JP2014027270A - 装着装置の装着ヘッドのキネマティック保持システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装着装置の装着ヘッド2のキネマティック保持システムが、装着ヘッド支持体1と装着ヘッド2との間に継手4’から或る距離を置いて配置される少なくとも1つの可変長さの保持部材を含む装着ヘッド位置合わせデバイスを備える。この保持部材は、装着ヘッド支持体1に対する装着ヘッド2の回動位置を決める。保持部材の長さは、装着動作中に、装着ヘッドガイドデバイスの変形によって生じる装着ヘッド2の軸誤差(傾斜)を相殺するように、基板3に対する装着ヘッド2の押圧力によって生じる装着ヘッドガイドデバイスの変形に応じて変更可能である。
【選択図】図14
Description
1.装着プロセス中に部品7が基板3に接触すると、アクチュエーター(複数の場合もあり)13が、力が付与されない状態に切り換えられる。基板3と部品7との間の摩擦によって部品7が固定される。このとき生じる変形は、押圧力の印加中に相殺される。
2.部品7が基板3に接触するとすぐに、アクチュエーター(複数の場合もあり)13が、部品7を適所に保つために特定の力又は可変の力を加える。
3.部品7が基板3に接触した後で、アクチュエーター(複数の場合もあり)13が、部品7を適所に保つために特定の経路に沿って変位する。
Claims (17)
- 電子部品又は光学部品(7)を基板(3)上に実装する装着装置の装着ヘッド(2)のキネマティック保持システムであって、
前記装着ヘッド(2)を保持する装着ヘッド支持体(1)を備える装着ヘッドガイドデバイス(18)、及び
前記装着ヘッド支持体(1)に対する前記装着ヘッド(2)の位置合わせを調整する装着ヘッド位置合わせデバイス
を備え、
前記装着ヘッド位置合わせデバイスは継手(4、4’)を含み、該継手(4、4’)によって、前記装着ヘッド(2)が前記装着ヘッド支持体(1)上で傾き調整可能に支持され、前記装着ヘッド位置合わせデバイスは、少なくとも1つの可変長さの保持部材であって、前記装着ヘッド支持体(1)と前記装着ヘッド(2)との間に前記継手(4、4’)から或る距離を置いて配置されるとともに前記装着ヘッド支持体(1)に対する前記装着ヘッド(2)の回動位置を決め、装着動作中に、前記装着ヘッドガイドデバイス(18)の変形によって生じる前記装着ヘッド(2)の軸誤差(傾斜)を相殺するように、前記基板(3)に対する前記装着ヘッド(2)の押圧力によって生じる前記装着ヘッドガイドデバイス(18)の前記変形に応じて長さを変更可能である、少なくとも1つの可変長さの保持部材を含む、キネマティック保持システム。 - 前記可変長さの保持部材は、前記装着ヘッド(2)の長手方向軸(8)に対して平行に又は横断方向に配置される長手方向軸を有する、請求項1に記載の保持システム。
- 前記装着ヘッド(2)は、装着ヘッドコンソール(11)によって前記装着ヘッド支持体(1)に回動可能に取り付けられ、前記可変長さの保持部材は前記装着ヘッドコンソール(11)上で支持される、請求項1又は2に記載の保持システム。
- 前記装着ヘッド位置合わせデバイスは、継手を介して前記装着ヘッド(2)及び前記装着ヘッド支持体(1)の双方に接続されるとともに前記装着ヘッド(2)を前記装着ヘッド支持体(1)に対して所定の可変位置に保持する複数の継手ロッド(15a、15b)を含み、該継手ロッド(15a、15b)の相対位置は、前記装着ヘッド(2)の変形により誘導される軸誤差(傾斜)が相殺されるように、前記可変長さの保持部材によって可変である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の保持システム。
- 前記可変長さの保持部材は、ばね(12)の形態の受動要素からなり、該ばね(12)の形態の受動要素は、前記装着ヘッド支持体(1)と前記装着ヘッド(2)との間に、前記押圧力が前記装着ヘッド支持体(1)によって一方では前記継手(4)を介して、他方では前記ばね(12)を介して前記装着ヘッド(2)に伝達されるように配置され、前記押圧力によって生成される反力は前記ばね(12)の長さの変化をもたらす、請求項1〜4のいずれか一項に記載の保持システム。
- 前記可変長さの保持部材は、移動が制御されるか又は力が制御されるアクチュエーター(13)からなる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の保持システム。
- 前記アクチュエーター(13)は、電動直接駆動装置、ボイスコイル又はピエゾ駆動装置を含む、請求項6に記載の保持システム。
- 前記アクチュエーター(13)は、レバー機構又はギアを介して前記装着ヘッド(2)の軸方向位置に作用する、請求項6又は7に記載の保持システム。
- 前記装着ヘッド位置合わせデバイスは、前記装着ヘッド支持体(1)に対する前記装着ヘッド(2)の相対移動を阻止する移動阻止デバイスを含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の保持システム。
- 前記アクチュエーター(13)はロック可能なアクチュエーター(13)として形成される、請求項6〜9のいずれか一項に記載の保持システム。
- 前記装着ヘッド(2)の上端領域又は下端領域が前記装着ヘッド支持体(1)上で振り子状に懸架され、前記装着ヘッド(2)は少なくとも1つの回転自由度を有する継手(4、4’)によってZ方向に支持され、前記装着ヘッド支持体(1)に対する前記装着ヘッド(2)の傾きを調整する少なくとも1つの可変長さの保持部材が、前記継手(4、4’)の下又は上に設けられる、請求項1〜10のいずれか一項に記載の保持システム。
- 前記継手(4、4’)は、単軸継手、玉継手又は自在継手として構成される、請求項11に記載の保持システム。
- 前記装着ヘッド(2)が空間内で多次元に回動することができるように、前記装着ヘッド(2)に対して異なる方向から作用するように配置される複数の可変長さの保持部材が設けられる、請求項1〜12のいずれか一項に記載の保持システム。
- 電子部品又は光学部品(7)を基板(3)上に実装する装着装置の装着ヘッド(2)のキネマティック保持システムであって、
前記装着ヘッド(2)を保持する装着ヘッド支持体(1)を備える装着ヘッドガイドデバイス(18)、及び
前記装着ヘッド支持体(1)に対する前記装着ヘッド(2)の位置合わせを調整する装着ヘッド位置合わせデバイスを備え、前記装着ヘッド位置合わせデバイスは継手(20)を含み、該継手(20)によって、前記装着ヘッド(2)が前記装着ヘッド支持体(1)上で傾き調整可能に支持され、前記装着ヘッド位置合わせデバイスは、前記装着ヘッド支持体(1)に強固に接続されている少なくとも1つの第1の固体継手アーム(22)を有する少なくとも1つの固体継手要素(21)を含み、また、前記装着ヘッド(2)に強固に接続されているとともに固体継手(20)によって前記第1の固体継手アーム(22)に弾性的に接続されている少なくとも1つの第2の固体継手(23)を含み、該第2の固体継手アーム(23)は、前記装着ヘッドガイドデバイス(18)の変形によって生じる前記装着ヘッド(2)の軸誤差(傾斜)を相殺するように、前記基板(3)に対する前記装着ヘッド(2)の押圧力によって生じる前記装着ヘッドガイドデバイス(18)の変形に応じて、前記第1の固体継手アーム(22)に対して弾性変形可能である、キネマティック保持システム。 - 前記装着ヘッド位置合わせデバイスは、前記装着ヘッド(2)の反対の側に配置され、前記装着ヘッドから横方向に離間しており、かつ端部側が横行アーム(24)によって互いに接続されている2つの平行な第1の継手アーム(22)を含み、また、該2つの第1の継手アーム(22)間の中央に配置されているとともに前記横行アーム(24)にも接続されている第2の継手アーム(23)を含む、請求項14に記載の保持システム。
- 前記継手(4、4’、20)の回転軸(26)が、変形回転軸(25)に対して配置され、該変形回転軸(25)を中心に、前記継手(4、4’、20)の前記回転軸(26)及び前記変形回転軸(25)を通る直線(1)が、前記装着ヘッド(2)の無負荷状態及び負荷状態において、前記変形回転軸(25)が配置される水平面(h)に対して−45°〜+45°の角度範囲にあるように、前記押圧力に反応して前記装着ヘッドガイドデバイス(18)の変形が生じる、請求項1〜15のいずれか一項に記載の保持システム。
- 前記継手(4、4’、20)の前記回転軸(26)は前記装着ヘッド(2)の無負荷状態では前記変形回転軸(25)の下に配置され、全装着力下では前記変形回転軸(25)の上に配置される、請求項16に記載の保持システム。
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