JP7475414B2 - ワイヤソーによって半導体ウェハを製造するための方法、ワイヤソー、および、単結晶シリコンの半導体ウェハ - Google Patents
ワイヤソーによって半導体ウェハを製造するための方法、ワイヤソー、および、単結晶シリコンの半導体ウェハ Download PDFInfo
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Description
ワイヤソーおよびその機能原理が、WO2015/188859A1に詳細に開示されている。
複数のワイヤの配置内を通じてワークピースを供給するステップを含み、当該複数のワイヤは、複数のワイヤガイドローラ間で張力をかけられた状態で、複数のワイヤ群に分割されるとともに走行方向に移動し、当該方法はさらに、
当該複数のワイヤが当該ワークピースに係合する際に複数の切り溝を生成するステップと、
当該複数のワイヤ群の各ワイヤ群ごとに、当該ワイヤ群の当該複数の切り溝の配置誤差を判定するステップと、
当該複数のワイヤ群の各ワイヤ群ごとに、少なくとも1つの駆動要素を作動させることにより、複数のワイヤの配置内を通じて当該ワークピースを供給する当該ステップ中に当該ワイヤ群のうちの当該複数のワイヤの当該走行方向に対して垂直な方向に、当該ワイヤ群のうちの当該複数の切り溝についての判定された当該配置誤差の関数として、当該ワイヤ群のうちの当該複数のワイヤの移動を補償するステップとを含む。
たす目標製品を形成するために行われる。上側面は、半導体ウェハの表面側とも称され、一般に、半導体ウェハのさらに別の処理の過程で電子部品の構造を適用することが意図される面である。
切り溝に光線、IR線、X線もしくはγ線を照射することによって実行される。さらに、ワイヤ群のうちの複数の切り溝の機械的検知、またはワイヤ群のうちの複数の切り溝の誘導測定もしくは容量測定も想定され得る。ワイヤ群のうちの複数の切り溝をこのように直接観察することで、ワークピースとワイヤ群のうちの複数のワイヤとの間の如何なる相対的な動きも明らかになる。
のそれらの測定値を選択することによって生成される。これらの測定値は、半導体ウェハの直径に追従する線上であって、好ましくは半導体ウェハを切断する際のワークピース供給方向に位置するか、または、その方向から少なくとも±20°以下だけずれている。
数の切り溝の配置誤差は、予想軌道と目標軌道との比較から得られる。この比較により、ワイヤソー特有の補正プロファイルが得られる。このワイヤソー特有の補正プロファイルは、複数のワイヤの配置内を通じてワークピースを供給する間に当該複数のワイヤをワークピースに差込む深さの関数として、ワイヤ群のうちの複数のワイヤの補償移動の方向および大きさを特定するものである。ワイヤソー特有の補正プロファイルのプロファイルは、原則として、平均化された局所形状のプロファイルに対して相補的である。
複数のワイヤガイドローラを備え、当該複数のワイヤガイドローラの間で複数のワイヤに張力をかけて複数のワイヤの配置を形成し、当該複数のワイヤは複数のワイヤ群に分割されるとともに走行方向に移動し、当該ワイヤソーはさらに、
当該複数のワイヤが当該ワークピースに係合するときに複数の切り溝を生成しながら、
当該複数のワイヤの配置内を通じて当該ワークピースを供給するための装置と、
複数の駆動要素とを備え、当該複数の駆動要素のうち少なくとも1つが当該複数のワイヤ群の各々に割当てられ、当該複数の駆動要素は、当該割当てられたワイヤ群のうちの当該複数のワイヤを移動させるためのものであり、当該ワイヤソーはさらに、
当該複数の駆動要素を作動させるための制御ユニットを備え、当該制御ユニットは、当該複数のワイヤ群のうちの当該複数の切り溝の配置誤差が生じた場合、当該ワイヤ群に割当てられた駆動要素を作動させることで、当該ワイヤ群のうちの当該複数のワイヤの走行方向に対して垂直方向の移動を補償するようにする。
当該データは、ワイヤソー特有の補正プロファイルを、具体的には各ワイヤ群ごとに別個に、形成する。このようなワイヤソー特有の補正プロファイルは、ワイヤ群のうちの複数のワイヤの補償移動の方向および大きさを、当該複数のワイヤをワークピースに差込む深さの関数として特定する。制御ユニットは、複数のワイヤの配置内を通じたワークピースの供給中にこのデータにアクセスし、それぞれのワイヤ群のうちの複数のワイヤに適用可能なワイヤソー特有の補正プロファイルの仕様にしたがって、対応するワイヤ群に割当てられた駆動要素を作動させる。好ましくは、データメモリおよび制御ユニットは、複数の切り溝の配置誤差を最小限にするためのさらに別の閉制御ループの構成要素である。
1.2μm未満の反りと、
THA25 10%として表され、5nm未満である、上側面のナノトポグラフィと、
表面内の山から谷までの最大距離として表されるとともに、それぞれ25mm×25mmの面積容量を有する表面内を基準とし、6nm未満である、上側面の表面内基準ナノトポグラフィとを含む。
)によって評価される。THAXX10%<5nmとは、XXで特定された分析領域を有する分析窓における半導体ウェハの上側面の分析済み面積のうち最大でも10%が5nm以上の最大PV距離(山から谷までの距離)を有し得ることを意味する。本発明に従った半導体ウェハの場合、THA25 10%として表される上側面のナノトポグラフィは5nm未満であり、円形輪郭および25mmの直径を有する分析窓が用いられるとともに、未フィルタリングのトポグラフィ信号が単一のガウス高域フィルタで20mmのカットオフ波長でフィルタリングされる。カットオフ波長は、半導体ウェハの端縁に向かって1mmにまで小さくなる。フィルタリング前では5mmのエッジエクスクルージョンが許容され、フィルタリング後では15mmのエッジエクスクルージョンが許容される。
ークピースを処理することによってワークピースから複数の半導体ウェハを製造するための方法の基本を説明する役割を果たす。
に追従する線上に位置する中位面の測定値が選択された。ワークピースにおける複数の半導体ウェハの位置は、3つの半導体ウェハを切断する際にこれら3つの半導体ウェハ50の各々の間にさらに別の半導体ウェハが形成されるような位置であった。高さ線の比較から分かるように、本発明を用いる場合の半導体ウェハは、有意にはより平坦であって、ワークピースにおけるこれら半導体ウェハの位置による特別な影響は受けない。このことは図14~図16によっても確認される。これら図14~図16は、縦軸のスケーリングがより高分解能である点のみが図8~図10と異なっている。
1 ソーイングワイヤ、2 溝、3 左側ワイヤガイドローラ、4 右側ワイヤガイドローラ、5 軸、6 軸、7 回転、8 回転方向、9 長手方向ワイヤ移動、10 長手方向ワイヤ移動、11 ワイヤウェブ、12 供給装置、13 切り溝、14 軸、15
ワークピース、16 鋸引き用細片、17 接着剤、18 矢印方向、19 ノズル列、20 ノズル列、21 ノズル、22 噴射流、23 噴射流、24a~24e 駆動要素、25a~25d ワイヤ群、26 固定軸受、27 軸受、28 制御ユニット、29 データ指定、30 測定装置、31 データメモリ、32 目標軌道。
Claims (1)
- 上側面および下側面を有する、単結晶シリコンの半導体ウェハであって、前記上側面は、複数の表面部に分割され、前記複数の表面部は、前記上側面の中心に配置された表面部の周りに配置され、
1.2μm未満の反りと、
THA25 10%として表され、5nm未満である、前記上側面のナノトポグラフィと、
前記表面部内の山から谷までの最大距離として表されるとともに、それぞれ25mm×25mmの面積容量を有する前記表面部内を基準とし、6nm未満である、前記上側面の表面内基準ナノトポグラフィとを含む、半導体ウェハ。
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