JP7466006B2 - 一連の切断動作中にワイヤソーによって被加工物から複数のスライスを切断する方法 - Google Patents
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Description
このような複数のスライスを切断する方法は、ラップスライシングまたは研削スライシングによって実現することができる。
切断動作当たりのワイヤ消費量は、50km以上72km以下であることが好ましく、50km以上70km以下であることが特に好ましい。
第3の実施形態の変形例によれば、形状偏差の判断は、切断動作中に1つまたは複数の切り口を観察することに基づき、2つの閉制御ループが確立される。第1の制御ループは、WGTCによって制御誤差、すなわち判断された形状偏差に対応し、第2の制御ループは、IPCによって対応し、これらのループ間で作業が分割されることによって、形状偏差を修正するために行われる浮動軸受および被加工物の移動が実施される。浮動軸受は、切込み深さに依存して浮動軸受の動きを決定する第1の補正プロファイルに従って、WGTCによって移動される。切込み深さに依存して冷却剤の温度を指定する第1の温度プロファイルは、第1の補正プロファイルと相互に関係がある。それぞれのワイヤガイドローラの浮動軸受の所定の動きを生じさせるために冷却流体のどのような温度変化が必要であるかは、事前に実験によって判断される。第1の補正プロファイルは、形状偏差を減少させるために浮動軸受が実施する動きの比率を切込み深さに依存して決定する。被加工物は、第2の補正プロファイルに従って、IPCによって移動される。第2の補正プロファイルは、形状偏差を減少させるために被加工物が実施する動きの比率を切込み深さに依存して決定する。両方の比率の合計は、判断された形状偏差を減少させるのに必要な動きに対応する。これらの動きの比率は、均等に分割されてもよく、または異なったように分割されてもよい。被加工物とワイヤアレイのワイヤセクションとの間の相対移動のさらなる割合が、好ましくは、切込み深さに依存して被加工物の長さの変化を指定する第3の補正プロファイルの形態で考慮される。長さの変化は、冷却媒体で被加工物を濡らすこと(インゴット冷却、IC)によってもたらされる。
送り速度:2.83mm/分
供給される作動流体の量:38kg/分
作動流体の温度:31℃
ワイヤ速度:8m/s
ワイヤ消費量:58.3km
ワイヤ張力:34N。
本発明に係る方法を実行するのに適したワイヤソーは、ソーワイヤ3の可動ワイヤセクションからなるワイヤアレイ2を備え、ワイヤアレイ2は、2つのワイヤガイドローラ1間の平面において張力をかけられている。切断動作中、被加工物4は、駆動装置12によって、送り方向に沿ってワイヤアレイ2を通るように送られ、この送り方向は、被加工物軸に対して垂直であるとともに、ワイヤアレイ2の平面に対して垂直である。この動作の間に、ワイヤアレイ2に張力をかけているワイヤガイドローラ1および被加工物4の各々は、第1および第2の補正プロファイルに依存して、方向矢印10および11に従ってそれぞれ軸方向に移動される。第1および第2の補正プロファイルは、切断動作前または切断動作中に判断される形状偏差に対処する。切断動作中に形状偏差を判断するために、切り口を観察するための切り口検出器13がある。さらに、第1、第2、および適用可能な場合には第3の補正プロファイルを作成するためのデータ処理ユニット14が設けられる。データ処理ユニット14は、第2の補正プロファイルに従って、方向矢印11によって示される被加工物軸に沿った方向への被加工物4の移動を切込み深さに依存して生じさせる制御信号を作動要素15に送信する。さらに、被加工物4の温度を調整するための装置22が設けられている。各切断動作の前に形状偏差が判断されると、データ処理装置14は、第3の補正プロファイルに従って被加工物の長さの変化をもたらす第2の温度プロファイルを装置22に送信する。
1 ワイヤガイドローラ
2 ワイヤアレイ
3 ソーワイヤ
4 被加工物
5 固定軸受
6 浮動軸受
7 機枠
8 外装材
9 チャネル
10 方向矢印
11 方向矢印
12 駆動装置
13 切り口検出器
14 データ処理ユニット
15 作動要素
16 制御ユニット
17 切り口
18 基準軌道
19 上部センサ
20 下部センサ
21 スライス
22 被加工物の温度を調整するための装置
Claims (12)
- 一連の切断動作中にワイヤソーによって被加工物から複数のスライスを切断する方法であって、前記切断動作は、初期の切断と後続の切断とに分割され、前記ワイヤソーは、ソーワイヤの可動ワイヤセクションのワイヤアレイと、駆動装置とを備え、前記ワイヤアレイは、2つのワイヤガイドローラ間の平面において張力をかけられており、前記2つのワイヤガイドローラの各々は、固定軸受と浮動軸受との間に支持されており、前記方法は、各前記切断動作中に、作動流体および前記被加工物に対して研磨するように作用する硬質材料の存在下で、前記駆動装置によって送り方向に沿って前記ワイヤアレイを通るようにそれぞれの被加工物をある送り速度で送るステップを備え、前記送り方向は、被加工物軸に対して垂直であるとともに、前記ワイヤアレイの前記平面に対して垂直であり、前記送るステップは、各前記切断動作中に、第1の温度プロファイルの仕様に従って冷却流体を用いて前記固定軸受の温度を調整することによって、前記浮動軸受の同時軸方向移動とともに、前記ワイヤアレイを通るように前記被加工物を送るステップを備え、前記第1の温度プロファイルは、切込み深さに依存して前記冷却流体の温度を指定し、前記切込み深さに依存して前記浮動軸受の動きを指定する第1の補正プロファイルと相互に関係があり、前記方法はさらに、各前記切断動作中および/または各前記切断動作前に形状偏差を判断するステップと、前記切込み深さに依存して、前記送り速度、単位時間当たりに前記ワイヤアレイに供給される作動流体の量、前記作動流体の温度、ワイヤ速度、前記切断動作当たりのワイヤ消費量、およびワイヤ張力という動作パラメータを設定するステップとを備える、方法。
- 一連の切断動作中にワイヤソーによって被加工物から複数のスライスを切断する方法であって、前記切断動作は、初期の切断と後続の切断とに分割され、前記ワイヤソーは、ソーワイヤの可動ワイヤセクションのワイヤアレイと、駆動装置とを備え、前記ワイヤアレイは、2つのワイヤガイドローラ間の平面において張力をかけられており、前記2つのワイヤガイドローラの各々は、固定軸受と浮動軸受との間に支持されており、前記方法は、各前記切断動作中に、作動流体および前記被加工物に対して研磨するように作用する硬質材料の存在下で、前記駆動装置によって送り方向に沿って前記ワイヤアレイを通るようにそれぞれの被加工物をある送り速度で送るステップを備え、前記送り方向は、被加工物軸に対して垂直であるとともに、前記ワイヤアレイの前記平面に対して垂直であり、前記送るステップは、前記被加工物の動きを指定する第2の補正プロファイルの仕様に従って作動要素によって前記被加工物軸に沿って前記被加工物を移動させるのと同時に、前記ワイヤアレイを通るように前記被加工物を送るステップを備え、前記第2の補正プロファイルは、形状偏差と異なるものであり、前記方法はさらに、各前記切断動作中および/または各前記切断動作前に前記形状偏差を判断するステップと、切込み深さに依存して、前記送り速度、単位時間当たりに前記ワイヤアレイに供給される作動流体の量、前記作動流体の温度、ワイヤ速度、前記切断動作当たりのワイヤ消費量、およびワイヤ張力という動作パラメータを設定するステップとを備える、方法。
- 一連の切断動作中にワイヤソーによって被加工物から複数のスライスを切断する方法であって、前記切断動作は、初期の切断と後続の切断とに分割され、前記ワイヤソーは、ソーワイヤの可動ワイヤセクションのワイヤアレイと、駆動装置とを備え、前記ワイヤアレイは、2つのワイヤガイドローラ間の平面において張力をかけられており、前記2つのワイヤガイドローラの各々は、固定軸受と浮動軸受との間に支持されており、前記方法は、各前記切断動作中に、作動流体および前記被加工物に対して研磨するように作用する硬質材料の存在下で、前記駆動装置によって送り方向に沿って前記ワイヤアレイを通るようにそれぞれの被加工物をある送り速度で送るステップを備え、前記送り方向は、被加工物軸に対して垂直であるとともに、前記ワイヤアレイの前記平面に対して垂直であり、前記送るステップは、各前記切断動作中に、第1の温度プロファイルの仕様に従って冷却流体を用いて前記固定軸受の温度を調整することによって、前記浮動軸受の同時軸方向移動とともに、前記ワイヤアレイを通るように前記被加工物を送るステップを備え、前記第1の温度プロファイルは、切込み深さに依存して前記冷却流体の温度を指定し、前記切込み深さに依存して前記浮動軸受の動きを指定する第1の補正プロファイルと相互に関係があり、前記送るステップはさらに、前記被加工物の動きを指定する第2の補正プロファイルの仕様に従って作動要素によって前記被加工物軸に沿って前記被加工物を移動させるのと同時に、前記ワイヤアレイを通るように前記被加工物を送るステップを備え、前記第1の補正プロファイルおよび前記第2の補正プロファイルは、形状偏差と異なるものであり、前記方法はさらに、各前記切断動作中および/または各前記切断動作前に前記形状偏差を判断するステップと、前記切込み深さに依存して、前記送り速度、単位時間当たりに前記ワイヤアレイに供給される作動流体の量、前記作動流体の温度、ワイヤ速度、前記切断動作当たりのワイヤ消費量、およびワイヤ張力という動作パラメータを設定するステップとを備える、方法。
- 各前記切断動作の間に、冷却媒体で前記被加工物を濡らすことによって前記被加工物の温度を制御しながら、前記ワイヤアレイを通るように前記被加工物を送るステップを備える、請求項1~3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記送り速度は2.6mm/分以上4.25mm/分以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記単位時間当たりに前記ワイヤアレイに供給される作動流体の量は15kg/分以上42kg/分以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記作動流体の温度は20℃以上34℃以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ワイヤ速度は6m/s以上14m/s以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記切断動作当たりのワイヤ消費量は50km以上72km以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ワイヤ張力は25N以上35N以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記形状偏差は、各前記切断動作の間に、少なくとも1つの切り口の中心を通る線の位置を基準軌道の位置と比較することによって、測定される、請求項1~10のいずれか1項に記載の方法。
- それぞれの前記切断動作の前に判断された前記形状偏差が規定の閾値に達するかまたはそれを超える場合、前記それぞれの切断動作の代わりにメンテナンス措置が開始される、請求項1~11のいずれか1項に記載の方法。
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