JPH0413083Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、ラツプ盤における上下のラツプ定盤
を修正するための修正用デイスクに関するもので
ある。

［従来の技術］ ラツプ盤の加工原理は、上下のラツプ定盤間に
ワークを挟み、このワークにラツプ剤（砥粒）を
利用して定盤の平面度を直接移すやりかたである
ため、ワークの加工精度はラツプ定盤の平面精度
に左右されることになる。

ところで、一般に、この種ラツプ盤におけるラ
ツプ定盤の寸法は、外径／内径＝2.5〜３の関係
にあるから、外周側の内周速度と内周側の円周速
度との間には、2.5〜３倍の速度差がある。しか
も、ラツプ剤を上記ラツプ定盤の内周側に滴下し
ても、それが遠心力などで外周側に流れ、平均的
に供給されにくい。そのため、ラツプ定盤の摩耗
はラツプ時間に比例して不均一となり、その平面
精度は次第に低下するようになる。

ところが、最近では、半導体技術の躍進などに
よつてラツプ加工にミクロン単位の高い加工精度
が要求される傾向にあり、従つて、ラツプ定盤は
常に高い平面精度に保持する必要がある。

而して従来、このようなラツプ定盤の精度を維
持するため、例えば実公昭56−49720号公報に記
載されているような修正用中定盤が提案されてい
る。これは、両面を修正面とした円環状の盤本体
に二つの従動歯車を偏心回転するように取付けて
なるもので、該中定盤を、従動歯車をラツプ盤の
内歯歯車に噛合させた状態で上下のラツプ定盤間
に配設し、その状態でラツプ盤を駆動することに
より、該中定盤に回転運動と半径方向への往復運
動とを行わせながらラツプ定盤と摺接させるよう
にしたものである。

しかしながら、上記従来の修正用中定盤には、
次に列挙するような欠点があつた。

ａ この中定盤をラツプ盤に装着する際に、偏心
状態に取付けられている二つの従動歯車を内歯
歯車に正確に噛合させる必要があり、その作業
が非常に面倒且つ困難である。

ｂ 盤本体がラツプ定盤より小径であるため、ラ
ツプ定盤に、常時この盤本体と摺り合う部分と
間欠的に摺り合う部分とができて修正むらを生
じ易い。

ｃ ラツプ定盤に対して比較的大きい速度で相対
回転しながら摺接するようになつているため、
定盤の外径と内径との径差に基づく速度差によ
つて修正むらを生じ易い。

［考案が解決しようとする問題点］ 本考案の課題は、ラツプ盤に簡単に装着するこ
とができ、且つラツプ定盤との全面的に摺接しな
がら高精度の修正を行うことのできる修正用デイ
スクを提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本考案のラツプ定盤
修正用デイスクは、ラツプ盤における上下のラツ
プ定盤の修正面を両面に備え、外径のラツプ定盤
の外径より大きく形成すると共に内径をラツプ定
盤の内径より小さく形成することにより、修正工
程中常に上記ラツプ定盤と全面的に摺り合う大き
さに形成された円環状の修正定盤の外周に、上記
ラツプ定盤の回りに同心円状に立設された多数の
ピンと噛合し且つ該ピンより僅かに歯数の少ない
ギヤを設け、該修正定盤の内周に、ラツプ盤中央
の駆動軸に固定された偏心カムと当接するガイド
リングを取付けたことを特徴とするものである。

［作用］ 修正用デイスクをラツプ盤に装着し、上下のラ
ツプ定盤を停止させたまま偏心カムを回転させる
と、該修正用デイスクは、偏心カムのローラで半
径方向に押圧され、ピンとの噛合位置を変えなが
ら回転と半径方向への揺動運動とを行う。

このときの修正定盤の回転数は、ギヤの歯数を
ピンの数より僅かに少なく形成しているため、偏
心カムの回転数に対して極めて小さくなり、従つ
て、修正定盤の回転による影響、即ち修正定盤の
内周側と外周側との速度差による影響はほとんど
無視することができ、しかも、該修正定盤が上下
のラツプ定盤と常に全面で摺接するため、該修正
定盤は、偏心カムの回転数と同じ回数だけ半径方
向に偏心運動し、上下のラツプ定盤に対してその
内周、外周にほとんど関係なく均等に摺り合うこ
とになる。

一定時間の摺り合わせを行つた後修正用デイス
クを上下反転し、同様の摺り合わせを行うことに
より、上下のラツプ定盤に対して三面相互共摺り
による高精度の修正を行うことができる。

［実施例］ 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。

第１図及び第２図は修正用デイスク２をラツプ
盤１に装着した場合を示すもので、このラツプ盤
１は次のような構成を有している。

即ち、該ラツプ盤１における機体４の中央部に
は、図示しない駆動源に連結された第１〜第３の
駆動軸５〜７を、ベアリング８〜１０を介して互
いに同心状且つ独立して回転可能に配設し、第１
の駆動軸５の上端には、定盤受け１２を取付ける
と共に、該定盤受け１２上に円環状の下部ラツプ
定盤１３をピン１４で固定し、第２の駆動軸６の
上端には、ローラ１６によつて当接部を構成した
偏心カム１５を取付け、さらに第３の駆動軸７の
上端には、爪１７ａを備えた係止板１７を取付
け、この係止板１７の爪１７ａを、円環状の上部
ラツプ定盤１８にねじ２０で固定された支持板１
９に係脱自在とし、これらの係止板１７及び支持
板１９を介して第３の駆動軸７により上部ラツプ
定盤１８を駆動するように構成している。尚、該
上部ラツプ定盤１８と下部ラツプ定盤１３とは、
略々同じ大きさに形成している。

また、上記機体４上には、駆動軸５〜７の回り
を囲むように円筒状をなすカバー兼用の架台２２
を取付け、該架台２２の上端に固定した円環状の
取付板２３上に、多数のピン２４，２４，…をラ
ツプ定盤１３，１８の回りに同心状に位置するよ
うに一定間隔で円周方向に立設固定している。

一方、上記修正用デイスク２は、セラミツクス
等からなる耐摩耗性の高い円環状の修正定盤２６
を有し、該修正定盤２６の外周に、ラツプ盤１に
おける多数のピン２４，２４，…と噛合するギヤ
２８を備えた歯車リング２７を嵌着すると共に、
修正定盤２６の内周に、第２の駆動軸６上に取付
けられている偏心カム１５のローラ１６と当接す
るガイドリング２９を嵌着してなるもので、上記
歯車リング２７のギヤ２８の歯数は、ピン２４の
数より僅かに少なく形成し、また、上記修正定盤
２６は、その外径をラツプ定盤１３，１８の外径
より大きく、且つ内径をラツプ定盤１３，１８の
内径よりも小さく形成し、これによつて、ラツプ
定盤１３，１８の修正時に該ラツプ定盤１３，１
８と常時全面的に摺り合うように構成している。

さらに、上記歯車リング２７の外周縁及びガイ
ドリング２９の内周縁には、それぞれ上下面上に
突出する突壁３０，３１を形成して、これらの突
壁３０，３１によつてラツプ剤がギヤ２８とピン
２４との噛合部及びガイドリング２９と偏心カム
１５との当接部に流れ込むのを防止するようにし
ており、しかも、これらの突壁３０，３１で受け
止められたラツプ剤を下方に流下させるため、該
歯車リング２７及びガイドリング２９には、それ
ぞれ複数のラツプ剤用排出孔３２，３３を穿設し
ている。

なお、図中３４は、修正定盤２６の両面に設け
たラツプ剤案内用の溝である。

上記構成を有する修正用デイスク２でラツプ盤
１における上下のラツプ定盤１３，１８を修正す
る場合には、第１図及び第２図に示すように、修
正用デイスク２を上下のラツプ定盤１３，１８間
に挟み込み、ギヤ２８をピン２４に噛合させると
共に、ガイドリング２９の内面を偏心カム１５の
ローラ１６に当接させる。

この状態で、上下のラツプ定盤１３，１８を停
止させたまま、第２の駆動軸６を矢印Ａ方向に駆
動して偏心カム１５を回転数N_Aで回転させると、
修正用デイスク２は、該偏心カム１５のローラ１
６で半径方向に押圧され、ピン２４との噛合位置
を変えながら回転数N_Bで矢印Ｂ方向に回転し、
その回転と共に半径方向へ２（：偏心カム１
５の偏心距離）の範囲で揺動運動を行う。

ここで、上記偏心カム１５の回転数N_Aと修正
定盤２６の回転数N_Bとの間には、 N_B＝N_A×Z₁−Z₂／Z₂ Z₁：ピン２４の本数 Z₂：ギヤ２８の歯数 なる関係があるが、Z₁−Z₂は小さい値であるた
め、修正定盤２６の回転数N_Bは偏心カム１５の
回転数N_Aに対して極めて小さくなり、従つて、
修正定盤２６の回転による影響、即ち修正定盤の
内周側と外周側との速度差が修正に及ぼす影響は
ほとんど無視することができ、しかも、該修正定
盤２６が上下のラツプ定盤１３，１８と常に全面
で摺接するため、該修正定盤２６は、２の範囲
を偏心カム１５の回転数N_Aと同じ回数だけ半径
方向に偏心運動し、上下のラツプ定盤１３，１８
に対してその内周、外周にほとんど関係なく２
×N_Aの運動量で均等に摺り合うことになる。

一定時間の摺り合わせを行つた後修正用デイス
ク２を上下反転し、同様の摺り合わせを行うこと
により、上下のラツプ定盤に対して三面相互共摺
りによる高精度の修正を行うことができる。

［考案の効果］ 上記構成を有する本考案の修正用デイスクによ
れば、次のような効果を期待することができる。

ａ 修正定盤の外周にギヤを設け、このギヤを、
ラツプ定盤の回りに円周状に立設固定したピン
に噛合させるようにしたので、二つの偏心回転
する従動歯車を内歯歯車に噛合させる従来のも
のに比べ、ラツプ盤への装着が非常に容易であ
る。

ｂ 修正定盤をラツプ定盤より大径に形成し、そ
れらが常時全面で摺り合うようにしているた
め、修正むらが生じにくい。

ｃ 偏心カムで修正用デイスクを半径方向に押圧
しながら駆動する方式であるため、ラツプ定盤
を停止させた状態でその修正を行うことによ
り、ラツプ定盤と修正定盤との相対回転をほと
んど生じさせることなくそれらの摺り合わせを
行うことができ、定盤の内周部分と外周部分と
の速度差による修正むらの発生を防いで修正精
度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る修正用デイスクの実施例
を示す使用状態での断面図、第２図はその上定盤
を取外した状態での平面図である。 １……ラツプ盤、２……修正用デイスク、６…
…駆動軸、１３，１８……ラツプ定盤、１５……
偏心カム、２４……ピン、２６……修正定盤、２
８……ギヤ、２９……ガイドリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ラツプ盤における上下のラツプ定盤の修正面を
   両面に備え、外径のラツプ定盤の外径より大きく
   形成すると共に内径をラツプ定盤の内径より小さ
   く形成することにより、修正工程中常に上記ラツ
   プ定盤と全面的に摺り合う大きさに形成された円
   環状の修正定盤の外周に、上記ラツプ定盤の回り
   に同心円状に立設された多数のピンと噛合し且つ
   該ピンより僅かに歯数の少ないギヤを設け、該修
   正定盤の内周に、ラツプ盤中央の駆動軸に固定さ
   れた偏心カムと当接するガイドリングを取付けた
   ことを特徴とするラツプ定盤修正用デイスク。