JP6323609B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
本発明は、圧電基板上に縦結合共振子型弾性波フィルタが構成されている弾性波装置に関する。
下記の特許文献1に記載の弾性波装置では、圧電基板上に、IDT電極及びグラウンド側配線が設けられている。グラウンド側配線はIDT電極を囲むように設けられている。IDT電極に接続されているホット側配線が、絶縁膜を介して、グラウンド側配線と立体交差している。
下記の特許文献2では、2つの縦結合共振子型弾性波素子間を接続しているグラウンド側配線と、他の2つの縦結合共振子型弾性波素子間を接続しているホット側配線とが、絶縁膜を介して交差している。また、下記の特許文献3には、絶縁膜を介して、異なる電位の配線同士が交差されている。
特許文献1〜3に記載のような従来の弾性波装置では、IDT電極から離れた部分において、立体交差部分が設けられていた。そのため、圧電基板面の面積が大きくならざるを得ず、小型化が困難であった。
本発明の目的は、圧電基板面の面積を小さくすることができ、小型化を図り得る、弾性波装置を提供することにある。
本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられており、弾性波伝搬方向に沿って配置された少なくとも3つのIDT電極を有する第1の縦結合共振子型弾性波フィルタとを備え、前記各IDT電極が、弾性波伝搬方向と直交する方向において、一端側に設けられた第1のバスバーと、他端側に設けられた第2のバスバーとを有し、前記一端側及び前記他端側のうち少なくとも一方において、複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーを覆うように無機絶縁層が設けられており、複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーの上方において、前記無機絶縁層上に弾性波伝搬方向に延びるように配置された第1の配線と、前記無機絶縁層を介して前記第1の配線と立体交差するように前記圧電基板上に設けられた第2の配線とがさらに備えられており、前記第1の配線が、複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーのうちの同電位に接続されるバスバーに前記無機絶縁層を貫通して接続されている。
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタの複数の前記第2のバスバーが配置されている側に設けられた弾性波素子がさらに備えられている。
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーの上方において、前記無機絶縁層上に弾性波伝搬方向に延びるように配置された前記第1の配線は、前記圧電基板を平面視して複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーからはみ出ることなく、重なって設けられている。
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記弾性波素子が、第2の縦結合共振子型弾性波フィルタであり、前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタに、前記第2の縦結合共振子型弾性波フィルタが縦続接続されている。この場合には、段間の面積を小さくすることができる。
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記弾性波素子が、弾性波共振子である。この場合には、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタと、弾性波共振子との間の領域の面積を小さくすることができる。
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第1のバスバーまたは前記第2のバスバーの弾性波伝搬方向と直交する方向を幅方向としたときに、前記第1のバスバーまたは前記第2のバスバーの幅に比べて、前記第1の配線の幅が狭くされている。この場合には、第1の配線を無機絶縁層上に形成するに際し、幅方向における位置決め精度を緩和することができる。また、第1,第2の配線間の容量のばらつきが生じ難い。
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記同電位に接続される前記バスバーが、グラウンド電位に接続されるバスバーであり、前記第1の配線がグラウンド電位に接続される。
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記第1の配線が、前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタを囲むように設けられている。この場合には、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタを、周囲に対して電磁シールドすることができる。
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第1の配線が、グラウンド電位に接続される配線であり、前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ及び前記弾性波素子を囲むように設けられている。この場合には、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ及び弾性波共振子と、配線の外側に位置している素子や電極との干渉を抑制することができる。
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第1の配線が環状の形状を有する。
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記圧電基板を平面視して、前記第1の配線が環状の形状の内側と外側を接続する切欠きを有する。
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記圧電基板がLiNbO3基板である。
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記無機絶縁層が、前記圧電基板上において、前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタの少なくとも複数のIDT電極を覆うように設けられている。好ましくは、前記無機絶縁層が、酸化ケイ素からなる。この場合には、弾性波装置の周波数温度係数TCFの絶対値を小さくすることができる。
本発明に係る弾性波装置によれば、圧電基板面の面積を小さくすることができ、弾性波装置の小型化を図ることができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図であり、図1(b)は、本実施形態における縦結合共振子型弾性波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。また図2は、図1の矢印A−A線に沿う部分に相当する部分の断面図である。
弾性波装置1は、主面を有する圧電基板2を有する。圧電基板2は、LiNbO3からなる。もっとも、圧電基板2は、LiTaO3などの他の圧電単結晶からなるものであってもよい。また、圧電基板2は、複数の積層膜上に圧電薄膜を積層した構造を有していてもよい。
圧電基板2の主面上に、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3が設けられている。第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3は、第1〜第3のIDT電極11〜13を有する。すなわち、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3は、3IDT型の縦結合共振子型弾性波フィルタである。
弾性波伝搬方向に沿って第1〜第3のIDT電極11〜13が圧電基板2の主面上に配置されている。第1〜第3のIDT電極11〜13が設けられている領域の弾性波伝搬方向一方側に反射器14が、他方側に反射器15が配置されている。
図1(a)では、第1〜第3のIDT電極11〜13及び反射器14,15が設けられている位置を模式的に示している。図1(b)に、第1〜第3のIDT電極及び反射器14,15の電極構造をより具体的な模式図で示す。
図1(b)に示すように、第1〜第3のIDT電極11〜13は、それぞれ、弾性波伝搬方向と直交する方向において一端側に配置された第1のバスバー11a,12a,13aを有する。また、弾性波伝搬方向と直交する方向において他端側には、第2のバスバー11b,12b,13bが配置されている。第1のバスバー11a,12a,13aに、複数本の第1の電極指11c,12c,13cの一端が接続されている。第2のバスバー11b,12b,13bに、複数本の第2の電極指11d,12d,13dの一端が接続されている。
反射器14,15は、それぞれ、弾性波伝搬方向と直交する方向において一端側に設けられた第1のバスバー14a,15aと、他端側に設けられた第2のバスバー14b,15bとを有する。第1のバスバー14aと第2のバスバー14bとが、複数本の電極指により短絡されている。同様に、第1のバスバー15aと第2のバスバー15bとが、複数本の電極指により短絡されている。なお、反射器14,15の第1のバスバー14a,15a及び第2のバスバー14b,15bは省略可能である。
上記第1〜第3のIDT電極11〜13及び反射器14,15を構成する材料は、導電性材料であれば特に限定されないが、Al、Auなどの金属または、合金が好適に用いられる。
図1(b)に示すように、弾性波伝搬方向に延びる細長いストリップ状の第1のバスバー11a,12a,13aが弾性波伝搬方向に沿って配置されている。第1のバスバー14a及び第1のバスバー15aも、第1のバスバー11a,12a,13aが延びる方向の延長上において、直線状に延ばされている。
弾性波伝搬方向と直交する方向の他端側においても、同様に、第2のバスバー11b,12b,13bが、弾性波伝搬方向に沿って延びる細長いストリップ状の形状とされている。第2のバスバー14b,15bも細長いストリップ状の形状を有し、第2のバスバー11b,12b,13bが延びる方向の延長上に位置している。
第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3では、第1のバスバー11a,13aが、信号電位に接続され、第2のバスバー11b,13bが、グラウンド電位に接続される。第2のIDT電極12では、第1のバスバー12aがグラウンド電位に接続され、第2のバスバー12bが信号電位に接続される。
従来、縦結合共振子型の弾性波装置では、圧電基板上において他の素子と接続するために、またグラウンド電位に接続するために、それぞれ、配線を設けるにあたり、大きな配線スペースを必要としていた。これに対して、本実施形態の弾性波装置1では、この配線スペースを小さくすることができる。これを、図3と、図1(a)及び図2とを参照してより具体的に説明する。
図3は、従来の配線の立体交差部分を説明するための第1の比較例の弾性波装置の一例の模式的平面図である。図3に示すように、第1〜第3のIDT電極111〜113は、上記実施形態の第1〜第3のIDT電極11〜13と同様に構成されている。また、反射器114,115が設けられている。もっとも、立体交差部分は、以下のようにして構成されている。
すなわち、第2のバスバー112bに、信号配線120が接続されている。他方、グラウンド電位に接続される第2のバスバー111b,113bには上層の配線119が接続されている。図3では図示を省略しているが、図4に示すように、実際には、上層の配線119の下方に無機絶縁層118が積層されている。この無機絶縁層118により、上層の配線119と信号配線120との短絡が防止されている。図3から明らかなように、X1で示す領域が、上記立体交差部分のために必要であった。
これに対して、本実施形態では、図1(a)では図示を省略しているが、図2に示すように、圧電基板2の主面上の全面には、上記電極構造を覆うように無機絶縁層17が設けられている。無機絶縁層17は、酸化ケイ素(SiO2)からなる。もっとも、無機絶縁層を構成する材料については、SiN、SiON、Al2O3などの様々な無機絶縁材料を用いることができる。好ましくは、SiO2を用いることにより、周波数温度係数TCFの絶対値を小さくすることができる。
図2に示すように、第2のバスバー11b,12b,13bが設けられている領域では、無機絶縁層17により、第2のバスバー12bが被覆されている。他方、第2のバスバー11b,13bが設けられている部分においては、無機絶縁層17に貫通孔が形成されている。そして、無機絶縁層17上に、第1の配線18が設けられている。第1の配線18は上記貫通孔を充填しており、第2のバスバー11b,13bに電気的に接続されている。第1の配線18は、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3において、同電位に接続される第2のバスバー11b,13bを共通接続している。
図1(a)に示すように、第1の配線18は、弾性波伝搬方向に延ばされており、かつ上記第2のバスバー11b,12b,13bが設けられている領域の上方に位置している。他方、図1(a)に示すように、第2のバスバー12bには、信号配線としての第2の配線19が連ねられている。第2の配線19は、無機絶縁層17で被覆されており、第1の配線18との短絡が防止されている。なお、弾性波伝搬方向における、第2の配線19の長さである配線の太さは、第2のバスバー12bの長さより小さい。
上記の通り、縦結合共振子型弾性波フィルタ3では、第2のバスバー11b,12b,13bが設けられている領域において、グラウンド電位に接続される第1の配線18と、信号電位に接続される第2の配線19との立体交差が果たされている。従って、図1(a)においてXで示す領域に立体交差部分を設ける必要がない。よって、Xで示す領域を他の素子の形成等に利用することができる。従って、弾性波装置1の圧電基板面の面積を小さくすることができ、弾性波装置1の小型化を図ることができる。
第2のバスバー11b,12b,13b側を例にとり説明したが、第1のバスバー11a,12a,13aが設けられている領域においても、第1の配線20が無機絶縁層17上に設けられている。もっとも、第1の配線20は、グラウンド電位に接続される第1のバスバー12aに電気的に接続されている。第1のバスバー11a,13aは、第1のバスバー11a,13aと一体に形成された第2の配線20Aに電気的に接続されている。第2の配線20Aは、前述した無機絶縁層17の下層に位置している。第2の配線20Aは信号電位に接続される。
第1のバスバー11a,12a,13aが設けられている側においても、立体交差が、第1のバスバー11a,12a,13aが設けられている領域上で行なわれているため、同様に、弾性波伝搬方向と直交する方向において外側の領域を小さくすることが可能とされている。
なお、本実施形態では、3IDT型の第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3が用いられていたが、5以上のIDT電極を有する縦結合共振子型弾性波フィルタを用いてもよい。
図5は、本発明の第2の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図6は、弾性波装置21の電極構造を示す模式的平面図である。弾性波装置21は、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3Aを有する。第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3Aは、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3とほぼ同様の構成を有する。第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ23の出力信号が、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3Aの入力信号となるように、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3Aと第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ23とが縦続接続されている。第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ23は、第1〜第3のIDT電極31〜33と、反射器34,35とを有する。第1〜第3のIDT電極31〜33の第1のバスバー31a,32a,33aが、弾性波伝搬方向に沿って延ばされている。第1のバスバー31a,32a,33aが設けられている領域の上方において、図5では図示を省略している無機絶縁層を介して、第1の配線40が設けられている。第1の配線40は、信号電位に接続される第2の配線41と無機絶縁層を介して立体交差している。図5に示すように、前段に接続されている第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ23の第2のバスバー31b,33bが、第2の配線43a,43bにそれぞれ接続されている。第2の配線43a,43bは、次段の第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3Aの第1のバスバー11a,13aに電気的に接続されている。
第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3Aは、上記第2の配線43a,43bに第1のバスバー11a,13aが接続されていることを除いては、第1の実施形態の第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3とほぼ同様の構造を有する。第1のバスバー12aが、図示しない無機絶縁層上に設けられている第1の配線20に電気的に接続されている。第1の配線20はグラウンド電位に接続される。
前述した第2の配線43a,43bは、無機絶縁層の下方において、第1のバスバー11a,13aと連ねられている。
第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3Aでは、上記第1の配線20が第1のバスバー11a,12a,13aが設けられている領域の上方に位置している。第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ23においても、第1の配線42が第2のバスバー31b,32b,33bが設けられている領域の上方に位置している。そのため、配線の立体交差部分が、段間領域X2ではなく、上記バスバー形成領域上に位置している。よって、段間距離を短くできる。すなわち、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3Aに第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ23を近づけることができる。よって、第2の実施形態においても、弾性波装置21の小型化を図ることができる。
加えて、第2の実施形態の弾性波装置21では、通過帯域内における損失を低減することができる。これを、以下においてより具体的に説明する。図7は、第2の実施形態の弾性波装置の模式的平面図であり、図8は、第2の比較例の弾性波装置の模式的平面図である。第2の実施形態の弾性波装置21では、前述したように立体交差部が設けられている。これに対して、図8に示す第2の比較例の弾性波装置121では、前述した第1の比較例と同様に、縦結合共振子型弾性波フィルタのバスバーが設けられている領域よりも外側において立体交差部が設けられている。従って、図8を図7と対比すれば明らかなように、段間領域X2が段間領域X0よりも大きくなっている。
図9は、上記第2の実施形態及び第2の比較例の弾性波装置の減衰量周波数特性を示す図であり、図10は、その通過帯域の減衰量周波数特性を拡大して示す図である。図9及び図10において、実線が第2の実施形態の結果を、破線が第2の比較例の結果を示す。図9及び図10から明らかなように、通過帯域である859MHz以上、894MHz以下の範囲において、第2の比較例に比べ、第2の実施形態によれば、通過帯域内最大損失が、約0.02dB小さくなっていることがわかる。これは、図7に示すように、第1,第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ3A,23が近づいているため、配線41,42間の寄生容量が相対的に小さくなっているためと考えられる。第2の比較例の弾性波装置121では、配線141,142の長さが長く、従って、図示の寄生容量C1が大きくなっていると考えられる。そのため、第2の実施形態によれば、上記のように低損失化が図られていると考えられる。
図12及び図13は、第2の実施形態の弾性波装置21及び第2の比較例の弾性波装置121を受信フィルタとして有するデュプレクサにおけるアイソレーション特性及び減衰量周波数特性をそれぞれ示す図である。図12及び図13において、実線が第2の実施形態の結果を、破線が第2の比較例の結果を示す。
図12において、送信周波数帯をTx、受信周波数帯をRxで示す。
送信周波数帯Txにおいて、第2の比較例に比べ、第2の実施形態によれば、アイソレーション特性が大幅に改善されていることがわかる。これは、図11に示すように、第2の実施形態では、例えばグラウンド電位に接続される第1の配線18と、無機絶縁層を介して下層の第2の配線19とが積層されている部分において静電容量が生じる。ここで、第1,第2のバスバー11a〜13bにおいて、弾性波伝搬方向と直交する方向を幅方向とする。第1,第2のバスバー11a〜13bの幅とは、上記幅方向に沿う寸法である。また、上記第2の配線19の幅も、上記幅方向に沿う寸法とする。
この場合、第2の実施形態では、第2のバスバー12bの幅よりも、第1の配線18の幅を狭くすることが望ましい。それによって、上記静電容量のばらつきを小さくすることができる。従って、上記のように例えば受信フィルタとして用いた場合、送信周波数帯における上記静電容量のばらつきによるアイソレーション特性を改善することができる。
特に、図14に示す第3の実施形態のように、圧電基板を平面視したとき、幅方向において第2のバスバー11b,12b,13bからはみ出ることなく、第2のバスバー11b,12b,13bと第1の配線18とが重なっていることが望ましく、上記第1の配線18の幅が、第2のバスバー11b,12b,13bの幅よりも細くなっていることが望ましい。その場合には、幅方向において、あるいは弾性波伝搬方向において上記第1の配線18の位置がずれたとしても、第1の配線18と第2のバスバー11b,12b,13bとの対向面積が一定となる上記第1の配線18の位置ずれに対する許容範囲が広がるため、上記静電容量の変動が小さくできる。従って、アイソレーション特性などを効果的に改善することができる。また、第1の配線18の形成位置の許容度も高められる。
図15は、本発明の第4の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。弾性波装置51では、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3に、弾性波共振子52が接続されている。その他の構成は、第4の実施形態は第1の実施形態と同様である。本実施形態においても、配線の立体交差が第1の実施形態と同様とされている。従って、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ3と、圧電基板2上に設けられる弾性波共振子52との距離X3を小さくすることができる。よって、圧電基板2の面積を小さくすることができ、弾性波装置51においても小型化を図ることができる。
第4の実施形態から明らかなように、本発明の弾性波装置においては、縦結合共振子型弾性波フィルタに、縦結合共振子型弾性波フィルタや弾性波共振子などの様々な弾性波素子を接続してもよい。
図16は、第5の実施形態の弾性波装置の模式的平面図である。第5の実施形態の弾性波装置61は、第2の実施形態の弾性波装置21とほぼ同様に構成されている。もっとも、弾性波装置61では、第1,第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ3A,23が設けられている領域を囲むように、グラウンド電位に接続される第1の配線62が設けられている。この第1の配線62は矩形枠状の形状を有している。前述した第1の配線18,40は、この矩形枠状の第1の配線62の一部を構成している。また、第1の配線62は、第1の配線20,42に連ねられている。第1の配線42は、第2のバスバー31b,32b,33bの上方において無機絶縁層上を弾性波伝搬方向に延びている。このように、グラウンド電位に接続される第1の配線62を、縦結合共振子型弾性波フィルタ3A,23が設けられている領域を囲む環状に構成することが好ましい。それによって、縦結合共振子型弾性波フィルタ3A,23を周囲の素子や回路から電磁シールドすることができる。
また、図17に示すように、縦結合共振子型弾性波フィルタ3A,23が設けられている領域を囲む環状に構成する第1の配線62の一部に、環の内側と外側をつなぐ切欠き62Aを設けてもよい。その場合には、フォトリソグラフィーにより第1の配線62を設ける場合、フォトレジストの剥離を容易に行ない得る。従って、上記電磁シールド機能を果たす第1の配線62を容易に形成することができる。このとき、圧電基板2を平面視したとき、第1の配線62が構成する環が閉じていないことが望ましい。
また、図18に示すように、2つの第1,第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ70,80が、5IDT型の縦結合共振型弾性波フィルタで構成されることも望ましい。第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ70は、弾性波伝搬方向に沿って配置された第1〜第5のIDT電極71〜75を有する。また、反射器76,77が、弾性波伝搬方向両側に配置されている。弾性波伝搬方向とは、図18において、Zで示す方向である。
第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ70は、不平衡入力端子91に接続されている。すなわち、不平衡入力端子91が、IDT電極72,74の一端に接続されている。IDT電極71,73,75の各一端は、第1の配線40に接続されている。無機絶縁層に設けられた貫通孔を介して、上記第1の配線40がIDT電極71,73,75の一端に接続されている。反射器76,77の一端も、同様にして、第1の配線40に接続されている。
第1の配線40は、図16の場合と同様に、矩形枠状の第1の配線62の一部を構成している。第1の配線62は基準電位またはグラウンド電位に接続される。
第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ80は、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ70に縦続接続されている。第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ80は、弾性波伝搬方向に沿って並べられたIDT電極81〜85を有する。また、弾性波伝搬方向両側に、反射器86,87が設けられている。第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ80の出力端は、不平衡出力端子92に接続されている。より具体的には、不平衡出力端子92に、IDT電極82,84の一端が接続されている。IDT電極81,83,85の一端は、グラウンド電位に接続される。すなわち、矩形枠状の第1の配線62に接続されている。すなわち、図示しない無機絶縁層に設けられた貫通孔を貫通するように、第1の配線62が、IDT電極81,83,85の一方のバスバーに電気的に接続されている。
上記不平衡入力端子91及び不平衡出力端子92またはこれらの一方に連なるバスバーは、それぞれ、入力端側及び出力端側において、無機絶縁層を介して、上方の第1の配線62と立体交差している。従って、入力端側及び出力端側において、本実施形態においてもスペースを低減することができる。
他方、段間においては、段間接続配線としての第2の配線93〜95により、第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ70のIDT電極71,73,75のバスバーと、第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ80のIDT電極81,83,85のバスバーとが電気的に接続されている。
第1の配線62は、IDT電極72,74,82,84の段間側に位置しているバスバーと、電気的に接続されている。すなわち、無機絶縁層に設けられた貫通孔を貫通するようにして、第1の配線62が、IDT電極72,74,82,84の段間側のバスバーに電気的に接続されている。従って、段間においても、第2の配線93〜95または信号電位に接続されるバスバーと、第1の配線62との立体交差がバスバー形成領域で行なわれているため、スペースを低減することができる。
第1の配線62は、基準電位あるいはグラウンド電位に接続される。
基準電位との接続は、弾性波装置が実装される基板に設けられた基準電位と接続することで実現できる。第1の配線62は、全体として環状の形状を有するが、一部に切断部としての切欠き62Bを有する。そのため、フォトリソグラフィーにより第1の配線62を形成する場合、フォトレジストを容易に剥離することができる。
上記切欠き62Bの図18のZ方向の長さ、すなわち切断部長は、圧電基板を平面視した場合、第1の配線62の線幅に対し、5倍以下であることが望ましい。ここで、線幅とは、環状の第1の配線62の環状に延びる方向と直交する方向の寸法Wをいうものとする。第1の配線62の環状部が延びる方向に沿う切欠き62Bの長さが、10μm以上であって、第1の配線62の線幅Wの5倍以下である場合、電離シールド機能を十分に果たしつつ、フォトレジストの剥離をより一層容易に行なうことができる。
なお弾性波装置の入出力端子は不平衡-不平衡だけでなく、不平衡-平衡または平衡-平衡であってもよい。
1…弾性波装置
2…圧電基板
3,3A…第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ
11〜13…IDT電極
11a,12a,13a…第1のバスバー
11b,12b,13b…第2のバスバー
11c,12c,13c…第1の電極指
11d,12d,13d…第2の電極指
14,15…反射器
14a,15a…第1のバスバー
14b,15b…第2のバスバー
17…無機絶縁層
18,20…第1の配線
19,20A…第2の配線
21…弾性波装置
23…第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ
31〜33…IDT電極
31a,32a,33a…第1のバスバー
34,35…反射器
40,42…第1の配線
41…第2の配線
43a,43b…第2の配線
51,61…弾性波装置
52…弾性波共振子
62…第1の配線
62A,62B…切欠き
70,80…第1,第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ
71〜75,81〜85…IDT電極
76,77,86,87…反射器
91…不平衡入力端子
92…不平衡出力端子
93〜95…第2の配線
2…圧電基板
3,3A…第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ
11〜13…IDT電極
11a,12a,13a…第1のバスバー
11b,12b,13b…第2のバスバー
11c,12c,13c…第1の電極指
11d,12d,13d…第2の電極指
14,15…反射器
14a,15a…第1のバスバー
14b,15b…第2のバスバー
17…無機絶縁層
18,20…第1の配線
19,20A…第2の配線
21…弾性波装置
23…第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ
31〜33…IDT電極
31a,32a,33a…第1のバスバー
34,35…反射器
40,42…第1の配線
41…第2の配線
43a,43b…第2の配線
51,61…弾性波装置
52…弾性波共振子
62…第1の配線
62A,62B…切欠き
70,80…第1,第2の縦結合共振子型弾性波フィルタ
71〜75,81〜85…IDT電極
76,77,86,87…反射器
91…不平衡入力端子
92…不平衡出力端子
93〜95…第2の配線
Claims (14)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられており、弾性波伝搬方向に沿って配置された少なくとも3つのIDT電極を有する第1の縦結合共振子型弾性波フィルタとを備え、
前記各IDT電極が、弾性波伝搬方向と直交する方向において、一端側に設けられた第1のバスバーと、他端側に設けられた第2のバスバーとを有し、
前記一端側及び前記他端側のうち少なくとも一方において、複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーを覆うように無機絶縁層が設けられており、複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーの上方において、前記無機絶縁層上に弾性波伝搬方向に延びるように配置された第1の配線と、
前記無機絶縁層を介して前記第1の配線と立体交差するように前記圧電基板上に設けられた第2の配線と、
がさらに備えられており、前記第1の配線が、複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーのうちの同電位に接続されるバスバーに前記無機絶縁層を貫通して接続されている、弾性波装置。 - 前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタの複数の前記第2のバスバーが配置されている側に設けられた弾性波素子をさらに備える、請求項1に記載の弾性波装置。
- 複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーの上方において、前記無機絶縁層上に弾性波伝搬方向に延びるように配置された前記第1の配線は、前記圧電基板を平面視して複数の前記第1のバスバーまたは複数の前記第2のバスバーからはみ出ることなく、重なって設けられている、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記弾性波素子が、第2の縦結合共振子型弾性波フィルタであり、前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタに、前記第2の縦結合共振子型弾性波フィルタが縦続接続されている、請求項2に記載の弾性波装置。
- 前記弾性波素子が、弾性波共振子である、請求項2に記載の弾性波装置。
- 前記第1のバスバーまたは前記第2のバスバーの弾性波伝搬方向と直交する方向を幅方向としたときに、前記第1のバスバーまたは前記第2のバスバーの幅に比べて、前記第1の配線の幅が狭くされている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記同電位に接続される前記バスバーが、グラウンド電位に接続されるバスバーであり、前記第1の配線がグラウンド電位に接続される、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1の配線が、前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタを囲むように設けられている、請求項7に記載の弾性波装置。
- 前記第1の配線が、グラウンド電位に接続される配線であり、前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタ及び前記弾性波素子を囲むように設けられている、請求項2に記載の弾性波装置。
- 前記第1の配線が環状の形状を有する、請求項9に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板を平面視して、前記第1の配線が前記環状の形状の内側と外側を接続する切欠きを有する、請求項10に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板がLiNbO3基板である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記無機絶縁層が、前記圧電基板上において、前記第1の縦結合共振子型弾性波フィルタの複数のIDT電極を覆うように設けられている、請求項1〜12のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記無機絶縁層が、酸化ケイ素からなる、請求項1〜13のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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