JPH0222213Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、ラツピングやポリツシング、研削な
どのようにワークの表裏両面を同時に精密加工す
るための平面研摩装置に関するものである。

従来の技術 従来のこの種の研摩装置として、回転する内歯
歯車と太陽歯車との間にキヤリヤを噛合させ、こ
のキヤリヤに保持させたワークを上下の定盤によ
つて加工するようにしたものは知られているが、
かかる研摩装置は、ワークの保持にキヤリヤを使
用していたため、該キヤリヤばかりでなくそれを
駆動するための内歯歯車や太陽歯車及びそれらに
関連する部材を必要とし、構造が複雑化且つ大形
化すると同時に、ワークの装填及び取出しが煩雑
でその作業に非常に多くの手数を必要とするとい
う欠点があつた。また、例えば電子計算機用デイ
スクメモリ基板として使用されるアルミニウム製
薄板の加工には、それよりもさらに薄いキヤリヤ
を必要とするが、このような薄いキヤリヤは、破
損やギヤの傷みが早く、管理が面倒であつた。

考案が解決しようとする問題点 本考案は、キヤリヤを必要としない簡単な構造
の研摩装置を提供することを課題とする。

問題点を解決するための手段 上記課題を解決するため、本考案の平面研摩装
置は、駆動源により強制回転可能に配設され、一
定間隔で円周状且つ水平に配列された多数の円板
状のワークを片寄つた位置で加工面からはみ出し
た状態に挟持して加工する円環状の上下の定盤
と、該定盤の中心を回転中心として偏心回転可能
に配設され、上記ワークの側面を定盤の内側から
支持するガイドリングと、定盤の回りに一定間隔
で回転自在に配設され、上記ワークの側面を定盤
の外側から支持するガイドローラとによつて構成
したことを特徴とするものである。

作 用 ワークを挟持した状態で上下の定盤を等速で同
方向に回転させると、該ワークには、それが定盤
によつて片寄つた位置で挟持されているため該定
盤の回転方向に応じた回転が与えられ、該ワーク
は、ガイドリングとガイドローラとに当接支持さ
れた状態で定位置で自転しながら加工される。こ
のとき、ガイドリング及びガイドローラもワーク
に追随して回転するが、ガイドリングは定盤の中
心を回転中心として偏心回転するため、ワークは
定盤の半径方向へ往復運動し、ワークと定盤との
接触面積の変化によつて定盤の平面度が維持され
る。

効 果 ワークをガイドリングとガイドローラとによつ
て直接支持させるようにしたので、キヤリヤを省
略できるばかりでなく、該キヤリヤを駆動するた
めの内歯歯車や太陽歯車、及びそれらに関連する
駆動源や動力伝達機構等を全て省略することがで
き、しかも、円環状の上下の定盤によりワークを
片寄つた位置で加工面からはみ出した状態に挟持
して加工することにより、その加工力を利用して
ワークを自然に回転させるようにしているため、
該ワークをガイドリング又はガイドローラ等によ
つて強制的に回転させる必要がなく、そのためこ
れらのガイドリング又はガイドローラの駆動機構
も不要であり、その結果、装置の構成を従来の両
面研摩装置に比べて非常に簡略化することができ
ると同時に小形化することができる。また、ガイ
ドリングを偏心回転自在とすることによつてワー
クに揺動運動を与えるようにしたので、ワークと
定盤とを均等に摺接させて定盤の片減りを防止
し、平面度を良好に維持することができる。更
に、キヤリヤを不要にしたことにより、ワークの
交換時にキヤリヤを介することなくワークのみを
搬入、搬出すれば良いため、交換作業が非常に簡
略化され、自動化も容易である。

実施例 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に
説明するに、第１図及び第２図において、１，
１，…は一定間隔で円周状且つ水平に配列された
多数の円板状のワーク、２，３はこれらのワーク
１の両面を同時に加工するための円環状の上下の
定盤であつて、これらの定盤２，３は、同心状に
位置する駆動軸４，５を介してそれぞれ図示しな
い駆動源に接続され、該駆動源によつて任意の速
度及び方向に強制回転されるようになつており、
該定盤２，３における加工面２ａ，３ａの幅Ｗは
ワーク１の半径より小さく形成し、該ワーク１を
一側に片寄つた位置において両加工面２ａ，３ａ
間にはみ出した状態に挟持し、その状態で該ワー
ク１の加工を行うように構成している。

上記定盤２，３の内側には、ワーク１の側面に
当接してそれを支持するガイドリング６を、その
中心から外れた位置を下定盤３の駆動軸５にベア
リング７を介して回転自在に支持させることによ
り、上記定盤２，３の中心を回転中心として偏心
回転可能に配設し、一方定盤２，３の回りには、
上記ワーク１の側面を定盤の外側から支持する多
数のガイドローラ８，８，…を、テーブル９に立
設した竪軸１０，１０，…上に回転自在に支持さ
せることにより一定間隔で円周状に配設してい
る。これらのガイドローラ８の上面８ａは、ワー
ク１との接触面積を小さくするために外下り状の
テーパー面となし、また、各ガイドローラ８，
８，…の配列間隔は、加工時にワーク１が隣接す
る二つのガイドローラ８，８に同時に当接しない
ような大きさに設定している。従つて、加工時に
おけるワーク１の支持は、上記ガイドリング６
と、定盤２，３の回転方向側に位置するガイドロ
ーラ８とによつて行われる。

なお、図中１１はパウダを供給するためのノズ
ル、１２は駆動軸５をテーブル９に回転自在に支
持させるための支持機構である。

上記構成を有する平面研摩装置において、第１
図の状態から上定盤２を下降させ、上下の定盤
２，３間にワーク１を挟持した状態でこれらの定
盤を第２図に矢印ａで示す方向に等速で回転させ
ると、各ワーク１には、それが定盤２，３によつ
て片寄つた位置で挟持されているため、矢印ｂで
代表的に示す方向の回転が与えられ、該ワーク１
は、ガイドリング６と定盤２，３の回転方向側に
位置するガイドローラ８とに当接し、定位置にお
いて自転しながらその両面が同時に加工される。
このとき、ワーク１は、上定盤２によつて下定盤
３に押付けられるが、該ワーク１がアルミニウム
製の薄板のように軽量の場合には、その重量をほ
とんど無視することができるため該ワーク１の両
面にはほぼ等しい加工圧が作用していると考えら
れ、従つて、該ワーク１の両面は実質的に同一条
件で加工されることになる。

また、ガイドリング６及びガイドローラ８もワ
ーク１に追随して回転するが、ガイドリング６は
定盤２，３の中心を回転中心として偏心回転する
ため、ワーク１も矢印ｃ方向へ往復運動しながら
回転することになり、これによつて該ワーク１と
定盤２，３の加工面２ａ，３ａとの接触面積が変
化して該加工面の片減りが防止され、その平面度
が良好に維持される。

ワーク１の加工が終了すると、上定盤２が第１
図の位置に上昇し、各ワーク１が取出される。こ
のワーク１の取出し及び装填は、手作業であるい
はロボツトにより自動的に行うことができる。

なお、上記定盤２，３は、第２図に示す場合と
逆向きに回転させることもでき、このような定盤
の反転は、特にポリツシングを行う場合にパツド
のドレツシングを同時に行うことができるので有
効である。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本考案の一実施例を示す縦
断面図及び部分平面図である。 １……ワーク、２，３……定盤、２ａ，３ａ…
…加工面、６……ガイドリング、８……ガイドロ
ーラ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 駆動源により強制回転可能に配設され、一定間
   隔で円周状且つ水平に配列された多数の円板状の
   ワークを片寄つた位置で加工面からはみ出した状
   態に挟持して加工する円環状の上下の定盤と、 該定盤の中心を回転中心として偏心回転可能に
   配設され、上記ワークの側面を定盤の内側から支
   持するガイドリングと、 定盤の回りに一定間隔で回転自在に配設され、
   上記ワークの側面を定盤の外側から支持するガイ
   ドローラと、 を有することを特徴とする平面研摩装置。