JP6609293B2 - 保持ノズル、保持ヘッド及び移載装置 - Google Patents

Description

本発明は、空気の負圧を利用して加工対象物を保持する保持ノズル、その保持ノズルを含む保持ヘッド、及びその保持ノズルに保持した加工対象物を移載する移載装置に関する。

表示パネル組立体などの加工対象物を、空気の負圧を利用して保持する保持ノズルを使って移動させることが行われている。具体的には、弾性部材からなる吸盤状の吸着パッドを加工対象物の平面部分に押し付けて負圧吸引し、加工対象物を吸着保持したうえで、その加工対象物を移載元から移載先に移動させる。

例えば、特許文献１には、吸着パッド部と、吸着パッド部に連続して形成されたジャバラ部と、ジャバラ部と連続して形成された取付部とを備える保持ノズルが記載されている。さらに同文献には、保持ノズルが装着されたロッドと、ロッドを流体圧力により摺動可能に構成するシリンダ部とを有する保持ヘッドを有する移載装置が記載されている。この移載装置では、保持ヘッドを供給部に移動させ、供給部に供給された加工対象物を吸着ノズルで吸着保持し、供給部から取り出して移載先に移動させる。

特許文献１の移載装置が作業の対象とするのは、電子回路が形成された板状の基板部と、基板部に接続されたフレキシブルなフィルム状の配線部とを含む電子部品である。そのような性質の異なる二つの部位をもつ加工対象物を保持するため、特許文献１の移載装置は、基板部に吸着する吸盤状の吸着パッドを有する吸着保持部と、配線部に面で接して吸着する突出部とを含む搬送ヘッドを備えており、この搬送ヘッドによって基板部と配線部とを吸着保持しつつ、搬送機構により加工対象物を移載する。

また、特許文献２には、加工対象物を吸着保持する際に加工対象物に与える衝撃を緩和する吸着ヘッドが記載されている。具体的には、吸着ヘッドの本体と吸着部を含む可動部材との間にベローズを被せてその内部に気室を形成し、気室内部の圧力を制御することにより可動部材に上向きの引張力を作用させ、可動部材の重量を相対的に軽減することで、吸着部が加工対象物に吸着したときの衝撃を緩和する。

特許第３９４３４８１号公報 特開２００６−１３７０００号公報

ところで、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示パネル組立体を加工対象物として、その移動に特許文献１に記載された移載装置を採用した場合、保持ノズルを下方に移動させて吸着パッドをパネル部の表示面に押し付ける。そのため、保持ノズルを下降させる下向きの力がパネル部に作用するので、吸着パッドを介してパネル部の表示面の一部に下向きの負荷がかかり、パネル部に歪みが生じて表示パネルの品質に悪影響を及ぼす可能性がある。また、特許文献１の移載装置では、吸着パッドと表示パネルとの間に形成された空間に作用する負圧により表示パネルのパネル部に含まれる液晶が保持部に寄ることで吸着痕が付き、表示パネル組立体の品質を低下させる可能性がある。

また、上記のような表示パネル組立体の移動に関し、特許文献２に記載された吸着ヘッドを採用した場合は、可動部材の重量を軽減するための制御と、パネル部を吸着するための制御とをそれぞれ独立して行うため、ふたつの独立した系統の吸引路を設ける必要がある。その結果、吸着ヘッドが大型化し重量が増し、パネルの移動効率が低下する可能性がある。

本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示パネル組立体を移載する際、吸着保持によるパネル部へのストレス等の悪影響を軽減すると共に、吸着保持によって生じる吸着痕を防止することで表示パネル組立体の品質低下を防止する保持ノズル、その保持ノズルを含む保持ヘッド、及びそれらが装着された移載装置を提供することを目的としている。

本発明に係る保持ノズルは、パネルを負圧により吸着保持する保持ノズルであって、前記パネルに接する吸着部、及び該吸着部の一端部に設けられ前記吸着部と連通する筒状の軸部を有する吸着部材と、前記吸着部材の前記軸部が収容される筒状の収容部と、前記収容部の一端側に設けられ、前記吸着部材が前記収容部に対して進退移動自在となるように前記軸部を支持する吸着部材支持部と、前記軸部の他端部に設けられた口金部と、前記収容部の他端側に設けられ、負圧発生源が接続される負圧接続部と、前記収容部内の前記負圧接続部と前記吸着部材支持部との間に収容され、前記負圧発生源により負圧を与えられる流体が流れる第一流路の一部を形成する中空部を有する連通部材とを備える。前記連通部材は、前記負圧接続部に接続される第一の接続部と、前記軸部の他端部に設けられた前記口金部に接続される第二の接続部と、前記第一、第二の接続部の間に設けられる弾性変形可能な伸縮部とを有し、前記吸着部材が前記収容部から離間した位置にあるとき、前記第一の接続部が前記負圧接続部から離間する、又は前記第二の接続部が前記口金部から離間する。

本発明に係る保持ヘッドは、パネル部を含むパネル組立体を負圧により吸着保持する保持ヘッドであって、上記の構成を有する保持ノズルと、前記保持ノズルを支持するノズル支持部材とを備える。前記ノズル支持部材は、前記保持ノズルが接続される第一のノズル接続部と、前記第一のノズル接続部を介して前記第一流路と連通し、前記流体が流通される第二流路とを有する。

本発明に係る移載装置は、移載元に供給されたパネル組立体を吸着保持して移載先に移動させる移載装置であって、パネル組立体をある位置に供給する供給部と、前記ある位置に供給された前記パネル組立体を吸着保持する、上記のように構成された保持ヘッドと、前記保持ヘッドを移動させる移動ユニットと、前記保持ヘッドによる前記パネル組立体の保持動作、及び前記移動ユニットによる前記保持ヘッドの移動動作を制御する制御ユニットとを備える。

本発明によれば、吸着部を含む吸着部材は、吸着部材支持部に進退移動自在に支持されているので、吸着部をパネル部に当接させたとき、パネル部には吸着部を含む吸着部材の重量のみが作用し、保持ノズルを下降させる下向きの力がパネル部に作用することはない。つまり、パネル部に、吸着部を介して表示面を凹ませる方向に大きな負荷がかからないので、パネル部に歪みが生じることはなく、表示パネルの品質に悪影響を及ぼすことがない。

本発明の第一の実施形態に係る保持ノズル１を備える移載装置２００の正面模式図である。 図１における保持ヘッド１００の拡大断面図である。 本発明の第一の実施形態に係る保持ノズル１の分解斜視図である。 図２における保持ノズル１の拡大図である。 保持ノズル１がパネル部Ｗｐを吸着保持する動作を段階的に示す図である。 図５に続いて保持ノズル１がパネル部Ｗｐを吸着保持する動作を段階的に示す図である。 上記第一の実施形態の変形例を示す図であって、保持ノズル１Ａの長手方向に沿う断面図である。 上記第一の実施形態のもうひとつの変形例を示す図であって、保持ノズル１Ｂの長手方向に沿う断面図である。 本発明の保持ノズルの第二の実施形態を示す図であって、保持ノズル２の長手方向に沿う断面図である。 本発明の保持ノズルの第三の実施形態を示す図であって、保持ノズル３の長手方向に沿う断面図である。 本発明の保持ノズルの第四の実施形態を示す図であって、保持ノズル４の長手方向に沿う断面図である。 上記第四の実施形態の変形例を示す図であって、保持ノズル４Ａの長手方向に沿う断面図である。 本発明の保持ノズルの第五の実施形態を示す図であって、保持ノズル５の長手方向に沿う断面図である。

本発明に係る保持ノズル及び保持ヘッド、並びに移載装置について以下に説明する。
（第一の実施形態）
図１示すように、本発明の第一の実施形態としての保持ノズル１は、移載装置２００における保持ヘッド１００のノズル支持部材１０１に装着されるものである。移載装置２００は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示パネル組立体Ｗを移載する装置である。移載装置２００は、パネル組立体Ｗが載置された供給トレイ２０１が供給される供給部２３０と、移載元である供給部２３０に供給された供給トレイ２０１に載せられたパネル組立体を吸着保持する保持ヘッド１００と、保持ヘッド１００を移動させて、保持ヘッド１００に吸着保持されたパネル組立体Ｗを移載先である搬送ユニット２０２に移送する移動ユニット２１０と、保持ヘッド１００によるパネル組立体の保持動作、及び移動ユニット２１０による保持ヘッド１００の移動動作を制御する制御ユニット２２０とを備えている。ここで、表示パネル組立体Ｗは、表示を行う表示面となるパネル部Ｗｐと、パネル部Ｗｐへの電源や表示を制御する配線が含まれるフィルム状の付属部Ｗａとを有する。

移動ユニット２１０は、保持ヘッド１００を供給部２３０からベルトコンベア２０２までの範囲で供給部２３０の載置面に沿って水平方向に往復移動させる水平移動機構２１１を含む。水平移動機構２１１は、供給部２３０から搬送ユニット（例えばベルトコンベア）２０２に延びるレール状の案内部材２１１ａと、案内部材２１１ａに沿って保持ヘッド１００を移動させる水平駆動機構２１１ｂとを有し、水平駆動機構２１１ｂは、保持ヘッド１００を案内部材２１１ａに沿って水平方向に移動させる。案内部材２１１ａは、供給トレイ２０１及びベルトコンベア２０２の上方において水平方向に支持されている。水平駆動機構２１１ｂは、モータ等の駆動源と、駆動源の出力を保持ヘッド１００に伝達する伝達機構とを含む。伝達機構は、例えばボールねじ機構、リニアモータ機構、ベルト電動機構等である。駆動源となるモータは、数値制御可能な駆動モータ（例えば、サーボモータ）が採用され、保持ヘッド１００の移動及び停止は、数値制御される。

また、移動ユニット２１０は、保持ヘッド１００を上下に移動させる昇降移動機構２１２を含む。昇降移動機構２１２は、保持ヘッド１００と水平移動機構２１１との間に配置され、保持ヘッド１００を昇降移動可能に支持する。昇降移動機構２１２は、パネル組立体Ｗの吸着保持または吸着解除を行う位置と、保持ヘッド１００の水平方向の移動を許容する水平移動位置との間で保持ヘッド１００の昇降動作を行う。昇降移動機構２１２は、例えば、数値制御可能な電動シリンダである。昇降移動機構２１２は上下に移動するロッド２１２ａを含み、保持ヘッド１００はロッド２１２ａの下端部に支持される。

図２に示すように、保持ヘッド１００は、移載装置２００に具備され、複数の保持ノズル１と、複数の保持ノズル１が装着されるノズル支持部材１０１と、を備えている。また、保持ヘッド１００は、パネル組立体Ｗに含まれる付属部Ｗａを吸着保持する複数の付属部保持ノズル５０を備えている。ノズル支持部材１０１には、保持ノズル１が接続される第一の接続部（第一のノズル接続部）１０２と、付属部保持ノズル５０が接続される第二の接続部（第二のノズル接続部）１０３と、が設けられる。また、ノズル支持部材１０１には、第一の接続部１０２を介して保持ノズル１と連通する第二の流路Ｐ２と、第二の接続部１０３を介して付属部保持ノズル５０と連通する第三の流路Ｐ３とが形成されている。ノズル支持部材１０１は、所定の厚みのある板状部材である。また、ノズル支持部材１０１は、第二の流路Ｐ２及び第三の流路Ｐ３を備えている。流路Ｐ２、Ｐ３は、ノズル支持部材１０１の内部にそれぞれ形成された流路としてもよく、また、外部にそれぞれの配管を配置して形成した流路でもよい。

本発明の第一の実施形態としての保持ノズル１は、ノズル支持部材１０１に間隔を空けて複数設けられた第一の接続部１０２に、それぞれの負圧接続部２１を装着させて支持され、流路Ｐ１、Ｐ２を通じて吸引機構１２０にそれぞれ接続されている。本実施形態の場合、第一の接続部１０２が二つ設けられており、それぞれの第一の接続部１０２に保持ノズル１が一つずつ装着される。

付属部保持ノズル５０は、吸着部材１１０と、吸着部材１１０を進退可能に支持する本体１１１とを備えている。吸着部材１１０は、本体１１１の先端に設けられ、本体１１１の基端には負圧接続部１１２が形成されている。付属部保持ノズル５０は、ノズル支持部材１０１に間隔を空けて複数設けられた第二の接続部１０３に、負圧接続部１１２を装着させて支持され、流路Ｐ２、Ｐ３を通じて吸引機構１２０にそれぞれ接続されている。本実施形態の場合、第二の接続部１０３は、第一の接続部１０２の配列方向と交差する方向に並んで二つ設けられており（図２中では１つのみ図示）、それぞれの第二の接続部１０３へ一つずつ付属部保持ノズル５０が装着される。
図３及び図４に示すように、本発明の第一の実施形態としての保持ノズル１は、吸着部材１０と、収容部２０と、連通部材４０とを備え、保持ヘッド１００に装着されている。

吸着部材１０は、円筒状の軸部１１と、軸部１１の長手方向の一端部に設けられた円板状の吸着部１２と、軸部１１の他端部に設けられた口金部１３とを有する。軸部１１の中心には、口金部１３から吸着部１２に向けて穴１１ａが形成されている。吸着部１２の吸着面、すなわち軸部１１が設けられる平面部（被保持規定部１２ｄ）とは反対側の平面部１２ａには、パネル部Ｗｐを負圧吸引するための複数の溝１２ｂが同心円状に間隔を空けて形成されている。さらに平面部１２ａには、それら同心円状の溝１２ｂ同士を連通させる溝１２ｃが放射状に形成されている。同心円状の溝１２ｂ及び放射状の溝１２ｃは、軸部１１の穴１１ａに連通している。具体的には、最内の溝１２ｂが穴１１ａに連通している。その最内の溝１２ｂに連通して、溝１２ｃが放射状に延びている。これにより、全ての溝１２ｂは、溝１２ｃを介して連絡されている。口金部１３は、後述する孔３１に通された軸部１１の他端部に締着（例えば、ネジ締め）されており、口金部１３の外径は、孔３１の内径よりも僅かに大きく形成されている。

収容部２０は、吸着部材１０の軸部１１を収容する円筒状の筐体であり、内部空間には連通部材４０が収容される。収容部２０の長手方向の一端部には吸着部材支持部３０が設けられ、他端部には、負圧発生源としてのバキュームポンプ１２１（図２を参照）へ接続される負圧接続部２１が設けられている。

吸着部材支持部３０の中央には孔３１が形成されており、孔３１に軸部１１が通され、軸部１１の他端部に口金部１３が締着されている。吸着部材支持部３０は、吸着部１２が収容部２０に対して進退移動自在となるように、軸部１１を吸着部１２と口金部１３との間で支持している。また、孔３１の内周面と軸部１１の外周面との間にはわずかな隙間が設けられている。これにより、吸着部１２が、口金部１３を支点として吸着部材支持部３０に対して揺動可能とされている。吸着部材支持部３０は、吸着部１２に設けられた被保持規定部１２ｄが当接する保持規定部３０ａと、口金部１３の進出方向への移動を規定する係合支持部３０ｂを備えている。

連通部材４０は、収容部２０内に、負圧接続部２１と吸着部材１０の口金部１３との間に位置するように収容されており、長手方向に内孔が開通されたエラストマ製の一方のジャバラパッド部（第一成形体）４１と、ジャバラパッド部４１と同素材同形状の他方のジャバラパッド部（第二成形体）４２と、これら２つのジャバラパッド部４１、４２を連結する金属製の連結部材４３とを有し、それぞれの内部には後述するバキュームポンプの動作により流体が移動する第一の流路Ｐ１の一部を構成する中空部４４が形成されている。

一方のジャバラパッド部４１は、円筒状の基端部（第一の連結部）４１ａと、基端部４１ａに一体成形されたジャバラ状の弾性変形可能な伸縮部４１ｂと、伸縮部４１ｂの先端にあって負圧接続部２１に接続される接続部（第一の接続部）４１ｃとを含む。他方のジャバラパッド部４２は、円筒状の基端部（第二の連結部）４２ａと、基端部４２ａに一体成形されたジャバラ状の弾性変形可能な伸縮部４２ｂと、伸縮部４２ｂの先端にあって口金部１３に接続される接続部（第二の接続部）４２ｃとを含む。連結部材４３は、中央の円板部４３ａと、円板部４３ａの一方の面に形成された一方の筒状部４３ｂと、円板部４３ａの他方の面に形成された他方の筒状部４３ｃとを含む。筒状部４３ｂ、４３ｃは各々が円板部４３ａを挟んで長手方向に連続するように形成されている。また、筒状部４３ｂ、４３ｃの各々の先端には、ジャバラパッド部４１、４２の連結部材４３からの離脱防止のために鍔部４３ｄがそれぞれ形成されている。

ジャバラパッド部４１の基端部４１ａは、一方の鍔部４３ｄを内側に収めるようして連結部材４３の一方の筒状部４３ｂに被着されており、ジャバラパッド部４２の基端部４２ａは、他方の鍔部４３ｄを内側に収めるようして連結部材４３の他方の筒状部４３ｃに被着されている。ジャバラパッド部４１の内孔４１ｄは、連結部材４３の内孔４３ｅを通じてジャバラパッド部４２の内孔４２ｄに連通しており、これら一連の内孔が中空部４４をなし、口金部１３と負圧接続部２１との間で第一の流路Ｐ１を形成する。

本実施形態の場合、吸着部１２が収容部２０から離間（前進）した位置にあるときは、口金部１３も負圧接続部２１から離間した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、連通部材４０の全長よりも長い。そのため、連通部材４０が口金部１３側に変位し、ジャバラパッド部４２の接続部４２ｃが口金部１３に当接される。また、ジャバラパッド部４１の接続部４１ｃは負圧接続部２１から離間する。一方、吸着部１２が収容部２０に接近（後退）した位置にあるときは、口金部１３が負圧接続部２１に接近した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、連通部材４０の全長よりも短くなる。そのため、吸着部１２が後退すると、ジャバラパッド部４１の接続部４１ｃが負圧接続部２１に密着されると共に、ジャバラパッド部４２の接続部４２ｃが口金部１３に密着される。

連通部材４０のジャバラパッド部４１の基端部４１ａの周囲には、環状のガイド部材４５が配置されている。ガイド部材４５は、ジャバラパッド部４１の周囲に当接可能なガイド内周部４５ａと、収容部２０の内周面に当接可能なガイド外周部４５ｂとを有しており、連結部材４３の円板部４３ａに規制され、連結部材４３の一方側（一方のジャバラパッド部４１の周囲）に配置維持される。ガイド部材４５は、連通部材４０の長手方向に延びる中心軸と収容部２０の長手方向に延びる中心軸とを一致させるように連通部材４０を収容部２０内のほぼ中央に位置付け、連通部材４０を長手方向に移動可能にガイドする。また、連通部材４０の伸縮方向におけるガイド部材４５の寸法は、連通部材４０が収縮した状態においても連通部材４０の全長よりも短く、連通部材４０の収縮動作を阻害しない程度に短い。本実施例の場合のガイド部材４５の全長は、ガイド部材４５が連結部材４３の円板部４３ａにより他方のジャバラパッド部４２側に移動しないように規制されているため、一方のジャバラパッド部４１が収縮した状態の全長よりも短い寸法のガイド部材４５が配置される。ガイド部材４５を配置することで連通部材４０の径を小さくすることができる。

吸引機構１２０は、保持ノズル１及び付属部保持ノズル５０に負圧を付与するバキュームポンプ１２１と、保持ノズル１及び付属部保持ノズル５０に送気するブロワ１２２と、バキュームポンプ１２１又はブロワ１２２を保持ノズル１及び付属部保持ノズル５０に選択的に接続する切換部１２３と、バキュームポンプ１２１、ブロワ１２２及び切換部１２３を制御する制御部１２４とを含んでいる。

バキュームポンプ１２１は、流路Ｐ１及びＰ２を通じて保持ノズル１内部の空気を掃引することにより収容部２０の内部を負圧状態にし、保持ノズル１にパネル組立体Ｗのパネル部Ｗｐを吸着させる。また、付属部保持ノズル５０内部の空気を掃引することにより本体１１１の内部を負圧状態にし、付属部保持ノズル５０にパネル組立体の付属部Ｗａを吸着させる。ブロワ１２２は、流路Ｐ１及びＰ２を通じて保持ノズル１に空気を送り込むことにより収容部２０の内部を正圧状態にし、保持ノズル１からパネル部Ｗｐを離脱させると共に、付属部保持ノズル５０に空気を送り込むことにより本体１１１の内部を正圧状態にし、付属部保持ノズル５０から付属部Ｗａを離脱させる。制御部１２４は、バキュームポンプ１２１及びブロワ１２２を選択的に作動させると共に、切換部１２３を作動させ、バキュームポンプ１２１及びブロワ１２２のいずれか一方を保持ノズル１及び付属部保持ノズル５０に接続する。

制御ユニット２２０は、保持ヘッド１００によるパネル組立体Ｗの保持動作を制御する制御部１２４を含む。制御ユニット２２０は、移動ユニット２１０の水平移動機構２１１及び昇降移動機構２１２を駆動制御し、保持ヘッド１００を、供給部２３０に供給された供給トレイ２０１とベルトコンベア２０２との間で移動させ、供給トレイ２０１に載せられたパネル部Ｗｐ及び付属部Ｗａを含むパネル組立体Ｗを、保持ヘッド１００により吸着保持して搬送し、ベルトコンベア２０２に受け渡す。

上記のように構成された保持ノズル１を使用してパネル部Ｗｐを吸着保持する過程について、図５及び図６を参照して説明する。
まず、保持ノズル１をパネル部Ｗｐが置かれた移載元の上方に移動させ、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とが離間して対向した状態（図５（Ａ）の状態）とする。このとき、吸着部１２は自重により収容部２０に対して前進（下降）した位置にあり、連通部材４０を構成するジャバラパッド部４２の接続部４２ｃは口金部１３に当接している。一方、ジャバラパッド部４１の接続部４１ｃは負圧接続部２１から離間している。この状態では、ノズル支持部材１０１の流路Ｐ２を通じて保持ノズル１に負圧が付与されても、ジャバラパッド部４１の接続部４１ｃと負圧接続部２１との隙間、収容部２０の内部空間、及び孔３１と軸部１１との隙間を通じて保持ノズル１内に外気が吸引されるので、吸着部１２に負圧はほとんど付与されない。また、孔３１と軸部１１との隙間から外気が吸引されることにより、保持ノズル１内部で生じた発塵の吸引並びに同ノズル周辺の除塵がなされる。

図５（Ａ）の状態から、保持ノズル１をノズル支持部材１０１と共に予め設定された保持ノズル１の停止位置に向けて下降させ、保持ノズル１の下降動作の過程で、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とを接近させてお互いを密着させる（図５（Ｂ）の状態）。このとき、吸引機構１２０を保持ノズル１の下降動作と共に作動させ、負圧を発生させた状態にする。図５（Ａ）の状態から図５（Ｂ）の状態に移行させる過程で、吸着部１２の平面部１２ａがパネル部Ｗｐの被吸着面（上向きの表面）に当接され、保持ノズル１を下降させる下向きの力がパネル部Ｗｐに対して付与される。しかしながら、吸着部１２を含む吸着部材１０は、吸着部材支持部３０に進退移動自在に支持されているので、保持ノズル１を下降させる下向きの力は、吸着部材１０の移動により吸収され、パネル部Ｗｐに作用することはない。パネル部Ｗｐに作用するのは、吸着部１２を含む吸着部材１０と連通部材４０とを合わせた重量のみである。

図５（Ｂ）の状態、すなわち吸着部１２がパネル部Ｗｐの上面に接した後も、保持ノズル１の下降を継続させ、予め設定された保持ノズル１の停止位置まで移動させる（図６（Ａ）の状態）。図５（Ｂ）の状態から図６（Ａ）の状態に移行する過程で、保持ノズル１と共に下方へ移動する吸着部１２の移動が、パネル部Ｗｐに規制される。その後も更に保持ノズル１及び吸着部１２を下方へ移動させると、吸着部材１０は移動できないが、ノズル支持部材１０１、収容部２０及び吸着部材支持部３０が下方へ移動される。そのため、吸着部材支持部３０が吸着部材１０の軸部１１に沿って下方へ移動され、見かけ上、軸部１１及び口金部１３が収容部２０内へと進入される。これにより、ジャバラパッド部４１の接続部４１ｃと負圧接続部２１との間の距離が縮まって、負圧接続部２１が接続部４１ｃに当接される。さらに保持ノズル１を下方へ移動させると、負圧接続部２１がジャバラパッド部４１の接続部４１ｃに押し付けられると共に、ジャバラパッド部４２の接続部４２ｃが口金部１３に押し付けられる。これにより、接続部４１ｃと負圧接続部２１とが密着すると共に、接続部４２ｃと口金部１３とが密着するので、連通部材４０の内部における口金部１３と負圧接続部２１との間で、吸着部１２に負圧を与える流路Ｐ１が形成される。

吸引機構１２０の吸引状態によって流路Ｐ１が形成されると、パネル部Ｗｐが吸着部１２に吸着される。吸着部１２は、吸着部材支持部３０に揺動可能に支持されているので、パネル部Ｗｐの傾斜に倣って吸着部１２が揺動し、平面部１２ａとパネル部Ｗｐとが密着し吸着保持される。ジャバラパッド部４１、４２のジャバラ部は、流路Ｐ１の負圧作用により収縮し、接続部４１ｃと接続部４２ｃとが相互に接近する方向に移動する（ジャバラ部が縮む）ことで、吸着されたパネル部Ｗｐを供給トレイ２０１の載置面から離間（引き上げ）させる。そのため、パネル部Ｗｐに過剰な負荷が付与されること無く、パネル部Ｗｐを吸着保持し、供給トレイ２０１から取り出すことができる。パネル部Ｗｐを吸着保持した吸着部１２は、平面部１２ａと反対側の面となる被保持規定部１２ｄが被保持規定部１２ｄに対向して設けられた吸着部材支持部３０の保持規定部３０ａに当接し、吸着部１２の保持時の状態が維持される。

吸着部１２がパネル部Ｗｐを吸着保持すると共に、保持ノズル１が予め設定されている取り出し停止位置に到達した時点で保持ノズル１の下降が停止される。例えば、吸着部材支持部３０の下端が、吸着部材１０における吸着部１２の上面（被保持基底部１２ｄ）に当接する位置が取り出し停止位置とされる。図６（Ａ）の状態から保持ノズル１を更に上昇させることで、パネル部Ｗｐの取り出しが完了した状態（図６（Ｂ）の状態）へ移行される。図６（Ａ）の状態から図６（Ｂ）の状態に移行する過程で、吸着部１２に吸着されたパネル部Ｗｐは保持ノズル１と共に上昇される。保持ノズル１が所定の高さに至った時点で、保持ノズル１の上昇が停止され、続いて保持ノズル１は移載先に向けてパネル部Ｗｐと共に水平移動される。保持ノズル１が移載先の上方に到達した時点で保持ノズル１の水平移動が停止される。その後、保持ノズル１が下降移動され、移載先（本実施例においては、ベルトコンベア２０２）の載置位置にパネル部Ｗｐが載置される。このパネル部Ｗｐの載置と同時またはほぼ同時のタイミングで、切換部１２３を作動させて流路Ｐ１との接続系統をバキュームポンプからブロワに切り換える。これにより、負圧の付与が停止されるとともにエアブローが行われ、吸着部１２からパネル部Ｗｐが外れ、移載先に受け渡される。

上記のように構成された保持ノズル１によれば、吸着部１２をパネル部Ｗｐに当接させたとき、パネル部Ｗｐには、吸着部１２を含む吸着部材１０と連通部材４０とを合わせた重量のみが作用し、移載装置２００が保持ノズル１を下降させる下向きの力がパネル部Ｗｐに作用することはない。したがって、パネル部Ｗｐに、吸着部１２を介して表示面を凹ませる方向に大きな負荷がかかるのを防止することができる。また、吸着部１２を、口金部１３を支点として水平方向に傾動自在に設けたことから、保持ノズル１を下降させて吸着部１２の平面部１２ａをパネル組立体Ｗのパネル部Ｗｐに当接させた際に、吸着部１２がパネル部Ｗｐの被吸着面の向き（傾斜）に倣って傾くことができ、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とが平行になる。したがって、平面部１２ａとパネル部Ｗｐとが偏ることなく均一に面接触する。そして、吸着部１２のパネル部Ｗｐに当接する平面部１２ａは、平面部１２ａとパネル部Ｗｐとが偏ることなく均一に面接触することにより、複数の溝１２ｂ、１２ｃとパネル部Ｗｐの被吸着面との間で吸引力が分散されるので、パネル部Ｗｐの被吸着面に吸着痕が付くのを防止することができる。

加えて、連通部材４０の両端に形成された接続部４１ｃ、４２ｃには、それぞれジャバラ状の伸縮部４１ｂ、４２ｂが隣接しているので、口金部１３と負圧接続部２１とが接近すると、ジャバラ部の弾性作用によって接続部４１ｃが負圧接続部２１に確実に密着すると共に、接続部４２ｃが口金部１３に確実に密着する。また、連通部材４０は、ガイド部材４５によって収容部２０内の軸心ほぼ中央に位置付けられている。したがって、流路Ｐ１が、口金部１３と負圧接続部２１との間で連通部材４０を通じて確実に形成される。なお、本実施形態では、ガイド部材４５は連通部材４０に係合されているが、ガイド部材４５の外径を収容部２０の内径にほぼ等しくし、ガイド部材４５の内径を連通部材４０の外径よりも大きくしてガイド部材４５を収容部２０に固定し、ガイド部材４５の内側で連通部材４０が上下に動くようにしてもよい。

(変形例１)
図７に示すように、上記第一の実施形態の変形例としての保持ノズル１Ａでは、収容部２０の内周部に沿って周方向に周囲に亘って溝部２０ａが形成される。保持部材４６は、外径が収容部２０の内径よりも大きい環状体（例えば、スナップリング）であり、環状体の外周側が溝部２０ａに勘合され、保持部材４６は、収容部２０の内部の所定の位置に装着される。保持部材４６の内径は、ジャバラパッド部４２の基端部４２ａの外径よりも大きく、かつ円板部４３ａの外径よりも小さく形成されており、保持部材４６の内側に通された連通部材４０は、円板部４３ａを保持部材４６に係止されることで、ジャバラパッド部４１の接続部４１ｃを負圧接続部２１に当接させた状態で、収容部２０内の軸心方向と平行な所定の位置に保持されている。

本変形例の場合、吸着部１２が収容部２０に対して前進した位置にあるときは、口金部１３も負圧接続部２１から離間した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、連通部材４０の全長よりも長い。そのため、ジャバラパッド部４２の接続部４２ｃは口金部１３から離間しており、接続部４２ｃと口金部１３との間には隙間が生じている。一方、吸着部１２が収容部２０に対して後退した位置にあるときは、口金部１３が負圧接続部２１に接近した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、連通部材４０の全長よりも短くなる。そのため、吸着部１２が後退すると、ジャバラパッド部４２の接続部４２ｃが口金部１３に密着される。

上記のように構成された保持ノズル１Ａを、保持ノズル１に代えてノズル支持部材（１０１）に取り付け、パネル部Ｗｐを保持ノズル１Ａにて吸着保持するには、まず、保持ノズル１Ａをパネル部Ｗｐが置かれた移載元の上方に配置し、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とが離間して対向した状態とする。このとき、吸着部１２は自重により収容部２０に対して前進（下降）した位置にあり、ジャバラパッド部４２の接続部４２ｃは、口金部１３から離間している。この状態では、ノズル支持部材の流路（Ｐ２）を通じて保持ノズル１Ｂに負圧が付与されても、接続部４２ｃと口金部１３との隙間、収容部２０の内部空間、及び孔３１と軸部１１との隙間を通じて保持ノズル１Ａ内に外気が吸引されるので、吸着部１２に負圧はほとんど付与されない。また、孔３１と軸部１１との隙間から外気が吸引されることにより、保持ノズル１Ａ内部で生じた発塵の吸引並びに同ノズル周辺の除塵がなされる。

上記の状態から、保持ノズル１Ａをノズル支持部材１０１と共に予め設定された保持ノズル１Ａの停止位置に向けて下降させ、保持ノズル１Ａの下降動作の過程で、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とを接近させてお互いを密着させる。このとき、吸引機構１２０を保持ノズル１Ａの下降動作と共に作動させ、負圧を発生させた状態にする。吸着部１２を含む吸着部材１０は、吸着部材支持部３０に進退移動自在に支持されているので、保持ノズル１Ａを下降させる下向きの力は、吸着部材１０の移動により吸収され、パネル部Ｗｐに作用することはない。しかも、本変形例では、連通部材４０が保持部材４６により収容部２０に保持されているので、パネル部Ｗｐに作用するのは、吸着部１２を含む吸着部材１０の重量のみである。

吸着部１２がパネル部Ｗｐの上面に接した後も、保持ノズル１Ａの下降を継続させ、予め設定された保持ノズル１Ａの停止位置まで移動させると、保持ノズル１Ａと共に下方へ移動する吸着部１２の移動が、パネル部Ｗｐに規制される。その後も更に保持ノズル１Ａ及び吸着部１２を下方へ移動させると、吸着部材１０は移動できないが、ノズル支持部材１０１、収容部２０及び吸着部材支持部３０が下方へ移動される。これによって、吸着部材支持部３０が吸着部材１０の軸部１１に沿って下方へ移動され、見かけ上、軸部１１及び口金部１３が収容部２０内へと進入される。これによって、ジャバラパッド部４２の接続部４２ｃと口金部１３との間の距離が縮まって、口金部１３が接続部４２ｃに当接される。さらに保持ノズル１Ａを下方へ移動させると、負圧接続部２１がジャバラパッド部４１の接続部４１ｃに押し付けられると共に、ジャバラパッド部４２の接続部４２ｃが口金部１３に押し付けられる。これにより、接続部４１ｃと負圧接続部２１とが密着すると共に、接続部４２ｃと口金部１３とが密着するので、連通部材４０の内部における口金部１３と負圧接続部２１との間で、吸着部１２に負圧を与える流路Ｐ１が形成され、これによってパネル部Ｗｐが吸着部１２に吸着される。

上記のように構成された保持ノズル１Ａによれば、第一の実施形態（保持ノズル１）により得られる効果に加えて、以下の効果を奏する。すなわち、連通部材４０の一端が負圧接続部２１に接しており、吸着部材１０の変位に応じて、接続部４２ｃが口金部１３に当接したり離間したりする。つまり、吸着部材１０の重量のみがパネル部Ｗｐに付与されるので第一の実施形態の保持ノズル１よりも更にパネル部Ｗｐへのストレスが軽減され、パネル部Ｗｐの品質が維持される。

（変形例２）
図８に示すように、上記第一の実施形態の変形例としての保持ノズル１Ｂでは、連通部材４０の長さが、吸着部１２が収容部２０に対して前進し、口金部１３が負圧接続部２１から離間した位置にあるときの口金部１３と負圧接続部２１との間の距離よりも大きく構成されている。具体的には、伸縮部４１ｂ及び伸縮部４２ｂを若干収縮させた状態で収容部２０に連通部材４０を収容させている。そのため、口金部１３が負圧接続部２１から離間した位置にあるときでも、接続部４１ｃが負圧接続部２１に当接すると共に、接続部４２ｃが口金部１３に当接している。

上記のように構成された保持ノズル１Ｂを、保持ノズル１に代えてノズル支持部材（１０１）に取り付け、パネル部Ｗｐを吸着保持するには、まず、保持ノズル１Ｂをパネル部Ｗｐが置かれた移載元の上方に配置し、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とが離間して対向した状態とする。このとき、吸着部１２が収容部２０に対して前進し、口金部１３が負圧接続部２１から離間した位置にあるものの、保持ノズル１Ｂでは、この状態においても接続部４１ｃが負圧接続部２１に当接すると共に、接続部４２ｃが口金部１３に当接している。

上記の状態から、保持ノズル１Ｂをノズル支持部材と共に下降させると共に吸引機構１２０を作動させ、負圧を発生させた状態とする。その過程で吸着部１２がパネル部Ｗｐの被吸着面に当接するが、吸着部１２を含む吸着部材１０は、吸着部材支持部３０に進退移動自在に支持されているので、保持ノズル１Ｂを下降させる下向きの力が、吸着部材１０を介してパネル部Ｗｐに作用しても、直ちに伸縮部４１ｂ及び伸縮部４２ｂが収縮し、パネル部Ｗｐに対してほとんど負荷がかからない。しかも、既に接続部４１ｃが負圧接続部２１に密着されると共に、接続部４２ｃが口金部１３に密着されており、連通部材４０の内部に、口金部１３と負圧接続部２１との間で吸着部１２に負圧を与える流路Ｐ１が確保されているので、パネル部Ｗｐが吸着部１２に瞬時に吸着保持される。

上記のように構成された保持ノズル１Ｂによれば、上記の保持ノズル１により得られる効果に加えて、以下の効果を奏する。すなわち、連通部材４０の両端に形成された接続部４１ｃ、４２ｃが、口金部１３と負圧接続部２１とに常に接しているので、吸着部１２にパネル部Ｗｐが瞬時に吸着保持され、パネル部Ｗｐにはほとんど負荷が付与されない。これにより、パネル部Ｗｐの品質を維持できる。

（第二の実施形態）
図９に示すように、本発明の第二の実施形態としての保持ノズル２では、連通部材の形状が第一の実施形態とは異なる。すなわち、保持ノズル２の連通部材４０は、収容部２０内に、負圧接続部２１と吸着部材１０の口金部１３との間に位置するように収容されており、長手方向に内孔が開通されたエラストマ製のジャバラパッド部１４１を有し、その内部にはバキュームポンプの動作により流体が移動する流路Ｐ１の一部を構成する中空部１４３が形成されている。

ジャバラパッド部１４１は、円筒状の基端部（第一の連結部）１４１ａと、基端部１４１ａに一体成形されたジャバラ状の弾性変形可能な伸縮部１４１ｂと、基端部１４１ａの先端にあって負圧接続部２１に接続される接続部（第一の接続部）１４１ｃと、伸縮部１４１ｂの先端にあって口金部１３に接続される接続部（第二の接続部）１４１ｄとを含む。なお、ジャバラパッド部１４１には、第一の実施形態におけるジャバラパッド部４１、４２と同じ部材が使用されている。一方、収容部２０の内側には、負圧接続部２１から口金部１３に向けて突き出した筒状部（収容接続部）２２が形成されている。筒状部２２の先端には、ジャバラパッド部１４１の筒状部２２からの離脱防止のために鍔部２３が形成されている。

ジャバラパッド部１４１の基端部１４１ａは、鍔部２３を内側に収めるようして収容部２０側の筒状部２２に被着されている。ジャバラパッド部１４１の内孔１４１ｅは、筒状部２２の内孔２２ａを通じて負圧接続部２１に連通しており、これら一連の内孔が中空部１４３をなし、口金部１３と負圧接続部２１との間で流路Ｐ１を形成する。

本実施形態の場合、吸着部１２が収容部２０から離間した位置にあるときは、口金部１３も負圧接続部２１から離間した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、ジャバラパッド部１４１の全長よりも長い。そのため、ジャバラパッド部１４１の接続部１４１ｄは口金部１３から離間して隙間が生じている。一方、吸着部１２が収容部２０に接近した位置にあるときは、口金部１３も負圧接続部２１に接近した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、ジャバラパッド部１４１の全長よりも短くなる。そのため、吸着部１２が後退すると、ジャバラパッド部１４１の接続部１４１ｄが口金部１３に密着される。また、本実施例の場合、ジャバラパッド部１４１が筒状部２２に被着されているので、ジャバラパッド部１４１を収容部２０の軸心に維持させるためのガイド部材４５が不要となる。

上記のように構成された保持ノズル２を、保持ノズル１に代えてノズル支持部材（１０１）に取り付け、パネル部Ｗｐを吸着保持するには、まず、保持ノズル２をパネル部Ｗｐが置かれた移載元の上方に配置し、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とが離間して対向した状態とする。このとき、吸着部１２は自重により収容部２０に対して前進した位置にあり、ジャバラパッド部１４１の接続部１４１ｄは、口金部１３から離間している。この状態では、ノズル支持部材の流路（Ｐ２）を通じて保持ノズル２に負圧が付与されても、接続部１４１ｄと口金部１３との隙間、収容部２０の内部空間、及び孔３１と軸部１１との隙間を通じて保持ノズル２内に外気が吸引されるので、吸着部１２に負圧はほとんど付与されないが、孔３１と軸部１１との隙間から外気が吸引されることにより、保持ノズル２内部で生じた発塵の吸引並びに同ノズル周辺の除塵がなされる。

上記の状態から、保持ノズル２をノズル支持部材１０１と共に予め設定された保持ノズル２の停止位置に向けて下降させ、保持ノズル２の下降動作の過程で、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とを接近させてお互いを密着させる。このとき、吸引機構１２０を保持ノズル２の下降動作と共に作動させ、負圧を発生させた状態にする。吸着部１２を含む吸着部材１０は、吸着部材支持部３０に進退移動自在に支持されているので、保持ノズル２を下降させる下向きの力は、吸着部材１０の移動により吸収され、パネル部Ｗｐに作用することはない。パネル部Ｗｐに作用するのは吸着部１２を含む吸着部材１０の重量のみである。

吸着部１２がパネル部Ｗｐの上面に接した後も、保持ノズル２の下降を継続させ、予め設定された保持ノズル２の停止位置まで移動させると、保持ノズル２と共に下方へ移動する吸着部１２の移動が、パネル部Ｗｐに規制される。その後も更に保持ノズル２及び吸着部１２を下方へ移動させると、吸着部材１０は移動できないが、ノズル支持部材１０１、収容部２０及び吸着部材支持部３０が下方へ移動される。これによって、吸着部材支持部３０が吸着部材１０の軸部１１に沿って下方へ移動され、見かけ上、軸部１１及び口金部１３が収容部２０内へと進入される。これによって、ジャバラパッド部１４１の接続部１４１ｄと口金部１３との間の距離が縮まって、口金部１３が接続部１４１ｄに当接される。さらに保持ノズル２を下方へ移動させると、接続部１４１ｄが口金部１３に押し付けられる。これにより、接続部１４１ｄと口金部１３とが密着するので、連通部材４０の内部における口金部１３と負圧接続部２１との間で、吸着部１２に負圧を与える流路Ｐ１が形成され、これによってパネル部Ｗｐが吸着部１２に吸着される。

上記のように構成された保持ノズル２によれば、第一の実施形態の変形例（保持ノズル１Ａ）により得られる効果に加えて、以下の効果を奏する。すなわち、連通部材４０の部品数が少なく、保持ノズル２そのものを小さく製作することができ、製作コストの削減が図れる。また、保持ノズル２を小型軽量に仕上げることが可能であり、保持ノズル２を移動させる移動ユニット（２１０）の動作性が向上する。

（第三の実施形態）
図１０に示すように、本発明の第三の実施形態としての保持ノズル３では、連通部材の配置が第二の実施形態と異なる。すなわち、保持ノズル３の連通部材４０は、収容部２０内に、負圧接続部２１と吸着部材１０の口金部１３との間に位置するように収容されており、長手方向に内孔が開通されたエラストマ製のジャバラパッド部１４２を有し、その内部にはバキュームポンプの動作により流体が移動する流路Ｐ１の一部を構成する中空部１４３が形成されている。

ジャバラパッド部１４２は、円筒状の基端部（第一の連結部）１４２ａと、基端部１４２ａに一体成形されたジャバラ状の弾性変形可能な伸縮部１４２ｂと、伸縮部１４２ｂの先端にあって負圧接続部２１に接続される接続部（第一の接続部）１４２ｃと、基端部１４２ａの先端にあって口金部１３に接続される接続部（第二の接続部）１４２ｄと含む。なお、ジャバラパッド部１４２には、第一の実施形態におけるジャバラパッド部４１、４２と同じ部材が使用されている。一方、口金部１３の上部には、負圧接続部２１に向けて突き出した筒状部（吸着接続部）１５が形成されている。筒状部１５の先端には、ジャバラパッド部１４２の筒状部１５からの離脱防止のために鍔部１６が形成されている。

ジャバラパッド部１４２の基端部１４２ａは、鍔部１６を内側に収めるようして口金部１３側の筒状部１５に被着されている。ジャバラパッド部１４２の内孔１４２ｅは、筒状部１５の内孔１５ａを通じて口金部１３に連通しており、これら一連の内孔が中空部１４３をなし、口金部１３と負圧接続部２１との間で流路Ｐ１を形成する。

本実施形態の場合、吸着部１２が収容部２０から離間した位置にあるときは、口金部１３も負圧接続部２１から離間した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、ジャバラパッド部１４２の全長よりも長い。一方、吸着部１２が収容部２０に接近した位置にあるときは、口金部１３も負圧接続部２１に接近した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、ジャバラパッド部１４２の全長よりも短くなる。そのため、吸着部１２が後退すると、ジャバラパッド部１４２の接続部１４２ｃが負圧接続部２１に密着される。また、本実施例の場合、ジャバラパッド部１４２が口金部１３に被着されているので、ジャバラパッド部１４２を収容部２０の軸心に維持させるためのガイド部材４５が不要となる。

上記のように構成された保持ノズル３を、保持ノズル１に代えてノズル支持部材（１０１）に取り付け、パネル部Ｗｐを吸着保持するには、まず、保持ノズル３をパネル部Ｗｐが置かれた移載元の上方に配置し、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とが離間して対向した状態とする。このとき、吸着部１２は自重により収容部２０に対して前進（下降）した位置にあり、ジャバラパッド部１４２の接続部１４２ｃは、負圧接続部２１から離間している。この状態では、ノズル支持部材の流路（Ｐ２）を通じて保持ノズル３に負圧が付与されても、接続部１４２ｃと負圧接続部２１との隙間、収容部２０の内部空間、及び孔３１と軸部１１との隙間を通じて保持ノズル３内に外気が吸引されるので、吸着部１２に負圧はほとんど付与されないが、孔３１と軸部１１との隙間から外気が吸引されることにより、保持ノズル３内部で生じた発塵の吸引並びに同ノズル周辺の除塵がなされる。

上記の状態から、保持ノズル３をノズル支持部材１０１と共に予め設定された保持ノズル３の停止位置に向けて下降させ、保持ノズル３の下降動作の過程で、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とを接近させてお互いを密着させる。このとき、吸引機構１２０を保持ノズル３の下降動作と共に作動させ、負圧を発生させた状態にする。吸着部１２を含む吸着部材１０は、吸着部材支持部３０に進退移動自在に支持されているので、保持ノズル３を下降させる下向きの力は、吸着部材１０の移動により吸収され、パネル部Ｗｐに作用することはない。パネル部Ｗｐに作用するのは吸着部１２を含む吸着部材１０の重量のみである。

吸着部１２がパネル部Ｗｐの上面に接した後も、保持ノズル３の下降を継続させ、予め設定された保持ノズル３の停止位置まで移動させると、保持ノズル３と共に下方へ移動する吸着部１２の移動が、パネル部Ｗｐに規制される。その後も更に保持ノズル３及び吸着部１２を下方へ移動させると、吸着部材１０は移動できないが、ノズル支持部材１０１、収容部２０及び吸着部材支持部３０が下方へ移動される。これによって、吸着部材支持部３０が吸着部材１０の軸部１１に沿って下方へ移動され、見かけ上、軸部１１及び口金部１３が収容部２０内へと進入される。これによって、ジャバラパッド部１４２の接続部１４２ｃと負圧接続部２１との間の距離が縮まって、負圧接続部２１が接続部１４２ｃに当接される。さらに保持ノズル３を下方へ移動させると、接続部１４２ｃが負圧接続部２１に押し付けられる。これにより、接続部１４２ｃと負圧接続部２１とが密着するので、連通部材４０の内部における口金部１３と負圧接続部２１との間で、吸着部１２に負圧を与える流路Ｐ１が形成され、これによってパネル部Ｗｐが吸着部１２に吸着される。

上記のように構成された保持ノズル３によれば、第一の実施形態（保持ノズル１）により得られる効果に加えて、第二の実施形態（保持ノズル２）と同様の効果を奏する。すなわち、連通部材４０の部品数が少なく、保持ノズル３そのものを小さく製作することができ、製作コストの削減が図れる。さらに、保持ノズル３を小型軽量に仕上げることが可能であり、保持ノズル３を移動させる移動ユニット（２１０）の動作性が向上する。

（第四の実施形態）
図１１に示すように、本発明の第四の実施形態としての保持ノズル４では、連通部材の形状が第一から第三のいずれの実施形態とも異なる。すなわち、保持ノズル４の連通部材４０はジャバラ部１４４を有し、その内部にはバキュームポンプの動作により流体が移動する流路Ｐ１の一部を構成する中空部１４３が形成されている。

ジャバラ部１４４は、長さ方向の全体がジャバラ状の弾性変形可能な伸縮部１４４ａと、伸縮部１４４ａの一端にあって負圧接続部２１に接続される接続部（第一の接続部）１４４ｂと、伸縮部１４４ａの他端にあって口金部１３に接続される接続部（第二の接続部）１４４ｃとを含む。ジャバラ部１４４は、負圧接続部２１にも口金部１３にも連結されてはおらず、収容部２０の内部に、長手方向を収容部２０と一致させて配置されており、接続部１４４ｃは、ジャバラ部１４４の自重により口金部１３に当接されている。また、ジャバラ部１４４の外径は、収容部２０の内周径より若干小さく設定されており、ガイド部材４５が無くても収容部２０の軸心とジャバラ部１４４の軸心とがほぼ一致するようにジャバラ部１４４が収容部２０内に収容されている。

本実施形態の場合、吸着部１２が収容部２０から離間した位置にあるときは、口金部１３も負圧接続部２１から離間した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、ジャバラ部１４４の全長よりも長い。一方、吸着部１２が収容部２０に接近した位置にあるときは、口金部１３も負圧接続部２１に接近した位置にあるため、口金部１３と負圧接続部２１との間の距離は、ジャバラ部１４４の全長よりも短くなる。そのため、吸着部１２が後退すると、ジャバラ部１４４の接続部１４４ｂが負圧接続部２１に密着される。

上記のように構成された保持ノズル４を、保持ノズル１に代えてノズル支持部材（１０１）に取り付け、パネル部Ｗｐを吸着保持するには、まず、保持ノズル４をパネル部Ｗｐが置かれた移載元の上方に配置し、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とが離間して対向した状態とする。このとき、吸着部１２は自重により収容部２０に対して前進（下降）した位置にあり、ジャバラ部１４４の接続部１４４ｂは、負圧接続部２１から離間している。この状態では、ノズル支持部材の流路（Ｐ２）を通じて保持ノズル４に負圧が付与されても、接続部１４４ｂと負圧接続部２１との隙間、収容部２０の内部空間、及び孔３１と軸部１１との隙間を通じて保持ノズル４内に外気が吸引されるので、吸着部１２に負圧はほとんど付与されないが、孔３１と軸部１１との隙間から外気が吸引されることにより、保持ノズル４内部で生じた発塵の吸引並びに同ノズル周辺の除塵がなされる。

上記の状態から、保持ノズル４をノズル支持部材と共に予め設定された保持ノズル４の停止位置に向けて下降させ、保持ノズル４の下降動作の過程で、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とを接近させてお互いを密着させる。このとき、吸引機構１２０を保持ノズル４の下降動作と共に作動させ、負圧を発生させた状態にする。吸着部１２を含む吸着部材１０は、吸着部材支持部３０に進退移動自在に支持されているので、保持ノズル４を下降させる下向きの力は、吸着部材１０の移動により吸収され、パネル部Ｗｐに作用することはない。パネル部Ｗｐに作用するのは、吸着部１２を含む吸着部材１０とジャバラ部１４４とを合わせた重量のみである。

吸着部１２がパネル部Ｗｐの上面に接した後も保持ノズル４の下降を継続させ、予め設定された保持ノズル４の停止位置まで移動させると、保持ノズル４と共に下方へ移動する吸着部１２の移動が、パネル部Ｗｐに規制される。その後も更に保持ノズル４及び吸着部１２を下方へ移動させると、吸着部材１０は移動できないが、ノズル支持部材１０１、収容部２０及び吸着部材支持部３０が下方へ移動される。これによって、吸着部材支持部３０が吸着部材１０の軸部１１に沿って下方へ移動され、見かけ上、軸部１１及び口金部１３が収容部２０内へと進入される。これによって、ジャバラ部１４４の接続部１４４ｂと負圧接続部２１との間の距離が縮まって、負圧接続部２１が接続部１４４ｂに当接される。さらに保持ノズル４を下方へ移動させると、負圧接続部２１がジャバラ部１４４の接続部１４４ｂに押し付けられる。これにより、接続部１４４ｂと負圧接続部２１とが密着するので、連通部材４０の内部における口金部１３と負圧接続部２１との間で、吸着部１２に負圧を与える流路Ｐ１が形成され、これによってパネル部Ｗｐが吸着部１２に吸着される。

上記のように構成された保持ノズル４によれば、第一の実施形態（保持ノズル１）により得られる効果に加えて、以下の効果を奏する。すなわち、連通部材４０の部品数が少なく、また、ジャバラ部１４４の全長が伸縮部１４４ａと同じなので伸縮部１４４ａの全長を必要最小限の大きさにすることが可能となり、保持ノズル４そのものを更に小さく製作することができる。これにより、製作コストの削減が図れる。さらに、保持ノズル４を小型軽量に仕上げることが可能であり、保持ノズル４を移動させる移動ユニット（２１０）の動作性が向上する。

（変形例３）
図１２に示すように、上記第一の実施形態の変形例としての保持ノズル４Ａでは、連通部材４０を構成するジャバラ部１４４の長さが、吸着部１２が収容部２０に対して前進し、口金部１３が負圧接続部２１から離間した位置にあるときの口金部１３と負圧接続部２１との間の距離にほぼ等しくされている。そのため、口金部１３が負圧接続部２１から離間した位置にあるときでも、接続部１４４ｂが負圧接続部２１に当接すると共に、接続部１４４ｃが口金部１３に当接している。

上記のように構成された保持ノズル４Ａを、保持ノズル１に代えてノズル支持部材（１０１）に取り付け、パネル部Ｗｐを吸着保持するには、まず、保持ノズル４Ａをパネル部Ｗｐが置かれた移載元の上方に配置し、吸着部１２の平面部１２ａとパネル部Ｗｐの被吸着面とが離間して対向した状態とする。このとき、吸着部１２が収容部２０に対して前進し、口金部１３が負圧接続部２１から離間した位置にあるものの、保持ノズル４Ａでは、この状態においても接続部１４４ｂが負圧接続部２１に当接すると共に、接続部１４４ｃが口金部１３に当接している。

上記の状態から、保持ノズル４Ａをノズル支持部材と共に下降させると共に吸引機構１２０を作動させ、負圧を発生させた状態とする。その過程で吸着部１２がパネル部Ｗｐの被吸着面に当接するが、吸着部１２を含む吸着部材１０は、吸着部材支持部３０に進退移動自在に支持されているので、保持ノズル４Ａを下降させる下向きの力が、吸着部材１０を介してパネル部Ｗｐに作用しても、直ちに伸縮部１４４ａが収縮し、パネル部Ｗｐに対してほとんど負荷がかからない。しかも、既に接続部１４４ｂが負圧接続部２１に密着されると共に、接続部１４４ｃが口金部１３に密着されており、ジャバラ部１４４の内部に、口金部１３と負圧接続部２１との間で吸着部１２に負圧を与える流路Ｐ１が確保されているので、パネル部Ｗｐが吸着部１２に瞬時に吸着保持される。

上記のように構成された保持ノズル４Ａによれば、上記の保持ノズル４により得られる効果に加えて、以下の効果を奏する。すなわち、ジャバラ部１４４の両端に形成された接続部１４４ｂ、１４４ｃが、口金部１３と負圧接続部２１とに常に接しているので、吸着部１２にパネル部Ｗｐが瞬時に吸着保持され、パネル部Ｗｐにはほとんど負荷が付与されない。これにより、パネル部Ｗｐの品質を維持できる。

（第五の実施形態）
図１３に示すように、本発明の第五の実施形態としての保持ノズル５では、孔３１の内周面と軸部１１の外周面との間にはわずかな隙間が設けられている。これにより、吸着部１２が、口金部１３を支点として吸着部材支持部３０に対して揺動可能とされている。さらに、孔３１の内径が、孔３１の長手方向のほぼ中央から吸着部１２側の開口３１ａに向かって徐々に連続して拡大されており、孔３１の開口３１ａにテーパ状のファンネル部（吸着ガイド部）３２を形成している。一方、軸部１１の外径は、軸部１１の長手方向のほぼ中央から吸着部１２に向かって徐々に連続して拡大されており、軸部１１と吸着部１２との間にテーパ状の拡径部（吸着被ガイド部）１４を形成している。収容部２０の長手方向の軸線Ｏに対するファンネル部３２の傾斜角は、軸線Ｏに対する拡径部１４の傾斜角と同じに設定されている。ファンネル部３２は、吸着部１２が収容部２０に対して後退したとき、拡径部１４に接し、吸着部１２の平面部１２ａが収容部２０の長手方向の軸線Ｏに対して垂直となるように、吸着部１２の向きを変化させる。

移載装置２００においては、複数のパネル組立体Ｗが供給トレイ２０１に載せられた状態で、保持ヘッド１００の下方に順次供給されるが、供給トレイ２０１に載せられたパネル組立体Ｗは、被吸着面の向き（傾斜）が各々に微妙に異なる可能性がある。その場合、吸着部１２の平面部１２ａと、吸着部１２の直下に位置するパネル組立体Ｗのパネル部Ｗｐの被吸着面とが平行にはらない。しかしながら、上記のように構成された保持ノズル５によれば、吸着部１２が、口金部１３を支点として横方向に全方位的に揺動することを許容されている。これにより、保持ノズル１を下降させて吸着部１２の平面部１２ａをパネル組立体Ｗのパネル部Ｗｐの被吸着面に当接させると、吸着部１２がパネル部Ｗｐの被吸着面の向き（傾斜）に倣って揺動し、吸着部１２の平面部１２ａがパネル部Ｗｐの被吸着面と平行になるので、平面部１２ａとパネル部Ｗｐとが、接圧が均等になるように面接触し、確実に吸着保持される。
そして、吸引機構１２０の吸引動作により、パネル部Ｗｐを吸着した吸着部１２が収容部２０に対して後退すると、軸部１１の拡径部１４が吸着部材支持部３０のファンネル部３２にガイドされ、吸着部１２は、平面部１２ａが収容部２０の長手方向の軸線Ｏに対して垂直となるように向きが変化される。これにより、パネル組立体Ｗの姿勢を正すことができ、移載先のベルトコンベア２０２にパネル組立体Ｗを正しい姿勢で受け渡すことができる。

以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。本発明は前述した説明によって限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された事項によってのみ限定される。

本発明は、空気の負圧を利用して加工対象物を保持する保持ノズル、その保持ノズルを含む保持ヘッド、及びその保持ノズルに保持した加工対象物を移載する移載装置に関する。
本発明によれば、移載すべき加工対象物に歪みを生じさせたり吸着痕を残したりすることがなく、小型であることで移載装置による保持ノズルの動作性を損なうこともない。

Claims (14)

1. パネルを負圧により吸着保持する保持ノズルであって、
   前記パネルに接する吸着部、及び該吸着部の一端部に設けられ前記吸着部と連通する筒状の軸部を有する吸着部材と、
   前記吸着部材の前記軸部が収容される筒状の収容部と、
   前記収容部の一端側に設けられ、前記吸着部材が前記収容部に対して進退移動自在となるように前記軸部を支持する吸着部材支持部と、
   前記軸部の他端部に設けられた口金部と、
   前記収容部の他端側に設けられ、負圧発生源が接続される負圧接続部と、
   前記収容部内の前記負圧接続部と前記吸着部材支持部との間に収容され、前記負圧発生源により負圧を与えられる流体が流れる第一流路の一部を形成する中空部を有する連通部材とを備え、
   前記連通部材は、
   前記負圧接続部に接続される第一の接続部と、
   前記軸部の他端部に設けられた前記口金部に接続される第二の接続部と、
   前記第一、第二の接続部の間に設けられる弾性変形可能な伸縮部と
   を有し、
   前記吸着部材が前記収容部から離間した位置にあるとき、前記第一の接続部が前記負圧接続部から離間する、又は前記第二の接続部が前記口金部から離間する
   保持ノズル。
2. 吸着部材支持部は、
   前記吸着部材が前記収容部から離間した位置で前記口金部の移動を規定する係合支持部を含み、
   前記収容部は、前記第一の接続部が連結される収容接続部を含み、
   前記第一の接続部は、前記収容接続部を介して前記負圧接続部に固定される、請求項１に記載の保持ノズル。
3. 前記軸部は、前記第二の接続部が連結される吸着接続部を含み、
   前記第二の接続部は、前記吸着接続部を介して前記軸部に固定される、請求項１に記載の保持ノズル。
4. 前記連通部材は、
   前記第一の接続部、前記伸縮部、及び該伸縮部に連続して設けられた第一の連結部を有する第一成形部材と、
   前記第二の接続部、前記伸縮部、及び該伸縮部に連続して設けられた第二の連結部を有する第二成形部材と
   を有する、請求項１に記載の保持ノズル。
5. 前記連通部材は、前記第一の連結部と前記第二の連結部との間に介在して前記第一成形部材と前記第二成形部材とを連結し、前記中空部の一部を含む連結部材をさらに有する、請求項４に記載の保持ノズル。
6. 前記連通部材は、前記伸縮部に連続して設けられた第一の連結部をさらに有し、
   前記第一の接続部は、前記伸縮部に隣接して前記連通部材の一方の端部に設けられ、
   前記第二の接続部は、前記第一の連結部に隣接して前記連通部材の他方の端部に設けられる、請求項１に記載の保持ノズル。
7. 前記第一の接続部が前記伸縮部の一方の端部に設けられ、前記第二の接続部が前記伸縮部の他方の端部に設けられる、請求項１に記載の保持ノズル。
8. 前記連通部材の周囲に設けられ、前記連通部材を前記収容部内の中央に位置付けるガイド部材をさらに備える、請求項１に記載の保持ノズル。
9. 前記ガイド部材は、前記連通部材の周囲に当接可能なガイド内周部と、前記収容部の内周に当接可能なガイド外周部とを有し、
   前記ガイド部材は、前記連通部材を内側に配置される環状体であって、
   前記連通部材の伸縮方向における前記ガイド部材の寸法は、前記連通部材が収縮した状態においても前記連通部材の全長より短い、請求項８に記載の保持ノズル。
10. 前記伸縮部がジャバラ状に形成されている、請求項１から９のいずれか一項に記載の保持ノズル。
11. 前記吸着部材の軸部と前記吸着部材支持部との間に、前記吸着部材支持部に対して前記軸部の揺動を許容する隙間が形成され、
    前記吸着部材支持部は、前記パネルを吸着保持した前記吸着部材を前記パネル面と平行な方向の移動を規定しつつガイドする吸着ガイド部を有し、
    前記吸着部材は、前記吸着ガイド部にガイドされる吸着被ガイド部を有する、請求項１に記載の保持ノズル。
12. パネル部を含むパネル組立体を負圧により吸着保持する保持ヘッドであって、
    請求項１から１１のいずれか一項に記載の保持ノズルと、
    前記保持ノズルを支持するノズル支持部材と
    を備え、前記ノズル支持部材は、
    前記保持ノズルが接続される第一のノズル接続部と、
    前記第一のノズル接続部を介して前記第一流路と連通し、前記流体が流通される第二流路と
    を有する保持ヘッド。
13. 前記パネル組立体に含まれる付属部を負圧により吸着保持する付属部保持ノズルをさらに備え、前記ノズル支持部材は、
    前記付属部保持ノズルが接続される第二のノズル接続部と、
    前記第二のノズル接続部を介して前記付属部保持ノズルと連通し、前記流体が流通される第三流路と
    を有する、請求項１２に記載の保持ヘッド。
14. 移載元に供給されたパネル組立体を吸着保持して移載先に移動させる移載装置であって、
    パネル組立体を所定の位置に供給する供給部と、
    前記所定の位置に供給された前記パネル組立体を吸着保持する、請求項１２又は１３に記載の保持ヘッドと、
    前記保持ヘッドを移動させる移動ユニットと、
    前記保持ヘッドによる前記パネル組立体の保持動作、及び前記移動ユニットによる前記保持ヘッドの移動動作を制御する制御ユニットと
    を備える移載装置。

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