軸受を使用する。
このようなヘッド構成にした場合、Z軸モータ11によりノズル20を下降させ、ノズル20が基板に接触した時に衝撃荷重がかかるので、ばねで下に押し付けてノズル先端部32が上下動するような構造としておく。このような構造でにしてあると、ノズル20を下降させることにより、ノズル先端が基板等に接触した時に、ばねによりノズル先端部32が縮むので、衝撃荷重を緩和することができる。
又、図10に示すように、垂直Z駆動部15をも取り外し、代わりに加圧制御無用垂直Z駆動部34をリニアガイド7の固定部で取り付け固定を行なうこともできる。
この場合、ボールねじのナット部13を加圧制御無用垂直Z駆動部34に固定すると共に、垂直Z駆動部34に中空シャフト30を取り付ける。この中空シャフト30と垂直Z駆動部34はラジアル軸受31を介して取り付け固定を行なう。この場合も、ラジアル軸受31には、Z軸を動作させた時にスラスト荷重がかかるので、アンギュラ軸受などスラスト荷重に強い軸受を使用する。
以上説明したように、本実施形態によれば以下の効果が得られる。
(1)VCM8の加圧駆動部8bを垂直Z駆動部15に対して機械的に固定することができるので、従来のようにVCM8に電流を流すことなく、搭載ヘッド1を非加圧制御に適用できることから、消費電力の削減、VCMの過熱等による焼き付きの防止が可能となり、搭載ヘッドの長寿命化を実現した上で、熱膨張による精度の低下を防ぐことができる。
(2)基本的な構造が一つで、加圧検知部やVCM等の加圧制御関連部を取り外して中空シャフト等に交換することにより、非加圧制御用の搭載ヘッドとして使用することができる。従って、基本構造が一つで2種類のヘッドとして使用することができ、装置バリエーションを複数持つことができ、選択の多様性や、部品種を削減することができ、管理コストの削減が可能となり、ひいては装置のコストダウンを図ることも可能となる。
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に示したものに限定されない。
例えば、加圧駆動手段は、VCMでなくとも、垂直方向に動作が可能なモータであれば特に制限されない。
又、荷重検出器としては、1台のロードセルを使用したが、ロードセル以外であってもよく、2台以上を使用し、検知加圧量に応じて使い分けるようにしてもよい。
又、ロードセルに対する与圧や、加圧検知部の自重キャンセルのためにばねを使用したが、弾性体であればばね以外であってもよい。
1…搭載ヘッド
2…X軸ガントリ
3…Y軸ガントリ
8…ボイスコイルモータ(VCM)
11…Z軸モータ
15…垂直Z駆動部
16…加圧検知部
20…吸着ノズル
23a…上側ストッパ
23c…ラジアル軸受部
24…ロードセル
33…挟持固定装置
40…制御装置
41…Z軸エンコーダ
2…X軸ガントリ
3…Y軸ガントリ
8…ボイスコイルモータ(VCM)
11…Z軸モータ
15…垂直Z駆動部
16…加圧検知部
20…吸着ノズル
23a…上側ストッパ
23c…ラジアル軸受部
24…ロードセル
33…挟持固定装置
40…制御装置
41…Z軸エンコーダ
Claims (2)
- X軸駆動手段及びY軸駆動手段により平面方向に移動可能な搭載ヘッドが、部品を吸着保持する吸着ノズルと、加圧駆動部をZ軸方向に進退動させ、該吸着ノズルを同方向に移動させる加圧駆動手段と、該加圧駆動手段を固定し支持する支持フレームと、該支持フレームをZ軸方向に進退動させ、前記加圧駆動手段と一体で前記吸着ノズルを同方向に移動させるZ軸駆動手段と、前記吸着ノズルに加わる接触荷重を検出する荷重検出手段とを備えた部品実装装置において、
前記加圧駆動部の前記支持フレームに対するZ軸方向の進退動を、機械的に規制する加圧規制手段を備えたことを特徴とする部品実装装置。 - 前記加圧駆動部が、軸中心の回転と軸方向の移動が可能な駆動軸を有し、
前記加圧規制手段が、該駆動軸に固定されたラジアル軸受を含む軸受部と、該軸受部を挟持し固定する、前記支持フレームに取付けられた挟持固定装置とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の部品実装装置。
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