CN109420889A - 保持嘴、保持头及移载装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种保持嘴、保持头及移载装置。本发明所采用的保持嘴具备：吸附部件，具有与面板接触的吸附部及与该吸附部连通的轴部；用于收容轴部的收容部；吸附部件支撑部，以吸附部件相对于收容部进退移动自如的方式支撑轴部；与真空泵连接的负压连接部；和连通部件，被收容在收容部内的负压连接部与吸附部件支撑部之间，并且具有形成供流体移动的流路的一部分的中空部。连通部件具有与负压连接部连接的第一连接部、与轴部连接的第二连接部和设置在第一连接部与第二连接部之间的伸缩部。

Description

保持嘴、保持头及移载装置

本申请基于2017年8月30日在日本申请的专利申请2017-165887号要求优先权，并且在此援引其内容。

技术领域

本发明涉及一种利用空气负压来保持加工对象物的保持嘴、包括该保持嘴的保持头、以及用于移载保持在该保持嘴上的加工对象物的移载装置。

背景技术

使用利用空气负压实现保持的保持嘴来进行显示面板组装体等加工对象物的移动。具体而言，在通过将由弹性部件形成的吸盘状的吸附垫按压到加工对象物的平面部分并进行负压抽吸以吸附并保持加工对象物之后，使该加工对象物从移载起始地向移载目的地移动。

例如，在日本专利第394381号公报中记载了一种保持嘴，该保持嘴具备吸附垫部、被形成为与吸附垫部连接的波纹管部和被形成为与波纹管部连接的安装部。此外，在该日本专利文献中记载有具有保持头的移载装置，该保持头具有安装有保持嘴的杆和构造为能够通过流体压力使杆滑动的缸体部。该移载装置通过使保持头向供给部移动，利用吸附嘴来吸附并保持供给到供给部的加工对象物，并且从供给部取出该加工对象物后使之向移载目的地移动。

日本专利第3943481号公报的移载装置的操作对象为电子部件，该电子部件包括形成有电子电路的板状的基板部和连接到基板部的挠性膜状的布线部。为了保持这种具有性质不同的两个部位的加工对象物，JP3943481B2的移载装置具备运送头，该运送头包括：具有吸附到基板部的吸盘状吸附垫的吸附保持部；和通过与布线部面接触而进行吸附的突出部，该移载装置利用该运送头来吸附并保持基板部和布线部的同时，利用运送机构来移载加工对象物。

另外，在日本专利公开2006-137000号公报中记载有用于缓解在吸附并保持加工对象物时施加到加工对象物的冲击的吸附垫。具体而言，通过在吸附垫的主体与包括吸附部的可动部件之间覆盖皱纹管以在其内部形成气室，并且控制气室内部的压力，从而对可动部件作用朝向上方的拉力，使可动部件的重量相对减轻，由此缓解在吸附部吸附到加工对象物时的冲击。

但是，在以液晶显示器或有机电致发光显示器等的显示面板组装体作为加工对象物，并且在该加工对象物的移动中采用日本专利第3943481号公报中记载的移载装置的情况下，使保持嘴向下方移动并将吸附垫按压到面板部的显示面上。因此，由于用于使保持嘴下降的朝向下方的力作用于面板部，经由吸附垫对面板部的显示面的一部分施加朝向下方的负荷，有可能会因在面板部上生成歪曲而对显示面板的品质带来不良影响。另外，就日本专利第3943481号公报的移载装置而言，由于作用于形成在吸附垫与显示面板之间的空间的负压，包含在显示面板的面板部中的液晶靠近保持部而产生吸附痕，有可能会降低显示面板组装体的品质。

另外，关于如上所述的显示面板组装体的移动，在采用日本专利公开2006-137000号公报中记载的吸附头的情况下，分别独立地进行用于减轻可动部件的重量的控制和用于吸附面板部的控制，因此需要设置两个独立***的抽吸道。其结果，导致吸附头的大型化和重量增加，有可能会降低面板的移动效率。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的是提供一种保持嘴、包括该保持嘴的保持头以及安装有它们的移载装置，该保持嘴、保持头及移载装置在移载液晶显示器或有机电致发光显示器等的显示面板组装体时，通过减轻因吸附并保持导致的朝向面板部的应力等的不良影响，并且防止因吸附并保持生成的吸附痕，从而防止显示面板组装体的品质下降。

本发明的保持嘴为用于通过负压来吸附并保持面板的保持嘴，所述保持嘴具备：吸附部件，具有与所述面板接触的吸附部及与该吸附部连通的筒状的轴部；用于***述吸附部件的所述轴部的筒状的收容部；吸附部件支撑部，设置在所述收容部的一端侧并且以所述吸附部件相对于所述收容部进退移动自如的方式支撑所述轴部；负压连接部，设置在所述收容部的另一端侧并且与负压发生源连接；和连通部件，被收容在所述收容部内的所述负压连接部与所述吸附部件支撑部之间，并且具有形成第一流路的一部分的中空部，通过负压发生源受到负压的流体在所述第一流路中流动。所述连通部件具有：与所述负压连接部连接的第一连接部；与所述轴部连接的第二连接部；和设置在所述第一连接部与所述第二连接部之间且能弹性变形的伸缩部。

本发明的保持头为用于通过负压来吸附并保持包括面板部的面板组装体的保持头，所述保持头具备：具有上述结构的保持嘴；和用于支撑所述保持嘴的喷嘴支撑部件。所述喷嘴支撑部件具有：与所述保持嘴连接的第一喷嘴连接部；和第二流路，经由所述第一喷嘴连接部与所述第一流路连通并且供所述流体流通。

本发明的移载装置为用于吸附并保持被供给到移载起始地的面板组装体并使该面板组装体向移载目的地移动的移载装置，所述移载装置具备：用于将面板组装体供给到规定位置的供给部；以上述方式构造的保持头，用于吸附并保持被供给到所述规定位置的所述面板组装体；用于使所述保持头移动的移动单元；和控制单元，用于控制由所述保持头进行的所述面板组装体的保持操作及由所述移动单元进行的所述保持头的移动操作。

根据本发明，由于包括吸附部的吸附部件进退自如地支撑在吸附部件支撑部，因此当吸附部与面板部抵接时，只有包括吸附部在内的吸附部件的重量作用到面板部，用于使保持嘴下降的朝向下方的力不会作用到面板部。即，面板部不会受到经由吸附部沿显示面凹陷的方向上施加的较大负荷，因此面板部不会产生歪斜，而且不会对显示面板的品质带来不良影响。

附图说明

图1是具备本发明的第一实施方式所涉及的保持嘴1的移载装置200的示意性主视图。

图2是图1中的保持头100的放大剖视图。

图3是本发明的第一实施方式所涉及的保持嘴1的分解立体图。

图4是图2中的保持嘴1的放大图。

图5的(A)及图5的(B)是按步骤表示保持嘴1吸附并保持面板部Wp的操作的图。

图6的(A)及图6的(B)是按步骤表示保持嘴1吸附并保持面板Wp的操作的图。

图7是表示上述第一实施方式的变形例的图，是保持嘴1A的沿长边方向的剖视图。

图8是表示上述第一实施方式的另一变形例的图，是保持嘴1B的沿长边方向的剖视图。

图9是表示本发明的保持嘴的第二实施方式的图，是保持嘴2的沿长边方向的剖视图。

图10是表示本发明的保持嘴的第三实施方式的图，是保持嘴3的沿长边方向的剖视图。

图11是表示本发明的保持嘴的第四实施方式的图，是保持嘴4的沿长边方向的剖视图。

图12是表示上述第四实施方式的变形例的图，是保持嘴4A的沿长边方向的剖视图。

图13是表示本发明的保持嘴的第五实施方式的图，是保持嘴5的沿长边方向的剖视图。

具体实施方式

下面，对本发明的保持嘴、保持头及移载装置进行说明。

(第一实施方式)

如图1所示，本发明的第一实施方式的保持嘴1安装在移载装置200中的保持头100的喷嘴支撑部件101上。移载装置200为用于移载液晶显示器或有机电致发光显示器等的显示面板组装体W的装置。

移载装置200具备：供给部230，载置有面板组装体W的供给托盘201被供给到所述供给部230上；保持头100，用于吸附并保持放置在供给托盘201上的面板组装体，该供给托盘201被供给到作为移载起始地的供给部230上；移动单元210，通过使保持头100移动，向作为移载目的地的运送单元202移送吸附并保持到保持头100的面板组装体W；和控制单元220，用于控制利用保持头100来进行的面板组装体的保持操作及利用移动单元210来进行的保持头100的移动操作。在此，显示面板组装体W具有：作为进行显示的显示面的面板部Wp；和膜状的附属部W_a，包括用于控制向面板部Wp提供的电源或向面板部Wp的显示的布线。

移动单元210包括水平移动机构211，该水平移动机构211用于使保持头100在从供给部230至带式输送机202的范围内沿供给部230的载置面在水平方向上往复移动。水平移动机构211具有：从供给部230延伸至运送单元(例如带式输送机)202的导轨状的导引部件211a；和用于使保持头100沿导引部件211a移动的水平驱动机构211b，水平驱动机构211b使保持头100沿导引部件211a在水平方向上移动。导引部件211a在供给托盘201及带式输送机202的上方沿水平方向得到支撑。水平驱动机构211b包括电动机等的驱动源和用于将驱动源的输出传递给保持头100的传递机构。传递机构例如为滚珠丝杠机构、线性电动机机构或带式电动机构等。作为驱动源的电动机采用能够进行数字控制的驱动电动机(例如伺服电动机)，从而保持头100的移动及停止得到数字控制。

另外，移动单元210包括用于使保持头100上下移动的升降移动机构212。升降移动机构212配置在保持头100与水平移动机构211之间，并且支撑保持头100使之能够升降移动。升降移动机构212在进行面板组装体W的吸附保持或吸附解除的位置与允许保持头100在水平方向移动的水平移动位置之间进行保持头100的升降操作。升降移动机构212例如为能够数字控制的电动缸体。升降移动机构212包括上下移动的杆212a，保持头100被支撑在杆212a的下端部。

如图2所示，保持头100设置于移载装置200并且具备多个保持嘴1和安装多个保持嘴1的喷嘴支撑部件101。另外，保持头100具备多个附属部保持嘴50，该附属部保持嘴50用于吸附并保持包含在面板组装体W中的附属部W_a。在喷嘴支撑部件101上设置有与保持嘴1连接的第一连接部(第一喷嘴连接部)102和与附属部保持嘴50连接的第二连接部(第二喷嘴连接部)103。另外，在喷嘴支撑部件101上形成有经由第一连接部102与保持嘴1连通的第二流路P2和经由第一连接部103与附属部保持嘴50连通的第三流路P3。喷嘴支撑部件101为规定厚度的板状部件。另外，喷嘴支撑部件101具备第二流路P2和第三流路P3。流路P2、P3可以是分别形成在喷嘴支撑部件101内部的流路，并且还可以是通过在该流路P2、P3的外部配置各自的管道而形成的流路。

本发明的第一实施方式的保持嘴1被支撑为在隔开间隔设置于喷嘴支撑部件101的多个第一连接部102上分别安装有负压连接部21，并且通过流路P1、P2分别与抽吸机构120连接。在本实施方式的情况下设置有两个第一连接部102并且在各个第一连接部102上安装有一个保持嘴1。

附属部保持嘴50具备吸附部件110和能够进退地支撑吸附部件110的主体111。吸附部件110设置在主体111的前端，在主体111的基端上形成有负压连接部112。附属部保持嘴50被支撑为在隔开间隔设置于喷嘴支撑部件101的多个第二连接部103上安装有负压连接部112，并且通过流路P2、P3分别与吸附机构120连接。在本实施方式的情况下，在沿与第一连接部102的排列方向交叉的方向上并排设置有两个第二连接部103(在图2中仅示出一个)，在各个第二连接部103上安装有一个附属部保持嘴50。

如图3及图4所示，本发明的第一实施方式的保持嘴1具备吸附部件10、收容部20和连通部件40并且被安装在保持头100上。

吸附部件10具有圆筒状的轴部11、设置在轴部11的长边方向一端部的圆板状的吸附部12和设置在轴部11的另一端部的帽部13。在轴部11的中心从帽部13朝向吸附部12形成有孔洞11a。在吸附部12的吸附面上，即在与设置有轴部11的平面部(被保持规定部12d)相反的一侧的平面部12a上以同心圆状隔开间隔形成有用于负压抽吸面板部Wp的多个槽12b。此外，在平面部12a上以放射状形成有将这些同心圆状的槽12b彼此连通的槽12c。同心圆状的槽12b及放射状的槽12c与轴部11的孔洞11a连通。具体而言，最内的槽12b与孔洞11a连通。槽12c以与该最内的槽12b连通的方式放射状地延伸。由此，所有槽12b经由槽12c彼此联系。帽部13被牢固地连接(例如，螺纹连接)在与后述的孔31连通的轴部11的另一端部，帽部13的外径比孔31的内径稍微小。

收容部20为收容吸附部件10的轴部11的圆筒状的筐体，在收容部20的内部空间中收容有连通部件40。在收容部20的长边方向的一端部设置有吸附部件支撑部30，在收容部20的长边方向的另一端部设置有负压连接部21，该负压连接部21与作为负压发生源的真空泵121连接(参照图2)。

在吸附部件支撑部30的中央形成有孔31，在孔31中插通有轴部11，在轴部11的另一端部牢固地连接有帽部13。吸附部件支撑部30以吸附部12相对于收容部20进退移动自如的方式将轴部11支撑在吸附部12与帽部13之间。另外，在孔31的内周面与轴部11的外周面之间设置有微小的间隙。由此，吸附部12能够以帽部13为支点相对于吸附部件支撑部30摆动。吸附部件支撑部30具备与设置于吸附部12的被保持规定部12d抵接的保持规定部30a、和用于调整帽部13在进出方向的移动的卡合支撑部30b。

连通部件40以位于负压连接部21与吸附部件10的帽部13之间的方式收容在收容部20内，并且具有：沿长边方向开通有内孔的弹性材料制的一侧的波纹管垫部(第一成型体)41及材料和形状与波纹管垫部41相同的另一侧的波纹管垫部(第二成型体)42、以及连结这两个波纹管垫部41、42的金属制的连结部件43，在上述波纹管垫部41、42及连结部件43的内部形成有构造第一流路P1的一部分的中空部44，流体通过后述的真空泵在该第一流路P1中移动。

一侧的波纹管垫部41包括：圆筒状的基端部(第一连结部)41a；被一体成型在基端部41a且能弹性变形的波纹管状的伸缩部41b；和位于伸缩部41b的前端且与负压连接部21连接的连接部(第一连接部)41c。另一侧的波纹管垫部42包括：圆筒状的基端部(第二连结部)42a；被一体成型在基端部42a且能弹性变形的波纹管状的伸缩部42b；和位于伸缩部42b的前端且与帽部13连接的连接部(第二连接部)42c。连结部件43包括：中央的圆板部43a；形成在圆板部43a的一面上的一侧筒状部43b；和形成在圆板部43a的另一面上的另一侧筒状部43c。筒状部43b、43c分别形成为夹着圆板部43a沿长边方向连接。另外，在筒状部43b、43c各自的前端分别形成有凸肩部43d，用于防止波纹管垫部41、42脱离连结部件43。

波纹管垫部41的基端部41a以将一侧的凸肩部43d收纳在内侧的方式包覆并结合到连结部件43的一侧的筒状部43b，波纹管垫部42的基端部42a以另一侧的凸肩部43d收纳在内侧的方式包覆并结合到连结部件43的另一侧的筒状部43c。波纹管垫部41的内孔41e通过连结部件43的内孔43e与波纹管垫部42的内孔42e连通，这些一连串的内孔形成中空部44，并且在帽部13与负压连接部21之间形成第一流路P1。

在本实施方式的情况下，当吸附部12处于远离收容部20(前进)的位置时，帽部13也处于远离负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离比连通部件40的全长更长。因此，连通部件40向帽部13侧变位，波纹管垫部42的连接部42c与帽部13抵接。另外，波纹管垫部41的连接部41c远离负压连接部21。另一方面，当吸附部12处于靠近收容部20(后退)的位置时，帽部13处于靠近负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离短于连通部件40的全长。因此，当吸附部12后退时，波纹管垫部41的连接部41c紧贴到负压连接部21，并且波纹管垫部42的连接部42c紧贴到帽部13。

在连通部件40的波纹管垫部40的基端部41a的周围配置有环状的导向部件45。导向部件45具有能够与波纹管垫部41的周围抵接的导向内周部45a和能够与收容部20的内周面抵接的导向外周部45b，导向部件45受到连结部件43的圆板部43a的限制，并且被配置并维持在连结部件43的一侧(一侧的波纹管垫部41的周围)。导向部件45以使连通部件40的沿长边方向延伸的中心轴和收容部20的沿长边方向延伸的中心轴一致的方式，将连通部件40安置在收容部20内的大致中央，并且将连通部件40引导为沿长边方向能够移动。另外，导向部件45的在连通部件40的伸缩方向上的尺寸在连通部件40收缩后的状态下也短于连通部件40的全长，并且短到不会阻碍连通部件40的收缩操作的程度。就本实施例的情况下的导向部件45的全长而言，由于导向部件45被连结部件43的圆板部43a限制为不会向另一侧的波纹管垫部42侧移动，因此配置有全长尺寸比一侧的波纹管垫部41收缩后状态下的全长更短的导向部件45。通过配置导向部件45，能够缩小连通部件40的直径。

抽吸机构120包括：真空泵121，用于对保持嘴1及附属部保持嘴50施加负压；鼓风机122，用于向保持嘴1及附属部保持嘴50送气；切换部123，用于将真空泵121或鼓风机122选择性地连接到保持嘴1及附属部保持嘴50；和控制部124，用于控制真空泵121、鼓风机122及切换部123。

真空泵121通过经由流路P1及P2扫掠保持嘴1内部的空气而将收容部20的内部设为负压状态，并将面板组装体W的面板部Wp吸附到保持嘴1。另外，通过扫掠附属部保持嘴50内部的空气而将主体111的内部设为负压状态，并将面板组装体的附属部Wa吸附到附属部保持嘴50。鼓风机122通过经由流路P1及P2向保持嘴1送入空气而将收容部20的内部设为正压状态并使面板部Wp脱离保持嘴1，并且通过向附属部保持嘴50送入空气而将主体111的内部设为正压状态并使附属部Wa脱离附属部保持嘴50。控制部124通过使真空泵121及鼓风机122选择性地工作并使切换部123工作，将真空泵121及鼓风机122中的任一个连接到保持嘴1及附属部保持嘴50。

控制单元220包括控制部124，该控制部124用于控制利用保持头100进行的面板组装体W的保持操作。控制单元200用于驱动控制移动单元210的水平移动机构211及升降移动机构212，使保持头100在供给到供给部230的供给托盘201与带式输送机202之间移动，并且通过保持头100吸附保持并运送被载置在供给托盘201上的包括面板部Wp及附属部Wa的面板组装体W，并且将该面板组装体W转交给带式输送机202。

参照图5的(A)、图5的(B)及图6的(A)及图6的(B)对使用以上述方式构造的保持嘴1来吸附并保持面板部Wp的过程进行说明。

首先，保持嘴1移动至放置有面板部Wp的移载起始地的上方，成为吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面远离且相对的状态(参照图5的(A))。此时，吸附部12因自重而处于相对于收容部20前进(下降)的位置，构造连通部件40的波纹管垫部42的连接部42c与帽部13抵接。另一方面，波纹管垫部41的连接部41c远离负压连接部21。在该状态下，即使经由喷嘴支撑部件101的流路P2向保持嘴1施加负压，外部气体也会通过波纹管垫部41的连接部41c与负压连接部21之间的间隙、收容部20的内部空间及孔31与轴部11之间的间隙被抽吸到保持嘴1内，因此吸附部12几乎不受负压。另外，通过从孔31与轴部11之间的间隙抽吸外部气体，进行产生在保持嘴1内部的生尘的抽吸及该喷嘴周边的除尘。

保持嘴1与喷嘴支撑部件101一同从图5的(A)的状态朝向预先设定的保持嘴1的停止位置下降，在保持嘴1的下降操作过程中，吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面靠近并彼此紧贴(图5的(B)的状态)。此时，抽吸机构120与保持嘴1的下降操作一同工作，从而设为产生负压的状态。在从图5的(A)的状态向图5的(B)的状态转移的过程中，吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面(朝向上方的表面)抵接，用于使保持嘴1下降的朝向下方的力施加到面板部Wp。然而，由于包括吸附部12的吸附部件10进退移动自如地支撑在吸附部件支撑部30，因此通过吸附部件10的移动来吸收用于使保持嘴1下降的朝向下方的力，于是该力不会作用到面板部Wp。作用于面板部Wp的力仅为将包括吸附部12在内的吸附部件10和连通部件40加在一起的重量。

在图5的(B)的状态之后，即在吸附部12与面板部Wp的上表面接触之后也继续进行保持嘴1的下降，并且使之移动至预先设定的保持嘴1的停止位置(图6的(A)的状态)。在从图5的(B)的状态向图6的(A)的状态转移的过程中，与保持嘴1一同向下方移动的吸附部12的移动受到面板部Wp的限制。之后如果使保持嘴1及吸附部12进一步向下方移动，则虽然吸附部件10无法移动，但喷嘴支撑部件101、收容部20及吸附部件支撑部30向下方移动。因此，吸附部件支撑部30沿吸附部件10的轴部11向下方移动，从外表上看，轴部11及帽部13进入到收容部20内。由此，波纹管垫部41的连接部41c与负压连接部21之间的距离缩短，负压连接部21与连接部41c抵接。如果保持嘴1进一步向下方移动，则负压连接部21被按压到波纹管垫部41的连接部41c，并且波纹管垫部42的连接部42c被按压到帽部13。由此，连接部41c和负压连接部21紧贴，并且连接部42c和帽部13紧贴，因此在连通部件40内部的帽部13与负压连接部21之间形成用于对吸附部12施加负压的流路P1。

如果通过抽吸机构120的抽吸状态形成流路P1，则面板部Wp被吸附到吸附部12。由于吸附部12能够摆动地支撑在吸附部件支撑部30，因此吸附部12依照面板部Wp的倾斜进行摆动，平面部12a与面板部Wp紧贴并被吸附保持。由于波纹管垫部41、42的波纹管部因流路P1的负压作用而收缩，并且连接部41c和连接部42c向彼此靠近的方向移动(波纹管部收缩)，因此被吸附的面板部Wp远离供给托盘201的载置面(提升)。因此，能够在不会对面板部Wp施加过剩的负荷的情况下吸附并保持面板部Wp，并且从供给托盘201取出面板部Wp。就吸附并保持了面板部Wp的吸附部12而言，作为与平面部12a相反的一侧的被保持规定部12d和与被保持规定部12d相对设置的吸附部件支撑部30的保持规定部30a抵接并且维持吸附部12保持时的状态。

在吸附部12吸附并保持面板部Wp并且保持嘴1到达预先设定的取出停止位置的时刻停止保持嘴1的下降。例如，吸附部件支撑部30的下端与吸附部件10中的吸附部12的上表面(被保持基底部12d)抵接的位置为取出停止位置。通过保持嘴1从图6的(A)状态进一步上升，转移到完成面板部Wp的取出的状态(参照图6的(B))。在从图6的(A)状态向图6的(B)状态转移的过程中，吸附到吸附部12的面板部Wp与保持嘴1一同上升。在保持嘴1到达规定的高度的时刻停止保持嘴1的上升，接下来保持嘴1朝向移载目的地与面板部Wp一同水平移动。在保持嘴1到达移载目的他的上方的时刻停止保持嘴1的水平移动。之后，保持嘴1下降移动，面板部Wp被载置在移载目的地(在本实施例中为带式输送机202)的载置位置上。在与该面板部Wp的载置同时或者几乎同时的时刻，通过切换部123的工作而将与流路P1连接的连接***从真空泵切换为鼓风机。由此，停止施加负压的同时进行鼓风，从吸附部12拆卸面板部Wp并转交给移载目的地。

根据以上述方式构造的保持嘴1，在使吸附部12与面板部Wp抵接时，只有将包括吸附部12在内的吸附部件10和连通部件40加在一起的重量作用到面板部Wp，移载装置200使保持嘴1下降的朝向下方的力不会作用到面板部Wp。因此，能够防止经由吸附部12沿显示面凹陷的方向对面板部Wp施加的较大负荷。另外，由于将吸附部12设置为以帽部13为支点沿水平方向倾斜移动自如，因此在通过保持嘴1的下降而使吸附部12的平面部12a与面板组装体W的面板部Wp抵接时，吸附部12能够依照面板部Wp的被吸附面的方向(倾斜)倾斜，从而使得吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面平行。因此，平面部12a与面板部Wp不会偏倚，而是均匀地面接触。并且，就吸附部12的与面板部Wp抵接的平面部12a而言，由于平面部12a与面板部Wp不会偏倚而是均匀地面接触，因此抽犀利在多个槽12b、12c与面板部Wp的被吸附面之间分散，从而能够防止面板部Wp的被吸附面上产生吸附痕。

此外，由于在形成于连通部件40的两端的连接部41c、42c分别相邻有波纹管状的伸缩部41b、42b，因此如果帽部13与负压连接部21靠近，则通过波纹管部的弹性作用，连接部41c切实地紧贴在负压连接部21，并且连接部42c切实地紧贴在帽部13。另外，通过导向部件45，连通部件40安置在收容部20内的轴心的大致中央。因此，在帽部13与负压连接部21之间通过连通部件40切实地形成流路P1。此外，在本实施方式中，导向部件45被卡合在连通部件40上，但也可以通过将导向部件45的外径设为与收容部20的内径几乎相等，并且将导向部件45的内径设为大于连通部件40的外径，从而将导向部件45固定在收容部20，并且使连通部件40在导向部件45的内侧进行上下运动。

(变形例1)

如图7所示，在作为上述第一实施方式的变形例的保持嘴1A中，沿收容部20的内周部在圆周方向的周围形成有槽部20a。保持部件46为外径大于收容部20的内径的环状体(例如，扣环)，环状体的外周侧嵌合到槽部20a，保持部件46被安装在收容部20内部的规定位置上。保持部件46的内径大于波纹管垫部42的基端部42a的外径且小于圆板部43a的外径。通过将圆板部43a卡止到保持部件46，插通到保持部件46的内侧的连通部件40在波纹管垫部41的连接部41c与负压连接部21抵接的状态下被保持在收容部20内的与轴心方向平行的规定位置上。

在本变形例的情况下，当吸附部12处于相对于收容部20前进的位置时，帽部13也处于远离负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离比连通部件40的全长更长。因此，波纹管垫部42的连接部42c远离帽部13，在帽部42c与帽部13之间生成间隙。另一方面，当吸附部12处于相对于收容部20后退的位置时，帽部13处于靠近负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离短于连通部件40的全长。因此，当吸附部12后退时，波纹管垫部42的连接部42c与帽部13紧贴。

在将以上述方式构造的保持嘴1A代替保持嘴1安装在喷嘴支撑部件101上并且利用保持嘴1A来吸附并保持面板部Wp时，首先将保持嘴1A配置在放置有面板部Wp的移载起始地的上方，并且设为吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面远离且相对的状态。此时，吸附部12因自重而处于相对于收容部20前进(下降)的位置，波纹管垫部42的连接部42c远离帽部13。在该状态下，即使经由喷嘴支撑部件的流路P2对保持嘴1A施加负压，外部气体也会通过连接部42c与帽部13之间的间隙、收容部20的内部空间以及孔31与轴部11之间的间隙被抽吸到保持嘴1A内，因此吸附部12几乎不受负压。另外，通过从孔31与轴部11之间的间隙抽吸外部气体，进行产生在保持嘴1A内部的生尘的抽吸及该喷嘴周边的除尘。

在从上述状态，使保持嘴1A与喷嘴支撑部件101一同朝向预先设定的保持嘴1A的停止位置下降，在保持嘴1A的下降操作过程中，吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面靠近并彼此紧贴。此时，抽吸机构120与保持嘴1A的下降操作一同工作，从而设为产生负压的状态。由于包括吸附部12的吸附部件10进退移动自如地支撑在吸附部件支撑部30，因此通过吸附部件10的移动来吸收用于使保持嘴1A下降的朝向下方的力，于是该力不会作用到面板部Wp。而且，在本变形例中，通过保持部件46将连通部件40保持在收容部20，因此作用于面板部Wp的力仅为包括吸附部12在内的吸附部件10的重量。

如果在吸附部12与面板部Wp的上表面接触之后也继续进行保持嘴1A的下降，并且使之移动至预先设定的保持嘴1A的停止位置，则与保持嘴1A一同朝向下方移动的吸附部12的移动受到面板部Wp的限制。之后如果使保持嘴1A及吸附部12进一步向下方移动，则虽然吸附部件10无法移动，但喷嘴支撑部件101、收容部20及吸附部件支撑部30向下方移动。由此，吸附部件支撑部30沿吸附部件10的轴部向下方移动，从外表上看，轴部11及帽部13进入到收容部20内。由此，波纹管垫部42的连接部42c与帽部13之间的距离缩短，帽部13与连接部42c抵接。如果保持嘴1A进一步向下方移动，则负压连接部21被按压到波纹管垫部41的连接部41c，并且波纹管垫部42的连接部42c被按压到帽部13。由此，连接部41c和负压连接部21紧贴，并且连接部42c和帽部13紧贴，因此在连通部件40内部的帽部13与负压连接部21之间形成用于对吸附部12施加负压的流路P1，由此面板部Wp被吸附到吸附部12。

根据以上述方式构造的保持嘴1A，在由第一实施方式(保持嘴1)所获效果的基础上实现以下效果。即，连通部件40的一端与负压连接部21接触，根据吸附部件10的变位，连接部42c与帽部13抵接或远离帽部13。即，由于只有吸附部件10的重量施加于面板部Wp，因此与第一实施方式的保持嘴1相比进一步减轻对面板部Wp的应力，并且维持面板部Wp的品质。

(变形例2)

如图8所示，作为上述第一实施方式的变形例的保持嘴1B被构造为，连通部件40的长度大于在吸附部12相对于收容部20前进且帽部13处于远离负压连接部21的位置时的帽部13与负压连接部21之间的距离。具体而言，在收容部20在伸缩部41b及伸缩部42b稍微收缩的状态下收容连通部件40。因此，即使在帽部13处于远离负压连接部21的位置的情况下，也会使得连接部41c与负压连接部21抵接，并且使得连接部42c与帽部13抵接。

在将以上述方式构造的保持嘴1B代替保持嘴1安装在喷嘴支撑部件101上，并且利用该保持嘴1B来吸附并保持面板部Wp时，首先将保持嘴1B配置在放置有面板部Wp的移载起始地的上方，并且设为吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面远离且相对的状态。此时，虽然吸附部12相对于收容部20前进，帽部13处于远离负压连接部21的位置，但保持嘴1B即使在该状态下也会使得连接部41c与负压连接部21抵接，并且使得连接部42c与帽部13抵接。

在从上述状态，使保持嘴1B与喷嘴支撑部件一同下降的同时使抽吸机构120工作，从而设为产生负压的状态。在该过程中吸附部12与面板部Wp的被吸附面抵接，但包括吸附部12的吸附部件10由于进退移动自如地支撑在吸附部件支撑部30，因此即使用于使保持嘴1B下降的朝向下方的力经由吸附部件10作用于面板部Wp，由于伸缩部41b及伸缩部42b立即收缩，面板部Wp也几乎不受负荷。而且，由于连接部41c已经与负压连接部21紧贴，并且连接部42c与帽部13紧贴，从而在连通部件40的内部确保了用于在帽部13与负压连接部21之间对吸附部12施加负压的流路P1，因此面板部Wp会瞬间被吸附并保持在吸附部12。

根据以上述方式构造的保持嘴1B，在由上述保持嘴1所获效果的基础上实现以下效果。即，由于形成于连通部件40的两端的连接部41c、42c总是与帽部13和负压连接部21接触，因此面板部Wp会瞬间被吸附并保持在吸附部12，面板部Wp几乎不受负荷。由此，能够维持面板部Wp的品质。

(第二实施方式)

如图9所示，在作为本发明的第二实施方式的保持嘴2中，连通部件的形状与第一实施方式不同。即，保持嘴2的连通部件40以位于负压连接部21与吸附部件10的帽部13之间的方式被收容在收容部20内，并且该连通部件40具有沿长边方向开通有内孔的弹性材料制的波纹管垫部141，在该波纹管垫部141的内部形成有构造流路P1的一部分的中空部143，流体通过真空泵的操作在该流路P1中移动。

波纹管垫部141包括：圆筒状的基端部(第一连结部)141a；与基端部141a一体成型的波纹管状的能够弹性变形的伸缩部141b；位于基端部141a的前端且与负压连接部21连接的连接部(第一连接部)141c；和位于伸缩部141b的前端且与帽部13连接的连接部(第二连接部)141d。此外，波纹管垫部141使用与第一实施方式中的波纹管垫部41、42相同的部件。另一方面，在收容部20的内侧形成有筒状部(收容连接部)22，该筒状部22从负压连接部21朝向帽部13突出。在筒状部22的前端形成有凸肩部23，用于防止波纹管垫部141从筒状部22脱离。

波纹管垫部141的基端部141a以将凸肩部23收纳在内侧的方式包覆并结合到收容部20侧的筒状部22。波纹管垫部141的内孔141e经由筒状部22的内孔22e与负压连接部21连通，这些一连串的内孔形成中空部143并且在帽部13与负压连接部21之间形成流路P1。

在本实施方式的情况下，当吸附部12处于远离收容部20的位置时，帽部13也处于远离负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离比波纹管垫部141的全长更长。因此，由于波纹管垫部141的连接部141d远离帽部13而生成间隙。另一方面，当吸附部12处于靠近收容部20的位置时，帽部13也处于靠近负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离短于波纹管垫部141的全长。因此，当吸附部12后退时，波纹管垫部141的连接部141d与帽部13紧贴。另外，在本实施例的情况下，由于波纹管垫部141包覆并结合到筒状部22，因此不需要用于使波纹管垫部141维持在收容部20的轴心上的导向部件45。

在将以上述方式构造的保持嘴2代替保持嘴1安装在喷嘴支撑部件(101)上并且吸附并保持面板部Wp时，首先将保持嘴2配置在放置有面板部Wp的移载起始地的上方，并且设为吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面远离且相对的状态。此时，吸附部12因自重而处于相对于收容部20前进的位置，波纹管垫部141的连接部141d远离帽部13。在该状态下，即使经由喷嘴支撑部件的流路P2对保持嘴2施加负压，通过连接部141d与帽部13之间的间隙、收容部20的内部空间以及孔31与轴部11之间的间隙，外部气体也会被抽吸到保持嘴2内，因此吸附部12几乎不受负压，但通过从孔31与轴部11之间的间隙抽吸外部气体，进行产生在保持嘴2内部的生尘的抽吸及该喷嘴周边的除尘。

在从上述状态，使保持嘴2与喷嘴支撑部件101一同朝向预先设定的保持嘴2的停止位置下降，在保持嘴2的下降操作过程中，吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面靠近并彼此紧贴。此时，抽吸机构120与保持嘴2的下降操作一同工作，从而设为产生负压的状态。由于包括吸附部12的吸附部件10进退移动自如地支撑在吸附部件支撑部30，因此通过吸附部件10的移动来吸收用于使保持嘴2下降的朝向下方的力，于是该力不会作用到面板部Wp。作用于面板部Wp的力仅为包括吸附部12在内的吸附部件10的重量。

如果在吸附部12与面板部Wp的上表面接触之后也继续进行保持嘴2的下降，并且使之移动至预先设定的保持嘴2的停止位置，则与保持嘴2一同朝向下方移动的吸附部12的移动受到面板部Wp的限制。之后如果使保持嘴2及吸附部12进一步向下方移动，则虽然吸附部件10无法移动，但喷嘴支撑部件101、收容部20及吸附部件支撑部30向下方移动。由此，吸附部件支撑部30沿吸附部件10的轴部11向下方移动，从外表上看，轴部11及帽部13进入到收容部20内。由此，波纹管垫部141的连接部141d与帽部13之间的距离缩短，帽部13与连接部141d抵接。如果保持嘴2进一步向下方移动，则连接部141d被按压到帽部13。由此，连接部141d和帽部13紧贴，因此在连通部件40内部的帽部13与负压连接部21之间形成用于对吸附部12施加负压的流路P1，由此面板部Wp被吸附到吸附部12。

根据以上述方式构造的保持嘴2，在由第一实施方式的变形例(保持嘴1A)所获效果的基础上实现以下效果。即，连通部件40的零件数较少，能够制作较小的保持嘴2并能削减制作成本。另外，能够将保持嘴2精加工成小型及轻量的产品，并且提高用于使保持嘴2移动的移动单元210的操作性。

(第三实施方式)

如图10所示，在作为本发明的第三实施方式的保持嘴3中，连通部件的配置与第二实施方式不同。即，保持嘴3的连通部件40以位于负压连接部21与吸附部件10的帽部13之间的方式被收容在收容部20内，并且该连通部件40具有沿长边方向开通有内孔的弹性材料制的波纹管垫部142，在该波纹管垫部142的内部形成有构造流路P1的一部分的中空部143，流体通过真空泵的操作在该流路P1中移动。

波纹管垫部142包括：圆筒状的基端部(第一连结部)142a；与基端部142a一体成型的波纹管状的能够弹性变形的伸缩部142b；位于伸缩部142b的前端且与负压连接部21连接的连接部(第一连接部)142c；和位于基端部142a的前端且与帽部13连接的连接部(第二连接部)142d。此外，波纹管垫部142使用与第一实施方式中的波纹管垫部41、42相同的部件。另一方面，在帽部13的上部形成有朝向负压连接部21突出的筒状部(吸附连接部)15。在筒状部15的前端形成有凸肩部16，该凸肩部16用于防止波纹管垫部142脱离筒状部15。

波纹管垫部142的基端部142a以将凸肩部16收纳在内侧的方式包覆并结合到帽部13侧的筒状部15。波纹管垫部142的内孔142e经由筒状部15的内孔15e与帽部13连通，这些一连串的内孔形成中空部143并且在帽部13与负压连接部21之间形成流路P1。

在本实施方式的情况下，当吸附部12处于远离收容部20的位置时，帽部13也处于远离负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离比波纹管垫部142的全长更长。另一方面，当吸附部12处于靠近收容部20的位置时，帽部13也处于靠近负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离短于波纹管垫部142的全长。因此，当吸附部12后退时，波纹管垫部142的连接部142c与负压连接部21紧贴。另外，在本实施例的情况下，由于波纹管垫部142包覆并结合到帽部13，因此不需要用于使波纹管垫部142维持在收容部20的轴心上的导向部件45。

在将以上述方式构造的保持嘴3代替保持嘴1安装在喷嘴支撑部件(101)上并且吸附并保持面板部Wp时，首先将保持嘴3配置在放置有面板部Wp的移载起始地的上方，并且设为吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面远离且相对的状态。此时，吸附部12因自重而处于相对于收容部20前进(下降)的位置，波纹管垫部142的连接部142c远离负压连接部21。在该状态下，即使经由喷嘴支撑部件的流路P2对保持嘴3施加负压，外部气体也会通过连接部142c与负压连接部21之间的间隙、收容部20的内部空间以及孔31与轴部11之间的间隙被抽吸到保持嘴3内，因此吸附部12几乎不受负压，但通过从孔31与轴部11之间的间隙抽吸外部气体，进行产生在保持嘴3内部的生尘的抽吸及该喷嘴周边的除尘。

在从上述状态，使保持嘴3与喷嘴支撑部件101一同朝向预先设定的保持嘴3的停止位置下降，在保持嘴3的下降操作过程中，吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面靠近并彼此紧贴。此时，抽吸机构120与保持嘴3的下降操作一同工作，从而设为产生负压的状态。由于包括吸附部12的吸附部件10进退移动自如地支撑在吸附部件支撑部30，因此通过吸附部件10的移动来吸收用于使保持嘴3下降的朝向下方的力，于是该力不会作用到面板部Wp。作用于面板部Wp的力仅为包括吸附部12在内的吸附部件10的重量。

如果在吸附部12与面板部Wp的上表面接触之后也继续进行保持嘴3的下降，并且使之移动至预先设定的保持嘴3的停止位置，则与保持嘴3一同朝向下方移动的吸附部12的移动受到面板部Wp的限制。之后如果使保持嘴3及吸附部12进一步向下方移动，则虽然吸附部件10无法移动，但喷嘴支撑部件101、收容部20及吸附部件支撑部30向下方移动。由此，吸附部件支撑部30沿吸附部件10的轴部11向下方移动，从外表上看，轴部11及帽部13进入到收容部20内。由此，波纹管垫部142的连接部142c与负压连接部21之间的距离缩短，负压连接部21与连接部142c抵接。如果保持嘴3进一步向下方移动，则连接部142c被按压到负压连接部21。由此，连接部142c和负压连接部21紧贴，因此在连通部件40内部的帽部13与负压连接部21之间形成用于对吸附部12施加负压的流路P1，由此面板部Wp被吸附到吸附部12。

根据以上述方式构造的保持嘴3，在由第一实施方式(保持嘴1)所获效果的基础上实现与第二实施方式(保持嘴2)同样的效果。即，连通部件40的零件数较少，能够制作较小的保持嘴3并能削减制作成本。另外，能够将保持嘴3精加工成小型及轻量的产品，并且提高用于使保持嘴3移动的移动单元210的操作性。

(第四实施方式)

如图11所示，在作为本发明的第四实施方式的保持嘴4中，连通部件的形状与第一至第三实施方式中的任一实施方式不同。即，保持嘴4的连通部件40具有波纹管部144，在该波纹管部144的内部形成有构造流路P1的一部分的中空部143，流体通过真空泵的操作在该流路P1中移动。

波纹管部144包括：长度方向的整体呈波纹管状且能弹性变形的伸缩部144a；位于伸缩部144a的一端且与负压连接部21连接的连接部(第一连接部)144b；和位于伸缩部144a的另一端且与帽部13连接的连接部(第二连接部)144c。波纹管部144未与负压连接部21和帽部13连结，波纹管部144以其长边方向与收容部20的长边方向一致的方式配置在收容部20的内部，连接部144c因波纹管部144的自重与帽部13抵接。另外，波纹管部144的外径被设定为比收容部20的内周直径稍小，即使没有导向部件45，波纹管部144也以收容部20的轴心和波纹管部144的轴心几乎一致的方式被收容在收容部20内。

在本实施方式的情况下，当吸附部12处于远离收容部20的位置时，帽部13也处于远离负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离比波纹管垫部144的全长更长。另一方面，当吸附部12处于靠近收容部20的位置时，帽部13也处于靠近负压连接部21的位置，因此帽部13与负压连接部21之间的距离短于波纹管垫部144的全长。因此，当吸附部12后退时，波纹管垫部144的连接部144b与负压连接部21紧贴。

在将以上述方式构造的保持嘴3代替保持嘴1安装在喷嘴支撑部件101上并且吸附并保持面板部Wp时，首先将保持嘴3配置在放置有面板部Wp的移载起始地的上方，并且设为吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面远离且相对的状态。此时，吸附部12因自重而处于相对于收容部20前进(下降)的位置，波纹管垫部144的连接部144b远离负压连接部21。在该状态下，即使经由喷嘴支撑部件的流路P2对保持嘴4施加负压，外部气体也会通过连接部144b与负压连接部21之间的间隙、收容部20的内部空间以及孔31与轴部11之间的间隙被抽吸到保持嘴4内，因此吸附部12几乎不受负压，但通过从孔31与轴部11之间的间隙抽吸外部气体，进行产生在保持嘴4内部的生尘的抽吸及该喷嘴周边的除尘。

在从上述状态，使保持嘴4与喷嘴支撑部件一同朝向预先设定的保持嘴4的停止位置下降，在保持嘴4的下降操作过程中，吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面靠近并彼此紧贴。此时，抽吸机构120与保持嘴4的下降操作一同工作，从而设为产生负压的状态。由于包括吸附部12的吸附部件10进退移动自如地支撑在吸附部件支撑部30，因此通过吸附部件10的移动来吸收用于使保持嘴4下降的朝向下方的力，于是该力不会作用到面板部Wp。作用于面板部Wp的力仅为将包括吸附部12在内的吸附部件10和波纹管部144加在一起的重量。

如果在吸附部12与面板部Wp的上表面接触之后也继续进行保持嘴4的下降，并且使之移动至预先设定的保持嘴4的停止位置，则与保持嘴4一同朝向下方移动的吸附部12的移动受到面板部Wp的限制。之后如果使保持嘴4及吸附部12进一步向下方移动，则虽然吸附部件10无法移动，但喷嘴支撑部件101、收容部20及吸附部件支撑部30向下方移动。由此，吸附部件支撑部30沿吸附部件10的轴部11向下方移动，从外表上看，轴部11及帽部13进入到收容部20内。由此，波纹管垫部144的连接部144b与负压连接部21之间的距离缩短，负压连接部21与连接部144b抵接。如果保持嘴4进一步向下方移动，则负压连接部21被按压到波纹管部144的连接部144b。由此，连接部144b和负压连接部21紧贴，因此在连通部件40内部的帽部13与负压连接部21之间形成用于对吸附部12施加负压的流路P1，由此面板部Wp被吸附到吸附部12。

根据以上述方式构造的保持嘴4，在由第一实施方式(保持嘴1)所获效果的基础上实现以下效果。即，连通部件40的零件数较少，并且波纹管部144的全长与伸缩部144a的全长相同，因此能够将伸缩部144a的全长设为必要的最小限度的大小，从而能够制作进一步缩小的保持嘴4。由此能削减制作成本。此外，能够将保持嘴4精加工成小型及轻量的产品，并且提高用于使保持嘴4移动的移动单元210的操作性。

(变形例3)

如图12所示，在作为上述第四实施方式的变形例的保持嘴4A中，构造连通部件40的波纹管部144的长度与在吸附部12相对于收容部20前进且帽部13处于远离负压连接部21的位置时的帽部13与负压连接部21之间的距离几乎相等。因此，即使在帽部13处于远离负压连接部21的位置时，也会使得连接部144b与负压连接部21抵接，并且使得连接部144c与帽部13抵接。

在将以上述方式构造的保持嘴4A代替保持嘴1安装在喷嘴支撑部件101上并且吸附并保持面板部Wp时，首先将保持嘴4A配置在放置有面板部Wp的移载起始地的上方，并且设为吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面远离且相对的状态。此时，虽然处于吸附部12相对于收容部20前进且帽部13处于远离负压连接部21的位置，但在保持嘴4A中，即使在该状态下也会使得连接部144b与负压连接部21抵接，并且使得连接部144c与帽部13抵接。

从上述状态，使保持嘴4A与喷嘴支撑部件一同下降的同时使吸附机构120工作，从而设为产生负压的状态。在该过程中吸附部12与面板部Wp的被吸附面抵接，但由于包括吸附部12的吸附部件10进退移动自如地支撑在吸附部件支撑部30，因此即使用于使保持嘴4A下降的朝向下方的力经由吸附部件10作用于面板部Wp，也由于伸缩部144a立即收缩，面板部Wp几乎不受负荷。而且，由于连接部144b与负压连接部21紧贴，并且连接部144c与帽部13紧贴，从而在波纹管部144的内部确保了用于在帽部13与负压连接部21之间对吸附部12施加负压的流路P1，因此面板部Wp会瞬间被吸附并保持在吸附部12。

根据以上述方式构造的保持嘴4A，在由上述保持嘴4所获效果的基础上实现以下效果。即，形成于波纹管部144的两端的连接部144b、144c总是与帽部13和负压连接部21连接，因此面板部Wp会瞬间被吸附并保持在吸附部12，面板部Wp几乎不受负荷。由此，能够维持面板部Wp的品质。

(第五实施方式)

如图13所示，在作为本发明的第五实施方式的保持嘴5中，在孔31的内周面与轴部11的外周面之间设置有微小的间隙。由此，吸附部12能够以帽部13为支点相对于吸附部件支撑部30摆动。此外，孔31的内径从孔31的长边方向的大致中央朝向吸附部12侧的开口31a缓慢地连续扩大，从而在孔31的开口31a处形成有锥状的漏斗部(吸附导向部)32。另一方面，轴部11的外径从轴部11的长边方向的大致中央朝向吸附部12缓慢地连续扩大，从而在轴部11与吸附部12之间形成有锥状的扩径部(吸附被导向部)14。漏斗部32相对于收容部20的长度方向的轴线O的倾斜角被设定为与扩径部14相对于轴线O的倾斜角相同。当吸附部12相对于收容部20后退时，漏斗部32与扩径部14接触，并且改变吸附部12的朝向以使吸附部12的平面部12a与收容部20的长边方向的轴线O垂直。

在移载装置200中，多个面板组装体W在被载置在供给托盘201上的状态被依次供给到保持头100的下方，但载置在供给托盘201上的面板组装体W的被吸附面的朝向(倾斜)有可能会分别稍微不同。此时，吸附部12的平面部12a不会与位于吸附部12的正下方的面板组装体W的面板部Wp的被吸附面平行。然而，根据以上述方式构造的保持嘴5，允许吸附部12以帽部13为支点沿横向全方位地摆动。由此，如果使保持嘴1下降并使吸附部12的平面部12a与面板组装体W的面板部Wp的被吸附面抵接，则吸附部12会依照面板部Wp的被吸附面的朝向(倾斜)摆动，以使吸附部12的平面部12a与面板部Wp的被吸附面平行，因此平面部12a和面板部Wp以接触压力均等的方式进行面接触，从而切实地吸附并保持平面部12a和面板部Wp。

并且，如果通过抽吸机构120的抽吸操作，使吸附了面板部Wp的吸附部12相对于收容部20后退，则轴部11的扩径部14受到吸附部件支撑部30的漏斗部32的引导，吸附部12以平面部12a与收容部20的长边方向的轴线O垂直的方式改变朝向。由此，能够纠正面板组装体W的姿势，且能以准确的姿势将面板组装体W转交给移载目的地的带式输送机202。

以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。在不脱离本发明的主旨的范围内，能够进行结构的附加、省略、置换及其它变更。本发明并非由前述说明来限定，而是仅由所附的权利要求书的范围来限定。

产业上的可利用性

本发明涉及一种利用空气负压来保持加工对象物的保持嘴、包括该保持嘴的保持头以及用于移载保持在该保持嘴上的加工对象物的移载装置。

根据本发明，在需要移载的加工对象物上不会产生歪曲或残留吸附痕，并且由于小型，不会损害通过移载装置进行的保持嘴的操作性。

Claims (15)

1.一种保持嘴，通过负压来吸附并保持面板，所述保持嘴具备：

吸附部件，具有与所述面板接触的吸附部及与该吸附部连通的筒状的轴部；

用于***述吸附部件的所述轴部的筒状的收容部；

吸附部件支撑部，设置在所述收容部的一端侧并且以所述吸附部件相对于所述收容部进退移动自如的方式支撑所述轴部；

负压连接部，设置在所述收容部的另一端侧并且与负压发生源连接；和

连通部件，被收容在所述收容部内的所述负压连接部与所述吸附部件支撑部之间，并且具有形成第一流路的一部分的中空部，通过负压发生源受到负压的流体在所述第一流路中流动，

所述连通部件具有：

与所述负压连接部连接的第一连接部；

与所述轴部连接的第二连接部；和

设置在所述第一连接部与所述第二连接部之间且能弹性变形的伸缩部。

2.根据权利要求1所述的保持嘴，

所述收容部包括与所述第一连接部连结的收容连接部，

所述第一连接部经由所述收容连接部固定在所述负压连接部。

3.根据权利要求1所述的保持嘴，

所述轴部包括与所述第二连接部连结的吸附连接部，

所述第二连接部经由所述吸附连接部固定在所述轴部。

4.根据权利要求1所述的保持嘴，

所述连通部件具有：

第一成型部件，具有所述第一连接部、所述伸缩部及与该伸缩部相连设置的第一连结部；和

第二成型部件，具有所述第二连接部、所述伸缩部及与该伸缩部相连设置的第二连结部。

5.根据权利要求4所述的保持嘴，

所述连通部件进一步具有包括所述中空部的一部分的连结部件，所述连结部件介于所述第一连结部与所述第二连结部之间并且连结所述第一成型部件和所述第二成型部件。

6.根据权利要求1所述的保持嘴，

所述连通部件进一步具备与所述伸缩部相连设置的第一连结部，

所述第一连接部与所述伸缩部相邻地设置于所述连通部件的一端部，

所述第二连接部与所述第一连结部相邻地设置于所述连通部件的另一端部。

7.根据权利要求1所述的保持嘴，

所述第一连接部设置于所述伸缩部的一端部，所述第二连接部设置于所述伸缩部的另一端部。

8.根据权利要求1所述的保持嘴，

进一步具备导向部件，所述导向部件设置在所述连通部件的周围并且将所述连通部件安置在所述收容部内的中央。

9.根据权利要求8所述的保持嘴，

所述导向部件具有能够与所述连通部件的周围抵接的导向内周部和能够与所述收容部的内周抵接的导向外周部，

所述导向部件为将所述连通部件配置在内侧的环状体，

所述导向部件的在所述连通部件的伸缩方向上的尺寸在所述连通部件收缩后的状态下也短于所述连通部件的全长。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的保持嘴，

所述伸缩部被形成为波纹管状。

11.根据权利要求1所述的保持嘴，

在所述吸附部件的轴部与所述吸附部件支撑部之间形成有允许所述轴部相对于所述吸附部件支撑部摆动的间隙，

所述吸附部件支撑部具有吸附导向部，所述吸附导向部用于调整已吸附并保持有所述面板的所述吸附部件在与所述面板的表面平行的方向上移动的同时引导该吸附部件，

所述吸附部件具有受到所述吸附导向部的引导的吸附被导向部。

12.一种保持头，用于通过负压来吸附并保持包括面板部的面板组装体，

所述保持头具备：

权利要求1至11中的任一项所述的保持嘴；和

用于支撑所述保持嘴的喷嘴支撑部件，

所述喷嘴支撑部件具有：

与所述保持嘴连接的第一喷嘴连接部；和

第二流路，经由所述第一喷嘴连接部与所述第一流路连通并且供所述流体流通。

13.根据权利要求12所述的保持头，

进一步具备附属部保持嘴，所述附属部保持嘴通过负压来吸附并保持包含在所述面板组装体中的附属部，

所述喷嘴支撑部件具有：

与所述附属部保持嘴连接的第二喷嘴连接部；和

第三流路，经由所述第二喷嘴连接部与所述附属部保持嘴连通并且供所述流体流通。

14.一种移载装置，用于吸附并保持被供给到移载起始地的面板组装体并使该面板组装体向移载目的地移动，

所述移载装置具备：

用于将面板组装体供给到规定位置的供给部；

权利要求12所述的保持头，用于吸附并保持被供给到所述规定位置的所述面板组装体；

用于使所述保持头移动的移动单元；和

控制单元，用于控制由所述保持头进行的所述面板组装体的保持操作及由所述移动单元进行的所述保持头的移动操作。

15.一种移载装置，用于吸附并保持被供给到移载起始地的面板组装体并使该面板组装体向移载目的地移动，

所述移载装置具备：

用于将面板组装体供给到规定位置的供给部；

权利要求13所述的保持头，用于吸附并保持被供给到所述规定位置的所述面板组装体；

用于使所述保持头移动的移动单元；和

控制单元，用于控制由所述保持头进行所述面板组装体的保持操作及由所述移动单元进行的所述保持头的移动操作。