JPH06314716A - 樹脂封止用金型 - Google Patents

樹脂封止用金型

Info

Publication number
JPH06314716A
JPH06314716A JP10384193A JP10384193A JPH06314716A JP H06314716 A JPH06314716 A JP H06314716A JP 10384193 A JP10384193 A JP 10384193A JP 10384193 A JP10384193 A JP 10384193A JP H06314716 A JPH06314716 A JP H06314716A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
resin
mold
lead
clamp surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10384193A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Goto
等 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP10384193A priority Critical patent/JPH06314716A/ja
Publication of JPH06314716A publication Critical patent/JPH06314716A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14639Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
    • B29C45/14655Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体チップを樹脂封止するための金型であ
って、樹脂封止に用いられたときに、リード上に樹脂が
もれて樹脂バリができるのを防止する構造の提供。 【構成】 樹脂封止用金型上のリードフレームクランプ
面15にリードの伸延方向と直交するように凸凹21を
設ける。これによりリードフレームに凸凹21が喰い込
みリード上に流出する樹脂バリを防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路(IC)など
の半導体チップを樹脂で封止するための樹脂封止用金型
に関する。
【0002】
【従来の技術】図4(A),(B)は従来の樹脂封止用
金型の一例を示す斜視図である。ICなどの半導体はチ
ップを保護するため樹脂で封止するが、そのために樹脂
封止用金型を必要とする。樹脂封止用金型は二分割され
た下金型と上金型とで構成され図4(A)は下金型,同
(B)は上金型である。図において、11は下金型、1
2は上金型、13はキャビティ、14は面圧逃し、15
はリードフレームクランプ面、16はポット、17はラ
ンナーゲート、18はカルである。
【0003】図6はリードフレームの一例を示す部分図
である。本図には、ICのリード形状に抜かれたIC1
個分の部分を示すが、リードフレームはこれを数個連ね
た短冊状をなしている。
【0004】ここで金型を用いた樹脂封止の方法を説明
する。リードフレーム20にあらかじめ半導体チップ
(図示せず)を搭載し、その後リードフレーム20を下
金型11に載置し、その上に上金型12をおおいかぶせ
る様にしてリードフレーム20を下金型11と上金型1
2との間に挟み込み、型締めを行う。図5は型締め後の
状態を示す断面図である。次に、下金型のポット16内
にあらかじめ投入された樹脂を図示しない加熱手段によ
って溶融し、図示しない射出手段によって圧力をかけて
押し出し、上下金型内のカル18,ランナーゲート17
を経由しキャビティ13に流入させる。キャビティ13
はリードフレーム20の半導体チップ搭載部分と対応し
ており、キャビティ13に流入した樹脂で樹脂封止が行
われる。
【0005】樹脂封止においては、溶融した樹脂を射出
手段で圧力をかけ押し出すことによってキャビティ13
に流入させるので、キャビティ13内に充満した樹脂は
さらに上下金型のあわせ面から漏れ出すことがある。こ
の樹脂もれは樹脂バリとなりリードフレーム20のリー
ド22,タイバー23を部分的に覆ってしまい、封止品
質が低下するばかりでなく、次工程でこの樹脂バリを除
去する必要を生じ、余分な工程を必要とする欠点があ
る。このため、下金型11に設けられているリードフレ
ーム20を載置するための掘込みaの深さをリードフレ
ーム20の厚さより小さくし、型締めしたとき図5に示
す様にリードフレーム20の厚さと掘込みaとの差で狭
隙bができる様にしている。この様にすることによって
リードフレーム20に上下金型の型締圧力が面圧となっ
てかかり、リードフレーム20は強くクランプされるた
め、流入する樹脂に圧力がかかっていても樹脂もれが防
止できる。
【0006】さらに、リードフレーム20にかかる型締
圧力を強めるためリードフレーム20のクランプしなく
ても支障のない部分については面圧逃し14を金型に設
けることによって、この部分はクランプしないことと
し、面圧逃し14以外の部分をリードフレームクランプ
面15とすることによって単位面積当りの型締圧力すな
わち面圧を強くし、リードフレーム20のクランプをよ
り強固にする構造をとっている。
【0007】さらに、リードフレームクランプ面15は
リードフレームに密着する様に、通常はその表面は例え
ば表面粗さ0.5μmの程度の鏡面状に加工されてい
る。
【0008】しかしながら、上下金型の寸法精度,金型
の表面状態,リードフレームの寸法精度等のバラツキに
よって、前記構造をとっても樹脂バリの発生は皆無にな
らないという問題点があった。
【0009】そこで、この問題を解決するため例えば特
開平1−220466号の発明が開示されている。同発
明では図7に示す様にリードフレーム103には溝10
5を、また溝105にはまり込む形で上金型101に突
起104を形成することによって樹脂がキャビティ10
6から矢印方向へ流出するのを防止するものである。図
7で、102は下金型、107はキャビティである。
【0010】しかるにこの様な構造を採用すると、リー
ドフレーム103に溝105を形成するための工数によ
りリードフレーム製造費の上昇をまねき、上金型101
の突起104は同じく金型の製造費上昇の原因となる。
また、突起104は上金型101の表面から突出してい
るから取扱いに注意しないと破損しやすいという取扱上
の問題もある。
【0011】さらに、突起104はリードフレームの溝
105に入り込むものの隙間は残り、樹脂の漏れすなわ
ち樹脂バリを減少させることは可能であるが皆無にする
ことはできないという問題がある。
【0012】同じく樹脂バリを防止するための発明とし
て特開昭59−101842号が開示されている。同発
明はリードフレームのリード部分だけに面圧がかかる様
に金型のリード対応部分を凸状にその他は凹状に形成し
たものである。同発明によれば、必要な箇所だけに面圧
がかかるので面圧を強くでき、その結果として樹脂バリ
が防止できるが、金型表面をリードフレームのリード形
状に合わせて凸凹状に精度よく加工する必要があり、金
型の製造費上昇をまねく。
【0013】さらに、同発明にはリードフレームのタイ
バー部からの樹脂もれで生ずる樹脂バリを防止する技術
については開示されておらず、タイバー部での樹脂バリ
は防止できないという問題がある。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】以上に説明した様に、
従来の樹脂封止構造においては、樹脂バリを防止するた
めの構造が金型またはリードフレームの製造費増大をま
ねいたり、また樹脂バリの防止も完全ではなく樹脂バリ
を皆無にするに至らなかった。したがって、従来の樹脂
封止用金型には、樹脂バリを防止し、しかも安価に製造
できるようにする構造に関し解決すべき課題があった。
【0015】本発明の目的はリード上に発生する樹脂バ
リを防止し、しかも安価に製造できる樹脂封止用金型の
提供にある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の樹脂封止用金型
は、リードフレームクランプ面によってクランプされる
リードフレームのリードの伸延方向と直交する方向に凸
凹をつけた形状を有するリードフレームクランプ面を備
えている。
【0017】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して詳しく
説明する。図1は本発明の一実施例を示す樹脂封止用金
型の下金型の外観図であり、図2はリードフレームクラ
ンプ面15の詳細を示すリードフレームクランプ面部分
拡大図である。リードフレームクランプ面15には図2
に詳細に示す様に微小な凸凹21が彫り込まれている。
さらに凸凹21の彫り込み方向はリードフレームクラン
プ面15がクランプするリードの伸延方向とは直交する
方向、すなわちキャビティ13の辺と平行とする。この
様な凸凹21を形成したリードフレームクランプ面15
でリードフレームをクランプすると、凸凹がリードフレ
ームのリードに喰い込みさらに凸凹21の方向がキャビ
ティ13から樹脂がもれ出そうとする方向と直角である
から樹脂もれを確実にくい止め、従って樹脂バリの発生
も防止できる。
【0018】図3は、樹脂封止後のリードフレームの断
面が現われるように描いた樹脂封止品の断面図である。
本図に示すように、リードフレーム20上に凸凹21が
喰い込んだ深さcの跡が残るが、その深さcは製品とし
て支障のない程度にすればよい。例えば凸凹21を表面
粗さ2μm程度とするだけで樹脂もれすなわち樹脂バリ
は防止でき、かつリードフレーム上に凸凹21が喰い込
んだ跡もほとんどつかないものが得られる。表面粗さ2
μmであれば、リードフレームクランプ面を研削加工と
し、その加工目を凸凹21とすればよく、凸凹21の加
工費はきわめて安価であり、ひいては本実施例の樹脂封
止用金型は凸凹21のないものとほぼ同じ費用で製造で
きる。
【0019】
【発明の効果】以上に実施例を挙げ詳しく説明したよう
に、本発明は、リードフレームクランプ面をリードの伸
延方向と直交する方向に凸凹状に加工することでキャビ
ティからの樹脂もれを防止でき、従って樹脂バリの発生
を確実に防止することができる。さらにその加工もきわ
めて安価にでき、ひいては樹脂バリを防止できる樹脂封
止用金型を安価に提供でき、その効果はきわめて大き
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す樹脂封止用金型の下金
型の斜視図。
【図2】図1の樹脂封止用金型におけるリードフレーム
クランプ面部分拡大図。
【図3】樹脂封止品の断面図。
【図4】従来の樹脂封止用金型における下金型(A)お
よび上金型(B)
【図5】従来の樹脂封止用金型の断面図。
【図6】リードフレームの部分平面図。
【図7】従来の技術の樹脂封止用金型によりリードフレ
ームを挟んだ状態を示す要部断面図。
【符号の説明】
11 下金型 12 上金型 13 キャビティ 14 面圧逃し 15 リードフレームクランプ面 16 ポット 17 ランナーゲート 18 カル 20 リードフレーム 21 凸凹 22 リード 23 タイバー

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 IC等の電子部品が搭載されたリードフ
    レームを上型および下型で覆い、該上型または下型に形
    成されているキャビティに前記電子部品を収め、該キャ
    ビティ周縁のリードフレームクランプ面で前記リードフ
    レームを締め付け、前記電子部品を樹脂で封止するのに
    用いる樹脂封止用金型において、前記リードフレームク
    ランプ面を、該リードフレームクランプ面によってクラ
    ンプされるリードフレームのリードの伸延方向と直交す
    る方向に凸凹をつけた形状としたことを特徴とする樹脂
    封止用金型。
  2. 【請求項2】 前記リードフレームクランプ面に研削加
    工を施したときに該リードフレームクランプ面に形成さ
    れる加工目を前記凸凹形状としたことを特徴とする請求
    項1に記載の樹脂封止用金型。
JP10384193A 1993-04-30 1993-04-30 樹脂封止用金型 Pending JPH06314716A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10384193A JPH06314716A (ja) 1993-04-30 1993-04-30 樹脂封止用金型

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10384193A JPH06314716A (ja) 1993-04-30 1993-04-30 樹脂封止用金型

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06314716A true JPH06314716A (ja) 1994-11-08

Family

ID=14364661

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10384193A Pending JPH06314716A (ja) 1993-04-30 1993-04-30 樹脂封止用金型

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06314716A (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02112241A (ja) * 1988-10-21 1990-04-24 Hitachi Ltd 成形装置
JPH04267347A (ja) * 1991-02-22 1992-09-22 Nec Yamaguchi Ltd 半導体装置封止用金型

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02112241A (ja) * 1988-10-21 1990-04-24 Hitachi Ltd 成形装置
JPH04267347A (ja) * 1991-02-22 1992-09-22 Nec Yamaguchi Ltd 半導体装置封止用金型

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5422314A (en) Lead frame and production method for producing semiconductor device using the lead frame
US6497837B2 (en) Method using a saw tooth mold
JPH06314716A (ja) 樹脂封止用金型
JP2570157B2 (ja) 樹脂封止用金型
JP2585771B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPS6232622A (ja) 半導体装置用樹脂封止金型
JP3159808B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP2532490B2 (ja) 樹脂封止形半導体装置の製造方法
JPH06216178A (ja) 樹脂封止半導体装置用モールド金型
JPH0722561A (ja) 半導体装置用リードフレーム及びこれを用いた半導体装置の製造方法
US8648452B2 (en) Resin molded semiconductor device and manufacturing method thereof
JPS63314841A (ja) 半導体装置の樹脂封止用金型
JP3262823B2 (ja) リードフレームの樹脂モールド金型
KR100233002B1 (ko) 반도체 패키지의 몰딩 금형
JPH03152964A (ja) 樹脂封止型半導体装置用リードフレーム
JPH0745654A (ja) 半導体装置用樹脂封止金型
JP2543657Y2 (ja) 半導体製造装置
JPH01297225A (ja) 電子部品の樹脂封止成形方法とその成形用金型
JP2815479B2 (ja) Tab用フィルムキャリア
JPS6222468A (ja) 半導体装置用リ−ドフレ−ム
JPH0714965A (ja) 半導体装置用リードフレーム
JPH09129661A (ja) 成形装置および成形方法
JPH04330741A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2810343B2 (ja) 光半導体装置の樹脂封止方法
JPH0294461A (ja) 半導体装置用リードフレーム

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19961008