JP2552305B2 - 両面研磨装置 - Google Patents
両面研磨装置Info
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- JP2552305B2 JP2552305B2 JP62246064A JP24606487A JP2552305B2 JP 2552305 B2 JP2552305 B2 JP 2552305B2 JP 62246064 A JP62246064 A JP 62246064A JP 24606487 A JP24606487 A JP 24606487A JP 2552305 B2 JP2552305 B2 JP 2552305B2
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- polishing
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はたとえばガラス基板やディスク等の研磨装置
に係るもので、特に枚葉式の両面研磨を可能とする研磨
装置に関するものである。
に係るもので、特に枚葉式の両面研磨を可能とする研磨
装置に関するものである。
（従来の技術） 大口径のガラス基板やディスク等を両面研磨する方式
としてはバッチ方式と枚葉方式とがある。
としてはバッチ方式と枚葉方式とがある。
バッチ方式で研磨する場合には、たとえば、、第５図
に示すように被加工物ａをキャリアｂにより保持しこの
キャリアｂを太陽歯車ｃとインターナル歯車ｄに噛合さ
せるとともに上記被加工物ａを上定盤（図示しない）と
下定盤ｅで挟圧して回転させることにより研磨する。
に示すように被加工物ａをキャリアｂにより保持しこの
キャリアｂを太陽歯車ｃとインターナル歯車ｄに噛合さ
せるとともに上記被加工物ａを上定盤（図示しない）と
下定盤ｅで挟圧して回転させることにより研磨する。
また、枚葉式の研磨の場合には一枚の被加工物の一面
側を保持部材で保持し、他面側を定盤で研磨し、研磨を
終えたら他方の面を研磨する。
側を保持部材で保持し、他面側を定盤で研磨し、研磨を
終えたら他方の面を研磨する。
（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、従来のバッチ式の研磨の場合には、加
工制度は優れるが、被加工物の大口径化にともない機械
は大型化し、製作面、設置場所の点で困難になるととも
に、機械が大きくなることと複数枚の被加工物があるこ
とから、被加工物の位置が着脱時に一定せず、ハンドリ
ングが困難になるという欠点がある。
工制度は優れるが、被加工物の大口径化にともない機械
は大型化し、製作面、設置場所の点で困難になるととも
に、機械が大きくなることと複数枚の被加工物があるこ
とから、被加工物の位置が着脱時に一定せず、ハンドリ
ングが困難になるという欠点がある。
また、枚葉式の研磨の場合には被加工物とその保持面
との間に使用する接着剤などの介在物により加工精度が
悪くなるとともに２回研磨となるため研磨効率が悪くな
るという問題がある。
との間に使用する接着剤などの介在物により加工精度が
悪くなるとともに２回研磨となるため研磨効率が悪くな
るという問題がある。
本発明は上記事情に着目してなされたもので、その目
的とするところは、大型化することなく、高精度に研磨
できるようにした両面研磨装置を提供しようとするもの
である。
的とするところは、大型化することなく、高精度に研磨
できるようにした両面研磨装置を提供しようとするもの
である。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決するために、回転部材と、
この回転部材に係合して回転すると共に被加工物を保持
して被加工物面内の１点を中心に被加工物に回転を与え
るキャリアと、このキャリアに保持された被加工物をそ
の両面側から狭持し回転することによりその両面を研磨
する複数対の定盤とを具備した両面研磨装置であって、
前記複数対の定盤はそれぞれの定盤中心が被加工物の各
面内にあり、かつ被加工物に研磨されない部分が残らな
いように、各対の定盤の一方は被加工物の回転最外周上
の１点から被加工物面内の回転中心を越える被加工物上
の一部の範囲に対応する大きさに定められ、他方の定盤
は前記一方の定盤と干渉することなく被加工物上の残部
の範囲に対応する大きさに定められていることを特徴と
するものである。
この回転部材に係合して回転すると共に被加工物を保持
して被加工物面内の１点を中心に被加工物に回転を与え
るキャリアと、このキャリアに保持された被加工物をそ
の両面側から狭持し回転することによりその両面を研磨
する複数対の定盤とを具備した両面研磨装置であって、
前記複数対の定盤はそれぞれの定盤中心が被加工物の各
面内にあり、かつ被加工物に研磨されない部分が残らな
いように、各対の定盤の一方は被加工物の回転最外周上
の１点から被加工物面内の回転中心を越える被加工物上
の一部の範囲に対応する大きさに定められ、他方の定盤
は前記一方の定盤と干渉することなく被加工物上の残部
の範囲に対応する大きさに定められていることを特徴と
するものである。
（作 用） 被加工物面内の１点を中心に回転される被加工物の両
面に、上記のような大きさに定められた複数対の定盤を
対向接触させて回転することにより、小型の装置であ
り、定盤面内での加工速度差を小さく抑えつつ被加工物
の面内全体を精度よく研磨加工できるようにした。
面に、上記のような大きさに定められた複数対の定盤を
対向接触させて回転することにより、小型の装置であ
り、定盤面内での加工速度差を小さく抑えつつ被加工物
の面内全体を精度よく研磨加工できるようにした。
（実施例） 以下、本発明を第１図および第２図に示す−実施例を
参照して説明する。
参照して説明する。
第１図は研磨装置を示す概略的構成図である。図中１
はガラス基板等の被加工物で、この被加工物１はキャリ
ア２に保持されている。前記キャリア２はその外周歯部
が回転部材としてのインターナルギア３の内周歯部に噛
合され図示しない駆動機構により上記インタナーナルギ
ア３が回転されることにより自転運動するようになって
いる。
はガラス基板等の被加工物で、この被加工物１はキャリ
ア２に保持されている。前記キャリア２はその外周歯部
が回転部材としてのインターナルギア３の内周歯部に噛
合され図示しない駆動機構により上記インタナーナルギ
ア３が回転されることにより自転運動するようになって
いる。
また、前記被加工物１は２対の上，下定盤で挟圧され
ている。すなわち、上定盤4aと下定盤5aの一対と、上定
盤4bと下定盤5bの一対との計２対の上下定盤により挟圧
されている。そして、これら２対の定盤4a,4bと5a,5bは
その定盤中心が常に被加工物１の面内にあって被加工物
１に研磨されない部分が残らないようにするために大き
さを変えてある。すなわち、第１図および第２図に示す
ように、２対の中のそれぞれ一方の定盤4b、5bは被加工
物１の回転最外周上の１点から被加工物面内の回転中心
を越える被加工物上の範囲に対応する大きさに定めら
れ、他方の定盤4a、5aは定盤4b、5bと干渉することなく
被加工物上の残部の範囲に対応する大きさに定められて
いる。また、被加工物１の中心はインターナルギア３の
中心に一致させてあるとともに上記上定盤4a,4bの被加
工物１と接する面4a′と4b′、上記下定盤5a,5bの被加
工物１と接する面5a′と5b′はそれぞれ同一平面となる
ようにしておく。
ている。すなわち、上定盤4aと下定盤5aの一対と、上定
盤4bと下定盤5bの一対との計２対の上下定盤により挟圧
されている。そして、これら２対の定盤4a,4bと5a,5bは
その定盤中心が常に被加工物１の面内にあって被加工物
１に研磨されない部分が残らないようにするために大き
さを変えてある。すなわち、第１図および第２図に示す
ように、２対の中のそれぞれ一方の定盤4b、5bは被加工
物１の回転最外周上の１点から被加工物面内の回転中心
を越える被加工物上の範囲に対応する大きさに定めら
れ、他方の定盤4a、5aは定盤4b、5bと干渉することなく
被加工物上の残部の範囲に対応する大きさに定められて
いる。また、被加工物１の中心はインターナルギア３の
中心に一致させてあるとともに上記上定盤4a,4bの被加
工物１と接する面4a′と4b′、上記下定盤5a,5bの被加
工物１と接する面5a′と5b′はそれぞれ同一平面となる
ようにしておく。
上記上定盤4aと4bは、それぞれ軸6a,6bに連結され、
これら軸6a,6bには歯車7a,7bが固定されている。前記歯
車7a,7bは歯車８と外周の歯部で噛みあっており、この
歯車８には軸９が固定されている。前記軸９はプーリー
10の内部に昇降自在に挿入され、かつジョイント11を介
して回転自在にシリンダ12に連結されている。前記シリ
ンダ12は電磁弁21を介して図示しない圧力源、例えばエ
アー源に接続されている。また、上記軸6a,6b,9はケー
ス13に回転自在に支持され、上記プーリー10はフレーム
23に回転自在に支持されている。プーリー10は図示しな
い駆動源により回転を与えられる。
これら軸6a,6bには歯車7a,7bが固定されている。前記歯
車7a,7bは歯車８と外周の歯部で噛みあっており、この
歯車８には軸９が固定されている。前記軸９はプーリー
10の内部に昇降自在に挿入され、かつジョイント11を介
して回転自在にシリンダ12に連結されている。前記シリ
ンダ12は電磁弁21を介して図示しない圧力源、例えばエ
アー源に接続されている。また、上記軸6a,6b,9はケー
ス13に回転自在に支持され、上記プーリー10はフレーム
23に回転自在に支持されている。プーリー10は図示しな
い駆動源により回転を与えられる。
一方、上記下定盤5a,5bはそれぞれ軸14a,14bに連結さ
れ、これら軸14a,14bの下部側には歯車15a,15bが固定さ
れている。
れ、これら軸14a,14bの下部側には歯車15a,15bが固定さ
れている。
前記歯車15a,15bの外周歯部は歯車16と噛合い、この
歯車16には軸17が連結されている。そして、前記軸17に
はプーリー18が固定され、このプーリー18は図示しない
駆動源により回転されるようになっている。前記軸14a,
14b,17は受け台19に回転自在に支持されている。
歯車16には軸17が連結されている。そして、前記軸17に
はプーリー18が固定され、このプーリー18は図示しない
駆動源により回転されるようになっている。前記軸14a,
14b,17は受け台19に回転自在に支持されている。
しかして、被加工物１を研磨する場合には、まずイン
ターナル歯車３の歯部にキャリア２の外周歯部を噛み合
せてセットし、このキャリア２の穴20に被加工物１を挿
入する。ついで、電磁弁21を動作させてシリンダ12のヘ
ッド側接続口12aをエア源（図示しない）に連通させ
る。これによりエア圧によってシリンダ12のロッド12c
が押し下げられジョイント11、軸９、ケース13さらに軸
6a,6bを介して上定盤4a,4bが下降し、その下面4a′,4
b′が被加工物１の上面に当接すると停止する。しかる
のち図示しない供給装置により研磨剤を供給しながら、
図示しない駆動源により、プーリー18、プーリー10およ
びプーリー22をそれぞれ回転駆動させる。上記プーリー
18の回転により、軸17、歯車16、歯車15a,15bおよび軸1
4a,14bを介して下定盤5a,5bが回転され、また、上記プ
ーリー10の回転により軸９、歯車８、歯車7a,7bおよび
軸6a,6bを介して上定盤4a,4bが回転され、さらに、プー
リー22が回転されることによりインターナル歯車３が回
転される。これにより、被加工物１はその両面が研磨加
工されることになる。
ターナル歯車３の歯部にキャリア２の外周歯部を噛み合
せてセットし、このキャリア２の穴20に被加工物１を挿
入する。ついで、電磁弁21を動作させてシリンダ12のヘ
ッド側接続口12aをエア源（図示しない）に連通させ
る。これによりエア圧によってシリンダ12のロッド12c
が押し下げられジョイント11、軸９、ケース13さらに軸
6a,6bを介して上定盤4a,4bが下降し、その下面4a′,4
b′が被加工物１の上面に当接すると停止する。しかる
のち図示しない供給装置により研磨剤を供給しながら、
図示しない駆動源により、プーリー18、プーリー10およ
びプーリー22をそれぞれ回転駆動させる。上記プーリー
18の回転により、軸17、歯車16、歯車15a,15bおよび軸1
4a,14bを介して下定盤5a,5bが回転され、また、上記プ
ーリー10の回転により軸９、歯車８、歯車7a,7bおよび
軸6a,6bを介して上定盤4a,4bが回転され、さらに、プー
リー22が回転されることによりインターナル歯車３が回
転される。これにより、被加工物１はその両面が研磨加
工されることになる。
なお、研磨の加重はシリンダのポート12aに導入する
エアー圧力を調整することにより任意の荷重が得られ
る。
エアー圧力を調整することにより任意の荷重が得られ
る。
このようにして、所定時間経過し研磨加工を終了する
と、上，下定盤4a,4b,5a,5bおよびインターナル歯車３
の回転を停止するとともに、研摩剤の供給を停止する。
また、シリンダ12のポート12bに操作圧力を導入するこ
とにより、上定盤4a,4bを上昇させて研磨工程を完了す
る。
と、上，下定盤4a,4b,5a,5bおよびインターナル歯車３
の回転を停止するとともに、研摩剤の供給を停止する。
また、シリンダ12のポート12bに操作圧力を導入するこ
とにより、上定盤4a,4bを上昇させて研磨工程を完了す
る。
上述したように、一枚の被加工物１を研磨するため、
被加工物１が大口径化しても装置を大形化することなく
加工できるとともに被加工物のハンドリングも容易とな
る。
被加工物１が大口径化しても装置を大形化することなく
加工できるとともに被加工物のハンドリングも容易とな
る。
また、被加工物１の両面を同時に研磨するので効率的
であり、加工精度も両面同時加工により高精度なものが
得られる。さらに、枚葉式研磨装置なので、被加工物１
のロード／アンロード時の位置（中心位置）が一定であ
るため位置検出が容易で自動化が可能である。
であり、加工精度も両面同時加工により高精度なものが
得られる。さらに、枚葉式研磨装置なので、被加工物１
のロード／アンロード時の位置（中心位置）が一定であ
るため位置検出が容易で自動化が可能である。
なお、枚葉式両面研磨としては第３図および第４図に
示す１対の上下定盤31,32で被加工物33を研磨する方式
も考えられるが、この場合の欠点は定盤31,32の内外周
の周速差が大きく、それが加工速度の差として被加工物
33の加工面に顕著にあらわれ高精度なものが得にくい。
本発明によれば上下定盤を２対以上の複数にすることに
より被加工物面内の定盤の周速差、すなわち加工速度の
差の均一化をはかれ、高精度なものが得られる。
示す１対の上下定盤31,32で被加工物33を研磨する方式
も考えられるが、この場合の欠点は定盤31,32の内外周
の周速差が大きく、それが加工速度の差として被加工物
33の加工面に顕著にあらわれ高精度なものが得にくい。
本発明によれば上下定盤を２対以上の複数にすることに
より被加工物面内の定盤の周速差、すなわち加工速度の
差の均一化をはかれ、高精度なものが得られる。
以上２対の上下定盤を例として説明してきたが３対以
上の上下定盤の構成も可能である。
上の上下定盤の構成も可能である。
又定盤回転速度比、回転方向については歯車列の構成
により変化をもたせることが出来る。
により変化をもたせることが出来る。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、被加工物を一
枚だけ両面研磨するから、被加工物の口径が大形化して
も十分に対応でき、装置を小型化できる。さらに、被加
工物のロード、アンロードも容易となり、自動化に対応
し易いとともに、各対の定盤の一方は被加工物の回転最
外周上の１点から被加工物面内の回転中心を越える被加
工物上の一部の範囲に対応する大きさに定められ、他方
の定盤は前記一方の定盤と干渉することなく被加工物上
の残部の範囲に対応する大きさに定められている複数対
の定盤で被加工物面内の１点を中心に回転される被加工
物を狭圧研磨するため、被加工物の両面全体面を同時に
かつより小さな加工速度差で研磨することができ、高能
率かつ高精度の加工が可能になるという効果を奏する。
枚だけ両面研磨するから、被加工物の口径が大形化して
も十分に対応でき、装置を小型化できる。さらに、被加
工物のロード、アンロードも容易となり、自動化に対応
し易いとともに、各対の定盤の一方は被加工物の回転最
外周上の１点から被加工物面内の回転中心を越える被加
工物上の一部の範囲に対応する大きさに定められ、他方
の定盤は前記一方の定盤と干渉することなく被加工物上
の残部の範囲に対応する大きさに定められている複数対
の定盤で被加工物面内の１点を中心に回転される被加工
物を狭圧研磨するため、被加工物の両面全体面を同時に
かつより小さな加工速度差で研磨することができ、高能
率かつ高精度の加工が可能になるという効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例である研磨装置を示す概略的
縦断面図、第２図は第１図中Ａ−Ａ線に沿って示す平面
図、第３図は一対の定盤による枚葉式の研磨装置を示す
概略的縦断面図、第４図は第３図中Ｂ−Ｂ線に沿って示
す平面図、第５図は従来例であるバッチ方式の両面研磨
装置を示す平面図である。 １……被加工物、２……キャリア、３……インターナル
ギア（回転部材）、4a,4b,5a,5b……定盤。
縦断面図、第２図は第１図中Ａ−Ａ線に沿って示す平面
図、第３図は一対の定盤による枚葉式の研磨装置を示す
概略的縦断面図、第４図は第３図中Ｂ−Ｂ線に沿って示
す平面図、第５図は従来例であるバッチ方式の両面研磨
装置を示す平面図である。 １……被加工物、２……キャリア、３……インターナル
ギア（回転部材）、4a,4b,5a,5b……定盤。
Claims (1)
- 【請求項１】回転部材と、この回転部材に係合して回転
すると共に被加工物を保持して被加工物面内の１点を中
心に被加工物に回転を与えるキャリアと、このキャリア
に保持された被加工物をその両面側から狭持し回転する
ことによりその両面を研磨する複数対の定盤とを具備し
た両面研磨装置であって、前記複数対の定盤はそれぞれ
の定盤中心が被加工物の各面内にあり、かつ被加工物に
研磨されない部分が残らないように、各対の定盤の一方
は被加工物の回転最外周上の１点から被加工物面内の回
転中心を越える被加工物上の一部の範囲に対応する大き
さに定められ、他方の定盤は前記一方の定盤と干渉する
ことなく被加工物上の残部の範囲に対応する大きさに定
められていることを特徴とする両面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62246064A JP2552305B2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 | 両面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62246064A JP2552305B2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 | 両面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0192063A JPH0192063A (ja) | 1989-04-11 |
| JP2552305B2 true JP2552305B2 (ja) | 1996-11-13 |
Family
ID=17142931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62246064A Expired - Fee Related JP2552305B2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 | 両面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2552305B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009039825A (ja) | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Fujitsu Ltd | 研磨方法、基板及び電子機器の製造方法 |
| JP2009039827A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Fujitsu Ltd | 研磨装置、基板及び電子機器の製造方法 |
| JP5076723B2 (ja) | 2007-08-09 | 2012-11-21 | 富士通株式会社 | 研磨装置、基板及び電子機器の製造方法 |
| JP5245319B2 (ja) | 2007-08-09 | 2013-07-24 | 富士通株式会社 | 研磨装置及び研磨方法、基板及び電子機器の製造方法 |
| WO2010018622A1 (ja) | 2008-08-12 | 2010-02-18 | 富士通株式会社 | 電子ペーパ端末装置、画像表示制御プログラム、および画像表示制御方法 |
| CN108115550A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-06-05 | 苏州通瑞智能***有限公司 | 一种液晶面板的打磨装置及打磨方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5352493U (ja) * | 1976-10-08 | 1978-05-04 | ||
| JPS6028634B2 (ja) * | 1976-10-18 | 1985-07-05 | 日本電気株式会社 | 両面研摩装置 |
-
1987
- 1987-09-30 JP JP62246064A patent/JP2552305B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0192063A (ja) | 1989-04-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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