JP3332470B2 - 両頭平面研削方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は両頭平面研削方法およ
び装置に関し、さらに詳細には、両頭平面研削盤を用い
て、ＯＡ機器のハードディスク用基板や電子部品用ウェ
ハなどの極薄の工作物の両面を研削する場合に適した技
術に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に工作物（以下、ワークと称する）
の平面仕上げ加工法としては、ラップ仕上やポリッシン
グ等の研磨加工（精密加工）が行われているが、これら
の精密加工は、その加工メカニズムから加工能率はあま
り良くなく、迅速な加工が要求されるワークには不向き
な加工法である。

【０００３】このため、迅速な加工を必要とするワーク
に対しては、専ら平面研削盤による研削加工が一般に行
われている。平面研削盤の研削部の一例を図７に示し、
この研削盤はワークの両面を研削する場合に用いられる
立形両頭平面研削盤であって、上下に二つの砥石車ａ，
ｂと、これら両砥石車ａ，ｂ間を通過するキャリア円板
ｃを備えてなり、キャリア円板ｃには、ワークＷを収納
保持するポケットｄが円周方向へ所定間隔をもって複数
設けられている。ｅ，ｆはそれぞれ上下砥石車ａ，ｂの
基台を示している。

【０００４】そして、キャリア円板ｃのポケットｄ，
ｄ，…内にワークＷをそれぞれ保持した状態で、キャリ
ア円板ｃを矢符方向へ所定の速度で回転駆動すると、各
ワークＷが、高速で回転駆動する上下両砥石車ａ，ｂを
順次連続的に通し送り（スルーフィード）されながら、
その両面が研削されるように構成されている。

【０００５】なお、図示しないが、より精密で高い研削
精度が求められるワークＷについては、上記キャリア円
板ｃの動きに加えて、ワークＷ自体も強制的に回転させ
る構造が採用されている。また、平面研削の方式として
は、上記のようなロータリキャリア方式の他に、ワーク
Ｗを上記両砥石車ａ，ｂ間に対して送り込むインフィー
ド方式や、これにオシレーション作用を付加したオシレ
ートインフィード方式などもあるが、いずれも基本的な
研削メカニズムは上記と同様である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近時はＯＡ
機器等の急速な発展に伴って、その構成部品であるハー
ドディスク用基板や電子部品用ウェハなどの極薄のワー
クについての両面研削の需要が高まるにつれて、以下に
述べるような問題が新たに生じている。

【０００７】ワークＷの厚さの減小（例えばガラス製ハ
ードディスク用基板の場合、直径が６５ｍｍで、厚さが
０．８ｍｍ程度）にともなって、このワークＷを保持す
る上記キャリア円板ｃの厚さもこれよりさらに薄くする
必要があるところ、従来一般のキャリア円板ｃの材質で
は、このように薄肉（例えば０．６ｍｍ以下）とすると
強度的に持たない。

【０００８】この点に関して、特開平１−９２０６５号
公報に開示されるように、機械的強度保持材としての鋼
板の両面に、耐磨耗性に優れる繊維強化樹脂層が配され
てなるキャリア円板ｃが開発され、キャリア円板ｃ自体
の薄肉化の問題は一応解消されるに至っている。

【０００９】しかしながら、ハードディスク用基板等の
ワークＷの場合、その極薄化のみならずより高い研削精
度が要求されており、前述したようなワークＷ自体を強
制的に回転させる構造を備える必要があるところ、従来
構造はこのような極薄ワークＷを対象とする両頭平面研
削盤には適用することができなかった。すなわち、従来
のワーク強制回転構造は、その駆動系もキャリア円板ｃ
と共に上下砥石車ａ，ｂ間の隙間を通過するように構成
されているところ、極薄ワークＷの場合は砥石車ａ，ｂ
間の隙間も極めて狭いため、構造的に製作不可能であっ
た。

【００１０】本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、両頭平面
研削において、工作物の肉厚のいかんにかかわらず工作
物を強制的に回転させることにより、高い研削精度を確
保することができる両頭平面研削方法および装置を提供
することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の両頭平面研削方法は、対向して設けられた
一対の砥石車の砥石面間に、工作物を保持したキャリア
手段が通過または挿入可能とされた両頭平面研削方式に
おいて、工作物の研削時に生じる研削抵抗力を利用する
ことにより、工作物外周面またはこの工作物を保持する
ワーク保持治具外周面を、上記砥石車の外側位置で回転
する摩擦車の外周摩擦面に押し付けて、工作物を強制回
転させるようにしたことを特徴とする。

【００１２】また、本発明の第１の両頭平面研削装置
は、上記研削方法を実施する装置であって、対向して設
けられた一対の砥石車の砥石面間に、工作物を保持した
キャリア手段が通過または挿入可能とされた両頭平面研
削装置において、 上記砥石車の外側位置に、工作物を
回転駆動する少なくとも一つの摩擦車およびその駆動機
構が配置され、上記キャリア手段に、円形工作物を回転
可能に収納保持するワークポケットが設けられるととも
に、このワークポケットの周縁部分に連通部が設けられ
てなり、この連通部を介して、上記ワークポケット内に
収納保持された円形工作物の外周面が上記摩擦車の外周
摩擦面に当接係合可能とされ、工作物の研削時に生じる
研削抵抗力により、工作物外周面が上記摩擦車の外周摩
擦面に押し付けられて、工作物が強制回転される構成と
されていることを特徴とする。

【００１３】また、本発明の第２の両頭平面研削装置
は、上記研削方法を実施する装置であって、対向して設
けられた一対の砥石車の砥石面間に、工作物を保持した
キャリア手段が通過または挿入可能とされた両頭平面研
削装置において、上記砥石車の外側位置に、工作物を回
転駆動する摩擦車およびその駆動機構が配置され、上記
キャリア手段の治具用円形穴内に、非円形工作物を保持
する円形ワーク保持治具が回転可能に収納保持されると
ともに、上記治具用円形穴の周縁部分に連通部が設けら
れ、この連通部を介して、上記治具用円形穴内に収納保
持された円形ワーク保持治具の外周面が上記摩擦車の外
周摩擦面に当接係合可能とされ、工作物研削時に生じる
研削抵抗力により、上記円形ワーク保持治具外周面が上
記摩擦車の外周摩擦面に押し付けられて、上記円形ワー
ク保持治具と共に工作物が強制回転される構成とされて
いることを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明においては、工作物研削時に生じる研削
抵抗力を利用して、工作物外周面またはこの工作物を保
持するワーク保持治具外周面を、上記砥石車の外側位置
で回転する摩擦車の外周摩擦面に押し付け、この摩擦車
と工作物間の摩擦抵抗力により工作物を強制回転させ
る。

【００１５】このため、工作物を回転駆動する駆動系を
砥石車外部に配置することを可能として、肉厚のいかん
にかかわらず、極薄の工作物から一般的な工作物まで強
制回転方式を用いた両頭平面研削を実現する。

【００１６】

【実施例】以下、本発明に係る実施例を図面に基づいて
説明する。

【００１７】実施例１ 本発明に係る両頭平面研削盤を図１および図２に示し、
この研削盤は、具体的には、例えばＯＡ機器のハードデ
ィスク用基板等の極薄ワークＷの両面をオシレートイン
フィード方式で同時研削するもので、一対の砥石車１，
２が上下に独立して配されるとともに、これら両砥石車
１，２の外側位置には、ワークＷを両砥石車１，２間に
搬入・排出させるためのワーク支持装置３が配置されて
いる。

【００１８】上記両砥石車１，２はいわゆるカップ型砥
石車であって、その砥石面１ａ，２ａがそれぞれ平坦な
平面研削面とされるとともに、相互に対向して平行する
ように配されている。また、両砥石車１，２の回転主軸
４，５は、それぞれ図示しない歯車機構等の動力伝達機
構を介して駆動源に連係されている。上記両砥石面１
ａ，２ａの間隔寸法Ｈは、ワークＷの最終仕上げ厚さ寸
法（例えば、ガラス製ハードディスク用基板であれば
０．８ｍｍ程度、アルミニウム製ハードディスク用基板
であれば２．０ｍｍ程度）に設定されるとともに、上記
回転主軸４，５を軸方向（上下方向）へ移動させること
により、適宜調整可能とされている。

【００１９】ワーク支持装置３は、揺動アーム６、キャ
リア板（キャリア手段）７およびワーク回転部８などを
主要部として備える。

【００２０】揺動アーム６は、キャリア板７を上記砥石
車１，２間に挿入・退避させるとともに、砥石車１，２
間においてオシレート動作させるものである。この揺動
アーム６は、その揺動軸９が図示しない歯車機構等の動
力伝達機構を介して駆動源に連係されて、水平方向へ揺
動可能とされている。なお、揺動軸９は図２に示すよう
に中空の円筒軸とされ、この内部に後述するワーク駆動
軸２０が同心状に設けられている。

【００２１】キャリア板７はワークＷを保持するもの
で、上記揺動アーム６の下面に取付け固定されており、
ワーク保持部７ａがこの揺動アーム６から砥石車１，２
側方向へ突出されるとともに、このワーク保持部７ａ
に、ワークＷを収納保持するワークポケット１０を一つ
備える。このワークポケット１０はワークＷの外形に対
応した円形輪郭を有するとともに、その内径寸法がワー
クＷの外径よりも若干大きく設定されている。また、ワ
ークポケット１０の周縁の一部には連通部１０ａが開設
されて、ここからワークＷの周縁部分がワークポケット
１０外部に臨むようにされている。

【００２２】ワークポケット１０を有するワーク保持部
７ａは、上記揺動アーム６の揺動により、図１におい
て、砥石車１，２の外側のワーク退避位置（二点鎖線位
置）と、砥石車１，２間のワーク研削位置（実線位置）
との間で旋回動作されるとともに、このワーク研削位置
でオシレート動作される。

【００２３】この目的のため、キャリア板７は機械的強
度および耐磨耗性に優れる材料から形成されるととも
に、その厚さ寸法は、両砥石面１ａ，２ａの間隔寸法Ｈ
つまりワークＷの最終仕上げ厚さ寸法よりも薄く設定さ
れており、例えば、ワークＷが０．８ｍｍ程度の最終仕
上げ厚さ寸法であれば、キャリア板７の厚さ寸法は０．
６ｍｍ程度に設定される。

【００２４】またこれに関連して、キャリア板７の下側
には、固定側に設けられた定盤１１が設けられており、
この平坦な上面１１ａがキャリア板７の下面を摺動可能
に支持している。定盤１１の上面１１ａは、図２に示す
ように、下側砥石車２の砥石面２ａとほぼ同一高さに設
定されており、キャリア板７の補強部として機能すると
ともに、上記ワークポケット１０に保持されたワークＷ
の案内面として機能する。

【００２５】ワーク回転部８は、上記キャリア板７のワ
ークポケット１０内に収納保持されるワークＷを強制回
転させるもので、揺動アーム６上に装着されるととも
に、一対の摩擦車１５，１６とこれらを回転駆動する駆
動機構１７とを主要部として備える。

【００２６】一対の摩擦車１５，１６は、揺動アーム６
に支軸１９ａ，１９ｂを介して回転可能に軸支されると
ともに、その配設位置は、図１に示すように、上記キャ
リア板７のワーク保持部７ａがワーク研削位置（図１の
実線位置）にあるとき、砥石車１，２の外側位置におい
て、砥石車外周縁に近接して位置するように設定されて
いる。

【００２７】換言すれば、これら両摩擦車１５，１６
は、図３に示すように、その外周摩擦面１５ａ，１６ａ
が上記ワークポケット１０の内周面輪郭に接するべく、
相互に間隔をもって配置されている。これにより、ワー
クポケット１０内のワークＷの外周面Ｗａは、上記連通
部１０ａを介して、これら両摩擦車１５，１６の外周摩
擦面１５ａ，１６ａに同時に当接係合可能とされてい
る。

【００２８】駆動機構１７は、ワーク駆動軸２０と歯車
列２１とから構成されている。ワーク駆動軸２０は、前
述した揺動アーム６の揺動軸９の内部に、この揺動軸９
と同心状に設けられるとともに、図示しない歯車機構等
の動力伝達機構を介して駆動源に連係されて、垂直軸ま
わりに回転可能とされている。

【００２９】歯車列２１は、具体的には相互に噛み合う
５つの伝達歯車２５〜２９からなる。第１伝達歯車２５
は上記ワーク駆動軸２０の上端に取付け固定されてい
る。この第１伝達歯車２５と噛み合う第２伝達歯車２６
は、支軸３０を介して揺動アーム６上に軸支されるとと
もに、上記摩擦車１５の支軸１９ａ上に取付け固定され
た第３伝達歯車２７に噛み合っている。また、この第３
伝達歯車２７に噛み合う第４伝達歯車２８は、支軸３１
を介して揺動アーム６上に軸支されるとともに、上記摩
擦車１６の支軸１９ｂ上に取付け固定された第５伝達歯
車２９に噛み合っている。これにより、上記ワーク駆動
軸２０が回転駆動されると、歯車列２１を介して、二つ
の摩擦車１５，１６が回転駆動されることとなる。

【００３０】しかして、以上のように構成された両頭平
面研削盤において、キャリア板７のワーク退避位置（第
１図二点鎖線位置）において、ワークポケット１０内に
ワークＷが自動でもしくは手作業で収納保持されると、
ワーク回転部８の摩擦車１５，１６が一定の回転速度を
もって回転駆動されながら、揺動アーム６が矢符Ｘ方向
へ揺動する。これにより、キャリア板７は、高速で回転
駆動する上下両砥石車１，２間位置つまりワーク研削位
置（第１図二点鎖線位置）まで旋回されるとともに、こ
の位置でオシレートされて、ワークＷの両面に上記両砥
石車１，２の砥石面１ａ，２ａによる平面研削が施され
る。

【００３１】この際、ワークＷの研削時に生じる研削抵
抗力の分力により、ワークＷは図３に示すように砥石車
１，２の径方向（矢符Ｚ方向）へ移動されて、ワークＷ
の外周面Ｗａが上記摩擦車１５，１６の外周摩擦面１５
ａ，１６ａに押し付けられる。この結果、ワークＷが矢
符方向へ強制回転されながら、砥石面１ａ，２ａによる
平面研削が施されることとなり、高い研削精度が確保さ
れる。

【００３２】なお、ワークＷは、砥石車１，２から研削
抵抗を受けたときに、そのままでもいずれかの方向へ回
転されるが、この研削抵抗による回転力よりも、上記摩
擦車１５，１６による回転力の方が強いため、摩擦車の
回転方向および回転速度に応じたワークＷの一定回転制
御が実現する。

【００３３】以上のようにして一つのワークＷの研削が
完了すると、揺動アーム６が矢符Ｙ方向へ揺動して、キ
ャリア板７が上記ワーク退避位置まで旋回される。そし
て、ここでワークポケット１０内のワークＷに代えて後
続のワークが新たに収納保持されると、以後同様の動作
が再び繰り返される。

【００３４】実施例２ 本例は図４に示し、異形ワークつまり非円形ワークＷに
ついて、強制回転させながらその両面を平面研削する構
造を備えるものである。

【００３５】すなわち、キャリア板７のワーク保持部７
ａに、実施例１のワークポケット１０と同様な治具用円
形穴４０が設けられ、ここに円形ワーク保持治具４１が
回転可能に保持される構造とされている。治具用円形穴
４０の周縁の一部には連通部４０ａが開設されて、ここ
から円形ワーク保持治具４１の外周部分が治具用円形穴
４０外部に臨むようにされている。また、この円形ワー
ク保持治具４１には、非円形ワークＷ（図示例において
は矩形状ワーク）を収納保持するワークポケット４２が
設けられている。

【００３６】しかして、キャリア板７が図示のワーク研
削位置まで旋回されると、ワークＷの研削時に生じる研
削抵抗力の分力により、ワークＷを収納保持している円
形ワーク保持治具４１が、砥石車１，２の径方向（矢符
Ｚ方向）へ移動されて、その外周面４１ａが上記摩擦車
１５，１６の外周摩擦面１５ａ，１６ａに押し付けられ
る。この結果、円形ワーク保持治具４１つまりワークＷ
が矢符方向へ強制回転されながら、砥石面１ａ，２ａに
よる平面研削が施されることとなる。その他の構成およ
び作用は実施例１と同様である。

【００３７】なお、円形ワーク保持治具４１のワークポ
ケット４２の形状を適宜変更することにより、図示例以
外の種々の非円形ワークＷについても平面研削を施すこ
とができる。

【００３８】実施例３ 本例は図５および図６に示し、極薄ワークＷの両面をス
ルーフィード方式で強制回転させながら同時研削するも
ので、砥石車１，２の外側位置に配置されたワーク支持
装置３は、キャリア手段として回転駆動するキャリア円
板４５を備えてなり、同時に多数のワークＷ，Ｗ，…を
多量生産するのに適した構造とされている。

【００３９】すなわち、ワーク支持装置３は、上記キャ
リア円板４５、キャリア回転部４６およびワーク回転部
４７などを主要部として備える。

【００４０】キャリア円板４５はワークＷを保持するも
ので、その材質および厚さの条件は実施例１のキャリア
板７と同様である。このキャリア円板４５は、固定側に
設けられた定盤５０の平坦な上面５０ａ上に、後述する
キャリア回転部４６の駆動歯車５１，５１，５１を介し
て、摺動回転可能に配置されている。定盤５０の上面５
０ａは、下側砥石車２の砥石面２ａとほぼ同一高さに設
定されて、キャリア板７の補強部として機能するととも
に、後述するワークポケット５２に保持されるワークＷ
の案内面として機能する。

【００４１】キャリア円板４５の形状は、図５に示すよ
うな中央部に円形開口が設けられた略円環状で、その円
周方向に、ワークＷを収納保持するワークポケット５２
が所定間隔をもって複数（図示例においては８つ）設け
られている。キャリア円板４５の外周部の一部は、図５
に示すように上下両砥石車１，２間を通過するように設
定されて、この通過部位がワークＷの研削位置とされて
いる。これに関連して、定盤５０の一部には下側砥石車
２の外周に沿った円弧状の凹部５０ｂが設けられてい
る。

【００４２】上記ワークポケット５２は、ワークＷの外
形に対応した円形輪郭と直線部からなる形状で、その内
径寸法がワークＷの外径よりも若干大きく設定されてい
る。また、ワークポケット５２のキャリア円板４５内径
側周縁には、上記円形開口に連通する連通部５２ａが開
設されており、ここからワークＷの周縁部分がワークポ
ケット５２外部に臨むようにされている。

【００４３】キャリア回転部４６は、３つの駆動歯車５
１，５１，５１と、キャリア円板４５の外周部に設けら
れた被動歯車５３などから構成されている。上記駆動歯
車５１，５１，５１は、キャリア円板４５の外周等配位
置において、それぞれ支軸５１ａを介して定盤５０上に
水平回転可能に軸支されるとともに、上記キャリア円板
４５の被動歯車５３に噛み合って、キャリア円板４５の
外周を支持している。

【００４４】また、上記各駆動歯車５１の支軸５１ａ
は、いずれも共通の伝動ベルト５４を介して、キャリア
円板４５の軸心位置に配置された駆動軸５５に連係され
ている。この駆動軸５５は図示のごく中空の円筒軸とさ
れ、この内部に後述するワーク駆動軸６１が同心状に設
けられている。

【００４５】駆動軸５５は、図示しない歯車機構等の動
力伝達機構を介して駆動源に連係されている。この駆動
軸５５が回転駆動すると、その回転力が上記伝動ベルト
５４を介して３つの駆動歯車５１，５１，５１に伝達さ
れ、これら駆動歯車の回転により、キャリア円板４５が
被動歯車５３を介して３点支持されながら矢符Ｘ方向へ
回転駆動（ワーク送り）される。

【００４６】ワーク回転部４７は、定盤５０上に装着さ
れるとともに、上記キャリア円板４５の中央部開口に配
置された一つの摩擦車６０と、これを回転駆動するワー
ク駆動軸６１とを主要部として備えてなり、図示例にお
いては、キャリア円板４５に保持される二つのワーク
Ｗ，Ｗを同時に強制回転させる構造とされている。

【００４７】ワーク駆動軸６１は、前述したキャリア円
板４５の駆動軸５５内部に、駆動軸５５と同心状に設け
られるとともに、図示しない歯車機構等の動力伝達機構
を介して駆動源に連係されて、垂直軸まわりに回転可能
とされている。このワーク駆動軸６１の上端には上記摩
擦車６０が取付け固定されて、上記キャリア円板４５と
同心状に回転駆動される。

【００４８】また、この摩擦車６０の外周摩擦面６０ａ
には、各ワークポケット５２内のワークＷの外周面Ｗａ
が、上記連通部５２ａを介して当接係合可能とされてい
る。これに関連して、ワークポケット５２の周縁部に
は、上記摩擦車６０の外周摩擦面６０ａに対向して傾斜
した傾斜案内部（傾斜部）６５が形成されて、後述する
ようにワークＷの摩擦車６０方向への移動を案内促進す
るように構成されている。

【００４９】しかして、キャリア円板４５の各ワークポ
ケット５２内に収納保持されたワークＷは、キャリア円
板４５の通し送り方向（矢符Ｘ方向）への回転に伴っ
て、高速で回転駆動する上下両砥石車１，２間位置つま
りワーク研削位置を通し送りされながら、その両面に上
記両砥石車１，２の砥石面１ａ，２ａによる平面研削が
施される。

【００５０】この際、ワーク回転部４７の摩擦車６０も
一定の回転速度をもって回転駆動されており、研削位置
にある二つのワークＷ，Ｗは、それぞれその研削時に生
じる研削抵抗力の分力により、ワークポケット５２の傾
斜案内部６５に案内されて、摩擦車６０の中心方向（矢
符Ｚ方向）へ移動され、ワークＷ，Ｗの外周面Ｗａ，Ｗ
ａが摩擦車６０の外周摩擦面６０ａに押し付けられる。
この結果、ワークＷ，Ｗが矢符方向へ強制回転されなが
ら、砥石面１ａ，２ａによる平面研削が施されることと
なる。

【００５１】以上のようにして研削が完了したワーク
Ｗ，Ｗは、キャリア円板４５の回転に伴って移動され、
所定のワーク取出し位置でワークポケット５２，５２か
ら取り出されるとともに、これに代えて後続のワークが
新たに収納保持され、以後同様の動作が繰り返される。
その他の構成および作用は実施例１と同様である。

【００５２】なお、キャリア円板４５は、駆動軸５５の
回転を制御することにより、連続駆動かまたは間欠駆動
され、間欠駆動の場合にはさらに一定のオシレート運動
を付加することも可能である。

【００５３】また、図示例においては、二つの工作物
Ｗ，Ｗが同時に摩擦車６０に当接係合される構造とされ
ているが、摩擦車６０と工作物Ｗの当接関係は、工作物
Ｗ、キャリア円板４５または摩擦車６０の形状寸法、あ
るいはその他の条件に応じて適宜増減可能である。

【００５４】さらに、上記実施例１〜３はあくまでも本
発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこ
れに限定されることなく、その範囲内において種々設計
変更可能である。

【００５５】例えば本発明は、上述したように、特にＯ
Ａ機器のハードディスク用基板や電子部品用ウェハなど
の極薄のワークＷの両面を高精度で研削する場合に最適
であるが、もちろん、従来の一般的なワークの研削にも
適用可能である。

【００５６】また、各実施例１〜３における上下砥石車
１，２の相対的な回転方向・速度、あるいは、これら砥
石車１，２とキャリア手段７，４５との相対的な回転方
向・速度なども、これに限定されることなく種々設定可
能であり、その場合も上述した実施例１〜３で得られる
効果と同様のものが得られる。

【００５７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
工作物研削時に生じる研削抵抗力を利用して、工作物外
周面またはこの工作物を保持するワーク保持治具外周面
を、上記砥石車の外側位置で回転する摩擦車の外周摩擦
面に押し付け、この摩擦車と工作物間の摩擦抵抗力によ
り工作物を強制回転させるようにしたから、工作物を回
転駆動する駆動系を砥石車外部に配置することが可能と
なる。

【００５８】したがって、肉厚のいかんにかかわらず、
極薄の工作物（例えば、０．１ｍｍ〜１．０ｍｍ程度の
もの）から一般的な厚さの工作物（例えば厚さが５ｍｍ
〜１０ｍｍ程度のもの）まで、強制回転方式を用いた両
頭平面研削を実現することができる。特に、ＯＡ機器の
ハードディスク用基板や電子部品用ウェハなどの極薄の
工作物の両面の高精度研削に顕著な効果（とりわけ平面
度向上に大きく貢献）が発揮される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施例１である両頭平面研削盤の
上側砥石車を省略して示す概略平面図である。

【図２】同研削盤を図１のII-II 線に沿って示す断面図
である。

【図３】同研削盤におけるワーク強制回転のメカニズム
を説明するための拡大平面図である。

【図４】本発明に係る実施例２である両頭平面研削盤を
示す図３に対応した拡大平面図である。

【図５】本発明に係る実施例３である両頭平面研削盤の
上側砥石車を省略して示す概略平面図である。

【図６】同研削盤におけるワーク強制回転のメカニズム
を説明するための拡大平面図である。

【図７】従来の両頭平面研削盤を示す概略斜視図であ
る。

【符合の説明】

Ｚ ワークの移動方向 Ｗ ワーク Ｗａ ワークの外周面 Ｈ 上下砥石面間隔寸法（ワーク最終仕
上げ厚さ寸法） １ 上側砥石車 １ａ 上側砥石車の砥石面 ２ 下側砥石車 ２ａ 下側砥石車の砥石面 ３ ワーク支持装置 ６ 揺動アーム ７ キャリア板（キャリア手段） ７ａ キャリア板のワーク保持部 ８ ワーク回転部 ９ 揺動軸 １０ ワークポケット １０ａ ワークポケットの連通部 １５，１６ 摩擦車 １５ａ，１６ａ 摩擦車の外周摩擦面 １７ 駆動機構 ４０ 治具用円形穴 ４０ａ 治具用円形穴の連通部 ４１ 円形ワーク保持治具 ４１ａ 円形ワーク保持治具の外周面 ４２ ワークポケット ４５ キャリア円板（キャリア手段） ４６ キャリア回転部 ４７ ワーク回転部 ５２ ワークポケット ５２ａ ワークポケットの連通部 ６０ 摩擦車 ６０ａ 摩擦車の外周摩擦面 ６５ ワークポケットの傾斜案内部（傾斜
部）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 7/17

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向して設けられた一対の砥石車の砥石
   面間に、工作物を保持したキャリア手段が通過または挿
   入可能とされた両頭平面研削方式において、 工作物の研削時に生じる研削抵抗力を利用することによ
   り、工作物外周面またはこの工作物を保持するワーク保
   持治具外周面を、上記砥石車の外側位置で回転する摩擦
   車の外周摩擦面に押し付けて、工作物を強制回転させる
   ようにしたことを特徴とする両頭平面研削方法。
2. 【請求項２】 対向して設けられた一対の砥石車の砥石
   面間に、工作物を保持したキャリア手段が通過または挿
   入可能とされた両頭平面研削装置において、 上記砥石車の外側位置に、工作物を回転駆動する少なく
   とも一つの摩擦車およびその駆動機構が配置され、 上記キャリア手段に、円形工作物を回転可能に収納保持
   するワークポケットが設けられるとともに、このワーク
   ポケットの周縁部分に連通部が設けられてなり、 この連通部を介して、上記ワークポケット内に収納保持
   された円形工作物の外周面が上記摩擦車の外周摩擦面に
   当接係合可能とされ、 工作物の研削時に生じる研削抵抗力により、工作物外周
   面が上記摩擦車の外周摩擦面に押し付けられて、工作物
   が強制回転される構成とされている ことを特徴とする両
   頭平面研削装置。
3. 【請求項３】 上記砥石車の外側位置に、上記摩擦車が
   一つ配置され、この摩擦車の外周摩擦面に、複数の円形
   工作物の外周面が同時に当接係合可能とされる請求項２
   に記載の両頭平面研削装置。
4. 【請求項４】 対向して設けられた一対の砥石車の砥石
   面間に、工作物を保持したキャリア手段が通過または挿
   入可能とされた両頭平面研削装置において、 上記砥石車の外側位置に、工作物を回転駆動する摩擦車
   およびその駆動機構が配置され、 上記キャリア手段の治具用円形穴内に、非円形工作物を
   保持する円形ワーク保持治具が回転可能に収納保持され
   るとともに、上記治具用円形穴の周縁部分に連通部が設
   けられ、 この連通部を介して、上記治具用円形穴内に収納保持さ
   れた円形ワーク保持治具の外周面が上記摩擦車の外周摩
   擦面に当接係合可能とされ、 工作物研削時に生じる研削抵抗力により、上記円形ワー
   ク保持治具外周面が上記摩擦車の外周摩擦面に押し付け
   られて、上記円形ワーク保持治具と共に工作物が強制回
   転される構成とされている ことを特徴とする両頭平面研
   削装置。