JPH02290506A - 三次元測定機 - Google Patents

三次元測定機

Info

Publication number
JPH02290506A
JPH02290506A JP1111800A JP11180089A JPH02290506A JP H02290506 A JPH02290506 A JP H02290506A JP 1111800 A JP1111800 A JP 1111800A JP 11180089 A JP11180089 A JP 11180089A JP H02290506 A JPH02290506 A JP H02290506A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
origin
reference point
measured
lid
casing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1111800A
Other languages
English (en)
Inventor
Keizo Takahashi
高橋　敬三
Masakazu Matsumoto
正和 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP1111800A priority Critical patent/JPH02290506A/ja
Priority to PCT/JP1990/000551 priority patent/WO1990013791A1/ja
Priority to DE19904090741 priority patent/DE4090741T1/de
Priority to US07/651,419 priority patent/US5187874A/en
Publication of JPH02290506A publication Critical patent/JPH02290506A/ja
Priority to GB9027764A priority patent/GB2242746B/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/047—Accessories, e.g. for positioning, for tool-setting, for measuring probes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、三次元測定機に係り、特に基準点ブロンクを
備える型式の三次元測定機に関する．〔背景技術〕 従来より、被測定物の形状、寸法等を正確に測定する装
置として種々の三次元測定機が提案されている．この種
の三次元測定機の中には、測定の原点を任意に設定でき
るものがあり、このような測定機は、例えば、被測定物
をＲ置する基台と、該基台上の任意位置に配設され、か
つ測定の原点となる原点球を有する基準点ブロックと、
前記基台上を略水平方向に変位する凹型形状の第１の移
動手段と、前記第１の移動手段上を略水平方向に変位す
る第２の移動手段と、当該第２の移動手段内を略鉛直方
向に変位し、且つ検出器を有する第３の移動手段とで構
成されている。
このような三次元測定機で被測定物の寸法、形状等を測
定する場合には、検出器を原点球に当接させて測定の原
点を設定した後、被測定物に前記検出器を当接させ、適
宜第１、第２並びに第３の移動手段により検出器を所望
の方向に変位させることで前記被測定物の寸法、形状等
を測定している。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで、従来の三次元測定機は、その測定精度を向上
させるために温度、湿度等が略一定に保持されている測
定室に配置されて被測定物の測定を行っている。しかし
ながら、一つの製品を生産する工場内では複数の生産工
程があり、その工程毎に製品の寸法、形状等を測定する
ためには、前記三次元測定機を前記工場内に配設しなけ
ればならず、このような場合には以下の問題点が生ずる
。
すなわち、工場内では温度、湿度共に一定ではなく、ま
た、工作機械等でワークを加工すると、粉塵等が発生し
、この粉塵等が空気中に浮遊して原点球に付着する虞れ
がある。
この場合、三次元測定機は被測定物をミクロン単位で測
定する為、原点球に粉塵等が付着すると、検出器が前記
原点球に当接した際に、その粉塵の分も加味することに
なるので実質的な測定の原点がずれてしまい、この結果
、被測定物の精密測定が困難となり、測定精度が低下す
る不都合が生じる． 本発明の目的は、測定の原点を設定するための基準点ブ
ロックに空気中に浮遊する粉塵等が付着することを未然
に防止し、これにより、測定の原点を正確に求めること
ができ、しかも、被測定物の精密測定を可能とする三次
元測定機を堤供することにある． 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、被測定物を載置する基台上に配設され且つ測
定の原点となる基準点ブロックと、該基準点ブロックに
より測定の原点を設定した後、前記被測定物に当接しな
がら略水平方向並びに略鉛直方向に変位して寸法、形状
等を測定する検出器を含む移動手段とを備える三次元測
定機において、前記基準点ブロックを囲繞するカバー装
置を基準点ブロックに対して開閉自在に設けることを特
徴とする． 本．発明において、カバー装置は、基準点ブロックを収
納する略台形状の筺体と、該筺体の形状等に対応し且つ
筺体に対して開閉自在となる蓋体とを含んで構成される
ことが好ましい。
また、カバー装置は、基準点ブロックを収納する中空状
の筺体と、該筺体の形状等に対応し且つ筺体に対して開
閉自在な蓋体と、前記筺体及び蓋体に装着されるととも
に、前記蓋体の開閉動作を行う開閉手段とを含んで構成
されるものとしてもよい。
この際、前記開閉手段は、筺体にその一部を揺動自在に
装着されるとともに、略鉛直方向から所定角度傾斜する
方向まで揺動自在となり且つ伸縮自在となるシリンダと
、該シリンダの前記一部に対し伸縮自在な他部に枢着さ
れるとともに、蓋体に固設され、前記シリンダの揺動及
び伸縮に伴って前記蓋体を開閉させる固定板とを含んで
構成されることが好ましい． 〔作用〕 このような本発明において、被測定物の測定は、基準点
ブロンクにより測定の原点を設定した後、検出器を被測
定物に当接させながら移動手段を略水平方向並びに略鉛
直方向に適宜移動させることにより行われる。
この測定の原点を設定する基準ブロックは、開閉自在に
設けられたカバー装置により囲繞されているため、通常
はカハー装置により囲繞され、原点設定時のみ外部に露
出されるので、空気中に浮遊するｔｌＡｍ等の付着を未
然に防止あるいは極めて少なくなり、測定の原点が正確
に設定されて被測定物の精密測定が可能とされる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図には、本発明の第１実施例に係る三次元測定機Ｉ
Ｏの全体構成が示されている。
：次元測定！ｆｆｌｌＯは、床上に配設される４つの支
持台ｌ１を備え、この支持台１１上には、基台１２が載
置、固定されている。
基台１２上には、案内レール１３が配置されているとと
もに、この案内レール１３に沿って矢印Ｙ方向に移動自
在なＹ　Ｉｌｌｌ移タｊ手段２０が設けられている．こ
のＹ軸移動手段２０は、凹型支柱２ｌを存し、この凹型
支柱２１の水平部２２には、Ｘ軸移動手段２３が矢印Ｘ
方向に移動自在に配設されている。
Ｘ軸移動手段２３は、Ｘ軸スライダ２４を有し、このＸ
軸スライダ２４内にはＺ軸移動手段を構成するＺ軸スラ
イダ２６が矢印Ｚ方向へ変位自在に装着され、さらに前
記Ｚ軸スライダ２６の先端には、タッチ信号ブローブ２
７を有する接触型の検出器２８が矢印Ｒ方向へ回動自在
に取付けられている。
また、三次元測定機１０には図示しないコンピュータ等
が接続されており、このコンピュータ等によって前記Ｙ
軸移動手段２０、Ｘ軸移動手段２３、Ｚ軸スライダ２６
および検出器２８の夫々の移動が制御されている。
一方、基台ｌ２上には所定形状、例えば略凸型形状を呈
する被測定物Ｗが載置されている。この被測定物Ｗは、
上面に空間部３ｌが画成され、下面に孔部３２が穿設さ
れた複雑な構造となっている。
また、前記被測定物Ｗの近傍であって且つ基台１２の端
部にはカバー装置４０Ａ，４０Ｂが夫々設けられている
． カバー装置４０Ａは、第２図（Ａ），（Ｂ）に示すよう
に、測定の原点を設定するための基準点ブロック５０Ａ
を囲繞する箱体６０Ａを含んで構成されている。
基準点ブロンク５０Ａは、折曲形状を呈する零体５１Ａ
と、該本体５１Ａ上に固着され、中心が測定の原点とな
る原点球５２Ａとで構成されている。
一方、箱体６０Ａは、基台１２上に配設され、前記基準
点ブロック５０Ａが図示しないねし止め等の手段により
取付けられている固定板６１Ａと、該固定板６１Ａ上に
固定され、基準点プロ・冫ク５０Ａを囲繞するように略
台形状に形成された筺体６２Ａと、この筺体６２Ａにヒ
ンジ部材６３Ａ６４Ａを介して矢印Ｐ方向に開閉自在に
蝶着され、かつ前記筺体６２Ａの形状に対応した蓋体６
５Ａとで構成されている。
なお、カハー装１４０Ｂは、カハー装置４０Ａと同一の
構成要素を有するので、同一の構成要素に対しては参照
符号Ｂを付してその詳細な説明を省略する。
次に、本実施例による被測定物の測定手順の一例を第３
図に示すフローチャートをも参照して説明する． 先ず、被測定物Ｗの測定にあたって原点球が２個必要か
否を図示しないコンピュータに人力する（ステップｌ）
。例えば、本実施例のように被測定物Ｗの形状が複雑な
場合には、原点球５２Ａと５２Ｂが２個必要であるが、
被測定物Ｗの形状が直方体、立法体等のように簡単な形
状で１つの原点球のみで測定できる場合には、原点球５
２Ａ５２Ｂのどちらを用いて測定するかを設定する（ス
テップ２．３）。尚、いずれの原点球５２Ａ．５２Ｂも
使用しないと人力された場合には、ステップ１の入力か
ら再人力する。
ステップ１の人力により、原点球５２Ａ，５２Ｂの両方
を使用すると設定された場合には、まず、カバー装置４
０Ａの蓋体６５Ａを、例えば、指等で把持して矢印Ｐ．
方向へ開動作させる（ステップ４）。この際、タッチ信
号プローブ２７を第１図中実線で示す方向に変位させた
後、Ｙ軸移動手段２０を矢印Ｙ，方向に移動させてタッ
チ信号プローブ２７をカバー装置４０Ａの近傍に位厘さ
せておく。
次いで、Ｚ軸スライダ２６を矢印Ｚ１方向に下降させた
後、Ｘ軸移動手段２３を矢印Ｘ１方向に変位させて夕冫
チ信号プローブ２７を原点球５２Ａに当接させ（図中２
点鎖線）、測定の原点を設定する（ステップ５）。
この原点設定後、タッチ信号プローブ２７を原点球５２
Ａから離し、指等で蓋体６５Ａを把持して矢印Ｐ２方向
へ閉動作させてから（ステップ６）、タッチ信号プロー
ブ２７を被測定物Ｗに当接させてこの向きで測定可能な
範囲を測定する（ステンフ゛７）， 次に、被測定物Ｗの全ての寸法、形状等を測定したか否
かを判断する（ステップ８）。この際、形状が簡単で原
点球５２Ａのみを使用しただけで測定が終了する場合に
は、測定作業を終了する。
一方、本実施例のように被測定物Ｗの形状が複雑で、原
点球５２Ａだけでなく原点球５２Ｂをも用いて測定する
ものと設定した場合には、原点球５２Ｂの測定原点（中
心）を設定するために、検出器２日を矢印Ｒ１方向に回
転させ（ステップ９）、タンチ信号ブローブ２７を図中
略中央の２点鎖線で示す方向にする。
次いで、Ｙ軸移勤手段２０を矢印Ｙ，方向へ変位させて
、タッチ信号プローブ２７をカバー装置４０Ｂの近傍に
位置させた後、例えば、指等で蓋体６５Ｂを把持して矢
印Ｐ１方向へ間動作させる（ステップ１０）． この後、Ｘ軸移動手段２３を矢印Ｘ！方向へ移動させる
ことで、タッチ信号ブロープ２７を原点球５２Ｂに当接
させて測定の原点を設定し（ステップｌ１）、その後、
タッチ信号プローブ２７を原点球５２Ｂから離して指等
で蓋体６５Ｂを閉動作させる（ステップ１２）。
蓋体６５Ｂを閉動作させた後、タッチ信号プローブ２７
を再度被測定物Ｗに当接させて測定し（ステップ１３）
、次に被測定物Ｗの寸法、形状等がすべて測定されたか
否かを判断し（ステップ１４）、すべての測定が終了し
た場合には当該三次元測定機ｌＯを停止させる。但し、
すべての測定が終了してしない場合には、タッチ信号プ
ローブ２７を所望の方向に位置させて前述の動作を繰り
返し行い、被測定物Ｗの全ての寸法、形状等を測定する
。
このような本実施例によれば、次のような効果がある。
すなわち、原点球５２Ａ，５２Ｂを有する基準点ブロッ
ク５０Ａ，５０Ｂを囲繞するカバー装置４０Ａ，４０Ｂ
を夫々設けるとともに、このカバー装置４０Ａ，４０Ｂ
に開閉自在な蓋体６５Ａ，６５Ｂを夫々設けたので、原
点設定のためにタン子信号プローブ２７を原点球５２Ａ
，５２Ｂに当接させる必要があるときのみ、原点球５２
Ａ，５２Ｂをカバー装置４０Ａ，４０Ｂの外部に露出さ
せることができる．このため、たとえ塵埃等が多量に空
気中に存在する工場内に当該三次元測定機１０を配設し
ても、この塵埃等が原点球５２Ａ，５２Ｂに付着するこ
とを未然に阻止あるいは極めて少なくでき、タッチ信号
ブローブ２７を確実に原点球５２Ａ，５２Ｂに当接させ
て正確な測定の原点を設定することが可能となり、この
結果、被測定物Ｗの寸法、形状等を精密に測定すること
ができる． また、カバー装ｉ４０Ａ，４０Ｂの夫々の筺体６２Ａ，
６２Ｂを略台形状に形成したので、蓋体６５Ａ，６５Ｂ
を開動作させた時には基準点ブロンク５０Ａ．５０Ｂの
略全体を露呈させることができ、タッチ信号プロープ２
７を！＃１々な方向から確実に原点球５２Ａ，５２Ｂに
当接させて原点を設定することができる。若し、立方体
等でカバー装置４０Ａ，４０Ｂを形成すると、基準点プ
ロック５０Ａ，５０Ｂは折曲形状をしているのでこれら
の略全体を露出させるためには蓋体６５Ａ．６５Ｂを大
きく形成する必要があり、カバー装置４０Ａ，４０Ｂの
大型化を誘発する虞れがあるので、この場合と比較して
も前記形状（略台形状）を採用することにより、当１亥
カバー装置４０Ａ　　４０Ｂを小型化することができて
基台ｌ２をその分広く使用することが可能となる効果が
得られる。
第４図には、本発明の第２実施例の要部が示されている
。この第２実施例は、折曲されていない零体７ｌおよび
前記本体７１上部に増付けられた原点球７２で構成され
る基準点ブロンク７０を用いるとともに、この基準点ブ
ロソク７０を囲繞するカバー装置８０を開閉するために
開閉千段８１を設けたものである。
すなわち、カバー装置８０は、基準点ブロノク７０を収
納する中空状の筺体８２と、この筺体８２に蝶番８３Ａ
，８３Ｂにより取付けられ、しかも、前記筺体８２の形
状に対応した蓋体８４と、この蓋体８４を矢印Ｑ方向に
開閉する開閉手段８ｌとで構成されている。
開閉千段８１は、断面略し字状に形成されて筺体８２に
固定された取付板８６を備えている。この取付板８６の
上面には、長孔８７が穿設されているとともに、下部両
端には、支持仮８８Ａ，８８Ｂが突設され、これらの支
持板８８Ａ　　８８Ｂ間にはガイドバー８９が固着され
ている。
ガイドバ−８９には、シリンダ９ｏが、矢印Ｓ方向に揺
動自在かつ矢印Ｄ，，Ｄ，方向に伸縮自在に装着されて
いる。前記シリンダ９ｏは、シリンダ本体９０Ａを含ん
で構成され、このシリンダ本体９０Ａ内には、エア等に
よりソリンダ本体９０Ａ内を進退可能かつ前記長孔８７
を介して上方に延長されたシリンダロンド９０Ｂが嵌挿
されている．このシリンダロノド９０Ｂの先端には支持
部材９２が固設され、該支持部材９２の先端には突部９
３を介して固定板９４が回動自在に支持され、この固定
板９４は蓋体８４に固定されている。
このようなカバー装置８ｏの蓋体８４を閉動作させる場
合には、シリンダ９ｏを駆動してンリンダロツド９０Ｂ
を矢印Ｄ１方向に変位させて固定板９４を矢印Ｅ方向に
変位させる．この移動に伴い、シリンダ９ｏが矢印ｓ１
方向に揺動され、この揺動に伴い蓋体８４が固定板９４
を介して矢印Ｑ，方向に移動される。このため、蓋体８
４の端面と筺体８２の端面とが当接した時点でシリンダ
ロノド９０Ｂの移動を停止させることで蓋体８４の閉動
作が完了する． また、蓋体８４を開動作させるには、シリンダロンド９
０Ｂを前記閉動作と逆方向の矢印Ｄ２方向に変位させる
ことにより、蓋体８４が固定板９４を介して矢印Ｑ２方
向に移動され、蓋体８４の端面と筺体８２とが略直交す
る位置（図示する位！）で前記シリンダロッド９０Ｂの
移動を停止させることで蓋体８４の間動作を終了させる
ことができる。
このような開閉千段８１を有するカバー装置８０を用い
て基準点ブロック７０を囲繞すれば、蓋体８４の開閉動
作を開閉手段８１により自動的に行うことができるので
、蓋体８４の開閉作業及び被測定物Ｗの測定作業を全て
自動的に制御することが可能となる効果が得られる。さ
らに、塵埃等の原点球７２への付着を未然に阻止するこ
とも可能なことは勿論である。
また、シリンダ９ｏをガイドする長孔８７を設けたので
、シリンダ９ｏの揺動軸（ガイドパー８９）方向への変
位を防ぎ、シリンダ９ｏのほ動を円滑かつ確実に行うこ
とができる。さらに、シリンダロンド９０Ｂの部分をカ
バーしているので、シリンダロッド９０Ｂの動作時にシ
リンダ本体９０Ａおよびシリンダロンド９０Ｂ間に指等
が挟まれる等の事故を未然に防ぐことができ、作業者の
保護が図れる。
尚、本発明は前記各実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲での種ｈの改良並びに設
計の変更が可能である．例えば、前記第１実施例におい
ては折曲された本体５１Ａ，５１Ｂを有する基準点ブロ
ック５ｏＡ，５０Ｂを、第２実施例においては折曲され
ていない本体７１を有する基皐点ブロノク７ｏを用いて
原点設定を行っていたが、本発明における基準点ブロッ
クやこれを囲繞するカバー装置の形状、寸法等は前記各
実施例のものに限らず、実施にあたって適宜設定すれば
よい。すなわち、基準点ブロンクは必ずしも原点球を有
するタイプのものに限らず、直交三面を有するタイプの
基準点ブロックでもよく、要するに、三次元測定機の基
準点を設定できるものであれば、その型式は問わない。
また、第１実施例のカバー装置４０Ａ，４０Ｂに第２実
施例の開閉手段８ｌを設けてもよく、また、第２実施例
において開閉手段８１を外して蓋体８４を指等で開閉す
るようにしてもよく、カバー装置４０Ａ．４０Ｂ，８０
の蓋体６５Ａ．６５Ｂ．８４の開閉方法は実施にあたっ
て適宜選択すればよい． さらに、前記第１実施例では、基準点ブロンク５０Ａ．
５０Ｂおよびカバー装置４０Ａ　　４０Ｂをそれぞれ２
つ設けていたが、夫々１つ若しくは３つ以上設けてもよ
く、その数は被測定物Ｗの形状等により適宜設定すれば
よい。
また、前記第２実施例では、開閉千段８ｌのシリンダ９
０のシリンダ本体９０Ａを筺体８２側に装着し、シリン
ダロンド９０Ｂを蓋体８４側に枢着していたが、本発明
の開閉手段８ｌは、シリンダ本体９０Ａを蓋体８４側に
枢着し、シリンダロンド９０Ｂを筺体８２側に揺動自在
に装着してもよく、要するに、シリンダ９０の一部を筺
体８２側に揺動自在に装着し、該シリンダ９０の一部に
対して伸縮自在な他部を蓋体８４側に枢着すればよい． さらに、開閉手段８１のシリンダ９０を支持する部材と
しては、前記実施例のような断面略し字状の取付板８６
に限らず、フレームより構成されたものや、シリンダ９
０をカバーする箱状のものでもよく、要するにシリンダ
９０を筺体８２に対して揺動自在に支持するものであれ
ばよい。
また、開閉手段８１としては、シリンダ９０等を用いた
ものに限らず、回転型のアクチェー夕等を用いたもので
もよく、要するに蓋体８４を開閉できるものであればよ
い。
Ｃ発明の効果〕 前述のように本発明によれば、基準点ブロ２クを保護す
るカバー装置を設けることで、空気中に浮遊する粉塵等
が前記基準ブロックに付着することを未然に防止でき、
このため測定の原点を正確に求めることができ、しがも
、被測定物の精密測定が可能であるという効果がある。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の第１実施例の全体構成を示す斜視図、
第２図（Ａ）．（Ｂ）は前記実施例の要部を示す斜視図
、第３図は前記実施例による測定動作を示す流れ図、第
４図は本発明の第２実施例の要部を示す斜視図である。 １０・・・三次元測定機、１２・・・基台、２ｏ・・・
Ｙ軸移動手段、２３・・・Ｘ軸移動手段、２６・・・Ｚ
軸スライダ、２７由夕冫チ信号プローブ、２８・・・検
出器、４　０Ａ，４　０Ｂ，８　０−カバー装置、５０
Ａ　　５０Ｂ，７０・・・基準点ブロンク、５２Ａ．５
２Ｂ７２・・・原点球、６ ５Ａ．６５Ｂ　　　　８ ０・・・シリンダ、９ シリンダロッド、 ２Ａ，６２Ｂ，８２・・・筺体、６ ４・・・蓋体、８ｌ・・・開閉手段、９０Ａ・・・シリ
ンダ本体、９０Ｂ・・・９４・・・固定板、Ｗ・・・被
測定物。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）被測定物を載置する基台と、該基台上に配設され
    且つ測定の原点となる基準点ブロックと、測定の原点を
    設定した後、前記被測定物に当接しながら略水平方向並
    びに略鉛直方向に変位して寸法、形状等を測定する検出
    器を含む移動手段と、を備えて構成される三次元測定機
    において、前記基準点ブロックを囲繞するカバー装置を
    基準点ブロックに対して開閉自在に設けることを特徴と
    する三次元測定機。
  2. （２）請求項１記載の三次元測定機において、前記カバ
    ー装置は、基準点ブロックを収納する略台形状の筺体と
    、該筺体の形状等に対応し且つ筺体に対して開閉自在と
    なる蓋体と、を含むことを特徴とする三次元測定機。
  3. （３）請求項１記載の三次元測定機において、前記カバ
    ー装置は、基準点ブロックを収納する中空状の筺体と、
    該筺体の形状等に対応し且つ筺体に対して開閉自在な蓋
    体と、前記筺体及び蓋体に装着されるとともに、前記蓋
    体の開閉動作を行う開閉手段と、を含むことを特徴とす
    る三次元測定機。
  4. （４）請求項３記載の三次元測定機において、前記開閉
    手段は、筺体にその一部を揺動自在に装着されるととも
    に、略鉛直方向から所定角度傾斜する方向まで揺動自在
    となり且つ伸縮自在となるシリンダと、該シリンダの前
    記一部に対し伸縮自在な他部に枢着されるとともに、蓋
    体に固設され、前記シリンダの揺動及び伸縮に伴って前
    記蓋体を開閉させる固定板と、を含むことを特徴とする
    三次元測定機。
JP1111800A 1989-04-28 1989-04-28 三次元測定機 Pending JPH02290506A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1111800A JPH02290506A (ja) 1989-04-28 1989-04-28 三次元測定機
PCT/JP1990/000551 WO1990013791A1 (en) 1989-04-28 1990-04-27 Three-dimensional measuring instrument
DE19904090741 DE4090741T1 (de) 1989-04-28 1990-04-27 Koordinatenmessgeraet
US07/651,419 US5187874A (en) 1989-04-28 1990-04-27 Coordinate measuring machine with protected origin point blocks
GB9027764A GB2242746B (en) 1989-04-28 1990-12-21 Coordinate measuring machine.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1111800A JPH02290506A (ja) 1989-04-28 1989-04-28 三次元測定機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02290506A true JPH02290506A (ja) 1990-11-30

Family

ID=14570475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1111800A Pending JPH02290506A (ja) 1989-04-28 1989-04-28 三次元測定機

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5187874A (ja)
JP (1) JPH02290506A (ja)
GB (1) GB2242746B (ja)
WO (1) WO1990013791A1 (ja)

Families Citing this family (83)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5408754A (en) * 1993-02-23 1995-04-25 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for measuring sleeping positions
US6535794B1 (en) 1993-02-23 2003-03-18 Faro Technologoies Inc. Method of generating an error map for calibration of a robot or multi-axis machining center
US5402582A (en) * 1993-02-23 1995-04-04 Faro Technologies Inc. Three dimensional coordinate measuring apparatus
US5731804A (en) * 1995-01-18 1998-03-24 Immersion Human Interface Corp. Method and apparatus for providing high bandwidth, low noise mechanical I/O for computer systems
US5767839A (en) * 1995-01-18 1998-06-16 Immersion Human Interface Corporation Method and apparatus for providing passive force feedback to human-computer interface systems
US5739811A (en) * 1993-07-16 1998-04-14 Immersion Human Interface Corporation Method and apparatus for controlling human-computer interface systems providing force feedback
US5734373A (en) * 1993-07-16 1998-03-31 Immersion Human Interface Corporation Method and apparatus for controlling force feedback interface systems utilizing a host computer
US5805140A (en) 1993-07-16 1998-09-08 Immersion Corporation High bandwidth force feedback interface using voice coils and flexures
US5724264A (en) * 1993-07-16 1998-03-03 Immersion Human Interface Corp. Method and apparatus for tracking the position and orientation of a stylus and for digitizing a 3-D object
US6437771B1 (en) * 1995-01-18 2002-08-20 Immersion Corporation Force feedback device including flexure member between actuator and user object
US5721566A (en) * 1995-01-18 1998-02-24 Immersion Human Interface Corp. Method and apparatus for providing damping force feedback
WO1995002801A1 (en) * 1993-07-16 1995-01-26 Immersion Human Interface Three-dimensional mechanical mouse
US5625576A (en) * 1993-10-01 1997-04-29 Massachusetts Institute Of Technology Force reflecting haptic interface
GB9401692D0 (en) * 1994-01-28 1994-03-23 Renishaw Plc Performing measurement or calibration on positioning machines
GB9413194D0 (en) * 1994-06-30 1994-08-24 Renishaw Plc Probe head
US5821920A (en) * 1994-07-14 1998-10-13 Immersion Human Interface Corporation Control input device for interfacing an elongated flexible object with a computer system
US5623582A (en) * 1994-07-14 1997-04-22 Immersion Human Interface Corporation Computer interface or control input device for laparoscopic surgical instrument and other elongated mechanical objects
JP3292225B2 (ja) * 1994-09-19 2002-06-17 株式会社安川電機 産業用ロボットの基準位置決め方法
US5691898A (en) * 1995-09-27 1997-11-25 Immersion Human Interface Corp. Safe and low cost computer peripherals with force feedback for consumer applications
US6166723A (en) * 1995-11-17 2000-12-26 Immersion Corporation Mouse interface device providing force feedback
US6697748B1 (en) * 1995-08-07 2004-02-24 Immersion Corporation Digitizing system and rotary table for determining 3-D geometry of an object
USD377932S (en) * 1995-10-31 1997-02-11 Immersion Human Interface Corporation Mechanical digitizing arm used to input three dimensional data into a computer
US6704001B1 (en) * 1995-11-17 2004-03-09 Immersion Corporation Force feedback device including actuator with moving magnet
US7027032B2 (en) * 1995-12-01 2006-04-11 Immersion Corporation Designing force sensations for force feedback computer applications
US8508469B1 (en) 1995-12-01 2013-08-13 Immersion Corporation Networked applications including haptic feedback
US6219032B1 (en) 1995-12-01 2001-04-17 Immersion Corporation Method for providing force feedback to a user of an interface device based on interactions of a controlled cursor with graphical elements in a graphical user interface
US6028593A (en) * 1995-12-01 2000-02-22 Immersion Corporation Method and apparatus for providing simulated physical interactions within computer generated environments
US6078308A (en) * 1995-12-13 2000-06-20 Immersion Corporation Graphical click surfaces for force feedback applications to provide user selection using cursor interaction with a trigger position within a boundary of a graphical object
US5828197A (en) * 1996-10-25 1998-10-27 Immersion Human Interface Corporation Mechanical interface having multiple grounded actuators
JP3511450B2 (ja) * 1997-09-12 2004-03-29 株式会社ミツトヨ 光学式測定装置の位置校正方法
US6195618B1 (en) 1998-10-15 2001-02-27 Microscribe, Llc Component position verification using a probe apparatus
DE19850259B4 (de) * 1998-10-31 2005-06-30 Daimlerchrysler Ag Vorrichtung zur Vermessung von Bauteilen
JP3005681B1 (ja) * 1998-12-17 2000-01-31 工業技術院長 Ｃｍｍ校正ゲージ及びｃｍｍの校正方法
DE19915012A1 (de) * 1999-04-01 2000-10-05 Metronom Indvermessung Gmbh Prüfkörper
US6470587B1 (en) 1999-07-09 2002-10-29 Vought Aircraft Industries, Inc. Method and system for part measurement and verification
JP3305288B2 (ja) * 1999-09-20 2002-07-22 折尾精密株式会社 工作機械精度計測装置
US6598306B2 (en) * 2001-04-17 2003-07-29 Homer L. Eaton Self-loading spatial reference point array
USRE42082E1 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7881896B2 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7246030B2 (en) * 2002-02-14 2007-07-17 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US6952882B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-11 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine
US6973734B2 (en) * 2002-02-14 2005-12-13 Faro Technologies, Inc. Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine
US7073271B2 (en) * 2002-02-14 2006-07-11 Faro Technologies Inc. Portable coordinate measurement machine
US7519493B2 (en) * 2002-02-14 2009-04-14 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
EP1474649B1 (en) * 2002-02-14 2008-01-02 Faro Technologies Inc. Portable coordinate measuring machine with articulated arm
US7085848B2 (en) * 2002-03-15 2006-08-01 Microsoft Corporation Time-window-constrained multicast using connection scheduling
US6990743B2 (en) * 2002-08-29 2006-01-31 Micron Technology, Inc. Process for monitoring measuring device performance
EP1475602A1 (en) * 2003-05-06 2004-11-10 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Method and system for production jig metrology
US7411576B2 (en) * 2003-10-30 2008-08-12 Sensable Technologies, Inc. Force reflecting haptic interface
US7693325B2 (en) 2004-01-14 2010-04-06 Hexagon Metrology, Inc. Transprojection of geometry data
US7152456B2 (en) 2004-01-14 2006-12-26 Romer Incorporated Automated robotic measuring system
JP4417121B2 (ja) * 2004-01-19 2010-02-17 株式会社ミツトヨ 被測定物の通り出し方法、及び表面性状測定装置
JP2005300248A (ja) * 2004-04-08 2005-10-27 Mitsutoyo Corp 載置テーブル、表面性状測定機および表面性状測定方法
DE102005008055B4 (de) * 2005-02-22 2009-01-02 Deckel Maho Pfronten Gmbh Verfahren zum Vermessen einer programmgesteuerten Werkzeugmaschine
WO2007033273A2 (en) * 2005-09-13 2007-03-22 Romer Incorporated Vehicle comprising an articulator of a coordinate measuring machine
GB0525306D0 (en) * 2005-12-13 2006-01-18 Renishaw Plc Method of machine tool calibration
US7568293B2 (en) * 2006-05-01 2009-08-04 Paul Ferrari Sealed battery for coordinate measurement machine
US7805854B2 (en) 2006-05-15 2010-10-05 Hexagon Metrology, Inc. Systems and methods for positioning and measuring objects using a CMM
CA2669878C (en) * 2006-11-20 2017-01-03 Hexagon Metrology Ab Coordinate measurement machine with improved joint
US7624510B2 (en) * 2006-12-22 2009-12-01 Hexagon Metrology, Inc. Joint axis for coordinate measurement machine
US7546689B2 (en) * 2007-07-09 2009-06-16 Hexagon Metrology Ab Joint for coordinate measurement device
US7774949B2 (en) * 2007-09-28 2010-08-17 Hexagon Metrology Ab Coordinate measurement machine
US7779548B2 (en) * 2008-03-28 2010-08-24 Hexagon Metrology, Inc. Coordinate measuring machine with rotatable grip
US8122610B2 (en) * 2008-03-28 2012-02-28 Hexagon Metrology, Inc. Systems and methods for improved coordination acquisition member comprising calibration information
US7640674B2 (en) * 2008-05-05 2010-01-05 Hexagon Metrology, Inc. Systems and methods for calibrating a portable coordinate measurement machine
US7908757B2 (en) 2008-10-16 2011-03-22 Hexagon Metrology, Inc. Articulating measuring arm with laser scanner
EP2449353B1 (en) 2009-06-30 2019-09-11 Hexagon Technology Center GmbH Articulated arm system with vibration detection and corresponding operating method
US20110112786A1 (en) 2009-11-06 2011-05-12 Hexagon Metrology Ab Cmm with improved sensors
US20110213247A1 (en) * 2010-01-08 2011-09-01 Hexagon Metrology, Inc. Articulated arm with imaging device
USD643319S1 (en) 2010-03-29 2011-08-16 Hexagon Metrology Ab Portable coordinate measurement machine
US8127458B1 (en) 2010-08-31 2012-03-06 Hexagon Metrology, Inc. Mounting apparatus for articulated arm laser scanner
US8763267B2 (en) 2012-01-20 2014-07-01 Hexagon Technology Center Gmbh Locking counterbalance for a CMM
US9069355B2 (en) 2012-06-08 2015-06-30 Hexagon Technology Center Gmbh System and method for a wireless feature pack
US9250214B2 (en) 2013-03-12 2016-02-02 Hexagon Metrology, Inc. CMM with flaw detection system
JP6153816B2 (ja) * 2013-08-23 2017-06-28 株式会社ミツトヨ 形状測定装置及びロータリテーブル座標系の登録方法
US9163921B2 (en) 2013-12-18 2015-10-20 Hexagon Metrology, Inc. Ultra-portable articulated arm coordinate measurement machine
US9594250B2 (en) 2013-12-18 2017-03-14 Hexagon Metrology, Inc. Ultra-portable coordinate measurement machine
US9759540B2 (en) 2014-06-11 2017-09-12 Hexagon Metrology, Inc. Articulating CMM probe
CN105910565B (zh) * 2016-06-22 2018-04-10 上海大众祥源动力供应有限公司 一种测量设备用随动安全防护装置
DE102016118572B4 (de) * 2016-09-30 2021-06-17 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Drehtisch für ein koordinatenmessgerät
US11478939B2 (en) * 2018-09-17 2022-10-25 Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce Position verification sensor with discrete output
CN110940245A (zh) * 2019-12-10 2020-03-31 深圳市润泽机器人有限公司 位置校准装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5672309A (en) * 1979-11-19 1981-06-16 Mitsutoyo Mfg Co Ltd Measuring method of three-dimension measuring device and reference point block for its measurement

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1659969A (en) * 1926-04-21 1928-02-21 American Optical Corp Lens gauge
US4523450A (en) * 1981-11-07 1985-06-18 Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz Method of calibrating probe pins on multicoordinate measurement machines
US4372461A (en) * 1981-12-02 1983-02-08 De Dietrich (Usa) Inc. Cover balance assembly and gasket protector device
JPS5980708U (ja) * 1982-11-24 1984-05-31 株式会社ミツトヨ 三次元測定機の原点ブロツク支持台
JPS59178310A (ja) * 1983-03-30 1984-10-09 Fujitsu Ltd 多関節ロボツトの座標系較正用位置合せ装置
DE3348472C2 (de) * 1983-06-03 1994-09-29 Zeiss Carl Fa Taststiftwechselhalter
GB8411437D0 (en) * 1984-05-04 1984-06-13 Renishaw Plc Co-ordinate positioning apparatus
JPS6191511A (ja) * 1984-10-12 1986-05-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd リニアエンコ−ダの防塵装置
JPS6195202A (ja) * 1984-10-16 1986-05-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd リニアエンコ−ダの防塵装置
US4603482A (en) * 1985-12-30 1986-08-05 Valeron Corporation Probe shield
IT1216319B (it) * 1986-07-14 1990-02-22 Ansaldo Spa Valvola automatica servoassistita ad apertura rapida
GB8618152D0 (en) * 1986-07-25 1986-09-03 Renishaw Plc Co-ordinate measuring

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5672309A (en) * 1979-11-19 1981-06-16 Mitsutoyo Mfg Co Ltd Measuring method of three-dimension measuring device and reference point block for its measurement

Also Published As

Publication number Publication date
US5187874A (en) 1993-02-23
WO1990013791A1 (en) 1990-11-15
GB9027764D0 (en) 1991-02-20
GB2242746A (en) 1991-10-09
GB2242746B (en) 1992-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH02290506A (ja) 三次元測定機
US5510977A (en) Method and apparatus for measuring features of a part or item
US8612173B2 (en) Six axis motion control apparatus
US4945501A (en) Method for determining position within the measuring volume of a coordinate measuring machine and the like and system therefor
US4901253A (en) Coordinate measuring instrument and method of generating pattern data concerning shape of work to be measured
CN109655023B (zh) 用于确定工具定位机器的状态的***
JPH02124417A (ja) 位置誤差を決定し修正する方法及び装置
EP1698954A1 (en) Method for calibrating parallel kinematic mechanism, method for verifying calibration, program product for verifying calibration, method for taking data, and method for taking correction data for spatial posturing correction
JPS60170709A (ja) 形状測定装置
JPH0224441B2 (ja)
JP6631984B1 (ja) 検査マスタ
CN101275821A (zh) 多轴定位和测量***及其使用方法
JPH0126833B2 (ja)
WO2020004222A1 (ja) 検査マスタ
JP2020067333A (ja) 検査マスタ
JPS6020878A (ja) 工業用ロボットの基準位置決め装置
US5986753A (en) Wafer holding and orienting fixture for optical profilometry
CA1310092C (en) Method for determining position within the measuring volume of a coordinate measuring machine and the like and system therefor
JP2020003330A (ja) 検査マスタ
KR100756828B1 (ko) 금형의 제조 방법 및 그 제조 장치
JPH1185234A (ja) 自動工具交換装置の教示点の位置補正装置とその方法
JPS63289410A (ja) 三次元測定機
KR100214677B1 (ko) 산업용 로봇의 기준위치 교정 장치 및 그 방법
JP3616187B2 (ja) 試料形状の測定検査方法およびそのための装置
JP2790554B2 (ja) 三次元比較測定装置