JPH0911167A - ロボットまたは多軸マシニングセンターのキャリブレーション用エラーマップの作成方法 - Google Patents

ロボットまたは多軸マシニングセンターのキャリブレーション用エラーマップの作成方法

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JPH0911167A
JPH0911167A JP8109095A JP10909596A JPH0911167A JP H0911167 A JPH0911167 A JP H0911167A JP 8109095 A JP8109095 A JP 8109095A JP 10909596 A JP10909596 A JP 10909596A JP H0911167 A JPH0911167 A JP H0911167A
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axis device
arm
robot
path
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Simon Raab
ラーブ サイモン
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Original Assignee
Faro Technologies Inc
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】多軸マシニングセンター用、特にはロボット用
のツールパスを補正し、又はプログラムするのに特に有
用であるロボットまたは多軸マシニングセンターのキャ
リブレーション用エラーマップの作成方法の提供。 【解決手段】受動性三次元座標測定機械(CMM)を操
作するステップと、ステップからポジションと配向性と
の少なくとも一方であって、多軸装置の実際のパスある
いは操作を定義する三次元データを現出させるステップ
と、実際のパスあるいは操作を、望まれる所定のプログ
ラムされたパスあるいは操作と比較するステップと、実
際のパスあるいは操作を、望まれる所定のプログラムさ
れたパスあるいは操作と比較させるエラーマップを作成
するステップと、エラーマップを使用して、多軸装置の
反復性能及び/又は精度を向上させるステップと、を含
むエラーマップ作成方法

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、三次元座標測定機
械(CMM:coordinate measuring machine)に関する
ものである。さらに特定すれば、本発明は、ポータブル
であり、改善された精度と利便性とを提供する新規で改
良された三次元CMMに関し、さらに、多軸マシンツー
ル(multi-axis machine tool)またはロボットのツー
ルパス(tool path)をプログラムする新規な方法への
CMMの利用法にも関する。本発明の座標測定機械は、
エラーマップ(error map) の新規な作成に特に有用で
あり、多軸マシニングセンター(multi-axis machining
center) 用、特にはロボット用のツールパス(tool p
ath) を補正し、及び/又はプログラムするのに特に有
用である。
【0002】
【従来の技術】新規でポータブルな座標測定機械(coor
dinate measuring machine)は、容積(volume)を正確
で容易に測定するためのマルチジョイント式(multijoi
nted:好適には6ジョイント)手動ポジショニング測定
アームを有しており、1好適実施例においては、直径が
6から8フィート(182.88cm-243.84cm)の球体を有
し、測定精度は2シグマ(Sigma)±0.005インチ
(0.0127cm)である。測定アーム(measuring arm) に
加えて、本発明は測定アームとホストコンピュータとの
間の電子インターフェース(electronic interface)と
して作用するコントローラ(controller)またはシリア
ルボックス(serial box)を採用している。
【0003】物理界の全物体は容積あるいは空間を占領
する。空間でのポジション(位置:position)は、長
さ、幅、及び高さで定義が可能である。これらの要素は
技術用語ではしばしば(X,Y,Z)座標と呼称され
る。X軸、Y軸、Z軸の数値は長さ、幅、及び高さ、即
ち三次元の寸法(ディメンション:dimension)を表わ
す。三次元物体はそのポジションと配向性(orientatio
n) とで説明される。即ち、物体の位置ばかりではな
く、どの方向に配向しているかが問題となる。空間での
物体の配向性はその物体の3点の位置で定義が可能であ
る。また配向性は空間での物体のアライメント角(angl
e of alignment)でも表すことが可能である。(X,
Y,Z)座標は、3本の直線的スケール(linear scal
e)で最も簡単に測定が可能である。即ち、物体の空間
での長さ、幅、及び高さに沿ってスケールを使用すれ
ば、空間での1点のポジションが測定できる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】現在、座標測定機械あ
るいはCMMは3本の直線的スケールを使用して空間で
の物体を測定している。これらの装置は典型的にはポー
タブル形態ではなく、高価であって、容易に測定が可能
な対象物体のサイズと容積には限界がある。
【0005】米国フロリダ州レイクメアリ市のFARO
テクノロジー・インク社(本発明の譲受人であり、同時
に出願人)は、一連のエレクトロゴニオメータ(electr
ogoniometer) タイプの医療用デジタル装置を成功裏に
開発した。特にFAROテクノロジー・インク社は、M
ETRECOM(登録商標:Faro Arms と呼ぶ)として
知られる骨格分析システムと、SURGICOM(登録
商標)として知られる外科手術システムとを開発した。
METRECOMシステムとSURGICOMシステム
とにおいて具現化されたタイプのエレクトロゴニオメー
タタイプの装置は、米国特許第4,670,851号
と、1990年10月2日出願の米国特許願第593,
469号と、1990年7月31日出願の米国特許願第
562,213号とに開示されている。これらは全て出
願人に譲渡されている。
【0006】その意図した目的には充分に叶っているも
のの、METRECOMとSURGICOMのエレクト
ロゴニオメータタイプデジタルシステムは、部材(par
t)と組立構造体(assembly)の三次元測定がしばしば
要求される一般産業界での利用には必ずしも適していな
い。従って、汎用としての、正確であると同時に低価格
である改良されたCMMに対するコンスタントな需要が
存在する。
【0007】ロボットや5軸マシンセンター(5-axis
machine center)等のCNCあるいはコンピュータ数値
制御装置の実際の使用状況における深刻な限定要因は、
典型的なロボット機能(溶接や研磨等)及び/又は典型
的なマシンツール機能(複雑な鋳型部品の加工等)を実
施する以前に、複雑で精緻なツールパスのプログラムに
消費される時間と労力とである。現在、このプログラミ
ング作業は試行錯誤に基づいた、細心の注意と神経の繊
細さが要求されるステップバイステップのシミュレーシ
ョン作業である。
【0008】
【課題を解決するための手段】従来技術の前述の問題点
及び他の問題点と欠点とは、本発明の三次元測定機器
(例:エレクトロゴニオメータ)と、その使用方法とに
よって解消あるいは軽減される。本発明によれば、新規
であってポータブルな座標測定機械は、容積を正確で容
易に測定するためのマルチジョイント式(好適には6ジ
ョイント)手動ポジショニング測定アームを有してい
る。1好適実施例においては、このアームは直径6から
8フィート(182.88から243.84cm)(この範囲以外も
可)の球体を有しており、その好適測定精度は2シグマ
±0.0005インチ(0.00127cm)(最適には2シグマ
±0.001インチ(0.00254cm))である。この測定アー
ムに加えて、本発明はアームとホストコンピュータとの
間で電子インターフェースとして作用するコントローラ
(シリアルボックス)を採用している。
【0009】本発明のCMMに使用される機械式測定ア
ームは一般的に、複数の伝達ハウジング(transfer hou
sing)(各伝達ハウジングは1ジョイントを有してお
り、1回転自由度(degree of rotational freedom)を
定義する)と、相互に取付けられた延長部材(隣接伝達
ハウジングとは直交状態)とを有しており、好適には5
自由度あるいは6自由度を備えた1本の可動アームを定
義する。各伝達ハウジングは、測定トランスデューサ
(transducer)と新規なベアリングアレンジとを含む。
これら新規なベアリングアレンジはカウンタ配置(coun
ter-positioned)された円錐形ローラベアリングからな
るプレストレス(prestress) されたベアリングと、低
プロフィール構造(low profile structure)で高い曲
げ強度(highbending stiffness)を付与するための増
強スラストベアリング(stiffening thrust bearing)
とを含む。さらに、各伝達ケーシング(casing)は機械
的ストレスによる機械的過負荷に備えて視聴覚エンドス
トップ表示器(endstop indicator)を含む。
【0010】この可動アームは、ベース部(base)ある
いはポスト(post)に取付けられている。これは、
(1)温度安定性をモニターするための温度モニターボ
ードと、(2)汎用エンコーダセレクションのためのエ
ンコーダ搭載プレートと、(3)ユニットミックスアッ
プ(unit mixup)を回避するために、キャリブレーショ
ン(calibration)データとアイデンティフィケーショ
ン(identification) データとを含むEEPROM回
路ボードと、(4)高増幅信号(high amplified signa
l)をコントローラ内のリモートカウンタボード(remot
e counter board) に伝達するためのエンコーダ搭載プ
レート近辺に搭載されたプレアンプボード(preamplifi
er board)とを含む。
【0011】従来のMETRECOMシステムと同様
に、これら伝達ケーシングは、モジュール認可式可変組
立形態(modular permitting variable assembly confi
guration)を有しており、この可動アームアセンブリ全
体は、不変の熱膨張係数(CTE)を提供するために1
材料で構成されている。METRECOMシステムの場
合と同様に、回転ストップ(rotation stop)を備えた
内部配線(internal wirerouting)とワイヤコイルキャ
ビティ(wire coiling cavity) とは、多数のワイヤの
完全な封閉(enclosure)を可能にしている。また、従
来のMETRECOM システムと同様に、本発明はユーザの利
便のためにスプリングカウンタバランス式に衝撃吸収す
る支持機構(spring counterbalanced and shock absorb
ed support mechanism)と、手動による高精度測定を可
能にするための2体のスイッチ) (テーク/アクセプト:
take/accept)データエントリ装置とを含む。さらに、
従来のMETRECOMシステムに使用されている一般
的オプションタイプが三次元での変値測定を行うように
提供される。(例:温度は、オプションポート(port)
に取付けられたサーモカップル(thermocouple)を使用
して三次元測定が可能である)。
【0012】ディスクリート式マイクロプロセッサベー
スのコントローラボックス(discrete microprocessor-
based controller box)の使用は、ホストレベルの処理
要件を課すことなく特定計算の予備処理(preprocessin
g) を可能にするため、本発明の重要な特徴となってい
る。これは、コントローラボックス内にインテリジェン
トなプレプロセッサ(intelligent preprocessor)を搭
載することで達成される。これは多様な外部ホスト
(例:外部コンピュータ)とのプログラム可能である適
応性と両立性とを提供する。このシリアルボックスはさ
らにホストからのコミュニケーション要件を検知するこ
とでインテリジェントなマルチプロトコルエバリュエー
ション(intelligent multi-protocol evaluation) と
自動スイッチング(auto switching)とを提供する。例
えば、1製造業者からのホストコンピュータ操作ソフト
は、このコントローラボックスによって自動的に検知さ
れる1形態のコールリクエストを作成するであろう。こ
のコントローラボックスの他の特徴には、多様な産業環
境での標準長距離コミュニケーションのためのシリアル
ポートコミュニケーションや、高精度測定を可能にする
全てのエンコーダ(伝達ハウジング内に配置)の同時的
捕獲(simultaneous capture)のための新規なアナログ
−デジタル/デジタルカウンタボード(analog-to-digi
tal/digital counter board)とが含まれる。
【0013】本発明のCMMの効率的なオンサイトキャ
リブレーション(on-site calibration)は、システム
精度評価(system accuracy evaluation) に対するポ
テンシャルな搭載複雑性(potential mounting complic
ations)を排除するために、CMMのベース部に配置さ
れた基準ボール(reference ball)の使用を通じて改善
されている。さらに、本発明のCMMは、好適には、新
規な円錐形ボールバー装置(cone ballbar device)を
使用して、暫定的に容積精密測定プロトコル(volmetri
c accuracy measurement protocol)を実行するための
手段を含む。
【0014】本発明のさらに別実施例によれば、研磨や
溶接(通常はロボットに関連する)や成形部品の加工
(通常は多軸マシンツールに関連する)のごとき典型的
な機能の実行におけるロボット及び多軸マシニングセン
ターの操作に必要な複雑なツールパスのプログラミング
のための新規な方法が提供されている。この方法によれ
ば、コンピュータ制御機械で熟練工の操作あるいはツー
ルパス(両方とも方向性と配向性とで定義)が複写され
ることが望ましい。これは本発明のCMMを使用するこ
とで達成される。CMMオペレータは、シミュレーショ
ンされるツールをそのデジタイザ(digitizer) 端部に
配置して、前述の軽量であって取り扱い易く、受動的な
エレクトロゴニオメータ装置を使用し、望まれるツール
パスまたは製造操作をエミュレート(emulate) する。
このパスまたは操作がエミュレートされると、CMMの
ポジション/配向性データ(X、Y、Z方向及び/又は
I、J、K配向)は蓄積され、保存される。このデータ
は産業標準フォーマットを使用して、ロボット又はマシ
ニングセンターのごときコンピュータ数値制御(CN
C)装置へと送られ、CMMを使用してエミュレートさ
れたモーションが再生される。その結果、そのコンピュ
ータ制御装置は、介在する複雑性には関係なく、スピー
ディで効率的に仕事を実行するための正確なツールパス
及び/又は操作データを提供してきた。この方法以前に
は、そのような仕事のプログラミングは、シミュレーシ
ョンを利用し、試行錯誤を繰り返した、細心の注意でプ
ログラムされたステップバイステップの取り組みが要求
された。
【0015】今日まで、ロボットプログラミングは原則
的にはいわゆるティーチモード(teach mode)と呼ばれ
るプロセスで実行されてきた。ティーチモード手法で、
ロボットは仕事を実行して記憶するように命令される。
技術者はコントローラパネルとジョイスティックとでロ
ボットに望むモーションを行うように命令する。ロボッ
トの動作は、多様なジョイントの回転と特定のエンドエ
フェクタ(end-effector)の動作を含む一連のステップ
バイステップモーションとして保存される。
【0016】この方法の性質により、実際の絶対寸法ポ
ジション(actual absolute dimensional position)
は、教えられているポジションの反復能力ほどには重要
ではなかった。
【0017】産業界は設計/製造環境におけるコンピュ
ータ化の大幅な増進と、複雑な曲線ツールパスや、レー
ザのごときエンドエフェクタの使用タイプ数の増加を経
験してきた。このことは、ロボットパスデータが典型的
なCAMデータに類似し始めたことを意味している。典
型的なコンピュータ制御マシニングセンターは寸法的に
正確であり、反復性もある。しかし、前述の理由によ
り、このことは典型的なマルチジョイントロボットには
該当しない。
【0018】具体的に請求項1に記載の発明は、「多軸
装置の反復性能及び/又は精度を向上させるためのエラ
ーマップを作成する方法であって、(1)受動性三次元
座標測定機械(CMM)の測定アームを多軸装置に取付
け、当該多軸装置に望まれる所定のプログラムされたパ
スあるいは操作をエミュレートしている選択された三次
元パスあるいは操作を通じて前記CMMを操作するステ
ップと、(2)前記ステップ(1)から(a)ポジション
と(b)配向性(orientation) との少なくとも一方であっ
て、前記多軸装置の実際のパスあるいは操作を定義する
三次元データを現出させる(developing)ステップと、
(3)該実際のパスあるいは操作を、望まれる所定のプ
ログラムされたパスあるいは操作と比較するステップ
と、(4)該実際のパスあるいは操作を、望まれる所定
のプログラムされたパスあるいは操作と比較させるエラ
ーマップを作成するステップと、(5)該エラーマップ
を使用して、前記多軸装置の反復性能及び/又は精度を
向上させるステップと、を含むことを特徴とするエラー
マップ作成方法。」である。
【0019】請求項2に記載の発明は、「前記多軸装置
は少なくとも3軸を有した装置を含み、前記ステップ
(2)で現出されたデータはポジションと配向性のデー
タを含むことを特徴とする請求項1記載の方法。」であ
る。請求項3に記載の発明は、「前記多軸装置は少なく
とも5軸を有した装置を含み、前記ステップ(2)で現
出されたデータはポジションと配向性のデータを含むこ
とを特徴とする請求項1記載の方法。」である。
【0020】請求項4に記載の発明は、「前記多軸装置
は加工装置を含むことを特徴とする請求項1記載の方
法。」である請求項5に記載の発明は、「前記多軸装置
はロボットを含むことを特徴とする請求項1記載の方
法。」である。請求項6に記載の発明は、「前記操作
は、溶接、研磨、カッティング、寸法加工、艶出し、削
り加工、塗装、及び洗浄からなる加工群から選択される
ことを特徴とする請求項1記載の方法。」である。請求
項7に記載の発明は、「前記CMMは6の自由度を含む
ことを特徴とする請求項1記載の方法。」である。
【0021】請求項8に記載の発明は、「前記CMM
は、それぞれ反対側にある第1端部と第2端部とを有し
た可動アームを含み、該可動アームは複数のジョイント
を含み、該各ジョイントは1自由度に対応し、該アーム
は選択されたスペース内で可動であり、該各ジョイント
はポジショントランスデューサ手段を収容する回転伝達
ハウジングを含み、該トランスデューサ手段はポジショ
ン信号を創出するものであり、本CMMはさらに、前記
可動アームの前記第1端部に取付けられた支持ベース部
と、前記可動アームの前記第2端部に取付けられたプロ
ーブと、前記トランスデューサ手段からの前記ポジショ
ン信号を受信し、選択されたスペース内で前記プローブ
のポジションに対応したデジタル座標を提供する電子回
路手段と、を含むことを特徴とする請求項7記載の方
法。」である。
【0022】請求項9に記載の発明は、「前記CMMを
多軸装置に取付けるために機械式リンケージが使用され
ていることを特徴とする請求項1記載の方法。」であ
る。
【0023】本発明の前述の特徴と利点、並びに他の特
徴と利点とは、以下の詳細な説明と添付図面とにより、
当業者には充分に理解されることであろう。尚、図面を
通して同一部材には同一番号が付けられている。
【0024】
【発明の実施の形態】図1には、本発明の三次元測定シ
ステムが示されており、一般的に手動操作マルチジョイ
ントアーム12と支持ベース部あるいはポスト14とを
含む座標測定機械(CMM)10と、コントローラある
いはシリアルボックス16と、ホストコンピュータ18
とを含む。CMM10は、ホストコンピュータ18と電
子的連絡(接続)状態にあるシリアルボックス16と電
子的連絡状態である。
【0025】以下においてさらに詳細に解説するが、C
MM10は、回転ポジションデータを収集し、この基礎
データをシリアルボックス16へと送るトランスデュー
サを含む(例:各自由度に対して1トランスデュー
サ)。シリアルボックス16は、特定の複雑な計算を扱
うためのホストコンピュータ18の全体的な要件を減少
させ特定の予備データ操作を行う。図2に示すように、
シリアルボックス16はホストコンピュータ18(図2
に示すノート型コンピュータ等)の下側に配置されるよ
うに設計されており、データ処理ソフトウェア、マイク
ロコンピュータプロセッサ、信号処理ボード及び多数の
表示ライト20を含むEEPROMを含む。前記のよう
に、基本トランスデューサデータはCMM10からシリ
アルボックス16へと送られる。シリアルボックス16
は継続的にその未処理トランスデューサデータを処理
し、望まれる三次元のポジションあるいは配向性の情報
でホストコンピュータの質問に応答する。
【0026】好適には、本発明の三次元測定システムま
たは装置を定義する3の部材(例:CMM10、シリア
ルボックス16、及びホストコンピュータ18)は、剛
体プレート及び/又は標準光学測定機器用ねじ手段(st
andard measurement instrument thread)を使用して固
定搭載面に搭載され、続いて、図3に示す周知で標準的
な経緯儀可動スタンド(theodolite mobile stand) 2
2に搭載される。好適には、経緯儀スタンド22はブラ
ンソン社製の製品番号MWS750を含む。このような
可動スタンドは、伸縮垂直塔と通常のアタッチメント及
びロッキング機構とを有した安定回転式プラットフォー
ムを特徴としている。図2と図3とに示すように、CM
M10の支持ベース部14はスタンド22の垂直支持部
材24にねじ手段あるいは別手段で取付けられ、シリア
ルボックス16/ホストコンピュータ18は、第2ジョ
イント32に回動可能に接続されているアーム30に第
1ジョイント28で回動可能に接続されている棚26に
よって支持されている。接続部材34はジョイント32
を、部材24上に搭載されたキャップ38に取付けられ
たスィベル(swivel)接続部36と接続する。
【0027】図1と図4から図9にてCMM10を詳細
に説明する。図5に最も良く示されているように、CM
M10は、第2伝達ハウジング42(ハウジング40に
対して横断的に配置)に接続された第1伝達ハウジング
40を含む第1セットである2体のハウジング(40、
42)に接続されたベース部14を含む。第1延長部材
44は、第4伝達ハウジング48に横断的に取付けられ
た第3伝達ハウジング46を含む第2セットである2体
の伝達ハウジング(46、48)に固定的に取付けられ
ている。第1延長部材44は、伝達ハウジング42と4
6との間でそれらに垂直方向に配置されている。第2延
長部材50は伝達ハウジング48に整合状態で固定的に
取付けられている。剛体延長部材50は第6伝達ハウジ
ング54に横断的に取付けられている第5伝達ハウジン
グ52を含む第3セットである2体の伝達ハウジング
(52、54)に固定的に取付けられている。第6伝達
ハウジング54は、ハンドル/プローブアセンブリ56
に接続されている。
【0028】一般的に(以下でさらに詳細に解説)、ポ
ジション検知トランスデューサは伝達ハウジング40、
42、46、48、52、54の各々に搭載されてい
る。各ハウジングはベアリング支持体と、45度角の取
付スクリューを使用して相互に円筒状に取付けられるよ
うになったトランスデューサコンパートメントとを含む
(図6)。ベース部14にはカウンタバランススプリン
グ装置60が取付けられており、その標準垂直形態でア
ーム12を支持している(図8)。
【0029】図6と図7とでは伝達ハウジング(1例)
とその内部部材とを詳細に解説している。図6は伝達ハ
ウジングの分解図であり、図7は横断配向的に接続され
た伝達ハウジング(例:ハウジング46と48)の拡大
図である。各ハウジングは内部キャリヤ(carrier) 6
2と外部ケーシング64とを含む。内部キャリヤ62と
外部ケーシング64との間の機械的安定性は、それぞれ
のレース70と72とに対して押圧するように配置され
た2体のカウンタ配置(例:反対側に配置)された円錐
状ローラベアリング66と68とによって提供される。
レース70と72とは外部伝達ケーシング64内に永久
固定される。キャリヤ62はねじ手段74まで延びてい
るシャフト122を含む。円錐状ベアリング66と68
とは超硬スチールで製造されることが望ましく、レース
70と72もまた超硬スチールで製造されることが望ま
しい。
【0030】伝達ケーシング48の組立工程で、ナット
73を使用して圧力がかけられる。ナット73はねじ7
4に対して所定トルクが作用するように締められてプレ
ストレスされたベアリング状態を提供し、典型的な負荷
のもとで軸方向回転以外にはモーションを発生させな
い。手動取り扱い中のそのようなアームの低プロフィー
ル(low profile)の必要性と、その全強度に対して付
随する減少(attendant reduction in the overall sti
ffness) とにより、キャリヤ62とケーシング64と
の間のインターフェースにスラストベアリング(thrust
bearing)76の設置が好適であり、場合によっては必
要となる。スラストベアリング76は、伝達ハウジング
のキャリヤ62とケーシング64との間にさらに機械的
強度を提供する。スラストベアリング76は、スラスト
調整リング300、平環状レース302、ローラベアリ
ング及びケージ304、環状レース306、スラストカ
バー308である5構成要素からなる。スラストベアリ
ング76は一連のセットスクリュー78を介して調整さ
れ、高い曲抵抗力を提供する。トランスデューサ(好適
には、ハイデンハイン社製のMini−Rod、製品番
号450M−03600のごときエンコーダ80)は、
伝達ケーシング内への搭載のために汎用搭載プレート8
2に搭載される。トランスデューサ80の製造元でのモ
デルチェンジ、その結果としての搭載スクリュー形状の
変化に対処できるように搭載プレート82を改良するこ
とが可能であり、よって搭載プレート82は部材の利用
性の問題を解決する重要な要素である。搭載プレート8
2は丸いコーナー部を有した略三角形であり、図28に
示されている。さらに図28はねじ部材88と90、ピ
ン86、カップラー84(それらを以下で詳述する)を
も図示している。
【0031】エンコーダ80を使用した高精度回転測定
は、エンコーダ80には負荷がかからず、伝達ケーシン
グの軸とエンコーダの軸との間に少々の不整合があって
も伝達ケーシングのモーションがエンコーダに正確に伝
達されることを条件としている。角伝達エラー(angula
r transfer error)はエンコーダに関する諸文献から当
該分野の技術者にはよく知られている。レンブラント社
製の製品番号B1004R51Rのようなカップラー8
4は、エンコーダ80と連絡状態にある。延長シャフト
86はエンコーダ80を伝達ケーシング64に接続する
ために利用される。延長シャフト86はカップラー84
に接続され、セットスクリュー88と90を使用してね
じ手段74にてキャリヤ62の端部に接続される(図7
参照)。本発明の1つの重要な特徴によれば、電子プレ
アンプボード(electronic preamplifier board) 92
は、エンコーダ80に近接して配置され、キャップカバ
ー96の内側に(スクリュー94を介して)搭載され
る。キャップカバー96は、スクリュー97を介してケ
ーシング64に取付けられる。中継ハウジング98はス
クリュー97と100を介してキャップカバー96をケ
ーシング64に接続する。伝達ハウジングの外部環境と
のシーリング(sealing) は、標準ゴム製Oリング溝1
04を搭載したOリング溝102を使用してそのジョイ
ントにて達成される。回転エンドストップ106(以下
で説明)は図29に最良に図示されている。これは開口
部を有した方形金属ハウジングを有しており、ハウジン
グの開口部を介してボルト108によってケーシング6
4に搭載されている。長期にわたって摩耗を防止するた
めのグロメットを通過するワイヤはキャリヤ62とケー
シング64とに110と112とで搭載されている。位
置ピン114はキャリヤ62の相補形状の凹部116に
て受領され、2体の隣接伝達ケーシングの相対的配向性
は維持される。
【0032】図7に示されるように、安全対策及び他の
理由で、全ワイヤがアーム12内に完全に遮閉されてい
ることが重要である。図7は互いに垂直に搭載され、ワ
イヤの通路を提供している2体の伝達ハウジング46と
48とを図示している。CMM10の使用中に、エンコ
ーダ80からのエンコーダ情報はワイヤ118を介して
処理ボード92へ送られて増幅され、加工されたワイヤ
通路120を介してにアーム12を通過する。ワイヤ1
18は伝達ケーシング46の内部キャリヤ62の空洞部
122内の空洞通路120とグロメット穴124とを通
過し、伝達ハウジング46の外部ケーシング64に加工
された大きな空洞部126内へと通過する。空洞部12
6は伝達ケーシングの回転中にワイヤストランドの巻き
上げを可能にし、ワイヤの摩擦を発生させず、ワイヤの
曲げを最少限に抑えるように形成されている。しかし、
ワイヤの完全な回転には限界があるため、不完全球形溝
128が提供されており、その内部にはエンドストップ
スクリュー130が配置されており、回転をこの場合に
は330度に制限している。空洞120を通過する通路
とワイヤ巻き上げ空洞部122とは各伝達ケーシングに
おいて形成されており、ベース部14に搭載されたコネ
クタにまでワイヤを延ばし、ワイヤの露出を皆無として
いる。
【0033】図8には、アルミ製アームと多様なベアリ
ング及びトランスデューサの構造が図示されており、C
MM10のプローブハンドルアセンブリ56で合計重量
が約10から15ポンド(4.536kg〜6.804
kg)である。通常の場合には、このような重量は装置
の使用中に大きな疲労の原因となり、従ってカウンタバ
ランスが必要である。しかし、重量のカウンタバランス
処理は好ましくない。なぜなら、装置の重量が大幅に増
加し、搬送に不便だからである。よって、1好適実施例
においては、重量のカウンタバランスは、アーム12を
リフトさせるため、ベース部14で伝達ハウジング42
に搭載されたトーションスプリング(torsional sprin
g)132を含むカウンタバランス装置60を使用して
提供されている。巻きつけられたトーションスプリング
132は全体的なプレテンションに影響を及ぼす多様な
位置に搭載が可能であり、よって、多様な長さと重量と
を有したアーム12に対して利用が可能である。同様
に、アーム12の重量と、反発するスプリングの影響と
により、アームを収納ポジションに戻すときには大きな
衝撃負荷が発生するかも知れない。このショックを回避
するため、エアピストン式ショック吸収器134がカウ
ンタバランススプリング装置60に提供される。この機
構によりショックは吸収され、収納位置へのスローな動
作が提供される。図8は押さえられた状態のショック吸
収器134を図示しており、図16から図18には完全
に延び出た状態のショック吸収器134を図示してい
る。
【0034】図9Aと図9Bではプローブハンドルアセ
ンブリ56の平面図と底面図とがそれぞれ図示されてい
る。プローブハンドルアセンブリ56は鉛筆またはピス
トルグリップのように保持され、データ取得用の2体の
スイッチ(図9Aの150と152)と、オプション電
子機器取付用のコネクタ(図9Bの154)と、多様な
プローブ受領用のねじ式搭載部156とを有している。
CMM10は手動測定システムであるため、ユーザはま
ず測定を行い、その測定値が許容値であるか否かをCM
M10に確認させることができなければならない。これ
は2体のスイッチ150と152の使用を通じて達成さ
れる。フロントスイッチ150は三次元データ情報をト
ラップするのに使用され、バックスイッチ152はその
承認を確認し、ホストコンピュータ18へと伝達する。
スイッチ収納体58の裏側にはコネクタ154が提供さ
れており、レーザスキャン装置またはタッチプローブ等
の多数のオプション装置との汎用接続用の多数の電圧線
及びアナログ−デジタル変換線を有している。
【0035】多様なプローブはハンドルアセンブリ56
にねじ式に取付けが可能である。図10Aでは直径が1
/4インチ(0.635cm)の硬質ボール形プローブ
158が図示され、図10Bではポイント形プローブ1
60が図示されている。両プローブ(158、160)
とも搭載部156にねじ手段(雄ねじ157)で搭載さ
れ、搭載部156はプローブ収容体58にねじ式に取付
けられている。搭載部156は複数の平面部159をさ
らに含み、レンチを使用してプローブの着脱が行われ
る。
【0036】図11と図12ではコントローラあるいは
シリアルボックス16を説明する。図11はコントロー
ラあるいはシリアルボックス16のフロントパネル16
2を図示している。フロントパネル162はパワー表示
ライト164、エラー表示ライト166、及び6個の表
示ライト(1〜6:各伝達ハウジング内に提供された6
体のトランスデューサの各々につき1体)を含む8個の
表示ライトを有している。パワーアップすると、パワー
ライト164はアーム12へのパワーを表示する。同時
に、6個のトランスデューサライトは6体のトランスデ
ューサの各々の状態を表示する。本発明の1好適実施例
においては、それらトランスデューサは増分デジタル光
学エンコーダ(incremental digital optical encode
r) 80であり、レファレンス(referencing) が必要
である。(実施例によっては、これらトランスデューサ
はアナログ装置でも可。)スタートアップ時に、6ジョ
イント(例:伝達ハウジング)の各々は、その基準ポジ
ションを見つけるために回転する必要があり、その時に
6個のライトは消灯される。
【0037】本発明の1つの重要な特徴によれば、使用
中に、トランスデューサのどれでも2度以内で回転エン
ドストップ106に接近するようなことがあれば、その
特定トランスデューサのためのライトあるいは可聴ビー
プ音はユーザがエンドストップに接近しすぎていること
を知らせ、進行している測定に対するアーム配向性の調
整が必要であることを示す。シリアルボックス16は継
続して測定を行うであろうが、そのようなエンドストッ
プ条件が解消されるまでデータのトラッピングを承認し
ないであろう。このエンドストップ機能が必要な典型的
な状況は、特定トランスデューサのエンドストップ制限
までの回転による自由度のロス、即ち、測定値の非測定
偏差と誤差とを引き起こすアームに対するフォース(fo
rce) の適用である。
【0038】測定中のいつでも多様なコミュニケーショ
ンエラーや計算エラーは、発生しうる。これらはエラー
ライトの点滅と、それに引き続く、コードによる特定の
エラー条件を表示する6個のトランスデューサライトの
組合せにとによってユーザに知らされる。フロントパネ
ル162は、文字数字式エラー表示とエンドストップ警
告とを与える文字数字式LCDパネルで代用することが
できる。
【0039】図12はシリアルボックス16のリヤパネ
ル168を示しており、マイクロプロセッサをリセット
するリセットボタン170と、空気循環のためのAC入
力ファン172と、標準PC ATキーボードのための
コネクタ174と、シリアルボックス16の内部操作を
モニターするオプションVGAボードのためのコネクタ
176と、CMMデータ用の多様な信号ラインを受領す
るコネクタ178と、ホストコンピュータ18用の標準
RS232コネクタのためのコネクタ180とを含む多
様な標準PCコネクターとスイッチとを含む。
【0040】シリアルボックス16は、CMMの温度モ
ニターと、温度の変化による多様な部材の膨張及び収縮
を記述する原理に従ってそのモーションを記述する運動
式あるいは数学式をリアルタイムで修正する機能を果た
す。この目的及び本発明の重要な1特徴により、温度モ
ニターボード182(温度トランスデューサを含む)は
カバー184の内部の第2ジョイント42の位置に配置
される(図4と図5を参照)。CMM10は好適には航
空機用のアルミで外部的に構築され、酸化皮膜処理され
ている。好適には、アーム12全体は、ステンレス製で
ある搭載スクリュー以外は同一材料にて製造されてい
る。その同一材料は、全体的に使用され、アーム12に
均一な膨張特性と収縮特性とを付与し、電子的補正を容
易にしている。さらに重要なことは、大きな温度範囲を
通じて全部材間に要求される優れた安定性は、それら部
材間に異なる熱膨張状態が発生しないことを要求する。
前述のように、温度トランスデューサ182は好適には
伝達ハウジング42に配置される。なぜなら、この位置
は質量の中心を定義すると考えられ、よって大きな温度
変化後にも最も安定性が高いと考えられるからである。
【0041】図13はCMM10とシリアルボックス1
6のための全体的な略式電子レイアウトを示している。
ここには6体のエンコーダ80が示されており、各々の
エンコーダは信号伝達の際のノイズを最少とするために
近接して配置されたアンプボード92を有している。オ
プションポート154は多様なオプション機器の取付け
のためにハンドル56にて利用される6本のピンコネク
タである。シリアルボックス16に測定プロセスを表示
する2個の制御ボタン150と152も示されている。
【0042】温度トランスデューサは図13に示すよう
にアーム12に配置されている温度回路ボード182と
連結されている。本発明のさらに別な重要特徴によれ
ば、この温度ボード182は、EEPROMボードを含
む。このEEPROMは小型コンピュータメモリ装置
(電気的に消去可能なプログラム可能リードオンリーメ
モリ)であり、アームの多様なキャリブレーションとシ
リアル番号データの記録に使用される(図19から図2
1に関する説明を参照)。これは本発明の非常に重要な
特徴であり、CMM10の高性能制御を可能にしてい
る。重要なことは、本発明はソフトウェアとアームとの
偶然のミックスアップ事故を防止することである。即
ち、CMMアーム12は、別々に取り扱い、及び/又は
他の機械でスイッチする必要があるかも知れないような
コントローラボックス16に存在する特定キャリブレー
ションデータを必要としない独立的装置(stand alone
device)である。
【0043】アームの電子機器からの電子/パルスデー
タは、12ビットアナログ−デジタル変換器とマルチチ
ャンネル16ビットデジタルカウンタとのペアセットで
あるアナログ−デジタル変換器/デジタルカウンタボー
ド186に伝達される。このボード186はコントロー
ラボックスの標準バス(buss)に配置されている。カウ
ント情報(counting information)は、コアモジュール
188(core module)(アンプロ社の製品番号CMX
−286−Q51のごときIntel286マイクロプ
ロセッサを含む)と、これもコントローラボックスに存
在するEEPROMに保存されたプログラムとを使用し
て処理される。その後のデータはシリアルコミュニケー
ションポート189を介して伝達される。
【0044】マイクロプロセッサベースのシリアルボッ
クス16は、ホストコンピュータレベルの処理要件な
く、CMM10に特有な計算を予備処理させる。このよ
うな予備処理計算の典型例には、座標系変換、ユニット
変換、仲介ジグ(intermediaryjig)を使用した1座標
系から他の座標系へのリープフロッグ処理(leap-frogg
ing)、2体のボール(ANSI B89ボールバー
等)間の距離の計算等の証明手続(certification proc
edure)の実行、及び、多様なホストコンピュータ及び
ユーザプログラムへのダウンロード(downloading)に
必要な特定フォーマットでのデータ出力処理が含まれ
る。
【0045】シリアルボックスは、PC、MSDOS、
Windows、Unix、Apple、VME(マイ
クロソフト社等の商標)等の多様なホストフォーマット
とコミューニケートするように構成されている。シリア
ルボックスは進行状態で未処理トランスデューサデータ
を処理し、ホストコンピュータの情報リクエストあるい
はポーリング(polling) に望まれる三次元ポジション
または配向情報で応答する。シリアルボックスの言語
は、マイクロプロセッサ188のドライバ(driver)あ
るいはコンピュータコミュニケーションサブルーチン
(subroutine)がシリアルポートをドライブし、CMM
10とコミュニケートさせるように、ホストコンピュー
タの言語で書かれている。この機能は、”インテリジェ
ントマルチプロトコルエミュレーションとオートスイッ
チング(intelligent multi-protocolemulation and au
toswitching)機能”と呼ばれ、次のように作用する。
多様なホストプログラムをホストコンピュータに設定す
ることが可能である。これらのホストプログラムはシリ
アルボックスが応答しなければならない多様なリクエス
トでシリアルポートをポールする。多数のプロトコルが
シリアルボックスに予めプログラミングされており、多
様な異なる一般的ソフトウェアのためのシリアルポート
でのポール(poll)または質問(inquiry) に応答す
る。ソフトによるポーリングリクエスト(polling requ
est) には特定の応答が要求される。シリアルボックス
は、ポーリングリクエストを受領し、どのプロトコルに
所属するかを確定し、妥当に対応するであろう。これで
CMM10と、多様なアプリケーションソフト(例え
ば、オートデスク社製のAutoCad、キャドキー社
製のCADKEY、及び他のCADプログラムのごとき
コンピュータを利用した設計と品質管理ソフト、並びに
ジオメットシステム社製のGEOMETや、ブラウンア
ンドシャープ社製のMicromeasure IIIのご
とき品質管理プログラム)との間の透明(transparen
t)なコミュニケーションを行わせる。
【0046】本発明の三次元CMMは次のように作動す
る。パワーアップすると、シリアルボックス16のマイ
クロプロセッサ188はスタートアップセルフチェック
プロセス(start up self-checking procedure)を実行
し、CMM10のアーム12へと機器ポート(instrume
nt port) を介してパワーを供給する。EEPROM1
82に存在するマイクロプロセッサとソフトは、当初の
パワーアップによっていずれのエンコーダ80も初期化
されていないことを判定する。マイクロプロセッサ18
8は全ライトが点灯したディスプレーボード20に信号
を送り、注意すべき要件(need)を表示する。その後に
ユーザはアームを機械的に移動させてトランスデューサ
にそのレンジ(range) を個別にスキャンさせ、同時に
基準マーク(reference mark)がパス(pass)される。
基準マークがパスされると、デジタルカウンタボード1
86は、その位置をトラップし、トランスデューサが参
照(reference) されてライトが消灯したことをフロン
ト表示ボード20に確認することで対応する。全トラン
スデューサが参照されると、このシステムはホストコン
ピュータとのシリアルコミュニケーションを確立し、別
な命令を待つ。ハンドル56のフロントボタンあるいは
バックボタンを押すと測定プロセスが開始する。フロン
トボタン150を押すと現状トランスデューサ値(curr
ent transducer reading)がトラップされるであろう。
バックボタン152を押すとマイクロプロセッサに指令
を発し、これらの値を座標に翻訳させ、シリアルポート
を介してホストコンピュータ18に対して発行させる。
ホストコンピュータ18とシリアルボックス16とは、
互いのシリアルラインリクエスト(serial line reques
t)に応答を継続する。
【0047】図19、図20及び図21はCMM10の
構造体に続く装置を図示している。その装置は構造ある
いは加工に対する測定されたいかなる不完全さをも対処
するプログラムソフトを変更することで最適化されてお
り、あるいはキャリブレートされている。この当初キャ
リブレーションは本発明の重要な特徴であり、2段階で
実行される。まず、装置の全容積を通じたポジション、
配向性、及び寸法を含む多様な座標測定が実行される。
次に、最適化ソフトプログラムが使用され、ジョイント
軸の各々に存在する実際の不整合状態が判定され、アー
ムのモーションを記述する運動公式が調整される。その
一般的な結果として、不完全な加工と構造とは、これら
の不完全さの特定と、装置の運動公式へのそれらの挿入
とを介して完全なものであると見なされる。
【0048】図19と図20Aから図20Eにかけて、
データが豊富であることと、正確で容易な取得をさせる
必要性とによって提供されるキャリブレーション/テス
ティングジグ(calibration and testing jig) 320
が示されている。ジグ320は、水平面で360度回転
することができる間隔を開けて設置された2本のタワー
体324と326が取付けられた大型グラナイトプレー
ト322を有する。CMM10はタワー体326に搭載
されており、調整可能な寸法テスティングジグ320は
タワー体324に搭載されている。ジグ320は、タワ
ー体324を通じて開口部330内で垂直に移動できる
延長可能な垂直アーム328に搭載されている。アーム
328は完全に延びた位置で図示されている。
【0049】図19と図20の調整可能寸法テスティン
グジグ320は、精密ボール334が取付けられている
24インチ(60.96cm)バー332と、長軸方向
に配置された一連の穴336と、24インチ(60.9
6cm)の精密ステップゲージ(step gauge)338
(図20Aから図20Eにかけて詳細に説明)の3体の
基本部材を含む。アーム332は、テスティングジグの
ためと、図21で示されるアーム容積の全領域における
多様なポジションのそれらの穴、ステップ及びボールの
ポジションの測定に使用される。得られたこのデータは
最適化される。この重要な最適化手順は以下のように説
明できる。対象物の所定のポジションと配向性を備えた
標準テストジグ320はアーム10で測定される。この
データは、アームの全主要部材の相対的な不整合と寸法
とを提供するために作成されたマルチ可変最適化プログ
ラム(multi-variable optimization program) を介し
て処理される。最適化が実行され、同時にアームの全体
的な特徴を記録したキャリブレーションファイルが準備
される。これらの全体的な特性と、引き続くトランスデ
ューサの判読値とは多様な運動公式に組み合わされ、絶
対座標系でのX値、Y値及びZ値が得られるであろう。
【0050】性能をさらに最適化するため新規な基準ボ
ール192がCMM10のベース部14に取付けられた
着脱自由な搭載体194から横方向に延び出ている(図
14と図15参照)。基準ボール192をベース部14
に配置することにより基準ボール192は、X軸、Y軸
及びZ軸に対応する装置の絶対原点(0,0,0)を表
す。基準ボール192の位置が知られているため、図1
5に示すようなチップの配置でCMM10の最終リンク
(last link)に対するデジタイザチップ(digitizer t
ip)158の座標が決定可能となる。この配置を知るこ
とで、CMM10は以降の測定をするときにそのボール
の中心位置が決定できる。一般的にはこれによって多様
な異なるプローブが特定のアプリケーションに応じて取
付け可能となり、各々は基準ボールに対してキャリブレ
ーション可能となる。
【0051】本発明装置のポータブル性によって、本発
明装置は多様な環境において重大なハンドリングミスと
位置移動の影響を受けよう。従って、本発明はプロトコ
ルを含み、それによってユーザは便利な保守スケジュー
ルに従って装置使用以前に容積精度(volumetric accur
acy)を決定することができる。容積精度はASMEA
NSI B891.1.12(1989)基準に従っ
て、多様な配向性での実行容積(working volume)に配
置された固定長を測定する装置能力として定義される。
図16は、第1ボールバーアプローチでこれを行う本発
明能力を示しており、図17と図18とは第2ボールバ
ーアプローチを示している。
【0052】図16は標準ボールバー196を示してお
り、その各端部には精密球状ボール198と200とが
配置されており、それらはそれぞれ2体の磁石ソケット
202と204とに搭載されている。ソケット202は
CMM10のベース部14に配置されており、ソケット
204はプローブハンドル56に配置されている。アー
ム12が動かされると、ソケット202と204と、ボ
ール198と200とは回転してこの動きに対応し、C
MM10はハンドル56のボール200とソケット20
4の中心と、ベース部14のボール198の中心との固
定距離を測定する必要がある。もちろん、ベース部14
のソケット202はCMM10の座標原点(0,0,
0)を表しており、コントロールボックス16のキャリ
ブレーションソフトは座標原点(0,0,0)からプロ
ーブのボールの中心までのベクトル長を計算する。この
ベクトル長はもちろんテスト中には変化せず、ハンドル
と他のジョイントのマルチ形態(multiple configurati
on)と回転とを通じて全容積的にコンスタントでなけれ
ばならない。
【0053】ハンドルのソケット204は、ハンドルの
特定プローブの精度を確認する際に不便であると考えら
れるかも知れない。従って、本発明の重要な1特徴に従
い図17に示す新規な円錐状ソケットボールバー206
が使用される。円錐状ソケットボールバー206はその
一端に円錐体208を有し、他端に2個のボール210
と212とを有している。この円錐体とボールとは、好
適には20度である角αで折れ曲がったバー部分207
に接続されている(図18)。ボール212はバー20
9から横方向に延び出た搭載部に取付けられている。ボ
ールプローブ158あるいはポイントプローブ160
は、円錐状ソケット208に配置されており、ボール2
10はCMM10のベース部14の標準磁石ソケット2
02に提供が可能である。図16のキャリブレーション
方法と同様に、多数のボール位置、及びバーとジョイン
トの位置は測定される。円錐状ソケット208とボール
210との間の距離は、一定でなければならない。ユー
ザは機械の向こう側(214で示す)に届くことができ
ない。これはボールソケット202の配置の宿命であ
る。この解消を目的として、ボール212は図18のよ
うに使用され、これによりユーザは、ボール212と円
錐状ソケット208との間の距離を測定するためにCM
M10の裏側に届くように円錐状ボールバー206を配
置させることができる。
【0054】本発明によれば、CMM10を多軸マシン
ツールやロボットのごときコンピュータ制御装置のため
の操作パスのプログラミングに使用させる新規な方法が
提供されている。前述のごとく、ロボットと多軸機械の
使用に関する深刻な限定要因は、溶接や研磨のごとき機
能を実行させたり、複雑なプラスチック鋳型を加工する
のに必要な複雑なツールパスをプログラムするのに要求
される時間と労力である。しかしながら、本発明の6の
自由度を有したエレクトロゴニオメトリ装置はプローブ
の端部でX、Y及びZポジションを提供し、さらにプロ
ーブのI、J及びK配向性を提供する。それらは全てそ
のようなコンピュータ制御装置のプログラミングのため
の新規な方法において使用が可能なものである。プログ
ラムされている多軸装置またはロボットの機能を定義す
るのはこのポジション及び/又は配向性である。第6番
目の回転軸は通常はカッティングまたは研磨ツールの回
転軸であるか、ロボットの第6軸に搭載された固定位置
溶接グリップの回転軸である。
【0055】本発明に従った多軸装置のプログラミング
は3、4、5、6、7及びそれ以上の回転軸を含む全自
由度に適用される。例えば、3自由度のみの座標測定機
械はポジションあるいは配向データ(それら両方ではな
い)を測定して保存することができ、3軸(以上)のマ
シンセンターあるいはロボットにツールパスあるいは製
造操作シークェンス(sequence)を提供できるであろ
う。少なくとも5の自由度を有したCMMは5軸(以
上)のマシンセンターあるいはロボットにポジション
(X,Y,Z)と配向(I,J,K)の両方のデータを
提供するであろう。
【0056】図22のフローチャートのステップAから
Dに略式に記載された本発明の方法に従えば、ユーザ
は、デジタイザにおけるシミュレーションツールで本発
明の軽量であって取り扱いが容易な受動的エレクトロゴ
ニオメータ装置を単に手動で操作してツールパスあるい
は製造操作のエミュレーションを実行するだけでよい。
CMMは所定の速度で製造ツールのX、Y、Zポジショ
ンデータ及び/又はI、J、K配向性データを蓄積す
る。このデータは産業標準フォーマットに従って、エレ
クトロゴニオメータ10を使用してエミュレートされた
モーションの再現のためにロボットあるいはマシニング
センターのごとき数値的に制御されたCNCあるいはコ
ンピュータへと送られる。
【0057】コンピュータ制御5軸マシンツールへ適用
されたこの方法の1例は、図23Aから図23Cに示さ
れている。図23Aには多軸マシニングセンターで模写
されなければならない複雑な物体が示されている。この
例では、複雑な物体とは、チョコレート製の兎を製造す
るための鋳型400である。この鋳型400を複製する
には、マシニングセンターは必要なツールパスを含んで
プログラムされなければならない。ツールパスはポジシ
ョン(X,Y,Z)あるいは配向性(I,J,K)、又
はそれら両方で定義される。もし5軸(以上)のマシニ
ングセンターあるいはロボットがプログラムを要すれ
ば、ポジションと配向性の両方のデータが必要となる。
もし3軸のマシニングセンター又はロボットがプログラ
ムされなければならないときは、ポジションまたは配向
性の情報のみが必要である。
【0058】図23Bにおいて、CMM10は測定アー
ム12の端部でのハンドル/プローブアセンブリ56上
のコレットに取付けられたカットツール402(または
シミュレートされたカットツール)を有している。ユー
ザは線404で示された望むツールパスをシミュレート
する(図22のA)。前述のように、測定アーム22は
ツール402のポジションと配向性とを記録し、このデ
ータを産業フォーマットデータファイルに保存する(図
22のB)。
【0059】図23Cにおいて、この保存データファイ
ルは多軸マシニングセンター406のマイクロプロセッ
サにロードされる(図22のC)。この場合の複雑物体
(チョコレート製兎鋳型400)は、CMM10で取得
されたポジションと配向性とのデータに基づいてマシン
ツール408によって複写され、またはエミュレートさ
れる(図22のD)。
【0060】ここでユーザはツールパスや、速度等の他
のカッティングパラメータを最適化できる。さらにデー
タが必要とあれば、さらにシミュレーション(例:図2
2のステップAからステップCを反復)が実行でき、そ
のデータはオリジナルデータセットに追加される。CM
Mは人間によって操作されるため、そのデータは振動等
によって引き起こされる幾分かのエラーを含むであろ
う。従って、そのデータは好適には、CNCソフトウェ
ア社製のMASTERCAMや、サーフウェアーインク
社のSURFCAM等の周知であるスムーザー(smooth
ing) 又はリファイナー(refining)CAD/CAMプ
ログラムで補正することができる。
【0061】図24はロボットへの本発明方法の適用例
である。多軸ロボットのための製造操作プログラムは、
図22AからD、または図23AからCに記載されたス
テップを利用する。この場合、複雑物体の研磨のごとき
製造操作に使用されるロボットは、測定アーム12の端
部に提供された研磨円盤ツール410の使用によって”
シミュレーション訓練(simulation trained)”され
る。ポジション/配向性データはCMM10によって保
存され、データファイル(ロボット産業標準フォーマッ
ト内)はロボットプロセッサにロード(load)され、及
び/又は実行される。本発明の方法によって有用となる
ロボット(及び加工)操作の他の例としては、カッティ
ング、加工、艶出し、研磨、塗装、洗浄、溶接がある。
【0062】本発明による現在のシングルポイントのポ
ジションの精度はそのロボット反復性能の範囲である。
しかし、実際の使用経験から、そのロボットの絶対精度
は前記ロボット反復性能と比較して10倍以上も不正確
であることが判明している。換言すれば、ロボットその
ものは高い精度で動きを反復することができるが、実際
のロボットの動きはプログラムされたパスから大きく外
れる。これは、ロボットの絶対精度は、多くの機械的及
び電子的要因に影響を受けるからである。さらに、ロボ
ットの運動性能は、リンクやジョイントの不整合によっ
ても影響を受ける。実際のツールパスの誤差は図25に
示すエラーマップ手段によって解消される。図25に示
すように、プログラムされた望まれるツールパスは、実
線500で示されている。破線502はロボットや他の
多軸装置の実際のツールパスを表している。この破線5
02は、ロボットによるパスをエミュレート(即ち、ト
レース)するために本発明によるCMM10を使用する
ことで導き出されており、その獲得された実際のツール
パスのポジション/配向性データが破線502で示され
ている。その結果、三次元空間による望まれるパス50
0と実際のパス502との間のエラーマップが作成され
る。ここで適当なソフトウェアとコンピュータとが利用
されてこの誤差が補正される。補正後には実線500と
破線502とは所定の誤差内で合致する。作成されたエ
ラーマップは、ロボット最適化のための標準的な産業技
術において使用される。この最適化の原理は、実際のも
のと測定されたものと間の誤差を最少にするための数学
式へのエラーマップの利用と、ロボットに適用されたと
きにその反復性と精度とを向上させる一連の運動パラメ
ータを作成させるための多様な統計手法の使用とを含
む。この種の適した最適化技術の例は、「ロボットのた
めの運動キャリブレーションとジオメトリックパラメー
タアイデンティフィケーション(Kinematic Calibratio
n and GeometricalParameter Identification for Robo
ts) (ジャン−ミハエルズ レンデルズ他:IEEE
会報/ロボットと自動化:第7巻6号:1991年12
月)」、「ロボットマニプレータの運動パラメータアイ
デンティフィケーションに対する閉鎖フォーム解決法
(A Closed Form Solution to the Kinematic Paramete
r Identification of Robot Manipulators)(ハンジ
チュアン他:1991年IEEE国際会議/ロボットと
自動化:カルフォルニア州サクラメント市:1991年
4月)」、「ロボット精度の改善(ローレント P.ポ
ーロイ他:IEEEジャーナル/ロボットと自動化:6
2ページ:1984年)」、「ロボットポジショニング
エラーの評価のための一般的手法(ラメッシュ N.バ
イシュナフ他:ロボット研究の国際ジャーナル:第6巻
1号:1987年春)」、及び「ロボットアームジオメ
トリラインパラメータ評価(セイムド A.ハヤチ他:I
EEEジャーナル/ロボットと自動化:1477ページ:
1983年)」に掲載されている。
【0063】図27は本発明の方法に従った、図26の
フローチャートのステップA’からD’に略図で記載さ
れた多軸装置あるいはロボット504を図示している。
多軸装置またはロボット504は機械的リンケージ50
6等を使用してCMM10に直接的に取付けられてお
り、(図22のステップDで説明するように)多軸装置
あるいはロボットが実行し、図26のステップA’に示
すように、実行された実際のツールパスをトレースさせ
る。CMMアーム10はロボット504に単純に取付け
られており、ロボット504はCMM10によって測定
された一連の手法に従って使用されるので、ロボットに
よるポジション判断と、アームCMMによるポジション
判断とに関する情報の比較が図25のエラーマップの定
義に使用される。即ち、ロボット504の望むポジショ
ン500と、アームCMM10に関する測定ポジション
502との間の「誤差」が定義されることになる。よっ
て、ステップB’において、CMM10は実際のツール
パスあるいは製造操作500のポジションと配向性とを
保存し、図25のエラーマップを導き出す。図26のス
テップC’に続き、CMMコンピュータの適当なソフト
は、例えば、図22のステップCでCMM10によって
当初に獲得された望むツールパスあるいは製造操作50
0に合致するよう、実際のツールパス502を補正す
る。図26のステップD’に示すように、多軸装置50
4は補正されたツールパスあるいは製造操作500を正
確にエミュレートする。よって、多軸装置またはロボッ
ト504は空間の誤差を排除するようにキャリブレート
される。
【0064】以上、好適実施例が示され、それについて
解説がなされているが、本発明の精神とスコープとから
離脱せず、多様な改良及び置換が可能であろう。従っ
て、本発明はあくまで説明を目的として記述されてお
り、発明の限定を意図してはいない。
【0065】
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明において
は、ポータブルであり、改善された精度と利便性とを提
供する新規で改良された三次元CMMを提供することが
でき、さらに、多軸マシンツールまたはロボットのツー
ルパスをプログラムする簡単で優れた方法を提供するこ
とができるという優れた効果を奏する。本発明の座標測
定機械は、エラーマップの新規な作成に特に有用であ
り、多軸マシニングセンター用、特にはロボット用のツ
ールパスを補正し、及び/又はプログラムするのに特に
有用であるという優れた効果を奏する。本発明により、
汎用としての正確であると同時に低価格である改良され
たCMMを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 座標測定機械、コントローラボックス及びホ
ストコンピュータを備えた本発明の三次元測定システム
を説明する概略正面図である。
【図2】 操作可能なアームに載せられたシリアルボッ
クスの上に載せられたホストコンピュータを示す側面図
である。
【図3】 セオドライト(経緯儀)スタンド上に取付け
られた本発明の三次元測定システムの側面図である。
【図4】 図1に示されているCMMの背面図である。
【図5】 図1のCCMを一部断面で示した立面図であ
る。
【図6】 図1のCMMに使用されている伝達ハウジン
グの分解側面図。
【図7】 直角向きに組み合わせられた2つの伝達ハウ
ジングの断面図。
【図8】 図1のCCMに使用されている釣り合いばね
の拡大側面図である。
【図9】 図9A及び図9Bは、図1のハンドル/プロ
ーブ(handle/probe)アセンブリを表す平面図と底面図
である。
【図10】 図10Aと図10Bとは、ボールプローブ
(ball probe)とポイントプローブ(point probe)の
それぞれの側面図である。
【図11】 図1のコントローラボックスの拡大正面図
である。
【図12】 図1のコントローラボックスの拡大背面図
である。
【図13】 図1の三次元測定システム用の電子部材の
概略図である。
【図14】 プローブチップキャリブレーションシステ
ム(probe tip calibration system)を説明する図1の
CMMの側面図である。
【図15】 プローブチップをキャリブレーション(校
正)方法を説明する概略平面図である。
【図16】 ボールバーでキャリブレーションされてい
る図1のCMMの側面図である。
【図17】 新規な円錐形ボールバー装置でキャリブレ
ーション中の図1のCMMの側面図である。
【図18】 新規な円錐形ボールバー装置でキャリブレ
ーション中の図1のCMMの側面図である。
【図19】 最適化ジグ(optimizing jig)を使用して
図1のCMMを最適化する方法を説明する側面図であ
る。
【図20】 (A)から(E)は、図19のジグに使用
される精密ステップゲージ(precision step gauge)の
それぞれ正面図、背面図、平面図、右側面図、左側面図
である。
【図21】 図19の装置を用いて図1のCMMを最適
化する方法を示す概略図である。
【図22】 本発明のCMMを使用してコンピュータ制
御マシンツールとロボットとをプログラミングするため
の方法ステップを表すフローチャート図。
【図23】 (A)から(C)は、コンピュータ制御マ
シンツールに関して実施されている図22の方法を示す
連続図である。
【図24】 コンピュータ制御ロボットに関して実施さ
れている図22に示す方法の略図である。
【図25】 望まれるツールパスと実際のツールパスと
を比較して表す本発明に従って作成された多軸エラーマ
ップ(multi-axis error map)の略図。
【図26】 図25の実際のツールパスを図25の望ま
しいツールパスに補正するために本発明のCMMを使用
したコンピュータ制御マシンツールとロボットとのプロ
グラミングのための方法ステップを表すフローチャート
図である。
【図27】 ロボット等に機械的にリンクされている図
1のCMMを表す側面図である。
【図28】 図6のA−A線から矢印方向に見た平面図
である。
【図29】 図6のB−B線から矢印方向に見た平面図
である。
【符号の説明】
10 座標測定機械(CMM) 12 アーム 14 支持ベース 16 シリアルボックス 18 ホストコンピュータ 40、42、46、48、52、54 伝達ハウジング 80 エンコーダ 400 鋳型 406 多軸マシニングセンター 500 望むポジション 502 実際のパス 504 ロボット

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多軸装置の反復性能及び/又は精度を向
    上させるためのエラーマップを作成する方法であって、 (1)受動性三次元座標測定機械(CMM)の測定アー
    ムを多軸装置に取付け、当該多軸装置に望まれる所定の
    プログラムされたパスあるいは操作をエミュレートして
    いる選択された三次元パスあるいは操作を通じて前記C
    MMを操作するステップと、 (2)前記ステップ(1)から(a)ポジションと(b)配向
    性(orientation) との少なくとも一方であって、前記多
    軸装置の実際のパスあるいは操作を定義する三次元デー
    タを現出させる(developing)ステップと、 (3)該実際のパスあるいは操作を、望まれる所定のプ
    ログラムされたパスあるいは操作と比較するステップ
    と、 (4)該実際のパスあるいは操作を、望まれる所定のプ
    ログラムされたパスあるいは操作と比較させるエラーマ
    ップを作成するステップと、 (5)該エラーマップを使用して、前記多軸装置の反復
    性能及び/又は精度を向上させるステップと、を含むこ
    とを特徴とするエラーマップ作成方法。
  2. 【請求項2】 前記多軸装置は少なくとも3軸を有した
    装置を含み、前記ステップ(2)で現出されたデータは
    ポジションと配向性のデータを含むことを特徴とする請
    求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 前記多軸装置は少なくとも5軸を有した
    装置を含み、前記ステップ(2)で現出されたデータは
    ポジションと配向性のデータを含むことを特徴とする請
    求項1記載の方法。
  4. 【請求項4】 前記多軸装置は加工装置を含むことを特
    徴とする請求項1記載の方法。
  5. 【請求項5】 前記多軸装置はロボットを含むことを特
    徴とする請求項1記載の方法。
  6. 【請求項6】 前記操作は、溶接、研磨、カッティン
    グ、寸法加工、艶出し、削り加工、塗装及び洗浄からな
    る加工群から選択されることを特徴とする請求項1記載
    の方法。
  7. 【請求項7】 前記CMMは6の自由度を含むことを特
    徴とする請求項1記載の方法。
  8. 【請求項8】 前記CMMは、 それぞれ反対側にある第1端部と第2端部とを有した可
    動アームを含み、該可動アームは複数のジョイントを含
    み、該各ジョイントは1自由度に対応し、該アームは選
    択されたスペース内で可動であり、該各ジョイントはポ
    ジショントランスデューサ手段を収容する回転伝達ハウ
    ジングを含み、該トランスデューサ手段はポジション信
    号を創出するものであり、本CMMはさらに、 前記可動アームの前記第1端部に取付けられた支持ベー
    ス部と、 前記可動アームの前記第2端部に取付けられたプローブ
    と、 前記トランスデューサ手段からの前記ポジション信号を
    受信し、選択されたスペース内で前記プローブのポジシ
    ョンに対応したデジタル座標を提供する電子回路手段
    と、を含むことを特徴とする請求項7記載の方法。
  9. 【請求項9】 前記CMMを前記多軸装置に取付けるた
    めに機械式リンケージが使用されていることを特徴とす
    る請求項1記載の方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001311616A (ja) * 2000-02-01 2001-11-09 Faro Technol Inc 座標測定システムに実行可能プログラムを提供する方法、システム、および記憶媒体
JP2008539405A (ja) * 2005-04-26 2008-11-13 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 加工対象物の表面を走査するための方法
JP2014527920A (ja) * 2011-09-28 2014-10-23 ユニバーサル ロボッツ アクツイエセルスカプ ロボットの較正およびプログラミング
JP2019524001A (ja) * 2016-05-04 2019-08-29 マーポス、ソチエタ、ペル、アツィオーニMarposs S.P.A. プローブによるホストデバイスとの使用のための通信プロトコルを識別する方法

Families Citing this family (163)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995002801A1 (en) 1993-07-16 1995-01-26 Immersion Human Interface Three-dimensional mechanical mouse
US6697748B1 (en) * 1995-08-07 2004-02-24 Immersion Corporation Digitizing system and rotary table for determining 3-D geometry of an object
US6024576A (en) * 1996-09-06 2000-02-15 Immersion Corporation Hemispherical, high bandwidth mechanical interface for computer systems
US5956857A (en) * 1997-05-19 1999-09-28 Faro Technologies, Inc. Mounting device for a coordinate measuring machine
US6611786B1 (en) * 1998-08-28 2003-08-26 Mitutoyo Corporation Apparatus and method concerning analysis and generation of part program for measuring coordinates and surface properties
WO2000014474A1 (en) * 1998-09-08 2000-03-16 Brown & Sharpe Manufacturing Company Coordinate measuring machine having a machine tool frame
DE19939137A1 (de) * 1999-08-18 2001-03-08 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Sollwerts für die Ansteuerung eines Antriebs
US6639684B1 (en) 2000-09-13 2003-10-28 Nextengine, Inc. Digitizer using intensity gradient to image features of three-dimensional objects
US20070224025A1 (en) * 2000-09-29 2007-09-27 Karapet Ablabutyan Wheelchair lift control
JP2002172575A (ja) * 2000-12-07 2002-06-18 Fanuc Ltd 教示装置
JP3905771B2 (ja) 2001-03-02 2007-04-18 株式会社ミツトヨ 測定機の校正方法及び装置
US20020166220A1 (en) * 2001-05-11 2002-11-14 United Air Lines, Inc. Process for repairing a structure
US6973734B2 (en) * 2002-02-14 2005-12-13 Faro Technologies, Inc. Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine
US7881896B2 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US7519493B2 (en) * 2002-02-14 2009-04-14 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US6957496B2 (en) 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7073271B2 (en) * 2002-02-14 2006-07-11 Faro Technologies Inc. Portable coordinate measurement machine
US6925722B2 (en) * 2002-02-14 2005-08-09 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with improved surface features
USRE42082E1 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7246030B2 (en) * 2002-02-14 2007-07-17 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
SI21200A (sl) * 2002-03-27 2003-10-31 Jože Balič Cnc upravljalna enota za krmiljenje obdelovalnih centrov s sposobnostjo učenja
GB2426827B (en) * 2002-11-15 2007-03-07 Alan George Rock Level, angle and distance measuring device
US6922904B2 (en) * 2003-01-29 2005-08-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Method and system for analyzing transmitted signals from a probe system
JP4707306B2 (ja) * 2003-02-28 2011-06-22 株式会社小坂研究所 多関節型座標測定装置
SE526439C2 (sv) * 2003-03-10 2005-09-13 Atlas Copco Secoroc Ab Slipmaskin för slipning av stiftborrkronor
US7273459B2 (en) * 2003-03-31 2007-09-25 Liposonix, Inc. Vortex transducer
KR20060015557A (ko) * 2003-04-28 2006-02-17 스티븐 제임스 크램톤 외골격을 구비한 cmm 암
US8123350B2 (en) * 2003-06-03 2012-02-28 Hexagon Metrology Ab Computerized apparatus and method for applying graphics to surfaces
JP2005055282A (ja) * 2003-08-04 2005-03-03 Tokyo Seimitsu Co Ltd 測定方法及び測定装置
FR2860747B1 (fr) * 2003-10-14 2007-01-05 Abb Mc Robot de soudage
US8417370B2 (en) * 2003-10-17 2013-04-09 Hexagon Metrology Ab Apparatus and method for dimensional metrology
FR2861843B1 (fr) * 2003-10-29 2006-07-07 Romain Granger Dispositif de connexion associe a un bras d'appareil de mesure tridimentionnelle a bras articules
JP3905073B2 (ja) * 2003-10-31 2007-04-18 ファナック株式会社 アーク溶接ロボット
US7993289B2 (en) * 2003-12-30 2011-08-09 Medicis Technologies Corporation Systems and methods for the destruction of adipose tissue
US20050154308A1 (en) 2003-12-30 2005-07-14 Liposonix, Inc. Disposable transducer seal
US8337407B2 (en) * 2003-12-30 2012-12-25 Liposonix, Inc. Articulating arm for medical procedures
US20050193451A1 (en) * 2003-12-30 2005-09-01 Liposonix, Inc. Articulating arm for medical procedures
US7857773B2 (en) * 2003-12-30 2010-12-28 Medicis Technologies Corporation Apparatus and methods for the destruction of adipose tissue
US20050154309A1 (en) * 2003-12-30 2005-07-14 Liposonix, Inc. Medical device inline degasser
AU2004311459B2 (en) * 2003-12-30 2011-07-14 Medicis Technologies Corporation Ultrasound therapy head with movement control
US7693325B2 (en) * 2004-01-14 2010-04-06 Hexagon Metrology, Inc. Transprojection of geometry data
US7152456B2 (en) 2004-01-14 2006-12-26 Romer Incorporated Automated robotic measuring system
US7711179B2 (en) 2004-04-21 2010-05-04 Nextengine, Inc. Hand held portable three dimensional scanner
US7508971B2 (en) * 2004-05-28 2009-03-24 The Boeing Company Inspection system using coordinate measurement machine and associated method
DE102004028565A1 (de) * 2004-06-15 2006-01-05 Abb Patent Gmbh Verfahren und System zur Ermittlung eines Wartungsbedarfs
US7090561B2 (en) * 2004-12-07 2006-08-15 General Electric Company Method and apparatus for pivot point determination and machine tool adjustment
TWI259395B (en) * 2004-12-21 2006-08-01 Fih Co Ltd System and method for making measuring reports of a coordinate measuring machine
US7756608B2 (en) * 2005-02-28 2010-07-13 Abb Ab System for calibration of an industrial robot and a method thereof
US7395607B1 (en) * 2005-06-14 2008-07-08 Discovery Technology International, Lllp Rotational and translational microposition apparatus and method
GB0516276D0 (en) * 2005-08-08 2005-09-14 Crampton Stephen Robust cmm arm with exoskeleton
EP1920215B1 (en) * 2005-08-08 2016-10-05 Nikon Metrology NV Cmm arm with enhanced manual control
US7525276B2 (en) * 2005-09-13 2009-04-28 Romer, Inc. Vehicle having an articulator
JP4638327B2 (ja) * 2005-10-17 2011-02-23 新日本工機株式会社 パラレルメカニズム装置、パラレルメカニズム装置のキャリブレーション方法、キャリブレーションプログラム、及び記録媒体
US20070142966A1 (en) * 2005-12-20 2007-06-21 Khalid Mirza Process for moving a robot
US7995834B1 (en) 2006-01-20 2011-08-09 Nextengine, Inc. Multiple laser scanner
GB0603128D0 (en) 2006-02-16 2006-03-29 Renishaw Plc Articulating probe head apparatus
DE102006007623B4 (de) * 2006-02-18 2015-06-25 Kuka Laboratories Gmbh Roboter mit einer Steuereinheit zum Steuern einer Bewegung zwischen einer Anfangspose und einer Endpose
JP5028475B2 (ja) 2006-04-27 2012-09-19 スリーディー スキャナーズ リミテッド 光学走査プローブ
US7568293B2 (en) * 2006-05-01 2009-08-04 Paul Ferrari Sealed battery for coordinate measurement machine
US7805854B2 (en) 2006-05-15 2010-10-05 Hexagon Metrology, Inc. Systems and methods for positioning and measuring objects using a CMM
EP2064027B1 (en) * 2006-08-31 2013-08-28 Faro Technologies Inc. Smart probe
WO2008064276A2 (en) * 2006-11-20 2008-05-29 Hexagon Metrology Ab Coordinate measurement machine with improved joint
US7860601B2 (en) * 2006-12-15 2010-12-28 Quickmill, Inc. Profile characterization
EP2095061B1 (en) * 2006-12-22 2019-02-20 Hexagon Metrology, Inc Improved joint axis for coordinate measurement machine
JP4298757B2 (ja) * 2007-02-05 2009-07-22 ファナック株式会社 ロボット機構のキャリブレーション装置及び方法
BRPI0808506A2 (pt) * 2007-03-07 2014-11-04 Kmt Robotic Solutions Inc Métodos para executar uma operação de fabricação em uma peça de trabalho usando uma montagem robótica, e usando uma montagem de braço robótico.
US8142200B2 (en) * 2007-03-26 2012-03-27 Liposonix, Inc. Slip ring spacer and method for its use
WO2009044287A2 (en) * 2007-04-16 2009-04-09 The Governors Of The University Of Calgary Methods, devices, and systems for automated movements involving medical robots
GB0712008D0 (en) * 2007-06-21 2007-08-01 Renishaw Plc Apparatus and method of calibration
US7546689B2 (en) * 2007-07-09 2009-06-16 Hexagon Metrology Ab Joint for coordinate measurement device
EP2042829B2 (en) * 2007-09-26 2017-08-09 Hexagon Metrology AB Modular calibration
US7774949B2 (en) * 2007-09-28 2010-08-17 Hexagon Metrology Ab Coordinate measurement machine
US20090240146A1 (en) * 2007-10-26 2009-09-24 Liposonix, Inc. Mechanical arm
US7797849B2 (en) * 2007-10-31 2010-09-21 Immersion Corporation Portable metrology device
JP5171231B2 (ja) * 2007-12-03 2013-03-27 豊田バンモップス株式会社 超砥粒のセッティング装置
CA2714390A1 (en) 2008-02-01 2009-08-06 Medicis Technologies Corporation Therapy head for use with an ultrasound system
US7779548B2 (en) * 2008-03-28 2010-08-24 Hexagon Metrology, Inc. Coordinate measuring machine with rotatable grip
US8122610B2 (en) * 2008-03-28 2012-02-28 Hexagon Metrology, Inc. Systems and methods for improved coordination acquisition member comprising calibration information
US7640674B2 (en) * 2008-05-05 2010-01-05 Hexagon Metrology, Inc. Systems and methods for calibrating a portable coordinate measurement machine
US7908757B2 (en) 2008-10-16 2011-03-22 Hexagon Metrology, Inc. Articulating measuring arm with laser scanner
DE102009015920B4 (de) 2009-03-25 2014-11-20 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9551575B2 (en) 2009-03-25 2017-01-24 Faro Technologies, Inc. Laser scanner having a multi-color light source and real-time color receiver
CN101865975B (zh) * 2009-04-16 2012-11-21 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 主板测试***及方法
US8104189B2 (en) 2009-06-30 2012-01-31 Hexagon Metrology Ab Coordinate measurement machine with vibration detection
WO2011021192A1 (en) * 2009-08-17 2011-02-24 Mazor Surgical Technologies Ltd. Device for improving the accuracy of manual operations
US8099877B2 (en) 2009-11-06 2012-01-24 Hexagon Metrology Ab Enhanced position detection for a CMM
US8352212B2 (en) 2009-11-18 2013-01-08 Hexagon Metrology, Inc. Manipulable aid for dimensional metrology
US9529083B2 (en) 2009-11-20 2016-12-27 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with enhanced spectroscopic energy detector
US9210288B2 (en) 2009-11-20 2015-12-08 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with dichroic beam splitters to capture a variety of signals
DE102009057101A1 (de) 2009-11-20 2011-05-26 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9113023B2 (en) 2009-11-20 2015-08-18 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with spectroscopic energy detector
US20110213247A1 (en) * 2010-01-08 2011-09-01 Hexagon Metrology, Inc. Articulated arm with imaging device
US8630314B2 (en) * 2010-01-11 2014-01-14 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for synchronizing measurements taken by multiple metrology devices
US8875409B2 (en) 2010-01-20 2014-11-04 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
US9879976B2 (en) 2010-01-20 2018-01-30 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine that uses a 2D camera to determine 3D coordinates of smoothly continuous edge features
US8615893B2 (en) 2010-01-20 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine having integrated software controls
WO2011090895A1 (en) 2010-01-20 2011-07-28 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine with multi-bus arm technology
US9163922B2 (en) 2010-01-20 2015-10-20 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machine with distance meter and camera to determine dimensions within camera images
US9628775B2 (en) 2010-01-20 2017-04-18 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
US8832954B2 (en) 2010-01-20 2014-09-16 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
DE112011100290T5 (de) * 2010-01-20 2013-02-28 Faro Technologies Inc. Koordinatenmessgerät mit einem beleuchteten Sondenende und Betriebsverfahren
US8677643B2 (en) 2010-01-20 2014-03-25 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
CN102771079A (zh) * 2010-01-20 2012-11-07 法罗技术股份有限公司 具有多通信通道的便携式关节臂坐标测量机
US9607239B2 (en) 2010-01-20 2017-03-28 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
US8898919B2 (en) 2010-01-20 2014-12-02 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machine with distance meter used to establish frame of reference
KR101126808B1 (ko) * 2010-03-02 2012-03-23 경북대학교 산학협력단 다축 제어 기계의 오차 평가 방법 및 장치
EP2372302A1 (de) 2010-03-26 2011-10-05 Leica Geosystems AG Messverfahren für eine oberflächenvermessende Messmaschine
USD643319S1 (en) 2010-03-29 2011-08-16 Hexagon Metrology Ab Portable coordinate measurement machine
DE102010020925B4 (de) 2010-05-10 2014-02-27 Faro Technologies, Inc. Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9731419B2 (en) * 2010-08-03 2017-08-15 Praxair S.T. Technology, Inc. System and method for programming robots
US8127458B1 (en) 2010-08-31 2012-03-06 Hexagon Metrology, Inc. Mounting apparatus for articulated arm laser scanner
WO2012033892A1 (en) 2010-09-08 2012-03-15 Faro Technologies, Inc. A laser scanner or laser tracker having a projector
US9168654B2 (en) 2010-11-16 2015-10-27 Faro Technologies, Inc. Coordinate measuring machines with dual layer arm
EP2453325A1 (en) 2010-11-16 2012-05-16 Universal Robots ApS Method and means for controlling a robot
US9222771B2 (en) 2011-10-17 2015-12-29 Kla-Tencor Corp. Acquisition of information for a construction site
FR2982941B1 (fr) * 2011-11-18 2020-06-12 Hexagon Metrology Sas Appareil de mesure comportant un bras a verrouillage indexe
US8763267B2 (en) 2012-01-20 2014-07-01 Hexagon Technology Center Gmbh Locking counterbalance for a CMM
DE102012100609A1 (de) 2012-01-25 2013-07-25 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9144860B2 (en) * 2012-03-29 2015-09-29 Fanuc Robotics America Corporation Robotic weld gun orientation normalization
US9696146B2 (en) 2012-03-30 2017-07-04 Nikon Metrology Nv Optical scanning probe
US11135026B2 (en) * 2012-05-11 2021-10-05 Peter L. Bono Robotic surgical system
US9069355B2 (en) 2012-06-08 2015-06-30 Hexagon Technology Center Gmbh System and method for a wireless feature pack
US8997362B2 (en) 2012-07-17 2015-04-07 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine with optical communications bus
US9513107B2 (en) 2012-10-05 2016-12-06 Faro Technologies, Inc. Registration calculation between three-dimensional (3D) scans based on two-dimensional (2D) scan data from a 3D scanner
DE102012109481A1 (de) 2012-10-05 2014-04-10 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US10067231B2 (en) 2012-10-05 2018-09-04 Faro Technologies, Inc. Registration calculation of three-dimensional scanner data performed between scans based on measurements by two-dimensional scanner
US9250214B2 (en) 2013-03-12 2016-02-02 Hexagon Metrology, Inc. CMM with flaw detection system
JP2014176943A (ja) * 2013-03-15 2014-09-25 Yaskawa Electric Corp ロボットシステム、校正方法及び被加工物の製造方法
RU2549560C2 (ru) * 2013-06-24 2015-04-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Поволжский государственный технологический университет" Способ и устройство для контроля точности формы изделия, расположения и размеров отверстий
TWI501060B (zh) * 2013-11-18 2015-09-21 Inst Information Industry 稼動率計算方法及其系統、嵌入式裝置和電腦可讀取儲存媒體
GB201321594D0 (en) * 2013-12-06 2014-01-22 Renishaw Plc Calibration of motion systems
US9163921B2 (en) 2013-12-18 2015-10-20 Hexagon Metrology, Inc. Ultra-portable articulated arm coordinate measurement machine
US9594250B2 (en) 2013-12-18 2017-03-14 Hexagon Metrology, Inc. Ultra-portable coordinate measurement machine
KR102386763B1 (ko) 2014-03-04 2022-04-14 유니버셜 로보츠 에이/에스 산업용 로봇을 위한 안전 시스템
EP2916099B1 (en) 2014-03-07 2020-09-30 Hexagon Technology Center GmbH Articulated arm coordinate measuring machine
US9971335B2 (en) * 2014-04-11 2018-05-15 Thomas Marshall Tucker Hybrid dynamic tree data structure and accessibility mapping for computer numerical controlled machining path planning
US9759540B2 (en) 2014-06-11 2017-09-12 Hexagon Metrology, Inc. Articulating CMM probe
ES2967886T3 (es) 2014-09-19 2024-05-06 Hexagon Metrology Inc Máquina de medición por coordenadas portátil multimodo
CN112518790A (zh) 2014-09-26 2021-03-19 泰瑞达公司 手爪和自动测试设备
WO2016057222A2 (en) * 2014-10-06 2016-04-14 Us Synthetic Corporation Probes, styli, systems incorporating same and methods of manufacture
US10029366B2 (en) * 2014-11-21 2018-07-24 Canon Kabushiki Kaisha Control device for motor drive device, control device for multi-axial motor, and control method for motor drive device
CN104597127A (zh) * 2015-01-08 2015-05-06 中国东方电气集团有限公司 一种适用于汽轮机焊接转子的tofd超声波无损检测机器人***
FR3033635B1 (fr) * 2015-03-10 2019-03-29 Safran Aircraft Engines Canne de machine de mesure tridimensionnelle en particulier de dimensions d'une cavite interne d'un rotor de turbomachine
CN107848109B (zh) 2015-07-08 2022-03-04 优傲机器人公司 用于利用第三方贡献包扩展工业机器人的最终用户编程的方法
DE102015122844A1 (de) 2015-12-27 2017-06-29 Faro Technologies, Inc. 3D-Messvorrichtung mit Batteriepack
JP6671506B2 (ja) 2016-01-04 2020-03-25 浙江立▲ビアオ▼机器人有限公司Zhejiang Libiao Robots Co., Ltd. ロボットホイール径補完方法及び装置
TWI805545B (zh) 2016-04-12 2023-06-21 丹麥商環球機器人公司 用於藉由示範來程式化機器人之方法和電腦程式產品
US10035261B2 (en) * 2016-06-17 2018-07-31 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Actuatable joint for a robotic system having an axial angular contact roller bearing
US10145666B2 (en) * 2016-12-19 2018-12-04 Mitutoyo Corporation Touch probe for CMM including digital signal communication
JP6490112B2 (ja) * 2017-01-17 2019-03-27 ファナック株式会社 ロボット制御装置
DE102017100992A1 (de) 2017-01-19 2018-07-19 Carl Mahr Holding Gmbh Messvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Messvorrichtung
US11566880B2 (en) * 2017-04-13 2023-01-31 Sa08700334 Ultra-light and ultra-accurate portable coordinate measurement machine substantially immune to bearing assembly thermal effects
US10634478B2 (en) * 2017-04-13 2020-04-28 Sa08700334 Ultra-light and ultra-accurate portable coordinate measurement machine with serial bus capture
EP3614950A4 (en) * 2017-04-24 2021-05-26 Think Surgical, Inc. MAGNETIC COUPLING AND PROCESS FOR CALIBRATION OF A ROBOTIC SYSTEM
JP6743791B2 (ja) * 2017-09-20 2020-08-19 株式会社安川電機 ロボットシステムおよびワークの製造方法
CN108334075B (zh) * 2018-01-08 2021-08-20 浙江立石机器人技术有限公司 机器人轮胎绝对误差标定方法、装置及***
JP6773084B2 (ja) * 2018-07-02 2020-10-21 株式会社安川電機 動作教示装置、ロボットシステム及び動作教示方法
EP3827218A1 (en) * 2018-07-23 2021-06-02 Hexagon Metrology Inc. Scanning jogbox
US20220125535A1 (en) 2019-03-11 2022-04-28 Smith & Nephew, Inc. Systems and methods associated with passive robotic arm
CN109974648B (zh) * 2019-04-02 2020-05-01 西北工业大学 基于坐标值的微小孔几何精度评定方法
CN110243332A (zh) * 2019-06-05 2019-09-17 马鞍山市海控精密五金制品有限公司 轴承自动检测装置
WO2022067139A1 (en) * 2020-09-25 2022-03-31 Virtuix Holdings Inc. Omnidirectional locomotion system with full range of motion in multiple degrees of freedom for walkable or interactive virtual reality
CN116620802B (zh) * 2023-07-19 2023-10-24 中建安装集团有限公司 一种利用室内施工智能物料运输***的运输方法

Family Cites Families (95)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2906179A (en) 1957-01-28 1959-09-29 North American Aviation Inc Vector gage
US3531868A (en) 1968-04-18 1970-10-06 Ford Motor Co Surface scanner for measuring the coordinates of points on a three-dimensional surface
US3890958A (en) 1974-04-08 1975-06-24 Moog Automotive Inc Physiological diagnostic apparatus
US3944798A (en) 1974-04-18 1976-03-16 Eaton-Leonard Corporation Method and apparatus for measuring direction
DE2603376A1 (de) 1975-02-11 1976-08-19 Bendix Corp Koordinatenmessmaschine
US4135498A (en) 1977-04-13 1979-01-23 Mcgee George L Device for making body measurements of a patient or the like
JPS54125375A (en) 1978-03-23 1979-09-28 Fanuc Ltd Profiling control system
JPS5685106A (en) 1979-12-14 1981-07-11 Hitachi Ltd Robot teaching method
JPS5712313A (en) 1980-06-26 1982-01-22 Kobe Steel Ltd Measuring method of 3-dimensional curved surface
US4362977A (en) 1980-06-30 1982-12-07 International Business Machines Corporation Method and apparatus for calibrating a robot to compensate for inaccuracy of the robot
JPS5745407A (en) 1980-09-02 1982-03-15 Kosaka Kenkyusho:Kk Three dimensional coordinate measuring device
US4638798A (en) 1980-09-10 1987-01-27 Shelden C Hunter Stereotactic method and apparatus for locating and treating or removing lesions
JPS6040349B2 (ja) 1980-09-12 1985-09-10 ファナック株式会社 倣い制御方式
US4394608A (en) 1980-11-20 1983-07-19 Gettys Manufacturing Co., Inc. Machine tool tracing system
DE3045094A1 (de) 1980-11-29 1982-07-01 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe Programmierbarer manipulator
JPS57132015A (en) 1981-02-09 1982-08-16 Kosaka Kenkyusho:Kk Coordinate transformation device
AU7986682A (en) 1981-02-12 1982-08-19 New York University Apparatus for stereotactic surgery
JPS584377A (ja) 1981-03-18 1983-01-11 株式会社安川電機 関節形産業用ロボツトの制御装置
JPH065486B2 (ja) 1981-03-26 1994-01-19 株式会社安川電機 ロボットの軌跡制御方法
DE3223896C2 (de) 1982-06-26 1984-07-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen von Steuerungsdaten für bahngesteuerte Industrieroboter
US4477973A (en) 1982-07-14 1984-10-23 Micro Control Systems, Inc. Three dimensional graphics tablet
US4593470A (en) 1982-07-14 1986-06-10 Micro Control Systems, Inc. Portable three dimensional graphics tablet
US4425713A (en) 1982-08-25 1984-01-17 Rotella Sam S Postureometer
DE3240251A1 (de) 1982-10-30 1984-05-03 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Verfahren zum programmieren von bewegungen und erforderlichenfalls von bearbeitungskraeften bzw. -momenten eines roboters oder manipulators und einrichtung zu dessen durchfuehrung
US4677276A (en) 1982-11-23 1987-06-30 Yaskawa Electric Mfg. Co., Ltd. Method of welding robot control which controls the three basic axes of a robot to provide a repetition of a weaving pattern along a robot locus
JPS6031614A (ja) 1983-08-01 1985-02-18 Tokai Rubber Ind Ltd ロボットの間接ティ−チング方法及びその装置
US4670851A (en) 1984-01-09 1987-06-02 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Vector quantizer
JPS60170709A (ja) 1984-02-16 1985-09-04 Toshiba Corp 形状測定装置
US4571834A (en) 1984-02-17 1986-02-25 Orthotronics Limited Partnership Knee laxity evaluator and motion module/digitizer arrangement
JPS60175805A (ja) 1984-02-20 1985-09-10 Komatsu Ltd ステアリング・作業機用油圧回路
JPS60205721A (ja) 1984-03-30 1985-10-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd ロボツト動作教示装置
US4676002A (en) 1984-06-25 1987-06-30 Slocum Alexander H Mechanisms to determine position and orientation in space
JPS61105411A (ja) 1984-10-29 1986-05-23 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 多次元測定機の測定方法
JPS61175805A (ja) 1985-01-31 1986-08-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd ロボツト動作教示装置
JPS61240304A (ja) 1985-04-17 1986-10-25 Hitachi Ltd 産業用ロボツトのエンド・エフエクタ取付け誤差演算装置
JPS61279481A (ja) 1985-06-01 1986-12-10 株式会社安川電機 ロボツトの作業開始点検出制御方法
DE3523188A1 (de) 1985-06-28 1987-01-08 Zeiss Carl Fa Steuerung fuer koordinatenmessgeraete
US4679331A (en) 1985-08-26 1987-07-14 Ppg Industries, Inc. Apparatus and method for determining contour characteristics of a contoured article
US4975856A (en) 1986-02-18 1990-12-04 Robotics Research Corporation Motion controller for redundant or nonredundant linkages
US4937759A (en) * 1986-02-18 1990-06-26 Robotics Research Corporation Industrial robot with controller
FR2597969B1 (fr) 1986-04-29 1990-11-16 Granger Romain Dispositif de mesure de forme ou de position d'un objet
GB8618152D0 (en) 1986-07-25 1986-09-03 Renishaw Plc Co-ordinate measuring
US4791934A (en) 1986-08-07 1988-12-20 Picker International, Inc. Computer tomography assisted stereotactic surgery system and method
US4750487A (en) 1986-11-24 1988-06-14 Zanetti Paul H Stereotactic frame
CA1299362C (en) 1986-12-10 1992-04-28 Gregory James Mcdonald Coordinate measuring system
US4819195A (en) 1987-01-20 1989-04-04 The Warner & Swasey Company Method for calibrating a coordinate measuring machine and the like and system therefor
US4945501A (en) 1987-01-20 1990-07-31 The Warner & Swasey Company Method for determining position within the measuring volume of a coordinate measuring machine and the like and system therefor
GB8705301D0 (en) * 1987-03-06 1987-04-08 Renishaw Plc Calibration of machines
IT1214292B (it) 1987-05-05 1990-01-10 Garda Impianti Srl Apparecchiatura per la misura e/o il controllo della posizione edella orientazione di punti o zone caratteristiche di strutture, in particolare di scocche di autoveicoli.
US4991579A (en) 1987-11-10 1991-02-12 Allen George S Method and apparatus for providing related images over time of a portion of the anatomy using fiducial implants
DE3740070A1 (de) 1987-11-26 1989-06-08 Zeiss Carl Fa Dreh-schwenk-einrichtung fuer tastkoepfe von koordinatenmessgeraeten
GB8729638D0 (en) 1987-12-19 1988-02-03 Renishaw Plc Mounting for surface sensing device
JP2535366B2 (ja) 1988-01-09 1996-09-18 ファナック株式会社 産業用ロボットの動作能力確認方法と装置
EP0326768A3 (en) 1988-02-01 1991-01-23 Faro Medical Technologies Inc. Computer-aided surgery apparatus
US5251127A (en) 1988-02-01 1993-10-05 Faro Medical Technologies Inc. Computer-aided surgery apparatus
JPH01196506A (ja) 1988-02-01 1989-08-08 Shin Meiwa Ind Co Ltd ロボット用ティーチング装置
GB8803847D0 (en) 1988-02-18 1988-03-16 Renishaw Plc Mounting for surface-sensing device
SE461548B (sv) 1988-02-18 1990-02-26 Johansson Ab C E Foerfarande och anordning foer bestaemning av och korrigering foer laegesfel vid maetning av en punkts laege eller vid positionering till en punkt med ett bestaemt laege
US4969108A (en) 1988-04-08 1990-11-06 Cincinnati Milacron Inc. Vision seam tracking method and apparatus for a manipulator
US4942545A (en) 1988-06-06 1990-07-17 Combustion Engineering, Inc. Calibration of eddy current profilometry
US4998050A (en) 1988-06-13 1991-03-05 Nissan Motor Co., Ltd. System and method for teaching robots
US4886529A (en) 1988-07-08 1989-12-12 Showa Precision Machinery Co., Ltd. Polishing robot and polishing method using the same
US5050608A (en) 1988-07-12 1991-09-24 Medirand, Inc. System for indicating a position to be operated in a patient's body
US4972311A (en) 1988-08-15 1990-11-20 Kulicke And Soffa Industries Inc. X-Y table error mapping apparatus and method
JPH0285709A (ja) 1988-09-22 1990-03-27 Hitachi Ltd 多関節ロボットを用いた物体計測方法と計測装置
EP0362626B1 (de) 1988-10-03 1993-02-10 Firma Carl Zeiss Prüfkörper für Koordinatenmessgeräte
DE3841488A1 (de) 1988-12-09 1990-06-13 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet mit einem oder mehreren fuehrungselementen aus aluminium
US5189806A (en) 1988-12-19 1993-03-02 Renishaw Plc Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece
JPH02220106A (ja) 1989-02-22 1990-09-03 Okuma Mach Works Ltd 計測機能を有するデジタイズ制御装置
GB2229296B (en) 1989-03-03 1993-08-11 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Teaching playback type robot
JPH02290506A (ja) 1989-04-28 1990-11-30 Mitsutoyo Corp 三次元測定機
JPH07104146B2 (ja) 1989-08-29 1995-11-13 株式会社ミツトヨ 座標測定用プローブの回転テーブル倣い制御方法
JPH03121754A (ja) 1989-10-04 1991-05-23 Fanuc Ltd 非接触ならい制御装置
JPH03121753A (ja) 1989-10-04 1991-05-23 Fanuc Ltd ならい制御方法
JPH03124174A (ja) 1989-10-07 1991-05-27 Sony Corp モザイク効果装置
EP0427358B1 (en) 1989-11-08 1996-03-27 George S. Allen Mechanical arm for and interactive image-guided surgical system
KR920008141B1 (ko) 1990-04-03 1992-09-22 한국과학기술연구원 로보트의 성능측정 및 계수인식장치
US5105368A (en) 1990-08-01 1992-04-14 At&T Bell Laboratories Method for improving robot accuracy
US5251156A (en) 1990-08-25 1993-10-05 Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz Method and apparatus for non-contact measurement of object surfaces
DE9017818U1 (de) 1990-08-31 1992-05-21 Messerschmitt, Enno, 8053 Attenkirchen Schnittstellenvorrichtung zum Verbinden von Peripheriegeräten mit einer EDV-Anlage
JPH04271408A (ja) 1991-02-27 1992-09-28 Yaskawa Electric Corp ロボットのオフライン・ダイレクト・ティーチング装置
FR2674017B1 (fr) 1991-03-12 1995-01-13 Romer Srl Dispositif de mesure de forme ou de position d'un objet.
US5179653A (en) 1991-03-29 1993-01-12 Deneb Robotics, Inc. 3-tier menu system
EP0506990A1 (de) 1991-04-02 1992-10-07 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Beschleunigungs- und Geschwindigkeitsführung mindestens einer steuerbaren Achse einer Werkzeugmaschine oder eines Roboters
US5131844A (en) 1991-04-08 1992-07-21 Foster-Miller, Inc. Contact digitizer, particularly for dental applications
US5231693A (en) 1991-05-09 1993-07-27 The United States Of America As Represented By The Administrator, National Aeronautics And Space Administration Telerobot control system
DE59104426D1 (de) 1991-05-16 1995-03-09 Siemens Ag Numerische Steuerung für Werkzeugmaschinen oder Roboter.
US5400244A (en) 1991-06-25 1995-03-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Running control system for mobile robot provided with multiple sensor information integration system
CH683032A5 (de) 1991-06-26 1993-12-31 Escher Wyss Ag Vorrichtung zur Bestimmung einer Flächenkontur.
EP0526056B1 (en) * 1991-07-27 1996-01-31 Renishaw Transducer Systems Limited Calibration and measurement device
US5230623A (en) 1991-12-10 1993-07-27 Radionics, Inc. Operating pointer with interactive computergraphics
JPH05197416A (ja) 1992-01-20 1993-08-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ロボット動作点教示装置
US5402582A (en) 1993-02-23 1995-04-04 Faro Technologies Inc. Three dimensional coordinate measuring apparatus
US5724264A (en) 1993-07-16 1998-03-03 Immersion Human Interface Corp. Method and apparatus for tracking the position and orientation of a stylus and for digitizing a 3-D object
US5495410A (en) 1994-08-12 1996-02-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Lead-through robot programming system

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001311616A (ja) * 2000-02-01 2001-11-09 Faro Technol Inc 座標測定システムに実行可能プログラムを提供する方法、システム、および記憶媒体
JP2011174937A (ja) * 2000-02-01 2011-09-08 Faro Technologies Inc 座標測定システムに実行可能プログラムを提供する方法、システム、および記憶媒体
JP2008539405A (ja) * 2005-04-26 2008-11-13 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 加工対象物の表面を走査するための方法
JP2013047687A (ja) * 2005-04-26 2013-03-07 Renishaw Plc 関節式プローブヘッド
US8978261B2 (en) 2005-04-26 2015-03-17 Renishaw Plc Probe head for scanning the surface of a workpiece
JP2014527920A (ja) * 2011-09-28 2014-10-23 ユニバーサル ロボッツ アクツイエセルスカプ ロボットの較正およびプログラミング
JP2019524001A (ja) * 2016-05-04 2019-08-29 マーポス、ソチエタ、ペル、アツィオーニMarposs S.P.A. プローブによるホストデバイスとの使用のための通信プロトコルを識別する方法

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US6606539B2 (en) 2003-08-12
EP0740982A2 (en) 1996-11-06
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