JP4209576B2 - 修正方法及び修正装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は修正方法及び修正装置に関し、特に、ラッピング装置、ポリシング装置等の研磨装置の下定盤の表面又は上定盤の表面を修正するのに有効な修正方法及び修正装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ラッピング装置、ポリシング装置等の研磨装置には種々のタイプのものがあり、例えば、回転可能に設けられる下定盤と、下定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に設けられる上定盤と、下定盤の中心部に回転可能に設けられるサンギアと、下定盤の外周側に回転可能に設けられるインターナルギアと、サンギアとインターナルギアとの間に噛み合わされるとともに、加工物を保持可能なキャリヤとを具えたものが知られている。
【0003】
そして、このような構成の研磨装置のキャリヤに半導体ウエハ等の加工物を保持し、上定盤を下降させて上定盤と下定盤との間で加工物を挟持し、この状態で上定盤、下定盤、サンギア、及びインターナルギアを回転させてキャリヤを自転、公転させることにより、キャリヤに保持した加工物の表面を研磨することができるものである。
【0004】
このような構成の研磨装置にあっては、上定盤の表面及び下定盤の表面の精度(平面度)が加工物の表面の研磨精度に影響を及ぼすため、上定盤の表面及び下定盤の表面を適宜の手段によって定期的に修正し、精度(平面度)を高めておく必要がある。
【0005】
研磨装置の上定盤の表面及び下定盤の表面を修正する修正方法又は修正装置の例が実開昭64−50048号公報、特公平2−25746号公報、特開平6−226616号公報、特開平9−323254号公報等に記載されている。
【0006】
実開昭64−50048号公報に記載されている修正装置は、上ラップ盤と下ラップ盤との間に中定盤本体を位置し、中定盤本体に、太陽歯車と内歯歯車との間に遊星歯車状に噛み合う単一の偏心駆動歯車と、太陽歯車と同心状態を保ちつつ中定盤本体と一緒に回転し、かつ中定盤本体を揺動可能に支持する支持部材とを取り付けたものであって、偏心駆動歯車と支持部材との協働によって中定盤本体を偏心回転させることにより、上ラップ盤の表面及び下ラップ盤の表面を修正するように構成したものである。
【0007】
また、特公平2−25746号公報に記載されている修正装置は、上定盤と下定盤との間に修正用中定盤を位置し、修正用中定盤の凹部内に揺動用歯車を設け、揺動用歯車と修正用中定盤とを偏心軸等を介して回転可能に連結し、揺動用歯車を内歯歯車と太陽歯車とに噛み合わせたものであって、揺動用歯車の自転、公転に追従させて修正用中定盤を揺動回転させることにより、上定盤の表面及び下定盤の表面を修正するように構成したものである。
【0008】
さらに、特開平6−226616号公報に記載されている修正方法及び修正装置は、本願出願人が先に出願したものであって、外径が定盤の外径より小さく且つ内径が定盤の内径より大きい円環状をなすとともに、内外周にそれぞれギアを備え、外周のギアで内歯歯車と噛合する大径修正キャリヤと、外周にギアを備えた円板形をなし、大径修正キャリヤの内穴内において太陽歯車と大径修正キャリヤの内周のギアとに噛合する小径修正キャリヤとからなるものであって、上下の定盤間において、小径修正キャリヤを遊星運動させるとともに大径修正キャリヤを偏心揺動回転させることにより、上下定盤の表面を修正するように構成したものである。
【0009】
そして、特開平9−323254号公報に記載されている修正装置は、上定盤を一旦取り外してキャリヤ歯車を分離し、これに代えて修正研磨リングを内歯歯車と噛み合わせた状態で内歯歯車の内側で下定盤上に載せ、歯を持たない小輪を修正リングの内周及び太陽歯車にそれぞれ接した状態で修正リングと太陽歯車との間の最大間隔の箇所で下定盤上に載せ、この状態で上定盤を修正リング及び小輪上に載せ、その係止爪を回し金の係止溝に係止させたものであって、内歯歯車と太陽歯車との協働によって修正リングを自転、公転させることにより、上定盤の表面及び下定盤の表面を修正するように構成したものである。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような各種の修正方法又は修正装置にあっては、構成部品の数が多く、個々の部品の構造が複雑であるため、加工、組立てに手間がかかり、装置の価格が高くなってしまう。また、研磨装置への装着に手間がかかるため、作業効率が悪く、修正コストが高くなってしまう。
【0011】
さらに、特開平6−226616号公報に記載されている修正装置は、大径修正キャリヤと小径修正キャリヤの2枚の修正キャリヤを使用しているため、両者をスムーズに運動させるためには大径修正キャリヤが偏心揺動回転するときに大径修正キャリヤの内歯が太陽歯車に当らないような構造にする必要がある。このため、大径修正キャリヤの内歯は定盤の内周部と太陽歯車との間に位置することになるので、定盤の内周部と外周部とでの修正面積に違いが生じてしまい、長期的な使用によって下定盤の表面又は上定盤の表面の平面度に狂いが生じてしまう。
【0012】
この発明は前記のような従来のもののもつ問題点を解決したものであって、構成部品の数が少なく、個々の部品の構造が簡単であって、加工、組立てが簡単にできて、装置の価格を安く抑えることができるとともに、研磨装置への装着が簡単であって、作業効率が良く、修正コストを安く抑えることができる修正方法及び修正装置を提供することを目的とするものであり、また、長期的に使用しても、下定盤の表面又上定盤の表面の平面度に狂いが生じることのない修正方法及び修正装置を提供することを目的とするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記の問題点を解決するためにこの発明は、下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギア等からなる研磨装置の前記下定盤の表面を修正する修正方法であって、前記サンギアを前記下定盤の表面よりも下方に下げるとともに、下定盤の上部に前記インターナルギアの内径よりも小さい外径の環状の修正部材を位置して、その外周面のギアをインターナルギアの内周面のギアに噛み合わせ、この状態で下定盤及びインターナルギアを回転させて、インターナルギアに追従させて修正部材を自転、公転させることにより、下定盤の表面を修正する手段を採用したものである。また、下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギア等からなる研磨装置の前記下定盤の表面及び前記上定盤の表面を修正する修正方法であって、前記サンギアを前記下定盤の表面よりも下方に下げるとともに、下定盤の上部に前記インターナルギアの内径よりも小さい外径の環状の修正部材を位置して、その外周面のギアをインターナルギアの内周面のギアに噛み合わせ、上定盤と下定盤との間で前記修正部材を挟持し、この状態で上定盤、下定盤、及びインターナルギアを回転させて、インターナルギアに追従させて修正部材を自転、公転させることにより、上定盤の表面及び下定盤の表面を修正する手段を採用したものである。さらに、前記修正部材を前記下定盤の上部に位置して前記インターナルギアに噛み合わせたときに、修正部材の下定盤の外周面から食み出る部分の面積と下定盤の内周面から食み出る部分の面積とが同じになるように、修正部材の大きさを設定した手段を採用したものである。さらに、下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギア等からなる研磨装置の前記下定盤の表面を修正する修正装置であって、前記下定盤の上部に位置する環状の修正部材を具え、該修正部材は、外径が前記インターナルギアの内径よりも小さく形成されるとともに、外周面に前記インターナルギアの内周面のギアと噛み合うギアが設けられ、かつ、前記サンギアを下定盤の表面よりも下方に下げた状態で下定盤及びインターナルギアを回転させたときに、インターナルギアに追従して自転、公転する手段を採用したものである。さらに、下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギア等からなる研磨装置の前記下定盤の表面及び上定盤の表面を修正する修正装置であって、前記下定盤の上部に位置する環状の修正部材を具え、該修正部材は、外径が前記インターナルギアの内径よりも小さく形成されるとともに、外周面に前記インターナルギアの内周面のギアと噛み合うギアが設けられ、かつ、上定盤と下定盤との間で挟持し、前記サンギアを下定盤の表面よりも下方に下げた状態で上定盤、下定盤及びインターナルギアを回転させたときに、インターナルギアに追従して自転、公転する手段を採用したものである。さらに、前記修正部材を前記下定盤の上部に位置して前記インターナルギアに噛み合わせたときに、修正部材の下定盤の外周面から食み出る部分の面積と下定盤の内周面から食み出る部分の面積とが同じになるように、修正部材の大きさを設定した手段を採用したものである。
【0014】
【作用】
この発明は前記のような手段を採用したことにより、サンギアを下定盤の表面よりも下方に下げるとともに、修正部材を下定盤の上部に位置してその外周面のギアをインターナルギアの内周面のギアに噛み合わせ、この状態で下定盤及びインターナルギアを回転させると、インターナルギアに追従して修正部材が自転、公転し、下定盤の表面が修正されることになる。また、サンギアを下定盤の表面よりも下方に下げるとともに、修正部材を下定盤の上部に位置してその外周面のギアをインターナルギアの内周面のギアに噛み合わせ、上定盤と下定盤との間で修正部材を挟持し、この状態で上定盤、下定盤、及びインターナルギアを回転させると、インターナルギアに追従して修正部材が自転、公転し、下定盤の表面及び上定盤の表面が修正されることになる。さらに、修正部材を下定盤の上部に位置してインターナルギアに噛み合わせたときに、修正部材の下定盤の外周面から食み出ている部分の面積と下定盤の内周面から食み出ている部分の面積とは同じであるので、修正部材の下定盤又は上定盤に対する修正面積を下定盤又は上定盤の全周において内周部と外周部とで同じにすることができることになる。
【0015】
【発明の実施の形態】
本願発明者らは、従来の修正装置の問題点を確認するため、図3及び図4に示すような構成の修正装置11を用い、それを研磨装置に装着して種々の実験を行った。
【0016】
この修正装置11は、本願出願人が先に出願した特開平6−226616号公報に記載されている修正装置に近似するものであって、内外周面にそれぞれギア13、14が設けられる環状の修正部材12と、外周面にギア16が設けられる円板状の小歯車15とを具えている。
【0017】
そして、上記のような構成の修正装置11を用いて研磨装置の下定盤21の表面を修正するには、まず、修正部材12を下定盤21の上部に位置し、その外周面のギア13をインターナルギア17の内周面のギア18に噛み合わせるとともに、小歯車15を修正部材12とサンギア19との間に位置し、その外周面のギア16を修正部材12の内周面のギア14とサンギア19の外周面のギア20とに噛み合わせる。
【0018】
そして、この状態で下定盤21、サンギア19及びインターナルギア17を回転させると、インターナルギア17に追従して修正部材12が自転、公転し、下定盤21の表面が修正されるものである。
【0019】
この場合、修正部材12とサンギア19との間には小歯車15が噛み合わされているので、修正部材12は研磨装置のキャリヤと同じように、サンギア19とインターナルギア17との回転比によって決まる自転比によって動くことになる。また、インターナルギア17の回転の方がサンギア19の回転より速く、インターナルギア17は反時計方向に回っているので、修正部材12は反時計回りの自転、時計回りの公転をすることになる。なお、上定盤の表面を修正する場合には、上定盤を下降させて、上定盤と下定盤21との間で修正部材12を挟持し、この状態で上定盤、下定盤21、サンギア19及びインターナルギア17を回転させて、修正部材12を下定盤21と上定盤との間で自転、公転させればよいものである。
【0020】
上記のような構成の修正装置11にあっては、修正部材12とサンギア19との間に小歯車15を噛み合わせているので、構成部品の点数が多く、個々の部品の構造が複雑であって、加工、組立てに手間がかかり、装置全体としての価格が高くなってしまう。また、研磨装置への装着にも手間がかかり、作業効率が悪く、修正コストが高くなってしまう。
【0021】
そこで、本願発明者らは、上記のような問題をなくすために上記の修正装置11から小歯車15を取り外し、実験を行った(図5、図6参照)。この実験では、小歯車15を取り外しても修正部材12が回転するか否か、修正部材12はどのような力によって動くのか等の確認を行った。
【0022】
実際には、2B−9L型の研磨装置を用い、その研磨装置で使用している修正装置11から小歯車15を取り外し、修正部材12をインターナルギア17に噛合わせただけの状態で修正部材12の動作の確認を行った。修正部材12には、2B−9L型の修正部材12と外径、歯数が同じである3B型用の修正部材12を用い、その内周部がサンギア19に当らないようにサンギア19を下定盤21の表面よりも下方に下げて動作の確認を行った。
【0023】
この結果、修正部材12は、回転中にインターナルギア17から外れることはなかった。これは、修正部材12の外周面のギア13がインターナルギア17の内周面のギア18に上方からでないと噛み合わない構造になっているからである。
【0024】
次に、小歯車15を取り外した状態での修正部材12の動作の確認を行った。小歯車15を取り外した状態での修正部材12は、インターナルギア17に追従することによってインターナルギア17の動きと逆向きの動きをする。また、修正部材12は、インターナルギア17に噛み合った部分を支点として、サンギア19を挟んだ反対側の部分が下定盤21の動きにつられて動かされる。これらの力により、修正部材12は、現在の回転比の場合、反時計回りに自転、時計回りに公転することになる。この場合の動きはスムーズであった。また、修正部材12はサンギア19に噛み合っていないので、自転比の多少に関わらず下定盤21の回転速度に比例して回転することになる。このため、小歯車15を介在させた場合よりも自転数がはるかに多く、修正能力が高いことが分かった。
【0025】
さらに、上定盤(図示せず)を下降させて上定盤と下定盤21との間で修正部材12を挟持した場合には、修正部材12に下定盤21と逆向きの回転を加えると、抵抗がかかることによって修正部材12の回転速度は変化したが、回転比の差等により、上定盤側よりも下定盤21側の方が修正部材12の駆動能力が高いため、修正部材12の回転にそれほど大きな変化はなく、スムーズな回転運動が得られた。
【0026】
以上のことから、小歯車15を取り除いても修正部材12の動作に影響はなく、修正部材12による下定盤21の表面又は上定盤の表面の修正に問題はないことが分かった。
【0027】
次に、上記の修正部材12の形状について考察したところ、修正面積が下定盤21又は上定盤の内周部と外周部とで異なることが分かった(図7参照)。これは、修正部材12と小歯車15とを使用しているため、両者をスムーズに運動させるためには、修正部材12の内周面のギア14がサンギア19に当らないような構造にする必要があるからである。そして、このような構造にした場合、下定盤21又は上定盤の外周部の修正速度の方が内周部よりも速くなるので、長期的な使用によって下定盤21の表面又は上定盤の表面の平面度に狂いが生じてしまう。また、下定盤21又は上定盤の中心部に修正部材12が常に当っている部分Cがあるので、これによっても下定盤21の表面又は上定盤の表面の平面度に狂いが生じてしまう。
【0028】
そこで、本願発明者らは、小歯車を取り除いても下定盤の表面又は上定盤の表面の修正に影響を及ぼすことがなく、また、修正面積が下定盤又は上定盤の全周において内周部と外周部とで同じであって、長期使用によっても下定盤の表面又は上定盤の表面の平面度に狂いが生じることのない修正装置を考えた。
【0029】
その修正装置を図1及び図2に示す。この修正装置1は、外周面に全周に亘ってギア3が設けられる環状の修正部材2を具えたものであって、修正部材2を研磨装置の下定盤7の上部に位置し、その外周面のギア3をインターナルギア4の内周面のギア5に噛み合わせることで、研磨装置に装着することができるものである。
【0030】
この場合、修正部材2は、外径がインターナルギア4の内径よりも小さく形成されるとともに、下定盤7の上部に位置してインターナルギア4に噛み合わせたときに、下定盤7の外周面から食み出る部分の面積Aと下定盤7の内周面から食み出る部分の面積Bとが同じになるような大きさに形成されている。
【0031】
そして、上記のような構成の修正装置1の修正部材2を研磨装置の下定盤7の上部に位置し、その外周面のギア3をインターナルギア4の内周面のギア5に噛み合わせ、この状態でインターナルギア4を回転させることにより、インターナルギア4に追従して修正部材2が自転、公転し、これにより、下定盤7の表面が修正されるものである。
【0032】
この場合、修正部材2は、インターナルギア4と逆方向に回転するとともに、インターナルギア4に噛み合っている部分を支点として、サンギア6を挟んだ反対側の部分が下定盤7の回転につられて揺動し、下定盤7の表面を修正することになる。
【0033】
また、上定盤(図示せず)を下降させて上定盤と下定盤7との間で修正部材2を挟持した場合には、修正部材2に下定盤7と逆向きの回転が加えられると、抵抗がかかることによって修正部材2の回転速度は変化するが、回転比の差等により、上定盤より下定盤7側の方が修正部材2の駆動能力が高いため、回転にそれほど大きな変化はなく、スムーズな回転が得られ、上定盤の表面及び下定盤7の表面を修正することができる。
【0034】
上記のように構成した修正装置1にあっては、小歯車が不要であるので、構成部品の点数を少なくすることができるとともに、個々の部品の構造を簡単にすることができ、加工、組立てに要する手間が少なくて済み、装置の価格を安く抑えることができる。また、研磨装置への装着が簡単であるので、作業効率が良く、修正コストを安く抑えることができる。
【0035】
さらに、修正部材2の下定盤7の外周面から食み出ている部分の面積Aと下定盤7の内周面から食み出ている部分の面積Bとは同じであるので、修正部材2の下定盤7又は上定盤に対する修正面積を下定盤7又は上定盤の全周において内周部と外周部とで同じにすることができることになる。したがって、長期的に使用しても、下定盤7の表面又は上定盤の表面の平面度に狂いが生じるようなことはないものである。
【0036】
【発明の効果】
この発明は前記のように構成したことにより、小歯車が不要となるので、構成部品の点数を少なくするこができるとともに、個々の部品の構造を簡単にすることができることになる。したがって、加工、組立てに要する手間が少なくて済み、装置全体としての価格を安く抑えることができることになる。また、研磨装置への装着が簡単になるので、作業効率が良く、修正コストを安く抑えることができることになる。さらに、修正部材の下定盤の外周面から食み出ている部分の面積と下定盤の内周面から食み出ている部分の面積とが同じであるので、修正部材の下定盤又は上定盤に対する修正面積を下定盤又は上定盤の全周において内周部と外周部とで同じにすることができることになる。したがって、長期的に使用しても、下定盤の表面又は上定盤の表面の平面度に狂いが生じるようなことはなく、加工物を高精度で加工することができることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による修正装置の一実施の形態を示した概略平面図である。
【図2】図1のX−X線に沿って見た概略断面図である。
【図3】従来の修正装置の一例を示した概略平面図である。
【図4】図3のY−Y線に沿って見た概略断面図である。
【図5】図3に示す修正装置から小歯車を取り除いた状態を示した概略平面図である。
【図6】図5のZ−Z線に沿って見た概略断面図である。
【図7】図5に示す修正部材の定盤側に常時接触している部分を示した概略平面図である。
【符号の説明】
1、11……修正装置
2、12……修正部材
3、5、13、14、16、18、20……ギア
4、17……インターナルギア
6、19……サンギア
7、21……下定盤
15……小歯車
Claims (6)
- 下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギア等からなる研磨装置の前記下定盤の表面を修正する修正方法であって、
前記サンギアを前記下定盤の表面よりも下方に下げるとともに、下定盤の上部に前記インターナルギアの内径よりも小さい外径の環状の修正部材を位置して、その外周面のギアをインターナルギアの内周面のギアに噛み合わせ、この状態で下定盤及びインターナルギアを回転させて、インターナルギアに追従させて修正部材を自転、公転させることにより、下定盤の表面を修正することを特徴とする修正方法。 - 下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギア等からなる研磨装置の前記下定盤の表面及び前記上定盤の表面を修正する修正方法であって、
前記サンギアを前記下定盤の表面よりも下方に下げるとともに、下定盤の上部に前記インターナルギアの内径よりも小さい外径の環状の修正部材を位置して、その外周面のギアをインターナルギアの内周面のギアに噛み合わせ、上定盤と下定盤との間で前記修正部材を挟持し、この状態で上定盤、下定盤、及びインターナルギアを回転させて、インターナルギアに追従させて修正部材を自転、公転させることにより、上定盤の表面及び下定盤の表面を修正することを特徴とする修正方法。 - 前記修正部材を前記下定盤の上部に位置して前記インターナルギアに噛み合わせたときに、修正部材の下定盤の外周面から食み出る部分の面積と下定盤の内周面から食み出る部分の面積とが同じになるように、修正部材の大きさを設定した請求項1又は2記載の修正方法。
- 下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギア等からなる研磨装置の前記下定盤の表面を修正する修正装置であって、
前記下定盤の上部に位置する環状の修正部材を具え、該修正部材は、外径が前記インターナルギアの内径よりも小さく形成されるとともに、外周面に前記インターナルギアの内周面のギアと噛み合うギアが設けられ、かつ、前記サンギアを下定盤の表面よりも下方に下げた状態で下定盤及びインターナルギアを回転させたときに、インターナルギアに追従して自転、公転することを特徴とする修正装置。 - 下定盤、上定盤、サンギア、インターナルギア等からなる研磨装置の前記下定盤の表面及び上定盤の表面を修正する修正装置であって、
前記下定盤の上部に位置する環状の修正部材を具え、該修正部材は、外径が前記インターナルギアの内径よりも小さく形成されるとともに、外周面に前記インターナルギアの内周面のギアと噛み合うギアが設けられ、かつ、上定盤と下定盤との間で挟持し、前記サンギアを下定盤の表面よりも下方に下げた状態で上定盤、下定盤及びインターナルギアを回転させたときに、インターナルギアに追従して自転、公転することを特徴とする修正装置。 - 前記修正部材を前記下定盤の上部に位置して前記インターナルギアに噛み合わせたときに、修正部材の下定盤の外周面から食み出る部分の面積と下定盤の内周面から食み出る部分の面積とが同じになるように、修正部材の大きさを設定した請求項4又は5記載の修正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000086681A JP4209576B2 (ja) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | 修正方法及び修正装置 |
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JP2000086681A JP4209576B2 (ja) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | 修正方法及び修正装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001269854A JP2001269854A (ja) | 2001-10-02 |
JP4209576B2 true JP4209576B2 (ja) | 2009-01-14 |
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---|---|
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Date | Code | Title | Description |
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