JP2008249646A - 光電式エンコーダ、及び、そのスケールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】相対移動するスケールを備えた光電式エンコーダにおいて、ベーススケール30の表面に、スケールパターン(第2のパターン41)が形成された透明保護材40を配設する。インクリメンタル(INS)スケール(32)の表面に、ABSパターン又は原点パターン(42)を設けたり、INCスケール(32)の表面に分解能の異なるINCパターン48を設けたり、ABSスケール(34)の表面に周期の異なるABSパターン50を設けたり、ABSスケール(34)の表面にINCパターン48を設けることができる。
【選択図】図3
Description
31…第1のパターン
32…インクリメンタル(INC)パターン
34、46、50…ABSパターン
40…透明保護材
41…第2のパターン
42…ABSパターン
44…原点パターン
Claims (12)
- 相対移動するスケールを備えた光電式エンコーダにおいて、
ベーススケールの表面に、スケールパターンが形成された透明保護材を配設したことを特徴とする光電式エンコーダ。 - 前記透明保護材のスケールパターンが、全測長方向の一部に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。
- 前記ベーススケールに第1のパターンが形成され、前記透明保護材に第2のパターンが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。
- 前記透明保護材のベーススケール側の面に形成された第2のパターンが、前記ベーススケールに形成された第1のパターンと隣接する位置に、第1のパターンと平行に配置されることを特徴とする請求項3に記載の光電式エンコーダ。
- 前記透明保護材のベーススケールと反対側の面に形成された第2のパターンが、該透明保護材を挟んで前記ベーススケールに形成された第1のパターンと重なるように配置されることを特徴とする請求項3に記載の光電式エンコーダ。
- 前記第2のパターンは、第1のパターンよりも粗いことを特徴とする請求項5に記載の光電式エンコーダ。
- 前記第1、第2のパターンのいずれか一方がインクリメンタルパターンとされ、他方がアブソリュートパターン又は原点パターンとされていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記第1、第2のパターンのいずれか一方がアブソリュートパターンとされ、他方が原点パターンとされていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記第1、第2のパターンが、互いに異なる分解能のインクリメンタルパターンとされていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記第1、第2のパターンが、互いに異なる周期のアブソリュートパターンとされていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記ベーススケールにパターンが形成されていないことを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。
- 光電式エンコーダの相対移動するスケールにおいて、
ベーススケールの表面に、スケールパターンが形成された透明保護材を配設することを特徴とする光電式エンコーダのスケールの製造方法。
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