JPH06226616A - 平面研磨装置における定盤の修正方法及び装置 - Google Patents
平面研磨装置における定盤の修正方法及び装置Info
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- JPH06226616A JPH06226616A JP3407693A JP3407693A JPH06226616A JP H06226616 A JPH06226616 A JP H06226616A JP 3407693 A JP3407693 A JP 3407693A JP 3407693 A JP3407693 A JP 3407693A JP H06226616 A JPH06226616 A JP H06226616A
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Abstract
より高精度に修正できるようにすること。 【構成】 平面研磨装置の内歯歯車4に、外径が定盤2
の外径より小さく且つ内径が定盤の内径より大きい円環
状の大径修正キャリヤ5を噛合させると共に、該大径修
正キャリヤの内穴5c内において太陽歯車3と該大径修
正キャリヤ5との間に小径修正キャリヤ6を噛合させ、
上下の定盤間において、太陽歯車3及び内歯歯車4で小
径修正キャリヤ6を遊星運動させると共に、大径修正キ
ャリヤ5を偏心揺動回転させることにより、両定盤の平
面度を修正する。
Description
ィスク基板等のワークの両面を研磨加工する平面研磨装
置において、上下の定盤の平面度を修正するための方法
及び装置に関するものである。
内歯歯車とに噛合させ、両歯車によりキャリヤを遊星運
動させながら、該キャリヤに保持されたワークを上下の
定盤により両側から挟んで研磨する平面研磨装置は公知
である。
り定盤が摩耗し、その平面度が低下してワークの加工精
度を低下させるため、常に定盤の平面度を管理し、必要
に応じてその修正を行うことが必要であり、そのため、
従来より種々の修正方法が提案されている。
は、上記ワーク保持用のキャリヤと同じ大きさを有する
小型の修正キャリヤを複数個使用し、これらの修正キャ
リヤを太陽歯車と内歯歯車とに噛合させて両歯車で遊星
運動させることにより、上下の定盤を修正するようにし
たものが開示されているが、各修正キャリヤが小型で各
々独立しているため、修正後の定盤面にうねりができ易
く、修正精度が良くないという欠点があった。
は、定盤よりやや小さい程度に大径をなす一枚の修正用
中定盤を使用し、この中定盤を偏心揺動回転させて定盤
と全面的に摺り合わせるようにしたものが開示されてお
り、これによると、小型の修正キャリヤを複数個使用す
る上記従来例に比べ、定盤面にうねりが発生しにくいた
め修正精度が高いという利点がある。
歯車と同心を保ちつつ回転する支持部材、該支持部材に
揺動自在に支持された上下一対の修正用の中定盤本体、
太陽歯車及び内歯歯車と噛合して遊星運動することによ
り上記中定盤本体を偏心揺動回転させる偏心駆動歯車、
支持部材と中定盤本体との間の動きを規制する支軸、偏
心駆動歯車及び支軸の回転部分を支持するベアリング
等、多数の部材により構成されており、そのため構造が
非常に複雑で、製造及び取り扱いが面倒であると共に価
格も高く、ベアリングの摩耗より中定盤の偏心揺動回転
が不安定となって研磨精度を低下させるという問題があ
る。
の修正を簡単且つ高精度に行うことができる修正方法及
び装置を提供することにある。
め、本発明の修正方法は、ワ−クを保持するキャリヤと
噛み合って該キャリヤを遊星運動させる太陽歯車及び内
歯歯車、該キャリヤに保持されたワークを両側から挾ん
で研磨する円環状の上下の定盤を備えた平面研磨装置
の、上記内歯歯車に、外径が定盤の外径より小さく且つ
内径が定盤の内径より大きい円環状の大径修正キャリヤ
を噛合させると共に、該大径修正キャリヤの内穴内にお
いて太陽歯車と該大径修正キャリヤとの間に小径修正キ
ャリヤを噛合させ、上下の定盤間において小径修正キャ
リヤを遊星運動させると共に大径修正キャリヤを偏心揺
動回転させることを特徴とするものである。
するキャリヤと噛み合って該キャリヤを遊星運動させる
太陽歯車及び内歯歯車、該キャリヤに保持されたワーク
を両側から挾んで研磨する円環状の上下の定盤を備えた
平面研磨装置の、上記両定盤の平面度を修正するための
装置であって、外径が定盤の外径より小さく且つ内径が
定盤の内径より大きい円環状をなすと共に、内外周にそ
れぞれギアを備え、外周のギアで上記内歯歯車と噛合す
る大径修正キャリヤと、外周にギアを備えた円板形をな
し、大径修正キャリヤの内穴内において太陽歯車と該大
径修正キャリヤの内周のギアとに噛合する小径修正キャ
リヤと、からなっている。上記大径修正キャリヤの修正
面には円環状の窪みを設けることができる。
詳細に説明する。図1及び図2は、上下の定盤1,2の
平面度を修正している状態の平面研磨装置の要部を示す
もので、この平面研磨装置は、公知のものと同様に、円
環状をなす上記上下の定盤1,2と太陽歯車3及び内歯
歯車4を有し、太陽歯車3及び内歯歯車4と噛合して遊
星運動するキャリヤ(図示せず)に保持させたワ−ク
(図示せず)を、上下の定盤1,2により両側から挾ん
で研磨加工するもので、上下の定盤1,2を修正する時
は、上記ワーク保持用のキャリヤを取り出して、図示し
た如く大径修正キャリヤ5及び小径修正キャリヤ6を装
着する。
1,2の外径より小さく且つ内径が定盤の内径より大き
い円環状をなし、その表裏両面を上下の定盤1,2と接
触する修正面としたもので、円環の内外周にはそれぞれ
ギア5a,5bが形成され、外周のギア5aで上記内歯
歯車4と噛合することにより、上下の定盤1,2間にこ
れらの定盤に対して偏心した状態に位置するように配設
されている。このとき、該大径修正キャリヤ5の内周の
ギア5bは太陽歯車3と噛合していない。また、該大径
修正キャリヤ5には複数の穴7が穿設され、これらの穴
が、修正時の砥粒の逃げ穴となっている
面を上下の定盤1,2と接触する修正面とした円板形を
なし、その外周にギア6aを設けたもので、上記大径修
正キャリヤ5の内穴5c内において、該大径修正キャリ
ヤ5と内歯歯車4との噛合点Pと太陽歯車3の中心Oと
を結ぶ線上で、該太陽歯車3と大径修正キャリヤ5の内
周のギア5bとの両方に噛合するように配設されてい
る。該小径修正キャリヤ6にも砥粒の逃げ穴を設けるこ
とができる。
度で矢印a方向に回転させると、小径修正キャリヤ6が
矢印b方向に自転しながら太陽歯車3の回りを矢印c方
向に公転するため、大径修正キャリヤ5は、内歯歯車4
との噛合位置を矢印d方向に代えることにより偏心移動
しながら、内歯歯車4との歯数差に基づく速度で矢印e
方向に自転する。この結果、小径修正キャリヤ6が太陽
歯車3の回りを遊星運動しながら上下の定盤1,2と摺
り合い、且つ大径修正キャリヤ5が、太陽歯車3に対し
て偏心揺動回転をしながら上下の定盤1,2と全面的に
摺り合って、上下の定盤1,2の平面度が修正される。
この場合、大きさ及び運動軌跡の異なる大小の修正キャ
リヤ5,6が定盤1,2と同時に摺り合うことにより、
三面共摺りを行った場合と同様の効果が得られることに
なり、これにより、うねりが少なく平面度の高い定盤を
得ることができる。
するため太陽歯車3のみを回転させた場合を例にして説
明したが、同時に内歯歯車4を回転させても良く、この
場合の太陽歯車3及び内歯歯車4の回転方向及び回転速
度は、修正キャリヤ5,6が上記修正動作を行い得る範
囲内に設定することが必要である。また、上記修正時に
上下の定盤1,2を互いに同方向又は逆方向に所望の速
度で回転させても良いことは勿論である。
を示すもので、この大径修正キャリヤ5は、一方の修正
面に円環状の窪み8を設けたものである。
の修正キャリヤを使用するだけで、定盤の平面度を簡単
且つ高精度に修正することができる。また、二つの修正
キャリヤは互いに独立し、相互に或は太陽歯車及び内歯
歯車と噛合させて使用するものであるため、従来の修正
用中定盤のようにベアリング等を介して各部材が連結さ
れているものに比べ、構造が簡単であると共に、ベアリ
ングの摩耗によって偏心揺動回転が不安定になるといっ
た不具合がなく、修正動作を安定させることができる。
である。
である。
ヤ 5c 内穴 8 窪み
ィスク基板等のワークの両面を研磨加工する平面研磨装
置において、上下の定盤の平面度を修正するための方法
及び装置に関するものである。
内歯歯車とに噛合させ、両歯車によりキャリヤを遊星運
動させながら、該キャリヤに保持されたワークを上下の
定盤により両側から挟んで研磨する平面研磨装置は公知
である。
り定盤が摩耗し、その平面度が低下してワークの加工精
度を低下させるため、常に定盤の平面度を管理し、必要
に応じてその修正を行うことが必要であり、そのため、
従来より種々の修正方法が提案されている。
は、上記ワーク保持用のキャリヤと同じ大きさを有する
小型の修正キャリヤを複数個使用し、これらの修正キャ
リヤを太陽歯車と内歯歯車とに噛合させて両歯車で遊星
運動させることにより、上下の定盤を修正するようにし
たものが開示されているが、各修正キャリヤが小型で各
々独立しているため、修正後の定盤面にうねりができ易
く、修正精度が良くないという欠点があった。
は、定盤よりやや小さい程度に大径をなす一枚の修正用
中定盤を使用し、この中定盤を偏心揺動回転させて定盤
と全面的に摺り合わせるようにしたものが開示されてお
り、これによると、小型の修正キャリヤを複数個使用す
る上記従来例に比べ、定盤面にうねりが発生しにくいた
め修正精度が高いという利点がある。
歯車と同心を保ちつつ回転する支持部材、該支持部材に
揺動自在に支持された上下一対の修正用の中定盤本体、
太陽歯車及び内歯歯車と噛合して遊星運動することによ
り上記中定盤本体を偏心揺動回転させる偏心駆動歯車、
支持部材と中定盤本体との間の動きを規制する支軸、偏
心駆動歯車及び支軸の回転部分を支持するベアリング
等、多数の部材により構成されており、そのため構造が
非常に複雑で、製造及び取り扱いが面倒であると共に価
格も高く、ベアリングの摩耗より中定盤の偏心揺動回転
が不安定となって研磨精度を低下させるという問題があ
る。
の修正を簡単且つ高精度に行うことができる修正方法及
び装置を提供することにある。
め、本発明の修正方法は、ワークを保持するキャリヤと
噛み合って該キャリヤを遊星運動させる太陽歯車及び内
歯歯車、該キャリヤに保持されたワークを両側から挾ん
で研磨する円環状の上下の定盤を備えた平面研磨装置
の、上記内歯歯車に、外径が定盤の外径より小さく且つ
内径が定盤の内径より大きい円環状の大径修正キャリヤ
を噛合させると共に、該大径修正キャリヤの内穴内にお
いて太陽歯車と該大径修正キャリヤとの間に小径修正キ
ャリヤを噛合させ、上下の定盤間において小径修正キャ
リヤを遊星運動させると共に大径修正キャリヤを偏心揺
動回転させることを特徴とするものである。
するキャリヤと噛み合って該キャリヤを遊星運動させる
太陽歯車及び内歯歯車、該キャリヤに保持されたワーク
を両側から挾んで研磨する円環状の上下の定盤を備えた
平面研磨装置の、上記両定盤の平面度を修正するための
装置であって、外径が定盤の外径より小さく且つ内径が
定盤の内径より大きい円環状をなすと共に、内外周にそ
れぞれギアを備え、外周のギアで上記内歯歯車と噛合す
る大径修正キャリヤと、外周にギアを備えた円板形をな
し、大径修正キャリヤの内穴内において太陽歯車と該大
径修正キャリヤの内周のギアとに噛合する小径修正キャ
リヤと、からなっている。上記大径修正キャリヤの修正
面には円環状の窪みを設けることができる。
詳細に説明する。図1及び図2は、上下の定盤1,2の
平面度を修正している状態の平面研磨装置の要部を示す
もので、この平面研磨装置は、公知のものと同様に、円
環状をなす上記上下の定盤1,2と太陽歯車3及び内歯
歯車4を有し、太陽歯車3及び内歯歯車4と噛合して遊
星運動するキャリヤ(図示せず)に保持させたワーク
(図示せず)を、上下の定盤1,2により両側から挾ん
で研磨加工するもので、上下の定盤1,2を修正する時
は、上記ワーク保持用のキャリヤを取り出して、図示し
た如く大径修正キャリヤ5及び小径修正キャリヤ6を装
着する。
1,2の外径より小さく且つ内径が定盤の内径より大き
い円環状をなし、その表裏両面を上下の定盤1,2と接
触する修正面としたもので、円環の内外周にはそれぞれ
ギア5a,5bが形成され、外周のギア5aで上記内歯
歯車4と噛合することにより、上下の定盤1,2間にこ
れらの定盤に対して偏心した状態に位置するように配設
されている。このとき、該大径修正キャリヤ5の内周の
ギア5bは太陽歯車3と噛合していない。また、該大径
修正キャリヤ5には複数の穴7が穿設され、これらの穴
が、修正時の砥粒の逃げ穴となっている
面を上下の定盤1,2と接触する修正面とした円板形を
なし、その外周にギア6aを設けたもので、上記大径修
正キャリヤ5の内穴5c内において、該大径修正キャリ
ヤ5と内歯歯車4との噛合点Pと太陽歯車3の中心Oと
を結ぶ線上で、該太陽歯車3と大径修正キャリヤ5の内
周のギア5bとの両方に噛合するように配設されてい
る。該小径修正キャリヤ6にも砥粒の逃げ穴を設けるこ
とができる。
度で矢印a方向に回転させると、小径修正キャリヤ6が
矢印b方向に自転しながら太陽歯車3の回りを矢印c方
向に公転するため、大径修正キャリヤ5は、内歯歯車4
との噛合位置を矢印d方向に代えることにより偏心移動
しながら、内歯歯車4との歯数差に基づく速度で矢印e
方向に自転する。この結果、小径修正キャリヤ6が太陽
歯車3の回りを遊星運動しながら上下の定盤1,2と摺
り合い、且つ大径修正キャリヤ5が、太陽歯車3に対し
て偏心揺動回転をしながら上下の定盤1,2と全面的に
摺り合って、上下の定盤1,2の平面度が修正される。
この場合、大きさ及び運動軌跡の異なる大小の修正キャ
リヤ5,6が定盤1,2と同時に摺り合うことにより、
三面共摺りを行った場合と同様の効果が得られることに
なり、これにより、うねりが少なく平面度の高い定盤を
得ることができる。
するため太陽歯車3のみを回転させた場合を例にして説
明したが、同時に内歯歯車4を回転させても良く、この
場合の太陽歯車3及び内歯歯車4の回転方向及び回転速
度は、修正キャリヤ5,6が上記修正動作を行い得る範
囲内に設定することが必要である。また、上記修正時に
上下の定盤1,2を互いに同方向又は逆方向に所望の速
度で回転させても良いことは勿論である。
を示すもので、この大径修正キャリヤ5は、一方の修正
面に円環状の窪み8を設けたものである。
て説明する。実験は、図1及び図2に示すような装置を
使用し、砥粒としてGC2500を供給しながら、上定
盤と太陽歯車及び内歯歯車を回転させる3ウエイ回転方
式により行った。このとき大径修正キャリヤの回転方向
は、正逆何れの方向でも良いが、ここでは、太陽歯車の
角速度を内歯歯車の角速度より大きくすることにより、
ワークを加工する時と同じ時計方向(正転)とした。そ
の結果を表1に示す。一方、比較例を得るため、4個の
小径修正キャリヤを使用する従来の方法により定盤の修
正を行った。このときの小径修正キャリヤの回転方向
は、太陽歯車の角速度を内歯歯車の角速度より小さくす
ることにより、ワークを加工する時とは逆の反時計方向
(逆転)とした。その結果を表2に示す。これらの表に
おいて、平面度のマイナスは定盤が凹状態、プラスは凸
状態にあることを示している。
おいては、下定盤の平面度を+6μmから0μmまで修
正するのに必要な修正時間が約8時間であるのに対し、
従来の方法では、下定盤の平面度を+7μmから+2μ
mまで修正するのに要する時間は約18時間であり、本
発明の方が約10時間も修正時間が短くて済む。なお、
上述した定盤の修正は、下定盤も回転させる4ウエイ回
転方式によっても行うことができるが、ここでは、上定
盤の振れを少なくしてできるだけ修正精度を上げるた
め、下定盤を固定した3ウエイ回転方式により行った。
の修正キャリヤを使用するだけで、定盤の平面度を簡単
且つ高精度に修正することができる。また、二つの修正
キャリヤは互いに独立し、相互に或は太陽歯車及び内歯
歯車と噛合させて使用するものであるため、従来の修正
用中定盤のようにベアリング等を介して各部材が連結さ
れているものに比べ、構造が簡単であると共に、ベアリ
ングの摩耗によって偏心揺動回転が不安定になるといっ
た不具合がなく、修正動作を安定させることができる。
Claims (3)
- 【請求項1】 ワ−クを保持するキャリヤと噛み合って
該キャリヤを遊星運動させる太陽歯車及び内歯歯車、該
キャリヤに保持されたワークを両側から挾んで研磨する
円環状の上下の定盤を備えた平面研磨装置の、上記内歯
歯車に、外径が定盤の外径より小さく且つ内径が定盤の
内径より大きい円環状の大径修正キャリヤを噛合させる
と共に、該大径修正キャリヤの内穴内において太陽歯車
と該大径修正キャリヤとの間に小径修正キャリヤを噛合
させ、上下の定盤間において小径修正キャリヤを遊星運
動させると共に大径修正キャリヤを偏心揺動回転させる
ことにより、両定盤の平面度を修正することを特徴とす
る平面研磨装置における定盤の修正方法。 - 【請求項2】 ワ−クを保持するキャリヤと噛み合って
該キャリヤを遊星運動させる太陽歯車及び内歯歯車、該
キャリヤに保持されたワークを両側から挾んで研磨する
円環状の上下の定盤を備えた平面研磨装置の、上記両定
盤の平面度を修正するための装置であって、 外径が定盤の外径より小さく且つ内径が定盤の内径より
大きい円環状をなすと共に、内外周にそれぞれギアを備
え、外周のギアで上記内歯歯車と噛合する大径修正キャ
リヤと、 外周にギアを備えた円板形をなし、大径修正キャリヤの
内穴内において太陽歯車と該大径修正キャリヤの内周の
ギアとに噛合する小径修正キャリヤと、からなることを
特徴とする平面研磨装置における定盤の修正装置。 - 【請求項3】 大径修正キャリヤの修正面に円環状の窪
みを設けてあることを特徴とする請求項2に記載の修正
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3407693A JP3172313B2 (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 平面研磨装置における定盤の修正方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3407693A JP3172313B2 (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 平面研磨装置における定盤の修正方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06226616A true JPH06226616A (ja) | 1994-08-16 |
JP3172313B2 JP3172313B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=12404175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3407693A Expired - Fee Related JP3172313B2 (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 平面研磨装置における定盤の修正方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3172313B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6530825B2 (en) | 2000-06-09 | 2003-03-11 | Mitsui Mining And Smelting Co., Ltd. | Method for the production of glass substrates for magnetic recording mediums |
CN103619535A (zh) * | 2011-09-13 | 2014-03-05 | 怀特驱动产品有限公司 | 磨轮修整组件 |
-
1993
- 1993-01-29 JP JP3407693A patent/JP3172313B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6530825B2 (en) | 2000-06-09 | 2003-03-11 | Mitsui Mining And Smelting Co., Ltd. | Method for the production of glass substrates for magnetic recording mediums |
CN103619535A (zh) * | 2011-09-13 | 2014-03-05 | 怀特驱动产品有限公司 | 磨轮修整组件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3172313B2 (ja) | 2001-06-04 |
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Date | Code | Title | Description |
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