JP7391527B2 - 光電式エンコーダ - Google Patents
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Description
INC方式は、スケールに目盛が一定のピッチで配置されたスケールパターンであるインクリメンタルパターン(以下、INCパターンと呼ぶことがある)を連続的に検出し、検出したINCパターンの目盛の数をカウントアップまたはカウントダウンすることで、相対位置を検出する方式である。
ABS方式は、スケールに目盛がランダムに配置されたスケールパターンであるアブソリュートパターン(以下、ABSパターンと呼ぶことがある)を適宜なタイミングで検出し、ABSパターンを解析することで、絶対位置を検出する方式である。
しかしながら、ダブルトラック形式を用いる場合、ヘッドの姿勢やスケールのうねりにより、INCトラックとABSトラックとの位置情報に誤差が生じ検出結果に影響を及ぼすことがある。また、そのような影響を抑制するために、INCトラックとABSトラックとの位置情報の誤差を補正しなければならないという問題がある。
第1撮像部は、第2目盛を介した第1光にて構成されるアブソリュートパターンを撮像し、第2撮像部は、第1目盛および第2目盛を介した第2光にて構成されるインクリメンタルパターンを撮像する。そして、演算手段は、第1撮像部にて撮像されたアブソリュートパターンからアブソリュート信号を生成するアブソリュート信号生成部と、第2撮像部にて撮像されたインクリメンタルパターンからインクリメンタル信号を生成するインクリメンタル信号生成部と、を備え、位置算出部にて、アブソリュート信号とインクリメンタル信号からスケールに対するヘッドの位置を算出する。
このABS方式では、例えばスケールパターンは、1つのトラックの全長に亘って、擬似ランダム符号にしたがって絶対位置を表現するように配置されている。スケールパターンから撮像手段が一度に撮像する像から得られる複数の「1」と「0」からなる信号における「1」と「0」の組み合わせは、1つのトラックの各位置でそれぞれ異なる。このため、光電式エンコーダは、複数の「1」と「0」からなる信号における「1」と「0」の組み合わせを解析することでスケールに対するヘッドの絶対位置を算出することができる。
アブソリュート信号生成部は、例えば第1光を「1」とし、第2光を「0」とし、複数の「1」と「0」からなる信号における「1」と「0」の組み合わせを解析することでアブソリュート信号を生成する。
したがって、光電式エンコーダは、アブソリュートパターンと目盛の抜けのないインクリメンタルパターンとを複合させて単一のトラックとして構成しつつ位置情報の検出精度の向上を図ることができる。
また、アブソリュートパターンとインクリメンタルパターンとをそれぞれ独立したトラックとする必要がないため、光電式エンコーダは、小型化を図るとともにコスト削減を図ることができる。
本発明における構成によれば、第1目盛は、ナノインプリンティングにより、所定の微細パターンを介すことで微細パターンに吸収される性質を有する波長の光である第1光の撮像手段への導光を阻止し第2光を撮像手段へ導光する構造である微細パターンが成型される。このため、容易に第1光が撮像手段へ導光されることを阻止することができる第1目盛を成型することができる。
また、ナノインプリンティングを用いて微細パターンを第1目盛に成型するため、露光装置などを使わずに微細パターンを転写して成型することができる。したがって、コスト削減を図ることができる。
以下、本発明の第1実施形態を図1から図5に基づいて説明する。
各図において、光電式エンコーダ1のスケール2の長手方向をX方向とし、短手方向をY方向とし、高さ方向をZ方向として示し、以下では単にX方向、Y方向、Z方向として説明することがある。
図1は、本発明の第1実施形態に係る光電式エンコーダ1を示す斜視図である。
光電式エンコーダ1は、図示しない測定器であるリニアスケールに用いられるリニアエンコーダである。光電式エンコーダ1は、リニアスケールの内部に設けられている。リニアスケールは、スケール2に対してヘッド3を測定方向であるX方向に沿って相対移動させることでスケール2に対するヘッド3の位置を検出し、検出結果を図示しない液晶ディスプレイといった表示手段などに出力する。
ヘッド3は、スケール2に向かって光を照射する光源4と、スケール2を介した光源4からの光を撮像する撮像手段5と、を備える。ヘッド3は、スケール2に対してX方向に進退可能に設けられている。光源4と撮像手段5とは、一体でスケール2に対して相対移動するように構成されている。
スケールパターン20は反射型である。スケールパターン20は、光源4からの光を反射する反射部であり、スケールパターン20が設けられていない部分であるスケール2の基部200は、光を反射しない非反射部である。スケールパターン20は、第1目盛21と第2目盛22とを備え、X方向に沿って所定のピッチpで第1目盛21および第2目盛22を並設している。
第1目盛21は、第1光の撮像手段5への導光を阻止し第2光を撮像手段5へ導光するとともに、図2(A)に示すように、微細な凹凸構造を有する微細パターンNが成型されている。微細パターンNは、ナノインプリンティングにより成型される。微細パターンNは、光源4から照射される光に含まれる特定波長λの光を吸収する性質を有する。具体的には、微細パターンNは、電磁光学に基づいた計算により、Mie共振によって特定波長λの光を吸収する性質を持つ構造である。
第1目盛21は、光を反射する例えば金属膜であり、第1光を微細パターンNにより吸収する一方、第2光を反射して撮像手段5へ導光する。
第2目盛22は、光を反射する例えば金属膜であり、図2(B)に示すように、第1目盛21が備える微細パターンNを有していない。第2目盛22は、微細パターンNを備えないため、第1光を吸収することなく、第1光および第2光を反射することで撮像手段5へ導光する。なお、第1目盛21および第2目盛22は、金属膜でなくてもよく、光を反射することができればどのようなものでもよい。
図3(A)に示すように、第2目盛22は、スケールパターン20について絶対位置を表現するアブソリュートパターン(ABSパターン)となるように測定方向であるX方向に沿って配置されている。第1目盛21は、スケールパターン20について第2目盛22によるABSパターンを補間して第1目盛21と第2目盛22とを併せて相対位置を表現するインクリメンタルパターン(INCパターン)となるように測定方向であるX方向に沿って配置されている。
図4に示すように、光電式エンコーダ1は、スケール2とヘッド3との相対移動に基づく信号を演算する演算手段6をさらに備える。
演算手段6は、アブソリュート信号生成部61と、インクリメンタル信号生成部62と、位置算出部63と、を備える。演算手段7は、例えばマイコン等である。
アブソリュート信号生成部61は、第1撮像部51にて撮像されたABSパターンからアブソリュート信号(ABS信号)を生成する。インクリメンタル信号生成部62は、第2撮像部52にて撮像されたINCパターンからインクリメンタル信号(INC信号)を生成する。位置算出部63は、ABS信号とINC信号からスケール2に対するヘッド3の位置を算出する。
先ず、撮像手段5はスケールパターン20を介した光源4からの光を撮像する。具体的には、第1撮像部51は、第2目盛22で反射された特定波長λの光である第1光からなるABSパターンを撮像し、第2撮像部52は、第1目盛21および第2目盛22で反射された特定波長λ以外の光である第2光からなるINCパターンを撮像する。
ABS信号の生成方法は、例えば、第1撮像部51にて8つ分の第1目盛21および第2目盛22を介した第1光を撮像する。アブソリュート信号生成部61は、図3(B)に示すように、例えば紙面左側から「01110100」というバイナリーパターンからなる信号を生成する。そして、スケール2に対して+X方向側(紙面右方向側)にヘッド3を相対移動させると、第1目盛21または第2目盛22の1つ分移動する度に、アブソリュート信号生成部61は、「11101001」、「11010010」といった異なる符号を有する信号を生成する。
(1)光電式エンコーダ1は、第1光の撮像手段5への導光を阻止し第2光を撮像手段5へ反射する第1目盛21と、第1光および第2光を撮像手段5へ反射する第2目盛22と、を備え、第1光にて構成されるアブソリュートパターンを撮像する第1撮像部51と、第2光にて構成されるインクリメンタルパターンを撮像する第2撮像部52とを備えることで、単一のトラックから、アブソリュート信号とインクリメンタル信号との双方を取得し、スケール2に対するヘッド3の位置を算出することができる。
したがって、光電式エンコーダ1は、アブソリュートパターンと目盛の抜けのないインクリメンタルパターンとを複合させて単一のトラックとして構成しつつ位置情報の検出精度の向上を図ることができる。
(2)アブソリュートパターンとインクリメンタルパターンとをそれぞれ独立したトラックとする必要がないため、光電式エンコーダ1は、小型化を図るとともにコスト削減を図ることができる。
(4)第1目盛21は、ナノインプリンティングにより、所定の微細パターンNを介すことで微細パターンNに吸収される性質を有する特定波長λの光である第1光の撮像手段5への反射を阻止し第2光を撮像手段5へ反射する構造である微細パターンNが成型されるため、容易に第1光が撮像手段5へ反射されることを阻止することができる第1目盛21を成型することができる。
また、ナノインプリンティングを用いて微細パターンNを第1目盛21に成型するため、露光装置などを使わずに微細パターンNを転写して成型することができる。したがって、コスト削減を図ることができる。
以下、本発明の第2実施形態を図6に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図6は、本発明の第2実施形態に係る光電式エンコーダ1Aを示す斜視図である。
第2実施形態の光電式エンコーダ1Aは、ヘッド3Aを除き、前記第1実施形態の光電式エンコーダ1と略同様の構成を備える。
分光手段10は、スケールパターン20を介した光源4Aからの光を、特定波長λの光である第1光と特定波長λ以外の光である第2光とに分光する例えばプリズムである。
撮像手段5は、第1撮像部51は分光手段10にて分光された第1光を撮像し、第2撮像部52は、分光手段10にて分光された第2光を撮像する。
(6)ヘッド3Aは、スケールパターン20を介した光源4Aからの光を第1光と第2光とに分光する分光手段10を備えるため、第1撮像部51はアブソリュートパターンについて、第2撮像部52はインクリメンタルパターンについて、それぞれ所定のタイミングにて確実に撮像することができる。
(7)ヘッド3Aは、分光手段10を備えることで、単一の光源4Aを用いたとしても、撮像手段5にてインクリメンタルパターンとアブソリュートパターンとの双方を撮像することができる。また、単一の光源4Aを用いることができるため、光電式エンコーダ1Aは、小型化を図ることができる。
以下、本発明の第3実施形態を図7に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図7は、本発明の第3実施形態に係る光電式エンコーダ1Bを示す斜視図である。
第3実施形態の光電式エンコーダ1Bは、ヘッド3Bを除き、前記第2実施形態の光電式エンコーダ1Aと略同様の構成を備える。
第1撮像部51Bと第2撮像部52Bは、タイミングをずらして、例えば機能を切替えることで光を撮像する。第1撮像部51Bが撮像する際は、第2撮像部52Bの機能をOFFにしてアブソリュートパターンを撮像し、第2撮像部52Bが撮像する際は、第1撮像部51Bの機能をOFFにしてインクリメンタルパターンを撮像する。この際、光源4Aは、光の色を変更し、第1撮像部51Bと第2撮像部52Bは、色の違いに基づいてアブソリュートパターン、または、インクリメンタルパターンを撮像してもよい。
(8)第1撮像部51Bと第2撮像部52Bとは、同一の撮像手段5B内に設けられ、タイミングをずらしてスケール2を介した光を撮像するため、省スペース化やコスト削減を図ることができる。また、光電式エンコーダの設計の自由度を向上させることができる。
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、光電式エンコーダ1,1A~1Bは、測定器としてのリニアスケールに用いられていたが、ダイヤルゲージ(テストインジケータ)やノギス、マイクロメータ等の他の測定器に用いられていてもよい。すなわち、光電式エンコーダは、用いられる測定器の形式や方式などについて特に限定されるものではなく、その他の測定器などにおいても利用可能であり、本発明の光電式エンコーダを何に実装するかについては、特に限定されるものではない。また、光電式エンコーダは、センサ等の測定器以外のものに用いられていてもよい。
前記各実施形態では、第1目盛21は、第1光の撮像手段5,5Bへの反射を阻止し第2光を撮像手段5,5Bへ反射し、第2目盛22は、第1光および第2光を撮像手段5,5Bへ反射していた。
第1変形例では、図8(A)に示すように、光電式エンコーダ1Cは、透過型のスケールパターン20Cを有するスケール2Cと、透過型のスケール2Cに対応するヘッド3Cと、を備える点で前記各実施形態と異なる。具体的には、第1目盛21Cは、第1光の撮像手段5への透過を阻止し第2光を撮像手段5Cへ透過し、第2目盛22Cは、第1光および第2光を撮像手段5Cへ透過する。そして、第1撮像部51Cは、スケール2Cを透過した第1光からなるABSパターンを撮像し、第2撮像部52Cは、スケール2Cを透過した第2光からなるINCパターンを撮像する。
さらに、第1変形例と第2変形例とは、第2実施形態のように分光手段10を備え、それぞれ独立して設けられる第1撮像部と第2撮像部とを備えていてもよいし、第1実施形態のように、2つの光源を有していてもよい。各実施形態と変形例とをどのように組み合わせるかについては設計変更の範囲内である。
また、前記各実施形態では、第1目盛21には、微細な凹凸構造を有する微細パターンNが成型され、微細パターンNは、ナノインプリンティングにより成型されていたが、例えば、第1目盛は、微細な凹凸構造を金属膜に貼り付ける等してナノインプリンティングにより成型されていなくてもよいし、第1光の導光を阻止する手段として凹凸構造を有する微細パターンを用いなくてもよい。要するに、第1目盛は、所定の波長の光である第1光の撮像手段への導光を阻止し所定の波長以外の光である第2光を撮像手段へ導光することができれば、どのように構成されていてもよい。
2,2C スケール
20,20C スケールパターン
21,21C 第1目盛
22,22C 第2目盛
3,3A~3D ヘッド
4,4A 光源
5,5B~5C 撮像手段
51,51B~51C 第1撮像部
52,52B~52C 第2撮像部
6 演算手段
61 アブソリュート信号生成部
62 インクリメンタル信号生成部
63 位置算出部
Claims (5)
- 光を反射しない非反射部である基部を有し前記基部に測定方向に沿って設けられたスケールパターンを有するスケールと、前記スケールと対向して測定方向に沿って相対移動するヘッドと、前記スケールと前記ヘッドとの相対移動に基づく信号を演算する演算手段と、を備え、前記ヘッドは、前記スケールに光を照射する光源と、前記スケールパターンを介した光源からの光を撮像する撮像手段と、を備える光電式エンコーダであって、
前記光源から照射される光は、所定の波長の光である第1光と、前記第1光以外の波長の光である第2光とを有し、
前記スケールパターンは、
前記第1光の前記撮像手段への導光を阻止し前記第2光を前記撮像手段へ導光する第1目盛と、
前記第1目盛とは異なるとともに前記第1光および前記第2光を前記撮像手段へ導光する第2目盛と、を備え、
前記第2目盛は、前記非反射部である前記基部に前記第2光を反射する目盛が絶対位置を表現するアブソリュートパターンとなるように測定方向に沿って配置され、
前記第1目盛は、前記第2目盛によるアブソリュートパターンを補間して前記第1目盛と前記第2目盛とを併せて前記非反射部である前記基部に前記第1光を反射する目盛が一定ピッチで配置され相対位置を表現するインクリメンタルパターンとなるように測定方向に沿って配置され、
前記撮像手段は、
前記第2目盛を介した前記第1光にて構成されるアブソリュートパターンを撮像する第1撮像部と、
前記第1目盛および前記第2目盛を介した前記第2光にて構成されるインクリメンタルパターンを撮像する第2撮像部と、を備え、
前記演算手段は、
前記第1撮像部にて撮像された前記アブソリュートパターンからアブソリュート信号を生成するアブソリュート信号生成部と、
前記第2撮像部にて撮像された前記インクリメンタルパターンからインクリメンタル信号を生成するインクリメンタル信号生成部と、
前記アブソリュート信号と前記インクリメンタル信号から前記スケールに対する前記ヘッドの位置を算出する位置算出部と、を備えることを特徴とする光電式エンコーダ。 - 請求項1に記載された光電式エンコーダにおいて、
前記第1目盛は、前記第1光を吸収することで前記撮像手段への導光を阻止し、前記第2光を前記撮像手段へ導光することを特徴とする光電式エンコーダ。 - 請求項1または請求項2に記載された光電式エンコーダにおいて、
前記第1目盛は、ナノインプリンティングにより前記第1光の前記撮像手段への導光を阻止し、前記第2光を前記撮像手段へ導光する構造が成型されることを特徴とする光電式エンコーダ。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載された光電式エンコーダにおいて、
前記第2撮像部は、前記第1撮像部による撮像とタイミングをずらして撮像することを特徴とする光電式エンコーダ。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載された光電式エンコーダにおいて、
前記光源は、前記所定の波長の光を前記スケールに照射する第1光源と、前記所定の波長以外の光を前記スケールに照射する第2光源と、を備えることを特徴とする光電式エンコーダ。
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